JPH0714907A - 可搬式密閉コンテナ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 蓋内部で発生する塵埃等のコンテナ本体内へ
の侵入を防止するとこができる密閉コンテナを提供する
ことを目的とする。 【構成】 コンテナ本体１０と、このコンテナ本体の開
口部を気密に閉鎖可能な蓋２０とを備え、当該蓋２０側
からコンテナ本体１０へ進退して係合・離脱するラッチ
棒２４により蓋２０をコンテナ本体１０に固定する可搬
式密閉コンテナにおいて、蓋２０に形成されたラッチ棒
進退用窓２３と当該ラッチ棒２４との間に、シール機構
が介在していることを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウエハ、液晶表
示板、レチクル、ディスク類を製造するシステムに用い
られる可搬式の密閉コンテナに関する。

【０００２】

【従来の技術】図７はこの種のシステムの１例を示した
もので、１は半導体ウエハの表面処理を行なう表面処理
炉を内蔵した表面処理装置、２はウエハ検査装置、３は
自走式の移載ロボット、４はウエハ保管庫、５はウエハ
洗浄装置、６はスタッカークレーン、７はリニアモータ
式の搬送装置、８はウエハを段々に複数枚載置可能なウ
エハカセット９（図９に示す）を収納した可搬式の密閉
コンテナである。

【０００３】このウエハカセット９のシステム内（クリ
ーンルーム）での搬送や保管は、半導体ウエハへの塵埃
の付着を防ぐために、ウエハカセット９を上記密閉コン
テナ８（図８に示す）に収納して行なう。

【０００４】図７〜図９において、８は底蓋型の可搬式
密閉コンテナ、Ｗはウエハである。１０は密閉コンテナ
８のコンテナ本体であって、開口１２にフランジ１３が
形成されている。２０は中空の底蓋であって、上面はカ
セット載置部２１となっており、内部には、図１０に示
すような施錠・解錠機構を内蔵し、この施錠・解錠機構
は側壁２２のラッチ棒進退用窓２３からロッド（この例
では、板状のラッチ棒）２４をコンテナ本体１０のフラ
ンジ１３の内周面に形成された凹部１４へ進退させて施
錠・解錠する。底蓋２０は上記施錠時、フランジ１３の
底にシール材１５を介して圧接し、コンテナ本体１０内
を外気に対して気密に遮断する。１６は把手である。な
お、底蓋２０の底の周部には、偏平な脚部２１Ｂが形成
されている。

【０００５】図１０において、板状のラッチ棒２４は転
動子２４ａを有し、長手方向進退可能かつ傾動可能に片
持ち支持されている。２５は転動子２４ａが転動するカ
ム面２５ａを有するカム（図１３に拡大斜視図で示
す）、２６は支点部材、２７はばねである。カム軸２８
は後述する昇降台３１の上壁中央から底蓋２０内に伸
び、昇降台３１上に底蓋２０が同心に載置された時に、
カム２５とスプライン係合する。昇降台３１はカム軸２
８を所定角度だけ回動するカム軸駆動機構２９を内蔵し
ている。

【０００６】図１０は、施錠時の状態を示しているが、
図１１および図１２に当該施錠時と解錠時の状態をそれ
ぞれ拡大して示す。

【０００７】ところで、従来は、ウエハＷのパーティク
ル汚染が問題になっていたが、半導体集積回路の高密度
化が進むに従い、空気中の酸素によるウエハ表面の自然
酸化膜や空気中の有機ガスの影響が問題となり始め、こ
の自然酸化膜の成長や有機ガス汚染を防止するため、ウ
エハＷの移動、搬送、処理等を不活性なガス（Ｎ₂ ガ
ス、ドライ空気）雰囲気中で行なう必要が生じ、現在で
は、Ｏ₂ またはＨ₂ Ｏあるいは必要な場合両方の濃度が
１０ｐｐｍ以下であるＮ₂ ガス雰囲気が要求されてい
る。

【０００８】そこで、表面処理装置１やウエハ保管庫４
等に、図１４に示すように、ガスパージ機構（ガスパー
ジステーション）を設けて上記要求に応えるようにして
いる。

【０００９】図１４において、１Ａは表面処理装置１の
本体ケースの上記壁の適所に設けられたポート、３０は
昇降装置、３１は昇降装置３０の昇降台であって、ポー
ト１Ａの開口部３２を気密に閉鎖するポートドアを兼ね
ている。３３はシール材である。３４はポート１Ａに形
成された給気路であって、一端は開口部３２の内周面に
開口し、他端は管路３５を介し図示しない不活性ガスボ
ンベに接続されている。３６はポート１Ａに形成された
排気路であって、一端は開口部３２の内周面に開口し、
他端は表面処理装置１外へ伸びる管路３７に接続されて
いる。３８、３９は開閉弁である。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】上記した密閉コンテナ
８の底蓋２０は内部空間Ａを持つ中空体であって、ラッ
チ棒２４が進退する窓２３を通してコンテナ本体１０内
に連通しているから、コンテナ８の上記ガスパージ時、
極微量ではあるが、底蓋２０内に存在してた塵埃、例え
ば、相互に係合する転動子・カム等の駆動部分から発生
した埃等がコンテナ本体１０内へ移動し、パーティクル
汚染を引き起こすという問題があった。

【００１１】本発明はこの問題を解消するためになされ
たもので、蓋内部で発生する塵埃等のコンテナ本体内へ
の侵入を防止するとこができる密閉コンテナを提供する
ことを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため、請求項１では、コンテナ本体と、このコンテ
ナ本体の開口部を気密に閉鎖可能な蓋とを備え、当該蓋
側から上記コンテナ本体へ進退して係合・離脱するラッ
チ棒により上記蓋を上記コンテナ本体に固定する可搬式
密閉コンテナにおいて、上記蓋に形成されたラッチ棒進
退用窓と当該ラッチ棒との間に、シール機構を介在させ
る構成とした。

【００１３】請求項２では、上記シール機構は、ラッチ
棒進退用窓と当該ラッチ棒とにわたって装着されたベロ
ーズ体により構成した。

【００１４】請求項３では、上記ベローズ体を設ける場
合に、蓋に、フィルタ付き窓を設けるようにした。

【００１５】請求項４では、上記シール機構は、ラッチ
棒進退用窓を蓋内部側から覆いラッチ棒が遊貫する孔を
有する袋状体と、上記ラッチ棒に固定され退避時に前記
孔を気密に閉鎖する弁状部材からなる構成とした。

【００１６】

【作用】本発明では、蓋のラッチ棒進退用窓の内部側と
外部側（コンテナ本体側）とが、シール機構により遮断
される。

【００１７】

【実施例】以下、本発明の１実施例を図面を参照して説
明する。

【００１８】図１、図２および図３において、５０はベ
ローズ体であって、図４に示すように、一端側にフラン
ジ５０ａ付きの角筒部５０Ａを有し、このフランジａを
窓２３の四周に形成した筒状嵌合部２３ａに嵌合して底
蓋２０に固定し角筒部５０Ａに連続するベローズ部５０
Ｂの端縁部５０Ｃをラッチ棒２４に外嵌固着してあり、
このベローズ体５０で、窓２３を閉鎖している。５１は
底蓋２０に形成した呼吸用窓であって、高性能フィルタ
５２で覆ってある。この呼吸用窓５１は、ラッチ棒２３
進退時に底蓋２０内部が呼吸し得るようにするために設
けてある。

【００１９】本実施例では、底蓋２０の窓２３の内部側
と外部側とが、常時、ベローズ体５０で気密に遮断され
ているから、底蓋２０内で発生した塵埃等がコンテナ本
体１０内へ移動する恐れは皆無である。

【００２０】図５及び図６は本発明の他の実施例を示し
たもので、６０は窓２３を底蓋内部側から覆う袋状体で
あって、本例では、ゴム等の弾性体からなり、底蓋２０
の内側に固定されており、窓２３の内周に嵌着されてい
る開口部６０Ａと対向する底壁６０Ｂ側には、孔６１が
形成されている。この孔６１はラッチ棒２４が遊貫可能
な大きさを有し、その内周面部はテーパ面に形成され弁
部材６２が離着座する座６１Ａとなっている。弁部材６
２はラッチ棒２４の先端から所定距離の位置に外嵌・固
着されている。

【００２１】本実施例においては、底蓋２０の閉時、す
なわち、ラッチ棒２３が底蓋２０の孔に係合している時
は、図５に示すように、底蓋２０内部は、孔６１、窓２
３を通してコンテナ本体１０内に連通するが、底蓋２０
の開時、すなわち、ラッチ棒２３の退避時には、図６に
示すように、弁部材６２が孔６１の座６１Ａに着座し、
底蓋２０の内部を外部に対して気密に遮断する。

【００２２】従って、底蓋２０を開いて前記ガスパージ
を行なっても、底蓋２０内で発生した塵埃等がコンテナ
本体１０内へ移動する恐れは無い。

【００２３】

【発明の効果】本発明は以上説明した通り、蓋に形成さ
れたラッチ棒進退用窓と当該ラッチ棒との間に、シール
機構を介在させたので、蓋内部に塵埃が発生していて
も、この塵埃ががコンテナ本体内部へ移動することはな
く、パーティクル汚染を完全に防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例の要部を示す底蓋開時の
縦断面図である。

【図２】本発明の第１の実施例の要部を示す底蓋閉時の
縦断面図である。

【図３】上記実施例における底蓋の側壁を示す部分図で
ある。

【図４】上記実施例におけるベローズ体を示す斜視図で
ある。

【図５】本発明の第２の実施例の要部を示す底蓋開時の
縦断面図である。

【図６】本発明の第２の実施例の要部を示す底蓋閉時の
縦断面図である。

【図７】半導体製造システムに１例を示す図である。

【図８】従来の可搬式密閉コンテナの外観図である。

【図９】従来の可搬式密閉コンテナの縦断面である。

【図１０】従来の可搬式密閉コンテナの施錠／解錠機構
を説明するための図である。

【図１１】上記従来例における要部を示す底蓋開時の縦
断面図である。

【図１２】上記従来例における要部を示す底蓋閉時の縦
断面図である。

【図１３】上記施錠／解錠機構のカムのカム面を示す図
である。

【図１４】従来の可搬式密閉コンテナのガスパージ機構
を説明するための図である。

【符号の説明】

８ 可搬式密閉コンテナ １０ コンテナ本体 ２０ 底蓋 ２３ ラッチ棒進退用窓 ２４ ラッチ棒 ５０ ベローズ体 ５１ フィルタ５２付窓 ６０ 袋状体 ６１ 孔 ６１Ａ 座 ６２ 弁状体

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 森田 日也 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢製作所内 (72)発明者 河野 等 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢製作所内

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 コンテナ本体と、このコンテナ本体の開
   口部を気密に閉鎖可能な蓋とを備え、当該蓋側から上記
   コンテナ本体へ進退して係合・離脱するラッチ棒により
   上記蓋を上記コンテナ本体に固定する可搬式密閉コンテ
   ナにおいて、 上記蓋に形成されたラッチ棒進退用窓と当該ラッチ棒と
   の間に、シール機構が介在していることを特徴とする可
   搬式密閉コンテナ。
2. 【請求項２】 シール機構は、ラッチ棒進退用窓と当該
   ラッチ棒とにわたって装着されたベローズ体であること
   を特徴とする請求項１記載の可搬式密閉コンテナ。
3. 【請求項３】 蓋に、フィルタ付き窓を設けたことを特
   徴とする請求項２記載の可搬式密閉コンテナ。
4. 【請求項４】 シール機構は、ラッチ棒進退用窓を蓋内
   部側から覆いラッチ棒が遊貫する孔を有する袋状体と、
   上記ラッチ棒に固定され退避時に前記孔を気密に閉鎖す
   る弁状部材からなることを特徴とする請求項１記載の可
   搬式密閉コンテ