JPH0714960Y2 - Ｘ線分光器 - Google Patents
Ｘ線分光器Info
- Publication number
- JPH0714960Y2 JPH0714960Y2 JP1988011273U JP1127388U JPH0714960Y2 JP H0714960 Y2 JPH0714960 Y2 JP H0714960Y2 JP 1988011273 U JP1988011273 U JP 1988011273U JP 1127388 U JP1127388 U JP 1127388U JP H0714960 Y2 JPH0714960 Y2 JP H0714960Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- spectroscopic element
- spectroscopic
- drive
- slit
- ray emission
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 イ．産業上の利用分野 本考案は、結晶直進式のＸ線分光器に関する。
ロ．従来の技術 電子線マイクロアナライザ等に用いられる結晶直進式の
Ｘ線分光器は、使用する分光素子の種類（分光結晶或は
回折格子）及び曲率によって、入出射両スリット及び分
光結晶の位置関係が或る関係状態を維持するように機構
的に連結された構造となっており、曲率の異なる分光素
子を交換して使用することができない。短波長域のＸ線
分光には分光結晶を用いた比較的小さなローランド円径
の分光器が採用されるが、軽元素分析用の長波長域Ｘ線
分光器は分光素子として回折格子を用いた大ローランド
円径の装置であり、広い波長域を一台の分光器でカバー
することはできず、試料の周囲にローランド円径の異な
る複数のＸ線分光器を配置することが行われている。
Ｘ線分光器は、使用する分光素子の種類（分光結晶或は
回折格子）及び曲率によって、入出射両スリット及び分
光結晶の位置関係が或る関係状態を維持するように機構
的に連結された構造となっており、曲率の異なる分光素
子を交換して使用することができない。短波長域のＸ線
分光には分光結晶を用いた比較的小さなローランド円径
の分光器が採用されるが、軽元素分析用の長波長域Ｘ線
分光器は分光素子として回折格子を用いた大ローランド
円径の装置であり、広い波長域を一台の分光器でカバー
することはできず、試料の周囲にローランド円径の異な
る複数のＸ線分光器を配置することが行われている。
ハ．考案が解決しようとする課題 本考案は、一台の分光器で曲率の異なる分光素子を用い
た波長走査を可能にすることにより、一つのの装置でカ
バーできる波長範囲を拡大することを目的とする。
た波長走査を可能にすることにより、一つのの装置でカ
バーできる波長範囲を拡大することを目的とする。
ニ．課題を解決するための手段 Ｘ線分光器において、分光素子を直進させる分光素子駆
動装置と、分光器のＸ線出射スリットと検出器の一体物
をＸ軸方向およびＹ軸方向各独立に移動させるX,Y駆動
装置と、分光素子およびＸ線出射スリットの方向を規制
する規制手段と、ローランド円径の異なる複数の分光素
子を所定の回転軸を中心とする所定径上に配置し、これ
らを回転駆動することによってローランド円径の異なる
分光素子に交換するための交換手段と、交換された分光
素子の曲率に対応するローランド円上で検出波長に応じ
て前記分光素子、Ｘ線出射スリットと検出器の一体物の
位置、及び前記分光素子およびＸ線出射スリットの方向
を駆動制御するよう前記分光素子駆動装置、前記X,Y駆
動装置、及び前記規制手段に指示を与える駆動制御装置
とを備えたことを特徴とする。
動装置と、分光器のＸ線出射スリットと検出器の一体物
をＸ軸方向およびＹ軸方向各独立に移動させるX,Y駆動
装置と、分光素子およびＸ線出射スリットの方向を規制
する規制手段と、ローランド円径の異なる複数の分光素
子を所定の回転軸を中心とする所定径上に配置し、これ
らを回転駆動することによってローランド円径の異なる
分光素子に交換するための交換手段と、交換された分光
素子の曲率に対応するローランド円上で検出波長に応じ
て前記分光素子、Ｘ線出射スリットと検出器の一体物の
位置、及び前記分光素子およびＸ線出射スリットの方向
を駆動制御するよう前記分光素子駆動装置、前記X,Y駆
動装置、及び前記規制手段に指示を与える駆動制御装置
とを備えたことを特徴とする。
ホ．作用 分光素子の種類又は分光素子の曲率によって、分光素子
の波長駆動の機構を変更する必要があるが、本発明は、
励起線の検出方向に摺動可能で先端に分光素子の回転駆
動装置を備えた摺動装置によって分光素子の回転位置と
設置位置を制御するようにすると共に、出射スリットと
検出器を一体的に回転制御する回転駆動装置を任意の位
置にXY駆動装置で移動制御する装置を備え、分析に用い
る分光素子に基づいて、各波長位置に対応する分光素子
と検出器との配置をコンピユータで予め求めて記憶し、
その記憶されたデータによって波長走査を行おうとする
ものである。
の波長駆動の機構を変更する必要があるが、本発明は、
励起線の検出方向に摺動可能で先端に分光素子の回転駆
動装置を備えた摺動装置によって分光素子の回転位置と
設置位置を制御するようにすると共に、出射スリットと
検出器を一体的に回転制御する回転駆動装置を任意の位
置にXY駆動装置で移動制御する装置を備え、分析に用い
る分光素子に基づいて、各波長位置に対応する分光素子
と検出器との配置をコンピユータで予め求めて記憶し、
その記憶されたデータによって波長走査を行おうとする
ものである。
各波長位置に対応する分光素子と検出との配置に関して
は、関数計算による方法でも、波長位置に対応する各制
御要素の制御テーブルを作成しておく方法でもどちらで
も良い。対応テーブルを複数個用意しておくことで、夫
々の分光結晶に応じた波長走査を一台の駆動装置で行う
ことができるようになった。
は、関数計算による方法でも、波長位置に対応する各制
御要素の制御テーブルを作成しておく方法でもどちらで
も良い。対応テーブルを複数個用意しておくことで、夫
々の分光結晶に応じた波長走査を一台の駆動装置で行う
ことができるようになった。
ヘ．実施例 第１図に本考案の一実施例を示す。第１図において、Ｓ
は試料、１は分光素子で電子線で励起された試料Ｓから
放射されるＸ線を分光する。２は出口スリット、３はＸ
線検出器でスリット２を透過したＸ線を検出する。５は
分光素子１を矢印Ｌ方向（波長走査方向）に駆動するＬ
方向駆動装置である。M1はＬ方向駆動装置５を駆動する
パルスモータである。M2は分光素子１を分光素子の中心
を通り、分光素子表面に沿う中心線（分光中心）を軸と
して回転させるパルスモータである。６はスリット２と
検出器３を一体的に保持している保持台で、モータM5の
減速軸に取付けられており、モータM5によって入射方向
を制御される。モータM5はＹ駆動軸７にＹ方向に移動可
能に保持された台６上に取付けられており、モータM4に
よってＹ軸方向に駆動される。Ｙ駆動軸７は両端を夫々
Ｘ駆動軸８に移動可能に連結されている。Ｘ駆動軸８は
モータM3と連結しモータM3の回転によってＹ駆動軸７を
Ｘ方向に移動させる。上記駆動軸はネジ軸であり連結部
のメネジと螺着連結しており、駆動軸の回転によって連
結部が駆動軸に沿って移動する構造である。また、Ｘ駆
動軸８はＹ駆動軸７と垂直に２本設けられてあり、２本
のＸ駆動軸８はタイミングベルト（不図示）で同時に同
方向に回転するように連結するか、モータM3で回転され
る駆動軸の連結部をネジ連結とし他方の駆動軸との連結
を摺動可能な嵌合連結とし、どちらか一方の連結部を軸
方向に長めの連結にすることにより、Ｙ軸駆動軸７をＸ
方向に駆動する際にＹ駆動軸７の軸方向がＹ方向からず
れて、駆動歪みが発生しないような構造とする。即ち、
分光素子１はモータM1によってＬ方向に、M2によって入
射角θ１を制御され、スリット２と検出器３はモータM3
によってＸ方向に、モータM4によってＹ方向に駆動され
て、図の紙面内で任意の軌道を画かせることができ、モ
ータM5によって検出方向を制御されるから、任意の位置
で任意の検出方向に設定が可能となっている。制御装置
４は分光素子１の種類によって分光素子の各波長位置に
対応する分光素子の向きおよびスリット２の位置と向き
を与える各モータM1〜M5の回転量をテーブルにして記憶
し、分光素子１の種類の入力によって、波長位置に対応
する各モータM1〜M5の回転位置をテーブルから読み取
り、波長走査による波長位置にスリット，分光素子，検
出器が位置するように各モータM1〜M5の制御を行う。
は試料、１は分光素子で電子線で励起された試料Ｓから
放射されるＸ線を分光する。２は出口スリット、３はＸ
線検出器でスリット２を透過したＸ線を検出する。５は
分光素子１を矢印Ｌ方向（波長走査方向）に駆動するＬ
方向駆動装置である。M1はＬ方向駆動装置５を駆動する
パルスモータである。M2は分光素子１を分光素子の中心
を通り、分光素子表面に沿う中心線（分光中心）を軸と
して回転させるパルスモータである。６はスリット２と
検出器３を一体的に保持している保持台で、モータM5の
減速軸に取付けられており、モータM5によって入射方向
を制御される。モータM5はＹ駆動軸７にＹ方向に移動可
能に保持された台６上に取付けられており、モータM4に
よってＹ軸方向に駆動される。Ｙ駆動軸７は両端を夫々
Ｘ駆動軸８に移動可能に連結されている。Ｘ駆動軸８は
モータM3と連結しモータM3の回転によってＹ駆動軸７を
Ｘ方向に移動させる。上記駆動軸はネジ軸であり連結部
のメネジと螺着連結しており、駆動軸の回転によって連
結部が駆動軸に沿って移動する構造である。また、Ｘ駆
動軸８はＹ駆動軸７と垂直に２本設けられてあり、２本
のＸ駆動軸８はタイミングベルト（不図示）で同時に同
方向に回転するように連結するか、モータM3で回転され
る駆動軸の連結部をネジ連結とし他方の駆動軸との連結
を摺動可能な嵌合連結とし、どちらか一方の連結部を軸
方向に長めの連結にすることにより、Ｙ軸駆動軸７をＸ
方向に駆動する際にＹ駆動軸７の軸方向がＹ方向からず
れて、駆動歪みが発生しないような構造とする。即ち、
分光素子１はモータM1によってＬ方向に、M2によって入
射角θ１を制御され、スリット２と検出器３はモータM3
によってＸ方向に、モータM4によってＹ方向に駆動され
て、図の紙面内で任意の軌道を画かせることができ、モ
ータM5によって検出方向を制御されるから、任意の位置
で任意の検出方向に設定が可能となっている。制御装置
４は分光素子１の種類によって分光素子の各波長位置に
対応する分光素子の向きおよびスリット２の位置と向き
を与える各モータM1〜M5の回転量をテーブルにして記憶
し、分光素子１の種類の入力によって、波長位置に対応
する各モータM1〜M5の回転位置をテーブルから読み取
り、波長走査による波長位置にスリット，分光素子，検
出器が位置するように各モータM1〜M5の制御を行う。
試料Ｓから放射されるＸ線を分光結晶で分光する場合、
第３図に示すように電子線照射点Ｏと分光結晶１の分光
中心Ｑと出射スリット２中心点Ｋと分光結晶１の曲率中
心Ｏ″が一つの円周（ローランド円Ｒ）上に位置するよ
うに、また入射角と出射角が同値になるようにして分光
素子１とスリット２（検出器３を含む）を移動させなけ
ればならない。このような配置状態を維持するよう、各
モータM1〜M5を制御しなければならない。そこで波長位
置に対する分光素子１とスリット２の位置を次のように
して予め求めて波長対応テーブルを作成しておく。
第３図に示すように電子線照射点Ｏと分光結晶１の分光
中心Ｑと出射スリット２中心点Ｋと分光結晶１の曲率中
心Ｏ″が一つの円周（ローランド円Ｒ）上に位置するよ
うに、また入射角と出射角が同値になるようにして分光
素子１とスリット２（検出器３を含む）を移動させなけ
ればならない。このような配置状態を維持するよう、各
モータM1〜M5を制御しなければならない。そこで波長位
置に対する分光素子１とスリット２の位置を次のように
して予め求めて波長対応テーブルを作成しておく。
第３図において、照射点Ｏを中心として半径が分光素子
の曲率半径2Rを半径とする円Ｗを描く、放射角はＬ方向
に決まっているから、Ｌ方向に対して入射角θ１＝αの
角度でＯ点から線を引き、円Ｗとの交点Ｐを求め、OPを
直径とする円Ｒを引き、円Ｒと直線Ｌとの交点をＱと
し、∠OQK＝２αとなる線QKを引き円Ｒとの交点を点Ｋ
とすると、Ｑが分光素子１の分光中心となり、Ｋがスリ
ット２の中心となる。分光素子を直線Ｌに沿って動かし
たとき、このようにして決まるスリット２の位置の軌跡
は直線Ｌと45度の直線が円Ｗと交わる点ｄとＯ点を結ぶ
Ｃのようなカーブで、直線Ｌ上の分光結晶中心位置を表
す変数ｔ及び分光素子曲率半径2Rをパラメータとして、
ｘ＝ｆ（t,R）,y＝ｇ（t,R）の形で表される。ｆ
（ｔ）,g（ｔ）の数式的表現は複雑であるが、使用する
幾つかの分光素子の曲率について、ｔとx,yとの関係テ
ーブルは予め作っておくことができる。テーブル上ｔの
値は飛び飛びであるが、CPUに補間演算のプログラムを
設定しておくことにより、ｔの連続的な変化に対するx,
yを決定することができる。以上の方法によって分光素
子１とスリット２の位置関係を求める。
の曲率半径2Rを半径とする円Ｗを描く、放射角はＬ方向
に決まっているから、Ｌ方向に対して入射角θ１＝αの
角度でＯ点から線を引き、円Ｗとの交点Ｐを求め、OPを
直径とする円Ｒを引き、円Ｒと直線Ｌとの交点をＱと
し、∠OQK＝２αとなる線QKを引き円Ｒとの交点を点Ｋ
とすると、Ｑが分光素子１の分光中心となり、Ｋがスリ
ット２の中心となる。分光素子を直線Ｌに沿って動かし
たとき、このようにして決まるスリット２の位置の軌跡
は直線Ｌと45度の直線が円Ｗと交わる点ｄとＯ点を結ぶ
Ｃのようなカーブで、直線Ｌ上の分光結晶中心位置を表
す変数ｔ及び分光素子曲率半径2Rをパラメータとして、
ｘ＝ｆ（t,R）,y＝ｇ（t,R）の形で表される。ｆ
（ｔ）,g（ｔ）の数式的表現は複雑であるが、使用する
幾つかの分光素子の曲率について、ｔとx,yとの関係テ
ーブルは予め作っておくことができる。テーブル上ｔの
値は飛び飛びであるが、CPUに補間演算のプログラムを
設定しておくことにより、ｔの連続的な変化に対するx,
yを決定することができる。以上の方法によって分光素
子１とスリット２の位置関係を求める。
第２図は、分光素子をローランド円径の異なる他の分光
素子に交換する場合の一例であり、分光素子設置台10に
複数の分光素子1,1′を切換え用モータM6の回転軸に関
して対称に設置し、切換え用モータM6を取付けるモータ
保持台９を分光素子の分光中心が波長駆動モータM2の軸
中心と一致するように波長駆動モータM2に連結すると、
切換え用モータM6の回転によって夫々の分光素子の分光
中心を波長駆動モータM2の回転中心に設置できるように
なり、分光素子を取り替える手間を必要としなくなるの
で更に能率的である。
素子に交換する場合の一例であり、分光素子設置台10に
複数の分光素子1,1′を切換え用モータM6の回転軸に関
して対称に設置し、切換え用モータM6を取付けるモータ
保持台９を分光素子の分光中心が波長駆動モータM2の軸
中心と一致するように波長駆動モータM2に連結すると、
切換え用モータM6の回転によって夫々の分光素子の分光
中心を波長駆動モータM2の回転中心に設置できるように
なり、分光素子を取り替える手間を必要としなくなるの
で更に能率的である。
ト．考案の効果 従来、ローランド円径の異なる分光器を用いる場合、試
料の周囲にローランド円の異なる複数の分光器を配置す
る装置構成をとっていたので、一つの分光器についてみ
ると稼働率が低く、不経済であったが、本考案によれば
一つの分光器が異なるローランド円の分光器として使え
るので、稼働率が向上し、装置の価格対機能の値が著し
く向上する。
料の周囲にローランド円の異なる複数の分光器を配置す
る装置構成をとっていたので、一つの分光器についてみ
ると稼働率が低く、不経済であったが、本考案によれば
一つの分光器が異なるローランド円の分光器として使え
るので、稼働率が向上し、装置の価格対機能の値が著し
く向上する。
第１図は本考案の一実施例の構成図、第２図は第２実施
例の分光器駆動装置の構成図、第３図は分光素子と検出
器の配置説明図。 Ｓ……試料、M1〜M5……パルスモータ、１……分光素
子、２……スリット、３……検出器、４……制御装置、
５……Ｌ方向駆動装置、６……保持台、７……Ｙ駆動
軸、８……Ｘ駆動軸。
例の分光器駆動装置の構成図、第３図は分光素子と検出
器の配置説明図。 Ｓ……試料、M1〜M5……パルスモータ、１……分光素
子、２……スリット、３……検出器、４……制御装置、
５……Ｌ方向駆動装置、６……保持台、７……Ｙ駆動
軸、８……Ｘ駆動軸。
Claims (1)
- 【請求項１】分光素子を直進させる分光素子駆動装置
と、分光器のＸ線出射スリットと検出器の一体物をＸ軸
方向およびＹ軸方向各独立に移動させるＸ、Ｙ駆動装置
と、分光素子およびＸ線出射スリットの方向を規制する
規制手段と、ローランド円径の異なる複数の分光素子を
所定の回転軸を中心とする所定径上に配置し、これらを
回転駆動することによってローランド円径の異なる分光
素子に交換するための交換手段と、交換された分光素子
の曲率に対応するローランド円上で検出波長に応じて前
記分光素子、Ｘ線出射スリットと検出器の一体物の位
置、及び前記分光素子およびＸ線出射スリットの方向を
駆動制御するよう前記分光素子駆動装置、前記X,Y駆動
装置、及び前記規制手段に指示を与える駆動制御装置と
を備えたことを特徴とするＸ線分光器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988011273U JPH0714960Y2 (ja) | 1988-01-30 | 1988-01-30 | Ｘ線分光器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988011273U JPH0714960Y2 (ja) | 1988-01-30 | 1988-01-30 | Ｘ線分光器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01118398U JPH01118398U (ja) | 1989-08-10 |
| JPH0714960Y2 true JPH0714960Y2 (ja) | 1995-04-10 |
Family
ID=31219680
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988011273U Expired - Lifetime JPH0714960Y2 (ja) | 1988-01-30 | 1988-01-30 | Ｘ線分光器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0714960Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0320800Y2 (ja) * | 1988-02-12 | 1991-05-07 | ||
| FR2953944B1 (fr) * | 2009-12-11 | 2012-05-04 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif de positionnement relatif d'un premier module optique par rapport a un deuxieme module optique |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5838845A (ja) * | 1981-08-31 | 1983-03-07 | Shimadzu Corp | 彎曲結晶型ｘ線分光器 |
-
1988
- 1988-01-30 JP JP1988011273U patent/JPH0714960Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01118398U (ja) | 1989-08-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4027975A (en) | Scanning monochromator and concave reflecting grating employed therein | |
| JPH0714960Y2 (ja) | Ｘ線分光器 | |
| US4732476A (en) | Continuously rotating grating rapid-scan spectrophotometer | |
| JP3245475B2 (ja) | Ｅｘａｆｓ測定装置 | |
| JP2001033408A (ja) | Ｘ線分光器 | |
| JPH0666741A (ja) | Ｘ線回折装置 | |
| JPS5838845A (ja) | 彎曲結晶型ｘ線分光器 | |
| US3636347A (en) | Goniometric apparatus for an x-ray diffractometer | |
| JPS5957145A (ja) | Ｘ線分析装置 | |
| JP2951687B2 (ja) | エキザフス装置 | |
| JP3143293B2 (ja) | Ｘ線分析装置 | |
| JP2697154B2 (ja) | 原子吸光分光光度計 | |
| JPH0666736A (ja) | Ｘ線分光装置及びｅｘａｆｓ測定装置 | |
| JP2000193616A (ja) | 蛍光ｘ線分析装置 | |
| JP2861736B2 (ja) | Ｘ線分光器 | |
| JP2000258366A (ja) | 微小部ｘ線回折装置 | |
| JP3702846B2 (ja) | 分光光度計 | |
| JPS59221647A (ja) | Ｘ線分光器 | |
| JP3952330B2 (ja) | 分光器 | |
| JP3222720B2 (ja) | 波長分散型ｘ線検出装置 | |
| US3229568A (en) | Concave grating spectrometer | |
| JP2001272500A (ja) | Ｘ線光学要素の位置調整装置及びｘ線装置 | |
| JP2520576Y2 (ja) | 分析装置 | |
| RU57918U1 (ru) | Поворотный механизм для спектральных приборов | |
| JPH049248B2 (ja) |