JPH0714760A - 製造ラインにおける生産管理方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 汚染対処容易な製造ラインにおける生産管理
方法を提供すること。 【構成】 汚染発見により全ての製造装置の稼働を停止
し（ステップ１ａ）、汚染開始から発見までの間に汚染
元の製品が通過した製造装置の装置名を読み出して第１
リストを作成する（ステップ１ｃ）。そして最初に汚染
した製造装置が発見時刻までの間に処理した製品の製品
名を全て読み出して第２リストを作成し（ステップ１
ｄ）、汚染元以外の製品を汚染以降処理した製造装置の
装置名を読み出して第３リストを作成する（ステップ１
ｅ）。さらに製造装置が汚染製品を最初に処理した汚染
時刻を求めて第４リストを作成し（ステップ１ｆ）、第
２リスト、第４リスト以外の製品と製造装置の稼働を再
開させる（ステップ１ｉ）。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、複数の製造装置により
構成されるライン上に沿って製品を順次製造する製造ラ
インにおける生産管理方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置等の製品を製造するための製
造工場には、複数の工程の処理を行うための製造装置が
備えられており、自動搬送装置等の搬送手段を中心とし
て各製造装置を配置することで一連の製造ラインが構築
されている。このような製造ラインはホストコンピュー
タにより統括管理されており、各製造装置による処理履
歴やライン上を流れる製品の製造履歴などがオンライン
又はオフラインによりホストコンピュータのデータベー
スとして記憶装置に蓄積されている。

【０００３】ところで、製造ライン上を流れる製品の製
造中に何らかの汚染（金属汚染等）が発生した場合、気
付かずにその汚染元となる製品がそのまま製造ライン上
を流れると他の製造装置や製品にまで汚染が広がり、い
わゆる２次汚染、３次汚染…を発生させてしまう。この
ため、このような汚染が発見された時点で一旦全ての製
造装置による処理を停止し、汚染元となる製品や製造装
置、また２次汚染、３次汚染…が発生していないかどう
かをチェックする必要がある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
汚染が発生した場合には、生産管理のために作成したデ
ータベースの製造装置の処理履歴や製品の製造履歴を全
て出力し、その出力結果に基づいて汚染が発生した時刻
から発見した時刻までの間に広がった汚染のルートを作
業者の人手により解明していく必要がある。このような
汚染ルートの解明を行うには多大な手間と時間を要する
ことになり、製造ライン上の製造装置の復旧時間を長引
かせ製品の生産性低下を招くことになる。よって、本発
明は汚染の対処が容易な製造ラインにおける生産管理方
法を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、このような課
題を解決するために成された製造ラインにおける生産管
理方法である。すなわち、複数の製造装置により構成さ
れるライン上に沿って複数の製品を順次製造するととも
に、製造装置の処理履歴と製品の製造履歴とを記録して
いく製造ラインにおける生産管理方法において、ある製
造装置における製品の処理中に汚染が発生しそれを発見
した段階で、先ずライン上の全ての製造装置の稼働を停
止し、その後、汚染の開始時刻から発見時刻までの間に
汚染元の製品が通過したライン上の製造装置の装置名を
製品の製造履歴から読み出して第１リストに記録する。

【０００６】そして、最初に汚染した製造装置の処理履
歴に基づいて汚染の開始時刻から発見時刻までの間にこ
の製造装置にて処理を施した製品の製品名を全て読み出
してその処理時刻とともに第２リストに記録し、さら
に、この第２リストに記録された製品名の示す製品のう
ち汚染元以外の製品の処理時刻以降にその製品を処理し
たライン上の製造装置の装置名を製品の製造履歴から読
み出して処理した時刻とともに第３リストに記録する。

【０００７】さらに、この第１リストと第３リストとに
記録された装置名の示す製造装置が、汚染した製品を最
初に処理した汚染時刻を求めて装置名とともに第４リス
トに記録し、この第４のリストに記録された装置名の示
す製造装置が汚染時刻から発見時刻までの間に処理を施
した製品のうち、第２リストに記録されていない製品の
製品名がある場合にのみその製品名を第２リストに追加
するとともに、その製品の製造履歴からその製品が通過
したライン上の製造装置の装置名を第３リストに追加
し、さらにはその製造装置の装置名が第４リストに無け
ればその装置名を追加し、その後、第２リストに記録さ
れた製品名の示す製品以外の製品の製造を再開させると
ともに、第４のリストに記録された装置名の示す製造装
置以外の製造装置の稼働を再開させるようにする。

【０００８】

【作用】製造ラインにおける汚染を発生した段階で先ず
全てのライン上の製造装置の稼働を停止し、その後、汚
染の開始時刻から発見時刻までの間に汚染元の製品が通
過したライン上の製造装置の装置名をその製品の製造履
歴から読み出して第１リストを作成する。これにより、
１次汚染した製造装置の装置名をピックアップすること
ができる。また、最初に汚染した製造装置の処理履歴に
基づいて汚染の開始時刻から発見時刻までの間に処理し
た製品名を読み出して第２リストを作成することで、２
次汚染した製品名をピックアップできる。

【０００９】さらに、第２リストに記録された製品の製
造履歴に基づいて、各製品が発見時刻までの間に通過し
たライン上の製造装置の装置名を読み出して第３リスト
を作成することで、２次汚染した装置名をピックアップ
できる。また、第１リストと第３リストとに記録された
製造装置が汚染した最初の汚染時刻を読み出して第４リ
ストを作成し、この汚染時刻から発見時刻までの間でそ
の製造装置が処理した製品で第２リストに記録されてい
ないものが存在すればそれを第２リストに追加し、さら
にその製品の製造履歴に基づいて第３リストおよび第４
リストを追加し、これを繰り返すことにより汚染した全
ての製造装置と製品とをピックアップすることができ
る。さらに、これらのリストに記録されてない製品と製
造装置、すなわち、汚染のない製品と製造装置との稼働
を再開することができるようになる。

【００１０】

【実施例】以下に、本発明の製造ラインにおける生産管
理方法の実施例を図に基づいて説明する。図１は本発明
の製造ラインにおける生産管理方法を説明する流れ図、
図２は生産管理方法を行うための生産管理装置の構成図
である。先ず、本発明の生産管理方法を説明するに先立
ち、これを行うための生産管理装置について説明する。

【００１１】すなわち、この生産管理装置は主として、
製造ライン全体を統括管理するためのホストコンピュー
タ１と、通信回線２０を介してホストコンピュータ１と
接続された端末２およびライン内端末２１と、ホストコ
ンピュータ１により管理されるライン上の製造装置１０
（複数台備えられているが図では１台のみを示した）
と、ライン汚染に対処するためのライン汚染対処部３と
から構成されている。

【００１２】ホストコンピュータ１には、各製造装置１
０による工程の処理条件がデータベースとして記憶され
た記憶装置１１と、製造装置１０の処理履歴や製品の製
造履歴等の履歴情報がデータベースとして記憶された記
憶装置１２とが備えられている。また、ライン汚染対処
部３には、ライン上で発生した汚染に関する時刻や汚染
した製造装置、製品等のライン汚染情報がデータベース
として記憶された記憶装置３１が備えられている。

【００１３】この生産管理装置を用いて製品の製造を行
うには、先ず作業者が端末２から種々の工程情報４を入
力し、通信回線２０を介してホストコンピュータ１へそ
の工程情報４を送る。この工程情報４は処理条件等のデ
ータベースとして記憶装置１１に蓄積される。そして、
作業者が端末２から製品（例えばロット単位）の投入指
示を入力し、投入する製品名や工程情報名等をホストコ
ンピュータ１へ送る。ホストコンピュータ１は、この投
入指示に基づいてその製品名に対応する処理条件等を記
憶装置１１から読み出して、ライン内端末２１へ送ると
ともに製造装置１０へその処理条件等の情報を送る。

【００１４】これにより製造装置１０にて所定の処理を
行い、処理が完了した段階でオンラインにて処理完了の
通知をホストコンピュータ１へ送るか、又はオフライン
でライン内端末２１から作業者が処理完了の通知を入力
してホストコンピュータ１へ送るようにする。これとと
もに、製造装置１０による処理履歴と処理を施した製品
の製造履歴とをホストコンピュータ１へ送り、記憶装置
１２の履歴情報から成るデータベースに記憶する。ホス
トコンピュータ１は、このようにして蓄積されたデータ
ベースに基づいて製品の統括的な生産管理を行う。

【００１５】次に、このような生産管理装置による製品
の製造途中で何らかの汚染が発生した場合の生産管理方
法を図１に基づいて説明する。すなわち、ステップ１ａ
として先ず汚染が発見された段階で汚染した製品の製品
名とこれを処理していた製造装置の装置名とを図２に示
す端末２、またはライン内端末２１から入力する。そし
て、この情報をホストコンピュータ１が受信した段階で
ステップ１ｂに示すように全てのライン上の製造装置１
０の稼働を停止するよう各製造装置１０への通知を行
う。

【００１６】ライン上の全ての製造装置１０の稼働が停
止した状態で、次のステップ１ｃに示す第１リスト作成
として、図３に示すような第１リストの作成を行う。す
なわち、ある製品Ａに汚染が発生した場合、汚染が開始
した時刻から汚染を発見した時刻までの間に製品Ａが通
過したライン上の製造装置１０の装置名３ａを製品Ａの
製造履歴が記憶された記憶装置１２から読み出し、この
装置名３ａと各装置名３ａの示す製造装置１０が製品Ａ
を処理した処理時刻３ｂとをリストアップして第１リス
トの作成を行う。この第１リストには、汚染元の製品Ａ
により１次汚染した製造装置１０の装置名３ａが記録さ
れることになる。

【００１７】次に、ステップ１ｄに示す第２リスト作成
として、図４に示すような第２リストの作成を行う。こ
の第２リストは、図３に示す第１リストに記録された汚
染開始の際の装置名３ａ、すなわち最初に汚染した製造
装置１０の装置名（例えばａ）の処理履歴に基づいて、
汚染の開始時刻（例えば９：３０：１５）から発見時刻
（例えば１１：１３：３０）までの間に装置名ａの示す
製造装置１０が処理した製品名３ｄをピックアップし、
その製品名３ｄ（例えば製品名Ａ、Ｂ、Ｅ、Ｆ、Ｈ）と
その処理時刻３ｂとを記録したものである。この第２リ
ストには、２次汚染した製品名３ｄが記録されることに
なる。

【００１８】次に、ステップ１ｅの第３リスト作成とし
て、図５に示すような第３リストの作成を行う。第３リ
ストは、図４に示す第２リストに記録された製品名３ｄ
の示す製品のうち、汚染発見までの間で汚染元の製品
（例えば製品名Ａ）を除く製品（例えば製品名Ｂ、Ｅ、
Ｆ）が通過したライン上の製造装置１０の装置名３ａを
記憶装置１２に記憶された製造履歴からピックアップし
て記録したものである。すなわち、図５（ａ）は製品名
Ｂの第３リストを示したものであり、製品名Ｂの示す製
品が汚染発見までの間に通過したライン上の製造装置１
０の装置名３ａ（例えばａ、ｂ、ｇ、ｉ）と、各装置名
３ａが製品名Ｂの示す製品を処理した処理時刻３ｂとが
それぞれ記録されている。

【００１９】同様に、図５（ｂ）は製品名Ｅの第３リス
トを示したものであり、製品名Ｅの示す製品が汚染発見
までの間に通過したライン上の製造装置１０の装置名３
ａ（例えばａ、ｃ）と各装置名３ａが製品名Ｅの示す製
品を処理した処理時刻３ｂとがそれぞれ記録されてい
る。また、図５（ｃ）は製品名Ｆの第３リストを示した
ものであり、製品名Ｆの示す製品が汚染発見までの間に
通過したライン上の製造装置１０の装置名３ａ（例えば
ａ）と、その装置名３ａが製品名Ｆの示す製品を処理し
た処理時刻３ｂとがそれぞれ記録されている。つまり、
この第３リストには、２次汚染した製品が通過すること
により２次汚染した製造装置１０の装置名３ａとその処
理時刻３ｂとがリストアップされることになる。

【００２０】次に、ステップ１ｆに示す第４リスト作成
として、図６に示すような第４リストの作成を行う。こ
の第４リストは、図３に示す第１リストと図５に示す第
３リストとに基づいて、各リストに記録された装置名３
ａが示す製造装置１０が、汚染した製品を最初に処理し
た時刻（汚染時刻３ｅ）をその装置名３ａと対応させて
記録したものである。すなわち、汚染した全ての製造装
置の装置名３ａとその製造装置が汚染した汚染時刻３ｅ
とが記録されることになる。例えば、装置名ｃの場合に
は、第１リストに記録された処理時刻３ｂが１０：５
０：２０であり、第３リストに記録された処理時刻３ｂ
が１０：３０：００であるため、これらのうちの最先で
ある１０：３０：００が装置名ｃの示す製造装置の汚染
時刻３ｅであるとして第４リストに記録される。

【００２１】なお、装置名ａについては、これが汚染元
となっていることが明らかであるため特に第４リストに
記録しなくてもよい。また、これら第１リスト〜第４リ
ストの作成は図２に示すライン汚染対処部３内の処理に
より行われ、各リストはライン汚染情報として記憶装置
３１に記憶されており、この後の処理で必要に応じて読
み出されたり、更新されたりする。

【００２２】次に、ステップ１ｇとして、図６に示す第
４リストに記録された装置名３ａの示す各製造装置１０
がそれぞれの汚染時刻３ｅから汚染発見までの間に処理
した製品を記憶装置１２に記憶された製造装置１０の処
理履歴から検索し、次のステップ１ｈにてその製品の製
品名３ｄが図４に示す第２リストに既に記録されている
ものかどうかを判断する。このステップ１ｈの判断でＮ
ｏとなった場合には第２リストに記録された製品名３ｄ
の示す製品以外に汚染された製品は無いことになり、ス
テップ１ｉにて第２リストの製品名３ｄの示す製品以外
の製品中止の解除と、第４リストの装置名３ａの示す製
造装置１０以外の製造装置１０の稼働中止の解除とを行
う。これにより、汚染されていない製品と製造装置１０
のみを稼働させることができるようになる。

【００２３】一方、ステップ１ｈの判断でＹｅｓとなっ
た場合には第２リストに記録された製品名３ｄの示す製
品以外に汚染された製品（すなわち３次汚染したもの）
が存在することになり、ステップ１ｋにてその製品名３
ｄと処理時刻３ｂとを第２リストに追加する。さらにス
テップ１ｍにて、その製品の製造履歴に基づいて汚染発
見までの間に通過したライン上の製造装置１０を検索
し、この製造装置１０の装置名３ａが第４リストに無い
場合にはステップ１ｎにてＹｅｓとなり、その装置名３
ａ（すなわち３次汚染したもの）をステップ１ｐにて第
４リストに追加してステップ１ｇの判断に戻る。

【００２４】また、その装置名３ａが第４リストに記録
されている場合にはステップ１ｎにてＮｏとなり、第４
リストに記録されている装置名３ａの示す製造装置１０
以外に汚染された製造装置１０は無いことになり、先に
述べたステップ１ｉの処理を行うことになる。

【００２５】なお、ステップ１ｐからステップ１ｇに戻
った場合には、再度第４リストに記録された装置名３ａ
（ステップ１ｐで追加された装置名３ａも含む）の示す
各製造装置１０が汚染時刻３ｅから汚染発見までの間に
処理した製品を検索し、次にステップ１ｈにてその製品
の製品名３ｄが図４に示す第２リストに記録されている
かどうかを判断する。このような一連のステップ１ｇ〜
１ｐを繰り返すことにより、汚染された全ての製品の製
品名３ｄと製造装置１０の装置名３ａとが第２リストと
第４リストとに記録されることになり、最終的にステッ
プ１ｉにて汚染されていない製品と製造装置１０の稼働
を再開できるようになる。また、ここまでの処理の後、
ステップ１ｊにて第２リストと第４リストとを出力して
作業者の控え記録などにする。

【００２６】このように、記憶装置１１に記憶されたデ
ータベース、すなわち製造装置１０の処理履歴や製品の
製造履歴に基づいて第１リスト〜第４リストを作成する
ことにより、汚染した製品と製造装置１０とを人手を介
すことなく短時間にピックアップすることができ、汚染
していない製品や製造装置の稼働を再開することができ
るようになる。なお、本実施例で用いた装置名３ａや製
品名３ｄ、処理時刻３ｂ、汚染時刻３ｅは一例であり、
これに限定されるものではない。

【００２７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の製造ライ
ンにおける生産管理方法によれば次のような効果があ
る。すなわち、データベースとして蓄積されている製造
装置の処理履歴と製品の製造履歴とに基づいて、汚染が
発生した時刻から発見された時刻までの間に広がった汚
染のルートを確実に、しかも容易に解明することができ
るため製造装置の復旧時間を大幅に短縮できるようにな
る。しかも、汚染に関係の無い製品や製造装置の稼働を
即座に再開できるため、最小限の稼働中止のみで済むた
め、製造ラインにおける汚染が発生した場合での製品の
生産性向上を図ることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の生産管理方法を説明する流れ図であ
る。

【図２】生産管理装置の構成図である。

【図３】第１リストを説明する図である。

【図４】第２リストを説明する図である。

【図５】第３リストを説明する図で、（ａ）は製品名
Ｂ、（ｂ）は製品名Ｅ、（ｃ）は製品名Ｆに対するもの
である。

【図６】第４リストを説明する図である。

【符号の説明】

１ ホストコンピュータ ２ 端末 ３ ライン汚染対処部 ４ 工程情報 １０ 製造装置 １１ 記憶装置（処理条件） １２ 記憶装置（履歴情報） ２０ 通信回線 ３１ 記憶装置（ライン汚染情報）

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成５年９月１０日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１５

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１５】次に、このような生産管理装置による製品
の製造途中で何らかの汚染が発生した場合の生産管理方
法を図１に基づいて説明する。先ずステップ１ａとし
て、汚染が発見された段階で図２に示すライン上の全て
の製造装置１０の稼働を停止するよう各製造装置１０へ
の通知を行う。そして、次のステップ１ｂとして、汚染
が発生した製品の製品名と、その製品を最初に処理して
汚染された製造装置の装置名とを端末２、またはライン
内端末２１から入力する。なお、このステップ１ａとス
テップ１ｂとを反対にして、汚染が発見された段階で先
ず汚染した製品の製品名および装置名を入力し、その後
ライン上の全ての製造装置の稼働停止を通知するように
してもよい。

【手続補正２】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図１

【補正方法】変更

【補正内容】

【図１】

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の製造装置により構成されるライン
   上に沿って複数の製品を順次製造するとともに、前記製
   造装置の処理履歴と前記製品の製造履歴とを記録してい
   く製造ラインにおける生産管理方法において、 ある製造装置における前記製品の処理中に該製品に汚染
   が発生しそれを発見した段階で、先ず前記ライン上の全
   ての製造装置の稼働を停止し、 その後、前記汚染の開始時刻から発見時刻までの間に汚
   染元の製品が通過した前記ライン上の製造装置の装置名
   を該製品の製造履歴から読み出して第１リストに記録す
   るとともに、最初に汚染した製造装置の処理履歴に基づ
   いて前記開始時刻から発見時刻までの間に該製造装置に
   て処理を施した製品の製品名を全て読み出してその処理
   時刻とともに第２リストに記録し、 さらに、前記第２リストに記録された前記製品名の示す
   製品のうち前記汚染元以外の製品の前記処理時刻以降に
   該製品を処理した前記ライン上の製造装置の装置名を該
   製品の製造履歴から読み出してその処理した時刻ととも
   に第３リストに記録し、 前記第１リストと前記第３リストとに記録された装置名
   の示す製造装置が、汚染した前記製品を最初に処理した
   汚染時刻を求めて装置名とともに第４リストに記録し、 前記第４のリストに記録された装置名の示す製造装置が
   前記汚染時刻から前記発見時刻までの間に処理を施した
   製品のうち、前記第２リストに記録されていない製品の
   製品名がある場合にのみ該製品名を前記第２リストに追
   加するとともに、該製品の製造履歴から該製品が通過し
   た前記ライン上の製造装置の装置名を前記第３リストに
   追加し、さらには該製造装置の装置名が前記第４リスト
   に無ければ該装置名を追加し、 その後、前記第２リストに記録された製品名の示す製品
   以外の製品の製造を再開させるとともに、前記第４のリ
   ストに記録された装置名の示す製造装置以外の製造装置
   の稼働を再開させるようにすることを特徴とする製造ラ
   インにおける生産管理方法。