JPH07148588A - レーザ加工機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 レーザ加工機の倣い制御のための設定を簡単
にし、かつ正確な制御ができるようにする。 【構成】 倣いセンサデータ解析部１１は、ノズル１か
ら出力されるレーザ光３の焦点位置と照射されるワーク
４との相対距離を、ノズル１を照射方向に駆動する垂直
方向駆動装置５の駆動座標データから算出し、ノズル１
に固定され、ワーク４からの距離に対応するデータを出
力する倣いセンサ６の出力データを倣いセンサデータ比
較値として前記相対距離の各値に対応して倣いデータテ
ーブル８に記憶する。上記の動作により倣いデータテー
ブルが自動的に生成される。倣い制御部１０は焦点位置
指令を入力し、指令された相対位置の値に対応する倣い
センサデータ比較値を倣いデータテーブルから読み出
し、倣いセンサ６が出力するデータが前記読み出した倣
いセンサデータ比較値に等しくなるようにノズルを駆動
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、レーザ加工機の倣い制
御に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、レーザ加工機が広く活用されてい
るが、ノズル内にあるレンズを交換した場合やレーザの
光軸を調整した場合、レーザ光の焦点位置が変わるた
め、レーザ光の焦点位置を再調整したり、焦点位置の調
整後に倣い装置の再調整するなどの調整作業が課題であ
る。

【０００３】以下、従来のレーザ加工機について図面を
参照しながら説明する。図７はレーザ加工機の構成を示
す模式図である。図において、１はノズル、２はレーザ
光３を集光するレンズ、４はワーク、５はノズル１を垂
直方向に駆動する垂直方向駆動装置、６はノズル１の垂
直移動に連動し、焦点位置とワーク４との距離に対応す
るデータを出力する倣いセンサ、７は倣いセンサ６の出
力データにオフセットを加減する倣いセンサオフセット
調整装置、８はワーク４からレーザ焦点位置までの距離
と、倣いセンサ６が出力するデータとの関係をあらかじ
め記憶させてある倣いデータテーブル、９はワーク４か
らレーザ焦点位置までの距離を指令する焦点位置指令、
１０はワーク４と焦点位置との距離が焦点位置指令９が
指定した値になるようにノズル１の高さを調整する倣い
制御部である。

【０００４】上記構成要素の相互関係と動作について説
明する。倣い制御部１０はワーク４と焦点位置との距離
を焦点位置指令９が指示する値になるように制御する。
この場合、焦点位置とワーク４との距離は、倣いセンサ
６のデータを倣いデータテーブル８に記憶させた関係に
より換算している。したがって、焦点位置とワーク４と
の距離が倣いセンサ６のデータに正しく対応している必
要があり、そのために、まず、初期設定を行って正しい
対応関係になるように設定する。図９はワーク４と焦点
位置との相対距離と、倣いセンサ６のデータとの関係を
示すグラフである。操作者は、図９の実線で示したよう
に、焦点位置とワーク４との距離に対する倣いセンサ６
のデータをあらかじめ想定して倣いデータテーブル８に
記憶させる。つぎに、焦点位置がワーク４の表面上にな
るように、すなわち、焦点位置とワーク４との距離が０
となる位置にノズル１を垂直方向駆動装置５により移動
させ、このときに倣いセンサ６が出力するデータの値
が、倣いデータテーブル８におけるワーク４と焦点位置
との相対距離が０のときの倣いセンサデータ値に等しく
なるように、倣いセンサオフセット調整装置７を手動で
調整してオフセットを加減する。この設定により倣いセ
ンサ６のデータが倣いデータテーブル８における倣いデ
ータに対応するように初期設定される。

【０００５】つぎに、倣い制御部１０の動作について説
明する。倣い制御部１０は焦点位置指令９を入力し、そ
の値に対応する倣いセンサデータを倣いデータテーブル
８から読み込み、倣いセンサオフセット調整装置７でオ
フセット補正された倣いセンサ６のデータが前記読み込
んだデータに等しくなるように垂直方向駆動装置５を駆
動する。この動作により、焦点位置指令９で指令された
位置にレーザ焦点を合わせることができる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】このような従来のレー
ザ加工機では、倣いデータテーブル８のデータは、焦点
位置合わ動作の基準となるデータをあらかじめ設定した
ものであって、実際に取り付けた倣いセンサ６の出力と
必ずしも一致するとは限らない。また、非接触倣いセン
サを用いた場合、焦点位置からの相対距離と倣いセンサ
データとの関係は厳密には直線にはならないが、それを
直線で近似して倣いデータテーブル８に記憶させている
ために、ワーク４との相対距離が０の位置近傍以外では
不正確な設定になるという問題があった。さらに、倣い
センサオフセット調整装置７を手動で調整しなければな
らないという煩わしさにも問題があった。

【０００７】本発明は上記の課題を解決するもので、倣
いセンサの調整を自動的に行うことができ、かつレンズ
焦点位置指令を広範囲で高精度に設定できるレーザ加工
機の倣い制御方法およびその装置を提供することを目的
とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は上記の目的を達
成するために、請求項１に係わる本発明は、レーザ光を
出力するノズルと、前記ノズルを前記レーザ光の照射方
向前後に移動させる駆動装置と、前記ノズルに固定さ
れ、前記レーザ光を照射されるワークとの相対距離に対
応したデータを出力する倣いセンサと、前記駆動装置の
駆動データに基づいて前記レーザ焦点位置と前記ワーク
との相対距離を算出する倣いセンサデータ解析部と、前
記相対距離における前記倣いセンサのデータを倣いデー
タ比較値として相対距離に対応して記憶する倣いデータ
テーブルと、前記相対距離を指令する焦点位置指令を入
力し、前記相対距離が前記焦点位置指令の値となるよう
にノズルを駆動する倣い制御部とを備え、前記倣い制御
部は前記倣いセンサが出力するデータが前記焦点位置指
令の値に対応する前記倣いデータテーブルの倣いデータ
比較値と同一となるように前記駆動装置を動作させる制
御装置とを備えたレーザ加工機であり、また、請求項３
に係わる本発明は、レーザ光を出力するノズルと、前記
ノズルを前記レーザ光の照射方向前後に移動させる駆動
装置と、前記ノズルに固定され、前記レーザ光を照射さ
れるワークとの相対距離に対応したデータを出力する倣
いセンサと、前記駆動装置の駆動データに基づいて前記
レーザ焦点位置と前記ワークとの相対距離を算出する倣
いセンサデータ解析部と、前記相対距離における前記倣
いセンサのデータを倣いデータ比較値として相対距離に
対応して記憶する倣いデータテーブルと、前記倣いデー
タテーブルの離散的なデータに基づいて相対距離と倣い
データ比較値との連続した関係式を生成する関数生成装
置と、前記相対距離を指令する焦点位置指令を入力し、
前記相対距離が前記焦点位置指令の値となるようにノズ
ルを駆動する倣い制御部とを備え、前記倣い制御部は前
記倣いセンサが出力するデータが前記焦点位置指令の値
に対応して前記関数生成装置が出力する倣いデータ比較
値と同一となるように前記駆動装置を動作させる制御装
置とを備えたレーザ加工機である。

【０００９】

【作用】請求項１に係わる本発明において、駆動装置に
よりレーザ加工機のレーザ光を出力するノズルを移動さ
せたとき、駆動装置がノズルを移動させるデータから倣
いセンサデータ解析部がレーザの焦点位置とワークとの
相対距離を算出し、その相対距離における倣いセンサの
出力データを倣いデータ比較値として相対距離に対応し
て倣いデータテーブルに記録させることにより、倣いデ
ータテーブルを自動的に生成する。倣い制御部は焦点位
置指令を入力し、その指令する焦点位置に対応する倣い
データ比較値を前記倣いデータテーブルから読み込み、
倣いセンサが出力する倣いセンサデータが読み出した倣
いデータ比較値と同じになるようにノズルを駆動する。

【００１０】また、請求項３に係わる本発明において、
駆動装置によりレーザ加工機のレーザ光を出力するノズ
ルを移動させたとき、駆動装置がノズルを移動させるデ
ータから倣いセンサデータ解析部がレーザの焦点位置と
ワークとの相対距離を算出し、その相対距離における倣
いセンサの出力データを倣いデータ比較値として相対距
離に対応して倣いデータテーブルに記録させることによ
り、倣いデータテーブルを自動的に生成する。関数生成
装置は倣いデータテーブルに記憶された相対距離と倣い
データ比較値との離散的なデータを回帰計算して、相対
距離と倣いデータ比較値との連続的な関係式を生成す
る。倣い制御部は焦点位置指令を入力し、その指令する
焦点位置に対応する倣いデータ比較値を前記関数生成装
置により算出して求め、倣いセンサが出力する倣いセン
サデータが算出した倣いデータ比較値と同じになるよう
にノズルを駆動する。

【００１１】

【実施例】

（実施例１）以下、本発明のレーザ加工機の一実施例に
ついて図面を参照しながら説明する。

【００１２】図１は本実施例におけるレーザ加工装置の
構成を示す模式図である。なお、図８に示した従来例と
同じ構成要素には同一番号を付与して詳細な説明を省略
する。本実施例が図８に示した従来例と異なる点は、倣
いセンサオフセット調整装置７を廃止し、倣いセンサデ
ータ解析部１１を設け、ノズルを実際に移動させ、その
場合の焦点位置に対応して出力される倣いセンサデータ
から倣いデータテーブルを自動的に生成するようにした
ことにある。倣いセンサデータ解析部１１は、垂直方向
駆動装置５が移動させるノズルの座標を読み込み、レー
ザ焦点位置とワークとの相対距離を算出する。

【００１３】上記構成においてその動作を説明する。図
２は本実施例における倣いデータテーブル生成の動作を
示すフローチャートである。まず、ステップ１におい
て、垂直駆動装置５によりレーザ光３がワーク４の表面
上で焦点を結ぶ位置にノズル１を移動させる。つぎにス
テップ２において、この状態を焦点位置とワーク４との
相対距離が０の位置とし、倣いセンサデータ解析部１１
はこのときのノズル１の座標データを垂直駆動装置５か
ら読み取って記憶するとともに、そのときの倣いセンサ
６の出力データを前記相対距離がゼロに対応する倣いデ
ータ比較値として倣いデータテーブル８に記録する。つ
ぎに、ステップ３において、ノズル１を微小距離、たと
えば０．１だけ上昇させる。倣いセンサデータ解析部１
１は、そのときのノズル１の座標データを垂直方向駆動
装置５から読み取って、先に記憶したノズル１の座標デ
ータと今回の座標データとから焦点位置とワーク４との
相対距離を算出し、倣いセンサ６のデータとともに倣い
データテーブル８に記録する。

【００１４】以上の操作を倣いセンサ６の有効範囲まで
繰り返し実行して、相対距離と倣いデータ比較値との関
係を与える倣いデータテーブル８を自動的に作成するこ
とができる。図３はこのようにして作成した倣いデータ
テーブル８の構成を示す模式図である。また、図４は作
成された倣いデータテーブル８における倣いセンサのデ
ータと、ワーク４と焦点位置との相対距離との関係を示
す特性図であって、×印が相対位置と倣いセンサデータ
比較値との関係を示す点である。以上の説明からわかる
ように、倣いデータテーブルは相対位置と倣いセンサデ
ータ比較値との関係を離散的なデータにより記憶してい
るものであるから、倣いデータテーブルを作成するとき
にノズル１を移動させるステップの移動量を細かく設定
するほど、詳細な倣いデータテーブルを生成できること
は言うまでもない。

【００１５】つぎに倣い制御部１０の倣い制御について
説明する。プログラムの指令によりレーザの焦点の位置
をワーク４の表面からの距離で指令するとき、焦点位置
指令９にその値が設定される。その値を倣い制御部１０
が読み込み、倣いデータテーブル８の焦点位置からの相
対距離のデータから同じ値を検索し、対応する倣いセン
サデータを倣いセンサデータ比較値として読み込む。倣
い制御部１０は倣いセンサ６のデータが前記倣いセンサ
データ比較値と同じ値になるように垂直方向駆動装置に
指令を与えることによりワーク４の高さが変化しても常
に焦点位置指令９の指令した焦点位置にノズルが移動す
る。

【００１６】以上のように本実施例のレーザ加工機によ
れば、倣いセンサデータ解析部によりノズルの移動座標
から焦点位置とワークとの相対距離を算出し、その相対
距離に対応する倣いセンサの出力データを倣いセンサデ
ータ比較値として倣いデータテーブルに記憶することに
より、倣いデータテーブルを実態に基づいて自動的に生
成できるので、正確な焦点位置制御ができるようにな
る。

【００１７】（実施例２）以下、請求項２に係わる本発
明の一実施例について図面を参照しながら説明する。な
お、本実施例の構成は実施例１における図１と同じにな
る。また、倣いデータテーブル８の作成動作も実施例１
と同じである。本実施例が実施例１と異なる点は、倣い
制御部１０の倣い制御動作にある。

【００１８】実施例１においては、任意の焦点位置指令
に対して倣い制御ができるためには、倣いデータテーブ
ルは焦点位置指令のどのような値に対しても倣いセンサ
データ比較値を備えている必要があり、データ数が膨大
になる。本実施例はこの課題を解決する手段であって、
データ数が少なくてもよい手段である。

【００１９】以下、本実施例における倣い制御の動作に
ついて説明する。プログラムの指令によりレーザの焦点
位置をワーク４の表面からの相対距離で指令するとき、
焦点位置指令９にその値が設定される。倣い制御部１０
はその焦点位置指令９の値を読み込み、倣いデータテー
ブル８から焦点位置指令９の値に対応する倣いセンサデ
ータを倣いセンサデータ比較値として読み込む。また、
焦点位置指令９の値と同じ値が倣いデータテーブル８に
存在しない場合、倣い制御部１０は焦点位置指令９の値
の前後のデータを直線補間して対応する倣いセンサデー
タ比較値を算出する。図４における○印が補間により算
出した相対距離と倣いセンサデータ比較値との関係を示
す点である。倣い制御部１０は倣いセンサ６のデータが
前記倣いセンサデータ比較値と同じ値になるように垂直
方向駆動装置に指令を与えることによりワーク４の高さ
が変化しても常に焦点位置指令９の指令した焦点位置に
ノズルが移動する。

【００２０】以上のように本実施例のレーザ加工機によ
れば、倣いデータテーブルの離散的なデータを補間する
ことにより、倣いデータテーブルのデータ数を少なくし
ても任意の焦点位置指令に対して倣い制御を実行するこ
とができる。

【００２１】（実施例３）以下、請求項３および請求項
４に係わる本発明のレーザ加工機の一実施例について図
面を参照しながら説明する。図５は本実施例の構成を示
す模式図である。なお、図１と同じ構成要素には同一番
号を付与して詳細な説明を省略する。また、倣いデータ
テーブル８の作成方法も実施例１と同じである。本実施
例が実施例１と異なる点は、関数生成装置１２を備えた
ことにある。関数生成装置１２は倣いデータテーブル８
のデータに基づいて倣いデータ比較値を発生する関数を
生成する。

【００２２】実施例２においては、任意の焦点位置指令
に対応するために、倣いデータテーブル８の離散的デー
タを補間することにより対応した。しかし、倣いデータ
テーブルを作成するときの計測上の誤差を含んでいる場
合があり、相対距離に対応して滑らかな曲線を描く倣い
データ比較値を与えない場合がある。このような場合に
は、補間した倣いセンサデータ比較値はその影響を含ん
だものとなり、好ましい倣い制御ができない。本実施例
はこの課題を解決する手段であって、倣いデータテーブ
ルの離散的データから回帰計算により滑らかに連続した
関係式を生成し、その関係式により相対距離に対する倣
いセンサデータ比較値を算出する手段である。

【００２３】上記構成においてその動作を説明する。図
６は本実施例における関数生成の動作を示すフローチャ
ートである。倣いセンサデータ解析部１１は、実施例１
と同様に、ステップ１ないしステップ４により倣いデー
タテーブル８を作成する。つぎに、関数生成装置１２は
作成された倣いデータテーブル８の離散的データを指数
関数で回帰計算を行い、求めた関数を記憶しておく。図
７は上記の動作により生成された関数を特性図で示す。
つぎに、プログラムの指令によりレーザの焦点位置をワ
ーク４の表面からの距離で指令すると、焦点位置指令９
にその値が設定される。その値を倣い制御部１０が読み
込み、関数生成装置１２に記憶してある関数を用いて、
焦点位置指令９に対応する倣いセンサデータ比較値を求
める。倣い制御部１０は倣いセンサ６のデータが前記倣
いセンサデータ比較値と同じ値になるように垂直方向駆
動装置に指令を与えることによりワーク４の高さが変化
しても常に焦点位置指令９の指令した焦点位置にノズル
が移動する。

【００２４】以上のように本実施例によれば、関数生成
装置１２により倣いデータテーブルの離散的データを回
帰計算して相対距離と倣いセンサデータ比較値との関係
を連続した関数により与え、その関数により焦点位置指
令に対応する倣いセンサデータ比較値を求めて制御する
ようにしたことにより、倣いデータテーブルのデータ数
が少なく、かつデータに測定誤差などによるばらつきが
あっても高精度に制御を行うことができる。また、生成
した関数により、倣いセンサデータテーブルの範囲外の
相対位置に対する倣いセンサデータ比較値を求めること
も可能となる。

【００２５】なお、倣いセンサ６が接触型である場合に
は、相対距離と倣いセンサデータ比較値との関係が直線
になることがわかっており、この場合には関数生成装置
は直線により回帰計算を行うようにしてよい。

【００２６】なお、上記各実施例において、相対距離は
焦点位置がワークの表面にある場合をゼロとして、表面
から離れた範囲、すなわち相対距離が正の範囲について
倣いデータテーブルを作成する場合について説明した
が、相対距離が負の範囲、すなわち焦点位置がワークの
表面よりも内部に至る範囲にまで拡張して倣いテーブル
を生成してもよいことは言うまでもなく、この場合には
焦点位置指令が負の相対距離を指定した場合にも対応で
きる。

【００２７】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、請求項
１に係わる本発明は、レーザ光を出力するノズルと、前
記ノズルを前記レーザ光の照射方向前後に移動させる駆
動装置と、前記ノズルに固定され、前記レーザ光を照射
されるワークとの相対距離に対応したデータを出力する
倣いセンサと、前記駆動装置の駆動データに基づいて前
記レーザ焦点位置と前記ワークとの相対距離を算出する
倣いセンサデータ解析部と、前記相対距離における前記
倣いセンサのデータを倣いデータ比較値として相対距離
に対応して記憶する倣いデータテーブルと、前記相対距
離を指令する焦点位置指令を入力し、前記相対距離が前
記焦点位置指令の値となるようにノズルを駆動する倣い
制御部とを備え、前記倣い制御部は前記倣いセンサが出
力するデータが前記焦点位置指令の値に対応する前記倣
いデータテーブルの倣いデータ比較値と同一となるよう
に前記駆動装置を動作させる制御装置とを備えたことに
より、実際の動作に合致した正確な倣いデータテーブル
を自動的に生成できるとともに、オフセット調整などの
操作も不要となる。

【００２８】また、請求項３に係わる本発明は、レーザ
光を出力するノズルと、前記ノズルを前記レーザ光の照
射方向前後に移動させる駆動装置と、前記ノズルに固定
され、前記レーザ光を照射されるワークとの相対距離に
対応したデータを出力する倣いセンサと、前記駆動装置
の駆動データに基づいて前記レーザ焦点位置と前記ワー
クとの相対距離を算出する倣いセンサデータ解析部と、
前記相対距離における前記倣いセンサのデータを倣いデ
ータ比較値として相対距離に対応して記憶する倣いデー
タテーブルと、前記倣いデータテーブルの離散的なデー
タに基づいて相対距離と倣いデータ比較値との連続した
関係式を生成する関数生成装置と、前記相対距離を指令
する焦点位置指令を入力し、前記相対距離が前記焦点位
置指令の値となるようにノズルを駆動する倣い制御部と
を備え、前記倣い制御部は前記倣いセンサが出力するデ
ータが前記焦点位置指令の値に対応して前記関数生成装
置が出力する倣いデータ比較値と同一となるように前記
駆動装置を動作させる制御装置とを備えたことにより、
実際の動作に合致した正確な倣いデータテーブルを自動
的に生成でき、オフセット調整などの操作も不要となる
とともに、倣いデータのばらつきの影響を低減でき、ま
た、離散的な倣いデータテーブルのデータ数を少なくし
ながら任意の焦点位置指令に対応して倣い制御を実行で
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】請求項１に係わる本発明の一実施例の構成を示
す模式図

【図２】同実施例における倣いデータテーブル生成の動
作を示すフローチャート

【図３】同実施例において生成された倣いデータテーブ
ルの構成を示す模式図

【図４】同実施例において生成された倣いデータテーブ
ルにおける相対位置と倣いセンサデータ比較値との関係
を示す特性図

【図５】請求項３に係わる本発明の一実施例の構成を示
す模式図

【図６】同実施例における関数生成動作を示すフローチ
ャート

【図７】同実施例において生成された関数を示す特性図

【図８】従来のレーザ加工機の構成を示す模式図

【図９】従来例における相対距離と倣いセンサデータ比
較値との関係を示す特性図

【符号の説明】

１ ノズル ３ レーザ光 ４ ワーク ５ 垂直方向駆動装置（駆動装置） ６ 倣いセンサ ８ 倣いデータテーブル ９ 焦点位置指令 １０ 倣い制御部 １１ 倣いセンサデータ解析部 １２ 関数生成装置

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 レーザ光を出力するノズルと、前記ノズ
   ルを前記レーザ光の照射方向前後に移動させる駆動装置
   と、前記ノズルに固定され、前記レーザ光を照射される
   ワークとの相対距離に対応したデータを出力する倣いセ
   ンサと、前記駆動装置の駆動データに基づいて前記レー
   ザ焦点位置と前記ワークとの相対距離を算出する倣いセ
   ンサデータ解析部と、前記相対距離における前記倣いセ
   ンサのデータを倣いデータ比較値として相対距離に対応
   して記憶する倣いデータテーブルと、前記相対距離を指
   令する焦点位置指令を入力し、前記相対距離が前記焦点
   位置指令の値となるようにノズルを駆動する倣い制御部
   とを備え、前記倣い制御部は前記倣いセンサが出力する
   データが前記焦点位置指令の値に対応する前記倣いデー
   タテーブルの倣いデータ比較値と同一となるように前記
   駆動装置を動作させる制御装置とを備えたレーザ加工
   機。
2. 【請求項２】 倣いデータテーブルが相対距離と倣いセ
   ンサのデータとを離散的に記憶し、焦点位置指令が指令
   する焦点位置の値が倣いデータテーブルに無い場合、倣
   い制御部は倣いデータテーブルにおいて焦点位置指令が
   指令する値の前後の相対位置に対応する倣いデータ比較
   値を補間し、その補間値に基づいてノズルを駆動するよ
   うにした請求項１記載のレーザ加工機。
3. 【請求項３】 レーザ光を出力するノズルと、前記ノズ
   ルを前記レーザ光の照射方向前後に移動させる駆動装置
   と、前記ノズルに固定され、前記レーザ光を照射される
   ワークとの相対距離に対応したデータを出力する倣いセ
   ンサと、前記駆動装置の駆動データに基づいて前記レー
   ザ焦点位置と前記ワークとの相対距離を算出する倣いセ
   ンサデータ解析部と、前記相対距離における前記倣いセ
   ンサのデータを倣いデータ比較値として相対距離に対応
   して記憶する倣いデータテーブルと、前記倣いデータテ
   ーブルの離散的なデータに基づいて相対距離と倣いデー
   タ比較値との連続した関係式を生成する関数生成装置
   と、前記相対距離を指令する焦点位置指令を入力し、前
   記相対距離が前記焦点位置指令の値となるようにノズル
   を駆動する倣い制御部とを備え、前記倣い制御部は前記
   倣いセンサが出力するデータが前記焦点位置指令の値に
   対応して前記関数生成装置が出力する倣いデータ比較値
   と同一となるように前記駆動装置を動作させる制御装置
   とを備えたレーザ加工機。
4. 【請求項４】 倣いデータテーブルに記憶した離散的デ
   ータを回帰計算して相対距離と倣いデータ比較値との関
   係を指数関数により与える関数生成装置を備えた請求項
   ３記載のレーザ加工機。
5. 【請求項５】 倣いセンサが接触型であるとき、倣いデ
   ータテーブルの離散的データを回帰計算して相対位置と
   倣いデータ比較値との関係を直線関数により与える関数
   生成装置を備えた請求項４記載のレーザ加工機。
6. 【請求項６】 相対距離が負、すなわち、焦点位置がワ
   ークの表面よりも内部に至る範囲まで倣いセンサテーブ
   ルを生成するようにした請求項１ないし請求項５のいづ
   れかに記載のレーザ加工機。