JPS5838845A - 彎曲結晶型ｘ線分光器 - Google Patents
彎曲結晶型ｘ線分光器Info
- Publication number
- JPS5838845A JPS5838845A JP56137387A JP13738781A JPS5838845A JP S5838845 A JPS5838845 A JP S5838845A JP 56137387 A JP56137387 A JP 56137387A JP 13738781 A JP13738781 A JP 13738781A JP S5838845 A JPS5838845 A JP S5838845A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- crystal
- ray
- slit
- spectroscopic
- axis
- Prior art date
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- Granted
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/20—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
- G01N23/20008—Constructional details of analysers, e.g. characterised by X-ray source, detector or optical system; Accessories therefor; Preparing specimens therefor
- G01N23/20025—Sample holders or supports therefor
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は彎曲結晶を用いた分光結晶直進型のＸ線分光器
に関する。
に関する。
彎曲結晶型Ｘ線分光器は従来、Ｘ線入射スリットと分光
結晶とＸ線検出スリットの三者をローランド円の円周上
に位置するように相互に機構的に連結して王者連動的に
駆動する構造になっていた。
結晶とＸ線検出スリットの三者をローランド円の円周上
に位置するように相互に機構的に連結して王者連動的に
駆動する構造になっていた。
この構造によると機構に不可避の遊びと機構要素の剛性
からＸ線入射スリット、分光結晶、Ｘ線検出スリット王
者の位置関係の精度が決り充分な波長測定精度、波長分
解能を得ることが困難であった。特にローランド円の直
径を大きくすれば理論上の分解能が向上するのでローラ
ンド円の大きなＸ線分光器が造られるようになってきた
が、ローランド円を大きくすると機構要素の寸法が長く
なり、剛性が低下するため却って安定した測定が困難に
なりローランド円を大きくする方向には限界があった。
からＸ線入射スリット、分光結晶、Ｘ線検出スリット王
者の位置関係の精度が決り充分な波長測定精度、波長分
解能を得ることが困難であった。特にローランド円の直
径を大きくすれば理論上の分解能が向上するのでローラ
ンド円の大きなＸ線分光器が造られるようになってきた
が、ローランド円を大きくすると機構要素の寸法が長く
なり、剛性が低下するため却って安定した測定が困難に
なりローランド円を大きくする方向には限界があった。
本発明はＸ線入射スリット、分光結晶、Ｘ線検出スリッ
トの三者間の機構的な連結を廃し、分光結晶とＸ線検出
スリットとを相互独立にかつ直線的なガイドに沿って駆
動し、上記王者の位置関係をコンピュータによって与え
られた半径のローランド円の円周上に位置するように制
御するようにしたＸ線分光器を提供することによシ高精
度、高分解能のＸ線分光を可能にしようとするものであ
る。即ちＸ線入射スリット、分光結晶、Ｘ線検出スリッ
トの王者を連結する機構を廃したので機構の要素間の遊
び及び機構要素の剛性の不足による測定精度１分解能の
限界を克服したもので、機構要素の剛性の問題がないか
ら任意に大きな直径のローランド円５を有するＸ線分光
器を得ることが可能となる。以下実施例によって本発明
を説明する。
トの三者間の機構的な連結を廃し、分光結晶とＸ線検出
スリットとを相互独立にかつ直線的なガイドに沿って駆
動し、上記王者の位置関係をコンピュータによって与え
られた半径のローランド円の円周上に位置するように制
御するようにしたＸ線分光器を提供することによシ高精
度、高分解能のＸ線分光を可能にしようとするものであ
る。即ちＸ線入射スリット、分光結晶、Ｘ線検出スリッ
トの王者を連結する機構を廃したので機構の要素間の遊
び及び機構要素の剛性の不足による測定精度１分解能の
限界を克服したもので、機構要素の剛性の問題がないか
ら任意に大きな直径のローランド円５を有するＸ線分光
器を得ることが可能となる。以下実施例によって本発明
を説明する。
図面は本発明の一実施例を示す。１はＸ線入射スリット
でその位置は分光器フレーム（不図示）に固定されてい
る。Ｘ線入対スリツ）１を通ってＸ軸、ｙ軸を想定する
。Ｘ軸はＸ＃の入射方向であり、分光結晶２がこのＸ軸
に沿って動くようになっている。即ち４はＸ軸動平行に
延びたガイドで、このガイド上を結晶台５が摺動するよ
うになっており、この台５上に図の紙面に垂直の方向に
立てた軸（Ｘ軸を通る）を中心に回動可能に分光用彎曲
結晶２が取付けられる。７は台５を動かす送シねじでパ
ルスモータ８によって回転せしめられ台５従って分光結
晶２がＸ軸に漬って移動せしめられる。９は分光結晶２
を図の紙面に垂直な軸の周りに回動させるパルスモータ
で、分光結晶２がその時どきのＸ軸上の位置に対応した
方向即ちその時どきのローランド円の中心にむかう向き
を採るように分光結晶の方向を制御する。１０はＸ−Ｙ
移動ステージでその上にＸ線検出スリット１１及びＸ線
検出器１２が設置されている。１３はＸ軸と平行に延び
た直線ガイドであり、このガイド上を摺動するようにｙ
軸と平行な方向に延びた直線ガイド１４があってＸ−Ｙ
移動ステージ１０はこの直線ガイド１４上を摺動する。
でその位置は分光器フレーム（不図示）に固定されてい
る。Ｘ線入対スリツ）１を通ってＸ軸、ｙ軸を想定する
。Ｘ軸はＸ＃の入射方向であり、分光結晶２がこのＸ軸
に沿って動くようになっている。即ち４はＸ軸動平行に
延びたガイドで、このガイド上を結晶台５が摺動するよ
うになっており、この台５上に図の紙面に垂直の方向に
立てた軸（Ｘ軸を通る）を中心に回動可能に分光用彎曲
結晶２が取付けられる。７は台５を動かす送シねじでパ
ルスモータ８によって回転せしめられ台５従って分光結
晶２がＸ軸に漬って移動せしめられる。９は分光結晶２
を図の紙面に垂直な軸の周りに回動させるパルスモータ
で、分光結晶２がその時どきのＸ軸上の位置に対応した
方向即ちその時どきのローランド円の中心にむかう向き
を採るように分光結晶の方向を制御する。１０はＸ−Ｙ
移動ステージでその上にＸ線検出スリット１１及びＸ線
検出器１２が設置されている。１３はＸ軸と平行に延び
た直線ガイドであり、このガイド上を摺動するようにｙ
軸と平行な方向に延びた直線ガイド１４があってＸ−Ｙ
移動ステージ１０はこの直線ガイド１４上を摺動する。
１５．１６は夫々Ｘ軸方向、ｙ軸方向の送りねじ、１７
，１８はこれらのねじを回動させるパルスモータである
。
，１８はこれらのねじを回動させるパルスモータである
。
Ｘ線検出スリット１１及びＸ線検出器１２は常に分光結
晶２の方を向いている必要がある。このためＸ−Ｙ移動
ステージ１０上に図の紙面に垂直方向の軸の周りに回転
可能に台１０’を取付け、この台に方向棒１９を貫通さ
せ、この棒の一端を台５において分光結晶２の回転軸に
枢着しである。
晶２の方を向いている必要がある。このためＸ−Ｙ移動
ステージ１０上に図の紙面に垂直方向の軸の周りに回転
可能に台１０’を取付け、この台に方向棒１９を貫通さ
せ、この棒の一端を台５において分光結晶２の回転軸に
枢着しである。
Ｘ線検出スリット１１及び検出器１２は台１０＋上で方
向棒１９の貫通方向に並べて固定しであるのｆ、Ｘ−Ｙ
移動ステージ１０がどこにあってモＸ線検出スリット及
び検出器１２は分光結晶２の方を向いている。
向棒１９の貫通方向に並べて固定しであるのｆ、Ｘ−Ｙ
移動ステージ１０がどこにあってモＸ線検出スリット及
び検出器１２は分光結晶２の方を向いている。
図゛でＲは想定されたローランド円でＸ線入対スリット
１２分光結晶２． Ｘ線検出スリット１０を連ねるよ
うになっている。分光結晶２をガイド４に沿いＸ軸上を
動かすとローランド円Ｒは位置を変え、それに伴ってＸ
線検出スリット１０のあるべき位置も変り、分光結晶２
のＸ軸上の位置に対するＸ線検出スリットの位置の座標
（ｘ、７）は分光結晶２のＸ軸上の位置の関数であり、
ローランド円の半径を決めると計算で求められる。同様
に分光結晶の方位角ψも分光結晶２の位置の関数でロー
ランド円の半径を決めると計算で求まる。
１２分光結晶２． Ｘ線検出スリット１０を連ねるよ
うになっている。分光結晶２をガイド４に沿いＸ軸上を
動かすとローランド円Ｒは位置を変え、それに伴ってＸ
線検出スリット１０のあるべき位置も変り、分光結晶２
のＸ軸上の位置に対するＸ線検出スリットの位置の座標
（ｘ、７）は分光結晶２のＸ軸上の位置の関数であり、
ローランド円の半径を決めると計算で求められる。同様
に分光結晶の方位角ψも分光結晶２の位置の関数でロー
ランド円の半径を決めると計算で求まる。
制御回路２０はマイクロコンピュータで上の計算ヲ行い
、パルスモータ８． ９． ’ｌマ、 １８に必要個
数のパルスを送って分光結晶の位置及び方向とＸ線検出
スリットの位置を制御する。
、パルスモータ８． ９． ’ｌマ、 １８に必要個
数のパルスを送って分光結晶の位置及び方向とＸ線検出
スリットの位置を制御する。
上述実施例ではＸ線検出スリット１１及びＸ線検出器１
２の方向は機構的に規制されるようにしであるが、これ
も分光結晶２の方向制御と同様モータを用い制御回路２
０で制御するようにするこよいから上述実施例に示すよ
うな機構的方法で充分である。反対に分光結晶２の方向
規制を機構的に行うようにすることも可能である。更に
Ｘ線検出スリットの移動軌跡はＸ線入射スリットを通１
、り分光結晶の直進方向に対し４５°の方向線の方向に
長く同方向線に関して左右対称の形であるから、Ｘ−Ｙ
移動ステージのＸ方向ガイドをこの方向線方向に固定し
、Ｘ方向ガイドと直交するＹ方向ガイドをＸ方向ガイド
に漬って摺動させるようにすると、Ｙ方向ガイドのスパ
ンが比較的短かくてすむ利点があり、特にローランド円
半径を犬きくするときに適している。
２の方向は機構的に規制されるようにしであるが、これ
も分光結晶２の方向制御と同様モータを用い制御回路２
０で制御するようにするこよいから上述実施例に示すよ
うな機構的方法で充分である。反対に分光結晶２の方向
規制を機構的に行うようにすることも可能である。更に
Ｘ線検出スリットの移動軌跡はＸ線入射スリットを通１
、り分光結晶の直進方向に対し４５°の方向線の方向に
長く同方向線に関して左右対称の形であるから、Ｘ−Ｙ
移動ステージのＸ方向ガイドをこの方向線方向に固定し
、Ｘ方向ガイドと直交するＹ方向ガイドをＸ方向ガイド
に漬って摺動させるようにすると、Ｙ方向ガイドのスパ
ンが比較的短かくてすむ利点があり、特にローランド円
半径を犬きくするときに適している。
本発明彎曲結晶型Ｘ線分光器は上述したような構成で、
分光結晶とＸ線検出スリットとを連動させるのに機構的
な方法を用いていないので機構の遊び２機構要素の剛性
に基く精度限界が克服され、同じ理由でローランド円の
大きいＸ線分光器の製作が容易となり、軽量でしかも高
精度、高分解能のＸ線分光器が得られ、Ｘ線検出スリッ
トの位置のデータの算出の際設定する係数を変えるだけ
でローランド円の半径を変更できるので異る曲率半径の
分光結晶を用いてもＸ線分光器として即応できると云う
特徴を有する。
分光結晶とＸ線検出スリットとを連動させるのに機構的
な方法を用いていないので機構の遊び２機構要素の剛性
に基く精度限界が克服され、同じ理由でローランド円の
大きいＸ線分光器の製作が容易となり、軽量でしかも高
精度、高分解能のＸ線分光器が得られ、Ｘ線検出スリッ
トの位置のデータの算出の際設定する係数を変えるだけ
でローランド円の半径を変更できるので異る曲率半径の
分光結晶を用いてもＸ線分光器として即応できると云う
特徴を有する。
図面は本発明の一実施例Ｘ線分光器の平面図である。
１・・・Ｘ線入射スリット、２・・・彎曲分光結晶、１
１・・・Ｘ線検出スリット、１２・・・Ｘ線検出器、１
０・・・Ｘ−Ｙ移動ステージ、８，９，１フ、１Ｂ、、
、パルスモータ。 代理人 弁理士 林 浩 介。
１・・・Ｘ線検出スリット、１２・・・Ｘ線検出器、１
０・・・Ｘ−Ｙ移動ステージ、８，９，１フ、１Ｂ、、
、パルスモータ。 代理人 弁理士 林 浩 介。
Claims (1)
- Ｘ線入射スリットを通る一直線に沿って分光結晶を案内
する直線〕ガイドと、このガイドに治って分光結晶を駆
動するモータと、Ｘ−Ｙ移動ステージ上に載置したＸ線
検出スリット及びＸ線検出器と、上記ステージをＸ方向
に駆動するモータと同ステージをＹ方向に駆動するモー
タと、分光結晶とＸ線検出スリットが上記Ｘ線入射スリ
ットを通る与えられた半径のローランド円の円周上に常
に位置しているように分光結晶駆動モータとＸ−Ｙ移動
ステージをＸ方向に駆動するモータとＹ方向に駆動する
モータの三者を制御する制御回路とよりなる彎曲結晶型
Ｘ線分光器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56137387A JPS5838845A (ja) | 1981-08-31 | 1981-08-31 | 彎曲結晶型ｘ線分光器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56137387A JPS5838845A (ja) | 1981-08-31 | 1981-08-31 | 彎曲結晶型ｘ線分光器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5838845A true JPS5838845A (ja) | 1983-03-07 |
| JPH0132940B2 JPH0132940B2 (ja) | 1989-07-11 |
Family
ID=15197492
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56137387A Granted JPS5838845A (ja) | 1981-08-31 | 1981-08-31 | 彎曲結晶型ｘ線分光器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5838845A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01118398U (ja) * | 1988-01-30 | 1989-08-10 | ||
| JPH01214747A (ja) * | 1988-02-24 | 1989-08-29 | Mc Sci:Kk | Ｘ線回折装置 |
| US7646848B2 (en) | 2004-11-29 | 2010-01-12 | Stresstech Oy | Goniometer |
-
1981
- 1981-08-31 JP JP56137387A patent/JPS5838845A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01118398U (ja) * | 1988-01-30 | 1989-08-10 | ||
| JPH01214747A (ja) * | 1988-02-24 | 1989-08-29 | Mc Sci:Kk | Ｘ線回折装置 |
| US7646848B2 (en) | 2004-11-29 | 2010-01-12 | Stresstech Oy | Goniometer |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0132940B2 (ja) | 1989-07-11 |
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