JPH07154018A - レーザビーム伝送装置 - Google Patents
レーザビーム伝送装置Info
- Publication number
- JPH07154018A JPH07154018A JP29812793A JP29812793A JPH07154018A JP H07154018 A JPH07154018 A JP H07154018A JP 29812793 A JP29812793 A JP 29812793A JP 29812793 A JP29812793 A JP 29812793A JP H07154018 A JPH07154018 A JP H07154018A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- incident
- laser beam
- transmission device
- spherical concave
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
パターンの乱れを防ぎ、しかも目的のビーム形状を得ら
れるようにする。 【構成】レーザビーム伝送装置を、入射側平面ミラー1
aと、入射側放物面ミラー2aと、出射側放物面ミラー
2bと、出射側平面ミラー1bとで構成する。両放物面
ミラー2a,2bを、軸外しでビームを入、出射できる
ように配置する。また、各ミラー1a,1b,2a,2
bを、共通平面上に配置する。
Description
に係り、特にビーム強度の低下、ビームの発散、および
ビームパターンの乱れを抑え、かつ目的のビーム形状を
得ることができるレーザビーム伝送装置に関する。
5に示すようにビームの発散、パターンの乱れが大きく
なり、レーザ装置のビーム出射口付近の入射ビームパタ
ーン12aの形状と、到達目的点における出射ビームパ
ターン12bの形状とが異なってしまい、そのビーム強
度も低下するという問題がある。
13a,13bを組合わせた光学系を用い、入射ビーム
パターン12aと同一形状の出射ビームパターン12b
が得られるようにした像転送方式が用いられている。
いては、ビームの発散およびパターンの乱れを防止する
ことができるが、レンズ13a,13bを用いているた
め、その表面での反射およびレンズ自体の吸収によっ
て、ビーム強度の損失が大きくなるとともに、取扱うレ
ーザビームが銅蒸気レーザビームのように511nmと
578nmとの2波長以上の複色ビームである場合、あ
るいは色素レーザビームのようにその波長が可変となる
場合には、レンズ13a,13bの色収差によってビー
ム軌道にずれが生じる等の問題がある。
等に用いられる光反応セル6中で、光反応部を通過する
レーザビームを有効に利用するため、レーザビームを平
面ミラーと組合わせてなる多重平面ミラー7で多重反射
させる機構に対し、光反応セル6の入射ビーム4aおよ
び出射ビーム4bに従来の像転送方式を適用した場合に
は、光反応セル6中でビーム焦点をもつことになるた
め、逆に光反応部を通過するビームの体積利用率が悪く
なるとともに、光学素子表面に焦点が位置しないような
配置をとることおよびその表面許容ビーム出力密度に注
意を払う必要が生じること等の理由から、レンズ13
a,13bを用いた従来の像転送方式を光反応セル6の
多重反射光学系に適用することは非常に困難である。
術等で用いられる色素レーザ装置においては、シリンド
リカルレンズ9を用いて励起レーザビーム8を色素セル
10の表面に直線状に収束させ、色素レーザビーム11
を励起するようにしているが、この場合にも、シリンド
リカルレンズ9によるビーム損失とその色収差による問
題を有している。
たもので、伝送効率の低下、レーザ波長の変化に伴なう
ビーム軌道のずれ、および複雑な光学システムへの適用
の困難さを解消し、レーザビームの損失を抑えて、効率
が高く安定なレーザビーム伝送装置を提供することを目
的とする。
発明は、前記目的を達成する手段として、入射ビームを
反射する入射側平面ミラーと、入射側平面ミラーからの
ビームを軸外しで入、出射する入射側放物面ミラーと、
入射側放物面ミラーからのビームを軸外しで入、出射す
る出射側放物面ミラーと、出射側放物面ミラーからのビ
ームを出射ビームとして反射する出射側平面ミラーとを
備え、前記各ミラーを共通平面上に配置するようにした
ことを特徴とする。
射ビームを反射する入射側平面ミラーと、入射側平面ミ
ラーからのビームを軸外しで入、出射する入射側球状凹
面ミラーと、入射側球状凹面ミラーからのビームを軸外
しで入、出射する出射側球状凹面ミラーと、出射側球状
凹面ミラーからのビームを出射ビームとして反射する出
射側平面ミラーとを備え、前記入射ビームを含む平面と
出射ビームを含む平面とを直行させるようにしたことを
特徴とする。
ては、レーザビームによって光反応を行なわせるための
光反応セルの両側に、反射光学系をそれぞれ配置し、光
反応セルに入射した入射ビームを、前記両反射光学系で
光反応セル内を通して多重反射させ、出射ビームとして
出射するレーザビーム伝送装置において、前記各反射光
学系を、複数の放物面ミラーを整列配置して構成するよ
うにしたことを特徴とする。
色素レーザの励起レーザビームを、色素セルの表面に直
線状に収束させるレーザビーム伝送装置において、前記
励起レーザビームを反射する平面ミラーと、平面ミラー
からのビームを軸外しで入、出射する球状凹面ミラーと
を備え、前記球状凹面ミラーの短軸焦点を、前記色素セ
ルの表面上に設定するようにしたことを特徴とする。
においては、入射側および出射側の各放物面ミラーが軸
外し(斜入反射)で用いられ、これらが入射側および反
射側の各平面ミラーとともに、共通平面上に配置され
る。このため、図6に示す従来の像伝送方式と同様の効
果が得られ、しかもレンズを用いることに伴なう欠点を
解消することが可能となる。
ム伝送装置においては、放物面ミラーに代えて球状凹面
ミラーが用いられている。このため、放物面ミラーを用
いる場合に比較して低コストで製造でき、しかも入射ビ
ームを含む平面と出射ビームを含む平面とを直行させる
ことにより、球状凹面ミラーを軸外して用いることによ
り生じるビームパターンの変形をキャンセルすることが
可能となる。
ム伝送装置においては、光反応セルの両側にそれぞれ配
した反射光学系として、整列配置した複数の放物面ミラ
ーが用いられている。このため、レーザビームが通過す
る反応部の体積を最大にし、しかも反応セル中のレーザ
ビームの発散、レーザビームパターンの乱れを抑制する
ことが可能となる。
ーム伝送装置においては、球状凹面ミラーが軸外しで用
いられ、かつその短軸焦点が、色素セルの表面上に設定
されている。このため、直線状にビームを収束させるこ
とが可能となり、しかもシリンドリカルレンズを用いる
ことに伴なう欠点を解消することが可能となる。
一実施例を添付図面を参照して説明する。
ビーム伝送装置を示すもので、このレーザビーム伝送装
置は、入射ビーム4aと反射する入射側平面ミラー1a
と、この入射側平面ミラー1aからのビームを軸外しで
入、出射する入射側放物面ミラー2aと、この入射側放
物面ミラー2aからのビームを軸外しで入、出射する出
射側放物面ミラー2bと、この出射側放物面ミラー2b
からのビームを出射ビーム4bとして反射する出射側平
面ミラー1bとを備えており、前記各ミラー1a,1
b,2a,2bは、共通面上に配置されるようになって
いる。
ンズ13a,13bを用いた従来の像転送方式(図6参
照)と同様の効果を得ることができ、しかも反射ミラー
のみで構成されているので、レンズ13a,13bの表
面反射、吸収によるビーム損失および色収差による問題
を解決することができる。
ビーム伝送装置を示すもので、このレーザビーム伝送装
置は、前記第1実施例における放物面ミラー2a,2b
に代え、入射側球状凹面ミラー3aおよび出射側球状凹
面ミラー3bを軸外しで用いるようにしたものである。
外し入射で用いる場合には、円形ビームパターンが楕円
形に変形するため、ビームの焦点は、図2に示すよう
に、入射ビーム短軸焦点(出射ビーム長軸焦点)5aと
入射ビーム長軸焦点(出射ビーム短軸焦点)5bとが分
離することになる。
ー3aの入射ビーム4aを含む平面が、出射側球状凹面
ミラー3bの出射ビーム4bを含む平面と直行するよう
に、出射側球状凹面ミラー3bを、入射側球状凹面ミラ
ー3aと反射方向に傾け、各々の短軸焦点と長軸焦点と
が相反して一致できる配置としている。
bを軸外し入射で使用した場合に生じるビームパターン
の変形をキャンセルし、入射ビーム4aと同一形状のビ
ームパターンを有する出射ビーム4bを得ることができ
る。しかも、球状凹面ミラー3a,3bは、放物面ミラ
ー1a,1b(図1参照)よりもはかるかに製造が容易
であるので、コストダウンを図ることができる。
ビーム伝送装置を示すもので、レーザビームにより光反
応を行なわせるための光反応セルに適用したものであ
る。
図3に示すように、放物面ミラー2を複数ずつ整列配置
して多重反射光学系が構成されており、入射ビーム4a
は、この多重反射光学系で光反応セル6中を通って多重
反射し、出射ビーム4bとして出射されるようになって
いる。
代えて放物面ミラー2を用いることにより、レーザビー
ムを通過する反応部の体積を最大とすることができ、か
つ光反応セル6中のレーザビームの発散、ビームパター
ンの乱れを極力小さく抑えることができる。
ビーム伝送装置を示すもので、色素レーザの励起レーザ
ビームを色素セルの表面に直線状に収束させる場合に適
用したものである。
ように、色素レーザビーム11の励起レーザビーム8を
反射する平面ミラー1と、この平面ミラー1からのビー
ムを軸外しで入、出射する球状凹面ミラー3とを備えて
おり、前記球状凹面ミラー3は、その入射ビーム短軸焦
点5aが色素セル10の表面上に設定されるようになっ
ている。
た場合(図8参照)と同様に、励起レーザビーム8を色
素セル10の表面に直線状に収束させることができ、し
かもレンズを用いることによる欠点を解消することがで
きる。
本発明のレーザビーム伝送装置によれば、ビームの発散
およびビームパターンの乱れを防止することができ、し
かもレンズを用いず反射ミラーのみで構成しているの
で、レンズ表面での反射、吸収損失を抑え、かつ色収差
によるビーム軌道のずれを防止することができる。
ーム伝送装置によれば、放物面ミラーに代えて球状凹面
ミラーを用いているので、高性能でしかも低コストの装
置を容易に得ることができる。
ザビーム伝送装置によれば、レーザビームが通過する反
応部の体積を最大にし、しかも反応セル中のレーザビー
ムの発散、ビームパターンの乱れを極力抑制することが
できる。
ーザビーム伝送装置によれば、シリンドリカルレンズを
用いた場合と同様、直線状にビームを収束させることが
でき、しかもシリンドリカルレンズを用いることに伴な
う欠点を解消することができる。
例を示す構成図。
例を示す構成図。
例を示す構成図。
例を示す構成図。
す説明図。
示す構成図。
す構成図。
機構を示す構成図。
Claims (4)
- 【請求項1】 入射ビームを反射する入射側平面ミラー
と、入射側平面ミラーからのビームを軸外しで入、出射
する入射側放物面ミラーと、入射側放物面ミラーからの
ビームを軸外しで入、出射する出射側放物面ミラーと、
出射側放物面ミラーからのビームを出射ビームとして反
射する出射側平面ミラーとを備え、前記各ミラーを共通
平面上に配置したことを特徴とするレーザビーム伝送装
置。 - 【請求項2】 入射ビームを反射する入射側平面ミラー
と、入射側平面ミラーからのビームを軸外しで入、出射
する入射側球状凹面ミラーと、入射側球状凹面ミラーか
らのビームを軸外しで入、出射する出射側球状凹面ミラ
ーと、出射側球状凹面ミラーからのビームを出射ビーム
として反射する出射側平面ミラーとを備え、前記入射ビ
ームを含む平面と出射ビームを含む平面とを直行させた
ことを特徴とするレーザビーム伝送装置。 - 【請求項3】 レーザビームによって光反応を行なわせ
るための光反応セルの両側に、反射光学系をそれぞれ配
置し、光反応セルに入射した入射ビームを、前記両反射
光学系で光反応セル内を通して多重反射させ、出射ビー
ムとして出射するレーザビーム伝送装置において、前記
各反射光学系を、複数の放物面ミラーを整列配置して構
成したことを特徴とするレーザビーム伝送装置。 - 【請求項4】 色素レーザの励起レーザビームを、色素
セルの表面に直線状に収束させるレーザビーム伝送装置
において、前記励起レーザビームを反射する平面ミラー
と、平面ミラーからのビームを軸外しで入、出射する球
状凹面ミラーとを備え、前記球状凹面ミラーの短軸焦点
を、前記色素セルの表面上に設定したことを特徴とする
レーザビーム伝送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29812793A JP3538445B2 (ja) | 1993-11-29 | 1993-11-29 | レーザビーム伝送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29812793A JP3538445B2 (ja) | 1993-11-29 | 1993-11-29 | レーザビーム伝送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07154018A true JPH07154018A (ja) | 1995-06-16 |
| JP3538445B2 JP3538445B2 (ja) | 2004-06-14 |
Family
ID=17855534
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29812793A Expired - Fee Related JP3538445B2 (ja) | 1993-11-29 | 1993-11-29 | レーザビーム伝送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3538445B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010021518A (ja) * | 2008-06-12 | 2010-01-28 | Komatsu Ltd | スラブ型レーザ装置 |
| JP2011216850A (ja) * | 2010-03-15 | 2011-10-27 | Komatsu Ltd | 再生増幅器、レーザ装置および極端紫外光生成装置 |
| JP7399367B1 (ja) * | 2023-05-25 | 2023-12-15 | 三菱電機株式会社 | 反射型ビーム径可変光学系、レーザ加工ヘッドおよびレーザ加工機 |
| JP7504321B1 (ja) * | 2023-05-25 | 2024-06-21 | 三菱電機株式会社 | 反射型ビーム径可変光学系、レーザ加工ヘッドおよびレーザ加工機 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4921338A (en) | 1989-05-09 | 1990-05-01 | Macken John A | Corrective optics for rectangular laser beams |
-
1993
- 1993-11-29 JP JP29812793A patent/JP3538445B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010021518A (ja) * | 2008-06-12 | 2010-01-28 | Komatsu Ltd | スラブ型レーザ装置 |
| JP2011216850A (ja) * | 2010-03-15 | 2011-10-27 | Komatsu Ltd | 再生増幅器、レーザ装置および極端紫外光生成装置 |
| US9153927B2 (en) | 2010-03-15 | 2015-10-06 | Gigaphoton Inc. | Regenerative amplifier, laser apparatus, and extreme ultraviolet light generation system |
| JP7399367B1 (ja) * | 2023-05-25 | 2023-12-15 | 三菱電機株式会社 | 反射型ビーム径可変光学系、レーザ加工ヘッドおよびレーザ加工機 |
| JP7504321B1 (ja) * | 2023-05-25 | 2024-06-21 | 三菱電機株式会社 | 反射型ビーム径可変光学系、レーザ加工ヘッドおよびレーザ加工機 |
| WO2024241573A1 (ja) * | 2023-05-25 | 2024-11-28 | 三菱電機株式会社 | 反射型ビーム径可変光学系、レーザ加工ヘッドおよびレーザ加工機 |
| WO2024241606A1 (ja) * | 2023-05-25 | 2024-11-28 | 三菱電機株式会社 | 反射型ビーム径可変光学系、レーザ加工ヘッドおよびレーザ加工機 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3538445B2 (ja) | 2004-06-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3607211B2 (ja) | 光導波路、光モジュール、光ファイバレーザ装置 | |
| JP3954624B2 (ja) | ライトバルブ均等照射装置 | |
| CN110676691B (zh) | 基于准直-偏转元件的半导体激光光谱合束装置及方法 | |
| JPH0412039B2 (ja) | ||
| JP2000019362A (ja) | アレイ型半導体レーザ用光結合装置及び該アレイ型半導体レーザを用いた固体レーザ装置 | |
| KR101033759B1 (ko) | 반도체 레이저 장치 | |
| WO2018051450A1 (ja) | レーザ装置 | |
| US20040095969A1 (en) | Fiber laser apparatus | |
| JPH07154018A (ja) | レーザビーム伝送装置 | |
| US10386031B2 (en) | Light device with movable scanning means and optical fiber | |
| JP3270471B2 (ja) | 電磁放射の非結像集束及び投射の方法及び装置 | |
| CN114122899B (zh) | 一种波长锁定系统 | |
| JPH06208012A (ja) | 光接続素子 | |
| CN102540680A (zh) | 光源装置、光源产生方法及包含光源装置的激光投影机 | |
| JP3367569B2 (ja) | 照明光学装置、露光装置、及び該露光装置を用いた転写方法 | |
| JPS6281614A (ja) | 光結合器 | |
| JPH0259192A (ja) | 大出力レーザ装置 | |
| JP7739942B2 (ja) | レーザ装置 | |
| JPS58184117A (ja) | 複数ビ−ム走査装置 | |
| JP3333583B2 (ja) | 集光用レンズおよび集光用レンズアレイ | |
| JP2813123B2 (ja) | 光線の配列を結合する方法と装置 | |
| CN111381378A (zh) | 缩束组件、匀光装置及激光投影系统 | |
| JP2006109268A (ja) | 光無線通信装置 | |
| US6429957B1 (en) | Double-pass sagittally offset pre-polygon optics for raster output scanners | |
| JPH02226220A (ja) | 光走査装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Written amendment |
Effective date: 20040224 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040322 |
|
| R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 4 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080326 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090326 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100326 Year of fee payment: 6 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |