JPH0715146Y2 - 不安定型共振器の出力側ミラ− - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は不安定型共振器の出力側ミラーに関するもので
ある。

［従来の技術］ レーザ発振器に最も多く用いられる共振器は、放電管の
両端側に反射ミラーを向い合わせて用いたものであり、
その特性として安定型と不安定型とに分けられ、且つ該
安定型と不安定型は目的に応じて鏡を取換えて兼用で使
用するようにしている。

第３図は安定型共振器の一例を示すもので、放電管１の
両端側に凹面鏡2,3が設けられており、放電管１内に発
生させられたレーザビームが凹面鏡2,3間で増幅され、
所要のエネルギーレベルとなると出力側の凹面鏡２を透
過して偏向ミラー４及び反射ミラー５を介して目的場所
に送られるようになっている。

第４、５図は前記第３図の安定型共振器を不安定型に変
更する場合の従来の一例を示すもので、前記出力側の凹
面鏡２に代えてサポート部材６によって支持された凸面
鏡７を設置するようにしている。しかし、この不安定型
共振器は、凸面鏡７の外周をレーザビームが通過するた
めに、ミラー4,5側に送られるビームに前記サポート部
材６による陰りが生じて効率が低下してしまう問題があ
る。

このため、近年この問題を解決する手段として第６図に
示すように、所要の傾斜角度を有した反射ミラー式スク
レーパ８の中心部に凸面鏡７を嵌設し、前記スクレーパ
８を支持することにより凸面鏡７の位置を固定支持する
ようにした出力側偏向装置９を構成し、前記スクレーパ
８によって偏向されたビームを反射ミラー10を介して目
的場所へ送るようにした方式が考えられている。

［考案が解決しようとする問題点］ しかし、上記従来の出力側ミラー装置においては、凸面
鏡７をスクレーパ８に支持させるために、該スクレーパ
８に斜めの開口を形成しなければならず、この開口の形
成が非常に大変であり、又傾斜角度の精度保持が大変む
ずかしいといった問題を有していた。又、スクレーパ８
が凸面鏡７に対して斜めに取付けられるために、陰りの
発生原因となって効率が低下することがある。更に、上
記したように凸面鏡７位置にスクレーパ８を設けてビー
ムを偏向させるようにすると、安定型の場合における反
射ミラー５の他に別の反射ミラー10を設置する必要が生
じて構成が複雑、高価になると共に、反射ミラー5,10か
らのビームを同一の目的場所へ送るには反射ミラー５の
位置を移動できるようにする必要があり、構成が非常に
面倒となる、等の問題を有していた。また、透明材から
なる凸状のミラー基材の両面中央部に、コーティングに
よりレーザビームの全反射部を形成し、この全反射部の
周辺部にコーティングによりほぼ無反射部を形成した出
力側共振器ミラーも考えられているが、曲面に均一にコ
ーティングを施す作業は大変であり、更に両面の全反射
部と、略無反射部の位置を一致させてコーティングする
製作も大変で装置が高価になってしまうという問題を有
していた。

本考案は、上記従来の問題点に着目してなしたもので、
構造を簡単にして製作、精度の保持を容易にし、且つビ
ームを効率良く使用できるようにすることを目的とす
る。

［問題点を解決するための手段］ 本考案は、上記技術的課題を解決しようとしたもので、
不安定型共振器の出力側に、凸面鏡を、無反射コートに
より無反射処理してなる平面形状の石英ガラス板に形成
した孔に光軸が石英ガラス板の平面と直角になるように
嵌着させて支持した凸面鏡装置を設けたことを特徴とす
る不安定型共振器の出力側ミラー、に係るものである。

［作用］ 従って、本考案では、無反射コートにより透過率が高め
られた石英ガラス板によって凸面鏡が支持されているた
めに、安定型と不安定型を切換えるために必要なミラー
の数を最少限にすることができ、且つ石英ガラス板に凸
面鏡を光軸が直角になるように嵌着して取付けているた
めに、凸面鏡装置を容易に製作することが出来、更に前
記凸面鏡の支持のための開口の形成、精度保持が容易と
なり、更に陰りの原因をなくしてビームを高い効率で利
用できる。

［実施例］ 以下図面に基づいて本考案の実施例を照明する。

第１図は前記第３図における安定型共振器の凹面鏡２部
分を第２図に示すような凸面鏡装置11に交換して不安定
型共振器とした本考案の一例を示すもので、図中同一符
号を付したものは同一物を表わしている。

上記凸面鏡装置11は、凸面鏡７と、該凸面鏡７の光軸Ｘ
に対して直角になるように凸面鏡７を嵌着させるように
石英ガラス板12によって構成されており、前記凸面鏡７
が図２に示すように平面形状を有した石英ガラス板12の
中央部に形成した孔に嵌着されて一体に支持されるよう
になっている。更に、上記石英ガラス板12は、その表面
を無反射コート13により無反射することにより、例えば
ビーム透過率を99.8％迄上昇させる。

上記したように、凸面鏡７を石英ガラス板12にて支持し
ているので、光電管１によって発生し、凸面鏡７と凹面
鏡３との間で増幅されたビームは、無反射コート13によ
って透過率を高められた（例えば99.8％）石英ガラス板
12を透過してミラー4,5に導かれる。従って、安定型か
ら不安定型に切換えるためにミラーを別個に設置する必
要がなくなる。

又、凸面鏡７を支持する石英ガラス板12が凸面鏡７の光
軸Ｘに対して直角に設けられるため、取付け部の開口の
形成、取付、精度保持が容易となり、しかも陰りを生じ
ることが全くないので、ビームを効率良く使用すること
ができる。

尚、本考案は上記実施例のにみ限定されるものではな
く、本考案の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更
を加えるものである。

［考案の効果］ 上記したように、本考案の不安定型共振器の出力側ミラ
ーによれば、無反射コートによって無反射処理してなる
平面形状の石英ガラス板に形成した孔に嵌着して凸面鏡
を一体に支持するようにしたので、凸面鏡装置を容易に
製作することができ、また、設置するミラーの数を変え
ることなく安定型から不安定型に切換えることができ、
且つ透過率の高い石英ガラス板を凸面鏡の光軸に対して
直角になるように取付けて支持させることができるた
め、この支持のための開口の形成、取付け、精度保持が
容易となり、しかも陰りの発生原因がなくなってビーム
が高い効率で使用できる、等の優れた効果を奏し得る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す不安定型共振器の全体
概略説明図、第２図は第１図における凸面鏡装置の詳細
図、第３図は安定型共振器の全体概略説明図、第４図は
従来の不安定型共振器の全体概略説明図、第５図は第４
図のＶ−Ｖ矢視図、第６図は従来の不安定型共振器の他
の例を示す全体概略説明図である。 １は放電管、2,3は凹面鏡、４は偏向ミラー、５は反射
ミラー、７は凸面鏡、11は凸面鏡装置、12は石英ガラス
板、13は無反射コートを示す。

フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−199686（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−4282（ＪＰ，Ａ) 特公 昭46−16191（ＪＰ，Ｂ１)

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】不安定型共振器の出力側に、凸面鏡を、無
   反射コートにより無反射処理してなる平面形状の石英ガ
   ラス板に形成した孔に光軸が石英ガラス板の平面と直角
   になるように嵌着させて支持した凸面鏡装置を設けたこ
   とを特徴とする不安定型共振器の出力側ミラー。