JPH07152148A - 基板挿抜方法および装置 - Google Patents
基板挿抜方法および装置Info
- Publication number
- JPH07152148A JPH07152148A JP32610793A JP32610793A JPH07152148A JP H07152148 A JPH07152148 A JP H07152148A JP 32610793 A JP32610793 A JP 32610793A JP 32610793 A JP32610793 A JP 32610793A JP H07152148 A JPH07152148 A JP H07152148A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cassette
- photomask
- substrate
- case
- side face
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 10
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims 2
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Landscapes
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Packaging Of Annular Or Rod-Shaped Articles, Wearing Apparel, Cassettes, Or The Like (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 変形したカセットに対し基板をスムースに挿
抜する方法と装置を提供する。 【構成】 カセットまたはカセットを収納したケースを
載置する載置台とカセット側面を押す押圧手段とからな
ることを特徴とする。
抜する方法と装置を提供する。 【構成】 カセットまたはカセットを収納したケースを
載置する載置台とカセット側面を押す押圧手段とからな
ることを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体および液晶パネル
のホトマスク等厚形基板をカセットから抜き取る方法、
カセットへ挿入する方法、およびその装置に関する。
のホトマスク等厚形基板をカセットから抜き取る方法、
カセットへ挿入する方法、およびその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体で最も多く使用されているホトマ
スクは一辺が１２７ｍｍの正方形で、厚みが２．３ｍｍ
のガラス基板である。図３はケースの上蓋をとった状態
のカセットとケースの斜視図、図４は変形したカセット
の平面図である。
スクは一辺が１２７ｍｍの正方形で、厚みが２．３ｍｍ
のガラス基板である。図３はケースの上蓋をとった状態
のカセットとケースの斜視図、図４は変形したカセット
の平面図である。
【０００３】ホトマスク２をカセット１のスロット３に
挿入して搭載し、ケース４に収納して運搬される。カセ
ット１は樹脂で一体成形されているので、成形時の歪み
等により図４のように変形してホトマスク２の幅方向の
間隔が狭くなり挿抜が困難になるという問題がある。
挿入して搭載し、ケース４に収納して運搬される。カセ
ット１は樹脂で一体成形されているので、成形時の歪み
等により図４のように変形してホトマスク２の幅方向の
間隔が狭くなり挿抜が困難になるという問題がある。
【０００４】変形したカセット１にホトマスク２を挿抜
するとホトマスクの端面５がカセットのスロット３を擦
るので、摩擦によるゴミが発生しそのゴミがホトマスク
２のパターン面に付着して不良を発生するという欠点が
ある。
するとホトマスクの端面５がカセットのスロット３を擦
るので、摩擦によるゴミが発生しそのゴミがホトマスク
２のパターン面に付着して不良を発生するという欠点が
ある。
【０００５】また、カセット１はケース４に収納した後
上蓋をして運搬されるが、カセット１が変形しているた
め、カセット１をケースから取り出した後カセットの側
面６を拡げつつホトマスク２を挿入または抜き取らなけ
ればならず、その過程でパターン面にゴミが付着すると
いう欠点がある。
上蓋をして運搬されるが、カセット１が変形しているた
め、カセット１をケースから取り出した後カセットの側
面６を拡げつつホトマスク２を挿入または抜き取らなけ
ればならず、その過程でパターン面にゴミが付着すると
いう欠点がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、変形
したカセットに対し、基板をスムースに挿抜することが
できる基板挿抜方法と装置を提供することである。ま
た、本発明の目的は、カセットをケースに収納したまま
基板の挿抜ができる方法を提供することである。また、
本発明の目的は、基板の挿抜を自動化することのできる
方法と装置を提供することである。
したカセットに対し、基板をスムースに挿抜することが
できる基板挿抜方法と装置を提供することである。ま
た、本発明の目的は、カセットをケースに収納したまま
基板の挿抜ができる方法を提供することである。また、
本発明の目的は、基板の挿抜を自動化することのできる
方法と装置を提供することである。
【０００７】
【問題を解決するための手段】本発明は、基板面に直角
な方向にカセット側面を押した後基板を挿抜することを
特徴とする。また、カセットをケースに収納した状態で
基板を挿抜することを特徴とする。
な方向にカセット側面を押した後基板を挿抜することを
特徴とする。また、カセットをケースに収納した状態で
基板を挿抜することを特徴とする。
【０００８】
【実施例】本発明を図面を参照して説明する。図１は本
発明の基板挿抜方法を説明するカセットの平面図であ
る。ホトマスク２の面に直角な方向のカセット１の側面
７を、プッシャ８で押すことによりカセット１の側面６
は膨らむのでマスク２をスムースに出し入れすることが
可能となる。
発明の基板挿抜方法を説明するカセットの平面図であ
る。ホトマスク２の面に直角な方向のカセット１の側面
７を、プッシャ８で押すことによりカセット１の側面６
は膨らむのでマスク２をスムースに出し入れすることが
可能となる。
【０００９】図２は本発明の基板挿抜装置の正面図であ
る。載置台１０にカセット１を収納したケース４をセッ
トし、カセット１の上側面７をエアシリンダ１１に連動
したプッシャ８で押圧してカセット１の変形を補正し、
ホトマスク２の端面とスロットとの間に適正な隙間を形
成した後、ホトマスク２を挿抜する。人手でホトマスク
２を挿抜してもよく、また、図示されていない搬送ロボ
ットで挿抜してもよい。
る。載置台１０にカセット１を収納したケース４をセッ
トし、カセット１の上側面７をエアシリンダ１１に連動
したプッシャ８で押圧してカセット１の変形を補正し、
ホトマスク２の端面とスロットとの間に適正な隙間を形
成した後、ホトマスク２を挿抜する。人手でホトマスク
２を挿抜してもよく、また、図示されていない搬送ロボ
ットで挿抜してもよい。
【００１０】上記説明では、載置台１０の上にケース４
をセットした場合について述べたが、本発明はこれに限
定されるものではなく、ケース４からカセット１を取り
出して載置台１０の上にセットすることによっても全く
同様に本発明を実現できる。
をセットした場合について述べたが、本発明はこれに限
定されるものではなく、ケース４からカセット１を取り
出して載置台１０の上にセットすることによっても全く
同様に本発明を実現できる。
【００１１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は次のよう
な効果を奏するものである。カセットのスロットを擦る
ことなく基板をスムースに挿抜できる。また、それによ
って基板挿抜の自動化ができる。また、カセットをケー
スに入れたままの状態で基板の挿抜ができるので基板に
ゴミが付着しなくなる。
な効果を奏するものである。カセットのスロットを擦る
ことなく基板をスムースに挿抜できる。また、それによ
って基板挿抜の自動化ができる。また、カセットをケー
スに入れたままの状態で基板の挿抜ができるので基板に
ゴミが付着しなくなる。
【図１】本発明の基板挿抜方法を説明するカセットの平
面図である。
面図である。
【図２】本発明の基板挿抜装置の正面図である。
【図３】従来のカセットのケースの上蓋をとった状態の
カセットとケースの斜視図である。
カセットとケースの斜視図である。
【図４】従来の変形したカセットの平面図である。
１…カセット、２…ホトマスク、３…スロット、４…ケ
ース、５…ホトマスクの端面、６、７…カセットの側
面、８…プッシャ、１０…載置台、１１…エアシリン
ダ。
ース、５…ホトマスクの端面、６、７…カセットの側
面、８…プッシャ、１０…載置台、１１…エアシリン
ダ。
Claims (3)
- 【請求項１】 基板をカセットから抜き取る方法または
カセットへ挿入する方法において、基板面に直角な方向
にカセット側面を押した後基板を挿抜することを特徴と
する基板挿抜方法。 - 【請求項２】 前記カセットを保護ケースに収納した状
態で基板を挿抜することを特徴とする請求項１記載の基
板挿抜方法。 - 【請求項３】 カセットまたはカセットを収納した保護
ケースを載置する載置台とカセット側面を押す押圧手段
とからなることを特徴とする基板挿抜装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32610793A JPH07152148A (ja) | 1993-11-30 | 1993-11-30 | 基板挿抜方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32610793A JPH07152148A (ja) | 1993-11-30 | 1993-11-30 | 基板挿抜方法および装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07152148A true JPH07152148A (ja) | 1995-06-16 |
Family
ID=18184174
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32610793A Pending JPH07152148A (ja) | 1993-11-30 | 1993-11-30 | 基板挿抜方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07152148A (ja) |
-
1993
- 1993-11-30 JP JP32610793A patent/JPH07152148A/ja active Pending
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