JPH07154195A - ラダー型フィルタ - Google Patents
ラダー型フィルタInfo
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- JPH07154195A JPH07154195A JP6229797A JP22979794A JPH07154195A JP H07154195 A JPH07154195 A JP H07154195A JP 6229797 A JP6229797 A JP 6229797A JP 22979794 A JP22979794 A JP 22979794A JP H07154195 A JPH07154195 A JP H07154195A
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Abstract
化を図ることができるだけでなく、通過帯域幅を拡げる
ことが可能な構造を備えたラダー型フィルタを提供す
る。 【構成】 少なくとも1つの直列共振子と少なくとも1
つの並列共振子とを接続することにより構成されたラダ
ー型フィルタにおいて、前記直列共振子及び並列共振子
のうち少なくとも1の共振子28が、両短辺の略中央部
をノード点とする矩形板状の圧電共振部と、前記圧電共
振部の両短辺中央に連結された支持部と、前記支持部の
外側端に連結された保持部とを備える幅拡がりモードを
利用したエネルギー閉じ込め型圧電共振子28である、
ラダー型フィルタ。
Description
共振子及び少なくとも1個の並列共振子が梯子状に接続
されたラダー型フィルタに関し、特に、直列共振子及び
並列共振子を構成する共振子の構造が改良されたラダー
型フィルタに関する。
図1に示す。このラダー型フィルタは、角板の拡がり振
動モードを利用した複数の圧電共振子を用いて構成され
ている。すなわち、矩形板状の直列共振子1,2及び同
じく矩形板状の並列共振子3,4を用いて、図2の回路
図で示す4素子2段型のラダー型フィルタが構成されて
いる。
一方主面に形成された電極を示し、直列共振子2の他方
主面側にも、同様の電極が形成されている。また、直列
共振子1の両主面にも、同様の電極が形成されている。
他方、並列共振子3,4には、両主面の全面に電極3
a,4aが形成されている。
共振子1,2及び並列共振子3,4を図2に示すように
相互に電気的に接続するために用いられている。この金
属端子5〜11は、直列共振子1,2及び並列共振子
3,4と共に、絶縁性材料よりなるケース材12内に収
納される。また、図示しない蓋材によりケース材12の
上方開口12aが閉成されてラダー型フィルタ部品が構
成される。この場合、金属端子9〜11がケース外に引
き出され、外部との接続端子として利用される。
る場合、直列共振子1,2及び並列共振子3,4がケー
ス内に収納された状態で所望の態様で振動し得ることが
必要である。すなわち、ケース内に収納された状態で、
各共振子1〜4の振動が妨げられてはならない。そこ
で、端部に位置する金属端子11としてはばね性を有す
る、いわゆるばね端子が用いられている。
納した状態の共振子1〜4の振動を妨げないために、金
属端子11として、ばね端子が用いられていたため、か
なりの不要空間が形成され、そのためラダー型フィルタ
全体の大きさがかなり大きくなりがちであった。例え
ば、図示した4素子内蔵の2段のラダー型フィルタにお
いて、最終的なラダー型フィルタ部品として構成した場
合の寸法は、7.0mm×8.0mm×厚み8.0mm
程度の大きさとなっていた。
ー型フィルタにおいても面実装型電子部品として構成さ
れたものが求められている。そこで、特開平4−284
01号公報には、全体形状を小型にすることができ、か
つ面実装型電子部品として構成し得るラダー型フィルタ
が提案されている。このラダー型フィルタでは、直列共
振子及び並列共振子が、圧電板の1つの端縁において音
叉状振動部を構成してなる音叉型圧電共振子により構成
されている。そして、直列共振子及び並列共振子を構成
する複数の音叉型圧電共振子が、互いの音叉状振動部の
振動を妨げないための空洞を確保するための空洞形成材
を介して積層されて一体化されている。
振子を用いたラダー型フィルタでは、組み立て工程の簡
略化、小型化及び面実装化を果たすことができる。しか
しながら、音叉型圧電共振子を用いたものであるため、
充分な帯域幅を確保することができないという問題があ
った。
化及び面実装化を果たし得るだけでなく、充分な帯域幅
を確保し得るラダー型フィルタを提供することにある。
する少なくとも1個の直列共振子と、並列腕を構成する
少なくとも1個の並列共振子とを備えるラダー型フィル
タであり、前記直列共振子及び並列共振子のうち、少な
くとも1個の共振子が、幅拡がりモードを利用したエネ
ルギー閉じ込め型共振子により構成されていることを特
徴とする。
閉じ込め型共振子は、短辺の長さがa、長辺の長さがb
であり、ポアソン比をσとしたときに、前記長辺と短辺
の長さの比b/aが、
とされている矩形板状の振動体を用いて構成されてい
る。
ては、上記エネルギー閉じ込め型共振子において、振動
体の短辺略中央に連結された支持部をさらに備える。こ
の場合、上記幅拡がりモードを利用したエネルギー閉じ
込め型共振子では、振動体の短辺略中央と、主面中央に
ノード点が存在する。従って、短辺略中央に支持部を連
結することにより、エネルギー閉じ込め型共振子の振動
を妨げることなく、振動体を支持部により支持すること
ができる。
体の両側の短辺略中央に連結され、それによって、両側
から振動体の振動を妨げることなく支持部により支持し
得るため、より安定なラダー型フィルタを構成し得る。
るために、上記支持部の外側端には保持部が連結され
る。さらに、上記支持部の外側端に連結された動吸振部
と、動吸振部の外側に接続された連結部とを設けてもよ
く、この場合には、連結部の外側端に上記保持部が連結
される。
は矩形枠状の部材よりなり、該枠状の部材の開口内に上
記振動体が配置される。この構造では、振動体の側方が
矩形枠状の部材で囲まれるため、密封性に優れたラダー
型フィルタを容易に構成することができる。より好まし
くは、上記枠状の部材と、振動体及び支持部等が同一部
材により一体に構成され、従って各部材の接合部分をな
くすことにより、より一層密封性を高め得る。
子により構成され、このような圧電共振子としては、分
極処理された圧電板の両主面に共振電極を形成したもの
を挙げることができる。圧電板としては、圧電セラミッ
クス、圧電単結晶もしくは水晶などからなるものを用い
ることができる。また、上記圧電共振子は、圧電板を用
いずとも構成することができ、例えば金属板や半導体板
の表面に圧電薄膜を形成し、さらに共振電極を形成した
構造であってもよい。
では、直列共振子及び並列共振子のうち少なくとも1個
の共振子が、上記幅拡がりモードを利用したエネルギー
閉じ込め型圧電共振子により構成されている。幅拡がり
モードとは、後述の実施例から明らかなように、矩形板
状の振動体の振動モードの一つであり、正方形板の振動
体の拡がりモード振動と、長方形板の振動体の幅モード
振動との間の振動姿態をとる振動モードである。
電共振子では、振動体の両短辺中央に支持部を単に固着
又は一体に構成するだけで振動体を支持することができ
るため、支持構造を簡略化することができる。よって、
上記支持部の外側に設けられた保持部を利用して他の共
振子と組み合わせることにより、小型のラダー型フィル
タを構成することができる。
動されるため、従来に比べて広い帯域を有するラダー型
フィルタを得ることも可能である。本発明では、上記幅
拡がりモードを利用した振動体において、矩形板状の振
動体の短辺と長辺との比が上記特定の範囲内とされてい
ることにより、幅拡がりモードが効率よく励振される。
これは、本願発明者により実験的に確かめられたもので
ある。
を設けた場合には、動吸振現象により、振動エネルギー
を動吸振部までの部分に効果的に閉じ込めることができ
る。なお、動吸振現象の詳細は、例えば、谷口修著「振
動工学」第113頁〜116頁(コロナ社発行)に記載
されている。簡単に言えば、動吸振現象とは、振動が防
止されるべき主振動体に副振動体を連結し、該副振動体
の固有振動数を選択することにより、主振動体の振動が
抑制される現象を言い、上記動吸振部は、動吸振現象に
おける副振動体に相当し、上記振動体から伝わって振動
している支持部が主振動体に相当することになる。
個の共振子が、上記動吸振部を有する圧電共振子により
構成されているが、該動吸振部を設けたことにより、エ
ネルギー閉じ込め効率が高められている。従って、従来
のすべり振動モードを利用したエネルギー閉じ込め圧電
共振子に比べて、圧電共振子をより一層小型に構成する
ことができるので、ラダー型フィルタの小型化を促進す
ることができる。
明することにより、本発明を明らかにする。
用いられる幅拡がりモードを利用した圧電共振子の原理
及び構造につき説明し、しかる後、上記特定の圧電共振
子を用いたラダー型フィルタについての複数の実施例を
説明することにする。
動体を説明するための斜視図である。ここでは、振動体
205は、厚み方向に分極軸が揃うように分極処理され
た矩形の圧電セラミック板206の両主面に電極207
及び208が形成されている。圧電セラミック板206
の短辺の長さをa、長辺の長さをbとしたときに、b/
aが、上述した特定の範囲に選択されており、それによ
って後述の幅拡がりモードが強く励振される。次に、上
記比b/aを上記特定の範囲としたときに、幅拡がりモ
ードが強く励振されることを説明する。
ード及び幅モードを説明するための振動体の振動姿態を
示す各略図的平面図である。本願発明者は、有限要素法
により、矩形板状の振動体の振動状態を、その短辺およ
び長辺の長さを変化させて解析した。長辺の長さbの短
辺の長さaに対する比b/a=1の場合には、すなわ
ち、振動体が正方形板の場合は、図4に示すように拡が
り振動モードの振動が強く励振される。すなわち、図4
に示す平面形状が正方形の振動体201では、破線Aで
示す状態と、一点鎖線Bで示す状態との間で振動が繰り
返され、拡がりモードが強く励振される。
合、すなわちb/a>>1の場合には、図6に示すよう
に、矩形の振動体が破線Aで示す状態と、実線Bで示す
状態との間で振動し、幅モード振動が強く励振される。
く、上記幅モードの振動が強く励振されるよりも小さい
場合には、図5の振動体203に示すように、一点鎖線
Aと破線Bで示す姿態の間での振動、すなわち、幅拡が
りモードが強く励振されることがわかった。
りモード及び幅モードの中間の振動モードと考えられる
ため、上述のように幅拡がりモードと命名したものであ
る。上記の知見に基づき、比b/aを特定の値に選択し
た圧電セラミック板を用いて図3に示した圧電共振子を
作製した。
種々変更して上記幅拡がり振動モードを励振したとこ
ろ、b/a=−1.47σ+1.88を満たす場合に、
上記幅拡がり振動モードがもっとも強く励振されること
が確かめられた。この場合の圧電共振子205における
変位分布を、有限要素法により解析したところ、図7
(a)に示す結果が得られた。
において、図7(b)に示すように、圧電共振子205
の主面中央をOとし、x軸及びy軸を図示のように定義
し、各部分の変位状態を測定したところ、図8に示す結
果が得られた。すなわち、上記幅拡がりモードが励振さ
れている圧電共振子205の、X軸方向に沿う位置で
は、変位量は中心Oと、図7(b)中のX1 すなわち短
辺中央において最も小さく、その中間において変位量が
最も大きくなることがわかる。このことは、幅拡がりモ
ードを利用した圧電共振子205では、ノード点が主面
中心と、短辺の中央とに位置することを意味する。従っ
て、主面の中心あるいは短辺の中央を他の支持部材によ
って支持することにより、上記幅拡がりモードを阻害す
ることなく圧電共振子205を支持し得ることがわか
る。
アソン比と関係することが確かめられた。すなわち、振
動体のポアソン比を変化させて、上記幅拡がり振動モー
ドが励振される場合の比b/aを測定し、上記b/aの
値をプロットしたところ図9に示す結果が得られた。従
って、図9の直線で示されるように、
ことにより、幅拡がり振動モードを確実に励振し得るこ
とがわかった。
す場合にのみ幅拡がり振動モードが強く励振されるので
はなく、上記式(1)から若干ずれた場合でも幅拡がり
振動モードが強く励振されることがわかったので、ポア
ソン比σ=0.324の圧電セラミック板を用い、幅拡
がり振動モードの励振の有無を比b/aを変化させて確
かめた。すなわち、図7(b)における点X1 における
変位量をD(X1 )、幅拡がりモードにおいて変位量が
最も大きくなる点C(図7参照)の変位量をD(C)と
し、点X1 の点Cに対する相対変位D(X1 )/D
(C)を測定した。結果を、図10に示す。
=0.324の場合、比b/a=1.26〜1.54の
範囲内であれば相対変位が±10%以内であることがわ
かる。そこで、上記のように比b/aが最適の値から±
10%以内となるように図3に示した圧電共振子205
を複数種作製し、短辺中央部に支持部材を連結して共振
特性を測定した。その結果、上記のように相対変位が1
0%以内の場合には、幅拡がりモードが良好に閉じ込め
られることが確かめられた。
aは、式(1)を満たす点を中心として±10%の範囲
内に設定されれば、上記幅拡がり振動モードが良好に励
振され得ることがわかる。また、b/a=−1.47σ
+1.88のn倍(nは整数)であっても上記幅拡がり
振動モードが良好に励振される。
基づいて製作された幅拡がりモードを利用した圧電共振
子を示す平面図及び正面図である。圧電共振子211
は、矩形板状の振動体としての圧電共振部212を有す
る。圧電共振部212は、平面形状が矩形であり、厚み
方向に一様に分極処理された圧電セラミック板213の
両主面の全面に共振電極214,215を形成した構造
を有する。また、上記圧電共振子212の幅拡がり振動
モードで励振された際のノード点である短辺中央には、
支持部材216,217が連結されている。そして、支
持部材216,217の外側端部には、それぞれ、保持
部218,219が連結されている。
持部218,219は、圧電セラミック板213と一体
に形成されている。すなわち、矩形の圧電セラミック板
を用意し、図12(a)に示した形状となるように機械
加工することにより形成されている。もっとも、上記支
持部材216,217及び保持部218,219は、圧
電共振部212と別体の部材で構成されてもよく、接着
等の適宜の方法により図示のように連結したものであっ
てもよい。
れ、支持部材216,217の一方面に形成された引出
し導電部214a,215aにより、保持部218,2
19の一方主面に形成された端子電極220,221に
電気的に接続されている。
221から交流電圧を印加することより、上記圧電共振
部212が幅拡がりモードで励振される。この場合、圧
電共振部212の短辺中央部分は殆ど振動せず、圧電共
振部212の短辺の中央部が振動のノード点を構成する
ため、上記支持部材216,217が連結されていたと
しても、幅拡がりモードの振動は阻害され難い。よっ
て、支持部材216,217間に上記幅拡がりモードに
基づく振動を効果的に閉じ込めることができる。
共振部212の大きさを、幅2.5mm×長さ3.5m
mとした場合には共振周波数は800kHz、幅1.0
mm×長さ1.4mmとしたときには2MHzとなるの
で、800kHz〜2MHz帯で使用するのに適したエ
ネルギー閉じ込め型の圧電共振子を構成し得ることがわ
かった。
の材料で圧電共振部を構成した場合には、当然、有効な
周波数帯域は変わる。従って、共振部212を様々な圧
電材料で構成することにより、様々な周波数帯域で用い
るのに適したエネルギー閉じ込め型の圧電共振子211
を得ることができる。
ルギー閉じ込め型の圧電共振子の他の例をを示す。圧電
共振子231は、矩形板状の振動体としての圧電共振部
232を有する。もっとも、圧電共振部232では、圧
電板232aの上面において、長辺側の端縁に沿うよう
に、一対の共振電極232b,232cが形成されてい
る。なお、圧電板232aは、図示の矢印P方向すなわ
ち共振電極232bから共振電極232cに向かう方向
に分極処理されている。また、本例においても、圧電共
振部232の長辺の長さbの短辺の長さaに対する比b
/aは、式(1)を満たす点を中心として±10%以内
の範囲内に設定されている。
交流電圧を印加することにより、幅拡がりモードによっ
て圧電共振部232が振動する。この場合、圧電共振部
232の変位方向は、印加される電界と平行であるた
め、圧電縦効果を利用した圧電共振子となる。
も、上記幅拡がりモードで共振する圧電共振部232の
振動のノード点に支持部材236,237が連結されて
おり、支持部材236,237の外側端部に保持部23
8,239が連結されている。なお、図13において、
234a,235aは引出し導電部を、240,241
は端子電極を示す。
発明における幅拡がりモードを利用した共振子は、圧電
横効果を利用したものだけでなく、圧電縦効果を利用し
たものにも適用することができる。
ードを利用したエネルギー閉じ込め型圧電共振子のさら
に他の例を示す平面図である。図14に示す圧電共振子
251は、動吸振部及び連結部を設けたことに特徴を有
し、その他の点については図12に示したエネルギー閉
じ込め型の圧電共振子211と同様である。従って、同
一部分については、同一の参照番号を付することによ
り、その説明は省略する。
6,217の外側端に連結されており、上下に延びる棒
状の部分として構成されている。動吸振部252,25
3の外側には、保持部218,219との間に連結部2
54,255が構成されている。
部材216,217が連結されているため、支持部材2
16,217側への振動の漏洩は非常に少ない。しかし
ながら、本例では、わずかに漏洩してきた振動により上
記動吸振部252,253が共振し、それによってわず
かに漏洩してきた振動が相殺される。従って、動吸振部
252,253までの部分に振動エネルギーを効果的に
閉じ込めることができる。よって、より一層小型の圧電
共振子を構成することができる。
/aが選択されている振動体を有する圧電共振子が用い
られた本発明のラダー型フィルタについての実施例を説
明する。
斜視図であり、図16は該ラダー型フィルタの外観を示
す斜視図である。
ース基板21,第1の共振プレート22、分離用スペー
サー23、第2の共振プレート24及びケース基板25
を積層した構造を有する。
ードを利用した動吸振部内蔵型圧電共振子26,27
と、幅拡がり振動モードを利用した動吸振部内蔵型圧電
共振子28とを接着して一体化し、さらに外側に動吸振
部内蔵型圧電共振子26〜28と厚みの等しいスペーサ
ー板29,30を接着剤を用いて接合した構造を有す
る。スペーサー板29,30は、アルミナなどの絶縁性
セラミックスあるいは合成樹脂等の適宜のある程度の強
度を有する絶縁性材料により構成されており、かつ圧電
共振子26,27の振動部分の振動を妨げないための切
欠29a,30aを有する。
(a)に示すように、圧電基板として、矢印Pで示す方
向に一様に分極処理された細長い矩形板状の圧電セラミ
ック板26aを用いて構成されている。圧電セラミック
板26aの一方の側面には、圧電セラミック板26aの
一端から他端側に向かって共振電極26bが形成されて
いる。この共振電極26bの先端は、側面を切欠くこと
により形成された凹部26cに至る部分で終了されてい
る。また、凹部26cと所定距離を隔てて凹部26dが
形成されており、それによって凹部26c,26d間に
動吸振部26eが構成されている。
面においても、圧電セラミック板26aの他方端から前
記一方端に延びるように共振電極26fが形成されてい
る。また、共振電極26bが形成されている側と同様
に、2つの凹部26g,26hを形成することにより、
動吸振部26iが構成されている。
ミック板26aを用意し、各側面において、2本の溝を
形成して、上記凹部26c,26d,26g,26hを
形成することにより、該2本の溝間に、それぞれ、動吸
振部26e,26iが構成されている。
と共振電極26fとが重なり合っている部分が共振部を
構成し、該共振部と動吸振部26e,26iとの間の部
分が支持部を構成し、凹部26d,26hが形成されて
いる部分よりも外側端の圧電セラミック板部分が保持部
を構成し、該保持部と動吸振部26e,26iとの間の
相対的に幅の狭い圧電セラミック部分が連結部を構成し
ている。
電極26b,26fから交流電圧を印加することによ
り、共振電極26b,26fが重なり合う領域が、すべ
り振動モードで共振し、圧電共振子として動作する。
り合う領域で発生した振動は、動吸振部26e,26i
までの部分に閉じ込められる。すなわち、すべり振動モ
ードの共振が、共振電極26b,26fが重なり合う部
分、すなわち共振部から外側に漏洩したとしても、該漏
洩した振動により動吸振部26e,26iが共振し、動
吸振現象により減衰される。従って、動吸振部26e,
26iよりも外側の圧電セラミック板部分には振動もほ
とんど伝達されない。よって、動吸振部内蔵型圧電共振
子26では、動吸振部26e,26iよりも外側の圧電
セラミック板部分を他の部材に連結することにより、共
振部の共振を妨げることなく圧電共振子26を機械的に
保持することが可能とされている。
用いられている動吸振部内蔵型圧電共振子28を、図1
7(b)を参照して説明する。動吸振部内蔵型圧電共振
子28は、図17(b)に示す平面形状を有する圧電セ
ラミック板28aを用いて構成されている。この圧電セ
ラミック板28aでは、圧電セラミック板は中央に平面
形状が矩形の共振部28bが構成されている。
辺と短辺との長さの比b/aが、上述した式(1)を満
たす値から±10%の範囲内となるように構成されてい
る。すなわち、この動吸振部内蔵型圧電共振子28は、
前述した図14に示した圧電共振子251と同様に構成
されているものである。
極処理されており、かつ両主面に共振電極28cが形成
されている(下面側の共振電極については図示され
ず)。共振部28bの両主面の共振電極28cから交流
電圧を印加することにより、共振部28bは幅拡がり振
動モードで共振される。
側面中央には、細長い棒状の支持部28d,28eが連
結されており、支持部28d,28eの外側端にそれぞ
れ、動吸振部28f,28gが構成されている。動吸振
部28f,28gは、屈曲モードで振動するように構成
されており、共振部28bから伝達してきた振動によっ
て共振するように構成されている。従って、共振部28
bにおける共振は、動吸振部28f,28gまでの部分
に閉じ込められる。
は、連結部28h,28iが連結されており、該連結部
28h,28iの外側端に保持部28j,28kが連結
されている。保持部28j,28kは、圧電共振子28
を他の部材と連結したり、機械的に保持するための部分
として設けられており、図示のように比較的大きな面積
を有する。
型圧電共振子28は、上記のように1枚の圧電セラミッ
ク板を機械加工することにより形成されてもよいが、各
部分が別体で構成されており、相互に接着剤等により連
結されていてもよい。例えば、図17(b)に示した圧
電セラミック板28aに代えて、共振部を構成する矩形
の圧電セラミック板の側方に、上記支持部28d,28
e、動吸振部28f,28g、連結部28h,28i及
び保持部28j,28kを構成する各部材を接着剤等に
より接着して一体化してもよい。後述の第2の実施例以
下の実施例で用いられる圧電共振子においても、各圧電
共振子を構成するための圧電セラミック板等は、本実施
例と同様に、圧電セラミック板を機械加工により形成し
たものであっても、あるいは複数の部材を連結して構成
されていてもよいことを指摘しておく。
lを介して保持部28kの上面に形成された電極28m
に電気的に接続されている。同様に、共振部28bの下
面に形成された共振電極についても、接続導電部を介し
て保持部28jの下面に形成された電極に電気的に接続
されている。
振子26と同一の構造を有する動吸振部内蔵型圧電共振
子27と、上記動吸振部内蔵型圧電共振子26,28が
互いの保持部の側面を絶縁性接着剤で接着することによ
り一体化されており、かつ前述したスペーサ板29,3
0をさらに側方に接合することにより、第1の共振プレ
ート22が構成されている。
圧電共振子26〜28を後述のようにラダー型フィルタ
を構成するように電気的に接続するための電極22a〜
22dが形成されている。電極22aは、前述した圧電
共振子26の共振電極26f(図17(a)参照)に電
気的に接続されている。同様に、電極22cは、共振電
極26bに、電極22b,22dは、それぞれ、圧電共
振子27の側面に形成された一方の共振電極に電気的に
接続されている。また、圧電共振子28では、一方の共
振電極28cに接続されている電極28mが図示のよう
に共振プレート22の端縁に至るように形成されてお
り、同じく下面側の共振電極に電気的に接続される電極
も共振プレート22の下面において反対側の端縁に至る
ように形成されている。
26と同一構造を有するすべり振動モードを利用した動
吸振部内蔵型圧電共振子31の両側に、動吸振部内蔵型
圧電共振子28と同様に構成された幅拡がり振動モード
を利用した動吸振部内蔵型圧電共振子32,33が接着
されている。また、これらの圧電共振子31〜33と厚
みの等しい絶縁性セラミックスもしくは合成樹脂等の適
宜のある程度の強度を有する絶縁性材料により構成され
たスペーサ34,35が、圧電共振子32,33の側方
に接着されている。スペーサ34,35は、図示のよう
に、圧電共振子32,33側の端縁に略コの字状の切欠
34a,35aを有する。切欠34a,35aは、圧電
共振子32,33の共振部及び動吸振部の振動を妨げな
いための空間を確保するために設けられている。なお、
圧電共振子31及び圧電共振子32,33の構造自体
は、前述した圧電共振子26及び圧電共振子28と同様
であるため、その詳細な説明は省略する。
に、電極24a,24bが異なる端縁に至るように形成
されている。電極24a,24bは、それぞれ、圧電共
振子31の両側面に形成された共振電極の一方に電気的
に接続されている。また、圧電共振子32,33では、
上面に形成された共振電極32a,33aに電気的に接
続された保持部上の電極32c,33dが共振プレート
24の異なる端縁に至るように形成されている。また、
これらの圧電共振子32,33の共振部の下面に形成さ
れた共振電極については、下面において反対側の端縁に
至る電極に電気的に接続されている。
及び上面に凹部21a,25aを有する。凹部21a,
25aは、積層された際に隣接する圧電共振子の共振部
や動吸振部の振動を妨げないように設けられている。ま
た、分離用スペーサ23においても、上面に凹部23a
が形成されており、図15では明確ではないが、下面側
にも凹部23aと同じ形状の凹部が形成されている。こ
れらの凹部は、上下に配置される圧電共振子の共振部及
び動吸振部の振動を妨げないために設けられている。
25aを設けずに、平板状のケース基板21、分離用ス
ペーサ23及びケース基板25を用いてもよい。その場
合には、共振部及び動吸振部の振動を妨げないために、
凹部21a,23a,25aの深さに相当する厚みの矩
形枠状のスペーサを間に介在させたり、あるいは絶縁性
接着剤を矩形枠状に塗布することにより、同様の空間を
形成する必要がある。
23は、ある程度の強度を有する絶縁性材料、例えばア
ルミナなどの絶縁性セラミックスもくしは合成樹脂等に
より構成することができる。
第1の共振プレート22,分離用スペーサ23、第2の
共振プレート24及びケース基板25を積層し、絶縁性
接着剤で接着することにより、積層構造を有するラダー
型フィルタとして一体化される。これを、図16を参照
して説明する。
ダー型フィルタ20では、矩形板状の複数の部材を積層
した構造を有し、側面から上面及び下面に至るように端
子電極20a〜20lが形成されている。端子電極20
a〜20lは、導電ペーストを塗布し、焼き付けること
により、あるいは蒸着、メッキもしくはスパッタリング
等により形成することができる。また、図15に示され
ているように、ケース基板21の上面に、予め電極21
bを複数形成しておき、さらにケース基板25の下面に
も同様に複数の端子電極部分を形成しておき、しかる
後、図16に示されているように積層体の側面に電極材
料を付与することにより、側面から上面及び下面に至る
端子電極20a〜20lを形成してもよい。
タでは、図18に示すように、端子電極20a〜20l
を結線し、端子電極20aを入力端とし、端子電極20
k,20jを出力端とし、端子電極20l,20f,2
0bを接地電位に接続することにより、図19に回路図
で示すラダー型フィルタとして動作させることができ
る。
べり振動モードや幅拡がり振動モードを用いた動吸振部
内蔵型圧電共振子26〜28,31〜33を用いて直列
共振子及び並列共振子が構成されている。従って、音叉
型圧電共振子を用いたラダー型フィルタに比べて、通過
帯域幅を容易に拡げることができる。
吸振部までの部分において振動エネルギーが閉じ込めら
れるため、各動吸振部内蔵型共振子をその保持部を利用
して上述のように簡単に連結し、一体化することができ
る。
り振動モードを利用した圧電共振子として、上記のよう
に動吸振部を有する構造のものを用いたが、第1の実施
例のラダー型フィルタ並びに以下の実施例におけるラダ
ー型フィルタの動吸振部を有する幅拡がりモードを利用
した圧電共振子において、動吸振部を省略した構造とし
てもよいことを指摘しておく。
れ、圧電セラミック板を機械加工することにより一体に
構成してもよい。この場合には、保持部としての矩形枠
状の部材内に、振動体が配置されることになり、かつ各
共振子やスペーサー板の接合を必要としない。よって、
例えば図15に矢印Aで示す接合部分が存在しなくなる
ため、側方に対する密封性を高め得る。なお、以下の実
施例においても、共振プレートは一体に構成し得ること
を指摘しておく。
られるT型接続用フィルタの分解斜視図であり、図21
は該T型フィルタの外観を示す斜視図である。
共振プレート72と、ケース基板73とを積層すること
により構成されている。ケース基板71,73は、第1
の実施例のケース基板21,25と同様に構成されてい
る。すなわち、ケース基板73の上面には凹部73aが
形成されており、特に図示はされていないが、ケース基
板71の下面にも同様の凹部が形成されている。
で用いられた共振プレート22とほぼ同様に構成されて
いる。すなわち、中央に幅拡がりモードを利用した動吸
振部内蔵型圧電共振子28を配置し、その側方にすべり
モードを利用した動吸振部内蔵型圧電共振子26,27
を接着し、さらに外側にスペーサ29,30を接着した
構造を有する。もっとも、本実施例では、圧電共振子2
8の上面においては、共振電極28cに接続される電極
28mが引き出された端縁側に、圧電共振子26,27
の各一方の共振電極に接続される電極72a,72bも
引き出されている。
うに、下面側においても、共振電極28nに電気的に接
続される電極28oが圧電共振子26,27の他方の共
振電極に電気的に接続される電極72c,72dと同一
端縁側に引き出されている。
積層して得られたラダー型フィルタ70では、上記電極
28m,72a〜72dが形成されている位置に応じ
て、端子電極70a〜70fが形成されている。従っ
て、端子電極70cを入力端、端子電極70bを接地電
位に接続されるようにし、端子電極70aを出力端と
し、端子電極70d〜70fを共通接続することによ
り、図22に示すT型接続用のフィルタが構成される。
参照して示すπ型接続用フィルタと接続されて、3段の
ラダー型フィルタを構成する。このπ型フィルタを、図
23及び図24を参照して説明する。
振プレート82及びケース基板83を積層した構造を有
する。ケース基板81,83は、図20に示したケース
基板71,73と同様に構成されている。すなわち、ケ
ース基板81の下面に凹部が、ケース基板83の上面に
凹部83aが形成されている。
の共振プレート24とほぼ同様に構成されている。異な
るところは、幅拡がりモードを利用した動吸振部内蔵型
圧電共振子32,33の上面の共振電極32a,33a
が何れも、共振プレート82の一方端縁側に引き出され
ており、図23に破線で右側に示すように、下面の共振
電極についても、何れもが共振プレート82の他方の端
縁側に引き出されていることにある。その他の点につい
ては、図15の共振プレート24と同様であるため、相
当の部分については相当の参照番号を付することにより
その説明は省略する。
0において、側面に端子電極80a〜80fを形成し、
端子電極80a,80bを共通接続し、出力端とし、端
子電極80c,80dを接地電位に接続し、端子電極8
0g,80fを共通接続して入力端とすることにより、
図25に示すπ型フィルタが構成される。
π型フィルタ80の入力端とを接続することにより、3
段のラダー型フィルタが構成される。言い換えれば、T
型フィルタ70とπ型フィルタ80とを接続することに
より、第1の実施例のラダー型フィルタと同じ段数のラ
ダー型フィルタを構成することができる。
を参照して示すT型フィルタ90と、図28及び図29
を参照して説明するπ型フィルタ100とを接続するこ
とにより構成され、第2の実施例と同様に3段のラダー
型フィルタを構成するものである。
は、第2の実施例のT型フィルタ70の場合と同様に、
ケース基板71,73と、共振プレート92とを積層し
た構造を有する。共振プレート92では、中央に幅拡が
りモードを利用した動吸振部内蔵型圧電共振子93が配
置されている。この圧電共振子93は、第1の実施例で
用いられた幅拡がりモードを利用した動吸振部内蔵型圧
電共振子28と同様の構造を有する。
を利用した動吸振部内蔵型圧電共振子94,95が保持
部同士を接着することにより接合されている 圧電共振子94は、圧電セラミック板を機械加工するこ
とにより図示の形状とされており、中央に矩形板状の共
振部94aを有する。共振部94aでは、その分極軸方
向が圧電板の長さ方向に沿うように分極処理されてい
る。共振部94aには、上面において、対向する一対の
端縁に沿うように、共振電極94b,94cが形成され
ている。従って、共振電極94b,94cから交流電圧
を印加することにより、すべり振動モードで共振部94
aが共振する。
す図において、共振子94の輪かくが破線で示されてい
るが、この図を参照して共振子94の形状を説明する。
共振部94aには、相対的に幅の狭い支持部94d,9
4eが連結されており、該支持部94d,94eの外側
端に動吸振部94f,94gが構成されている。また、
動吸振部94f,94gの外側の側面に、連結部94
h,94iを介して保持部94j,94kが連ねられて
いる。共振部94aの外側の各部分の詳細は、圧電共振
子28と同様である。
共振子95についても、圧電共振子94と同一に構成さ
れている。上記圧電共振子94,95の外側には、スペ
ーサ96,97が貼り合わされている。スペーサ96,
97は圧電共振子93〜95と等しい厚みを有するよう
に構成されており、かつ圧電共振子94,95側に切欠
96a,97aを有する。この切欠96a,97aは、
圧電共振子94,95の振動部分の振動を妨げないため
に設けられている。
73で挟持するように積層し、端面に端子電極90a〜
90fを形成することにより、第2の実施例のT型フィ
ルタ70と同様のT型フィルタを得ることができる(図
27)。すなわち、端子電極90cを入力端、端子電極
90d〜90fを共通接続し、端子電極90bを接地電
位に接続し、端子電極90aを出力端とすることによ
り、T型フィルタとして動作させることができる。
例におけるπ型フィルタ80とほぼ同様に構成されてい
る。すなわち、ケース基板81,83間に共振プレート
101を介在させて積層することにより構成されてい
る。共振プレート101が、共振プレート82と異なる
ところは、中央に、すべり振動モードを用した動吸振部
内蔵型圧電共振子102を用いたことにある。動吸振部
内蔵型圧電共振子102は、T型フィルタ90に用いた
動吸振部内蔵型圧電共振子94と同様に構成されてい
る。
1、共振プレート101及びケース基板83を積層して
得られた積層体に端子電極100a〜100fを形成す
ることにより、π型フィルタが構成される。すなわち、
端子電極100a,100bを共通接続して出力端と
し、端子電極100c,100dを接地電位に接続し、
端子電極100e,100fを共通接続し、入力端とす
ることにより、π型フィルタとして動作させることがで
きる。よって、第2の実施例の場合と同様に、T型フィ
ルタ90とπ型フィルタ100とを接続することによ
り、3段のラダー型フィルタを構成することができる。
を示す分解斜視図、図31はその外観を示す斜視図であ
る。
ケース基板111、共振プレート112、空洞形成用ス
ペーサ113、共振プレート114及びケース基板11
5が積層されている。
が、ケース基板111の下面にも同じような凹部が形成
されており、それによって積層される共振プレートの振
動部分の振動を妨げないための空間が確保されている。
また、空洞形成用スペーサ113を間に介在させること
により、共振プレート112,114の振動部分の振動
を妨げないための空間が構成される。
成用スペーサ113の詳細は、第1の実施例に用いたケ
ース基板及び空洞形成用スペーサと同様にして構成され
るので、その詳細な説明は省略する。
した動吸振部内蔵型圧電共振子26の両側にスペーサ1
16,117を貼り合わせた構造を有する。スペーサ1
16,117は、圧電共振子26側の側面に切欠116
a,117aを有し、それによって圧電共振子26の振
動部分の振動が妨げないようにされている。
引き出されている部分の電極の形成位置が若干異なるこ
とを除いては、図17(b)に示した圧電共振子28と
同一の圧電共振子28の側方にスペーサ118,119
を貼り合わせることにより構成されている。スペーサ1
18,119は、スペーサ116,117と同様に、圧
電共振子28側に切欠118a,119aを有する。
が、圧電共振子28では、共振部28bの下面にも共振
電極が形成されており、該共振電極に電気的に接続され
た電極が共振プレート114の端縁114a側に至るよ
うに形成されている。
上記各部材を積層し、図31に示すように端子電極11
0a,110b,110cを側面に形成することにより
完成される。すなわち、端子電極110aを接地電位に
接続し、端子電極110bを入力端、端子電極110c
を出力端とすることにより、図32に示すように1段の
ラダー型フィルタを構成することができる。また、上記
共振プレート112,114をそれぞれ2枚以上積層す
ることにより、2段以上のラダー型フィルタも容易に構
成することができる。
図34を参照して説明する。
た動吸振部内蔵型圧電共振子26と、幅拡がりモードを
利用した動吸振部内蔵型圧電共振子28とが異なる共振
プレート112,114に構成されていたが、本実施例
では、両圧電共振子26,28が1枚の共振プレート1
21として一体化されている。すなわち、圧電共振子2
6,28がスペーサ122を介して接着されており、か
つ圧電共振子28の側方にスペーサ123が、圧電共振
子26の外側にはスペーサ124が接合されて、共振プ
レート121が構成されている。他方、共振プレート1
21を、上下からケース基板125,126で挟持し積
層することにより、図34に示す積層体が得られる。
〜120dを形成することにより、1段のラダー型フィ
ルタが構成される。すなわち、端子電極120aを接地
電位に接続し、端子電極120bを入力端とし、端子電
極120c,120dを共通接続し出力端とすることに
より、図35に示すように1段のラダー型フィルタが構
成される。また、上記共振プレート121を複数枚、間
に空洞形成用スペーサを介して積層することにより、2
段以上のラダー型フィルタも容易に構成し得る。
するための分解斜視図であり、図37は該ラダー型フィ
ルタの外観を示す斜視図である。
31、空洞形成用スペーサ132、第1の共振プレート
133、空洞形成用スペーサ134、第2の共振プレー
ト135、空洞形成用スペーサ136及びケース基板1
37を積層した構造を有する。
縁性セラミックスもしくは合成樹脂等により構成されて
おり、空洞形成用スペーサ132,134,136は、
第2の実施例で用いた空洞形成用スペーサと同様に構成
されている。
ードを利用した動吸振部内蔵型圧電共振子138,13
9をその保持部同士を接着することにより一体化し、さ
らに外側にスペーサ140,141を貼り合わせた構造
を有する。
た幅拡がりモードを利用した動吸振部内蔵型圧電共振子
28と同様に構成されている。また、同じく幅拡がりモ
ードを利用した、但し縦効果を利用した動吸振部内蔵型
圧電共振子139は、圧電共振子138と同様の平面形
状を有する圧電セラミック板において、図36の右側に
示すように共振部の下面において対向する一対の端縁に
共振電極139a,139bを形成することにより構成
されている。また、分極方向は図中の矢印で示される。
従って、共振電極139a,139b間に交流電圧を印
加することにより、圧電縦効果を利用した幅モード共振
子として動作する。なお、共振電極139a,139b
は、それぞれ、共振プレート133の異なる対向端縁に
引き出されている。
プレート133と同様に、幅モード利用した横効果の動
吸振部内蔵型圧電共振子142と、縦効果を利用した動
吸振部内蔵型圧電共振子143とをその保持部同士を貼
り合わせることにより、さらに両側にスペーサ144,
145を貼り合わせることにより構成されている。もっ
とも、第2の共振プレート135では、縦効果を利用し
た動吸振部内蔵型圧電共振子143において、一対の共
振電極143a,143bが共振プレート135の上面
側に形成されている。
述した各部材を積層し、得られた積層体の両端面に、図
37に示す端子電極130a〜130fを形成すること
により得られる。
し、端子電極130a,130dを共通接続し出力端と
し、端子電極130e,130fを共通接続し、端子電
極130bを接地電位に接続することにより、図38に
示す2段のラダー型フィルタが構成される。
図39に分解斜視図で、図40に外観斜視図で示す。
ルタの変形例に相当する。従って、異なる部分について
のみ、説明することにする。第1の共振プレート151
は、圧電縦効果を利用した幅拡がりモードの動吸振部内
蔵型圧電共振子153,154をその保持部同士を接着
することにより一体化した構造を有する。この圧電共振
子153,154の構造は、第6の実施例で用いた圧電
共振子143と同様である。
電横効果を利用した幅拡がりモードの動吸振部内蔵型圧
電共振子155,156がその保持部同士を接着するこ
とにより一体化されている。
実施例において用いた圧電共振子138と同様に構成さ
れている。上記第1の共振プレート151では、一方端
縁に沿って上面側に電極151a,151bが形成され
ており、電極151a,151bは、それぞれ、圧電共
振子153,154の一方の共振電極に電気的に接続さ
れている。他方、共振プレート151の他方端縁に沿う
ように電極151cが形成されており、電極151c
は、圧電共振子153,154の他方の共振電極にそれ
ぞれ電気的接続されている。
電共振子155,156の共振電極155a,156a
に電気的に接続される電極152aが共振プレート15
2の一方端縁に沿うように形成されている。他方、共振
プレート152の下面においては、圧電共振子155,
156の下面側の共振電極に電気的に接続される電極1
52b,152cが、それぞれ、共振プレート152の
他方端縁に沿うように形成されている。なお、157,
158はケース基板を、159a〜159cは空洞形成
用スペーサを示す。
図40に示すように端子電極150a〜150fを形成
することにより、第7の実施例のラダー型フィルタ15
0が得られる。ラダー型フィルタ150では、第6の実
施例と同様に端子電極を接続することにより、第6の実
施例と同様に2段のラダー型フィルタとして動作させる
ことができる。
するための分解斜視図であり、図42は該ラダー型フィ
ルタの外観を示す斜視図である。
1,第2の共振プレートの構造が異なることを除いて
は、第7の実施例と同様に構成されている。図41を参
照して、第1の共振プレート161は、すべりモードを
利用した動吸振部内蔵型圧電共振子162と、幅拡がり
モードを利用した動吸振部内蔵型圧電共振子163とを
その保持部同士を接着することにより一体化されてい
る。圧電共振子162,163の外側には、スペーサ1
64,165が貼り合わされている。 圧電共振子16
2は、第1の実施例で用いたすべりモードを利用した圧
電共振子26(図17(a)参照)と同様に構成されて
いる。この圧電共振子162の一方側面に形成された共
振電極は、共振プレート161の一方端縁に沿うように
形成された電極161aに電気的に接続されている。他
方、他方側面に形成された共振電極は、共振プレート1
61の他方端縁に沿うように形成された電極161bに
電気的に接続されている。
内蔵型圧電共振子163は、第6の実施例で用いた圧電
共振子138と同様に構成されている。この圧電共振子
163の上面の共振電極163aは、電極161cに電
気的に接続されている。電極161cは、電極161b
と同じ端縁に沿うように形成されている。
共振プレート161の下面側においては、圧電共振子1
63の下面に形成された共振電極163bが、共振プレ
ート161の一方端縁に沿うように形成された電極16
1dに電気的に接続されている。
共振プレート161を反転させた構造に相当する。すな
わち、すべりモードを利用した動吸振部内蔵型圧電型共
振子167、幅モードを利用した動吸振部内蔵型圧電共
振子168を保持部同士を接着させて一体化し、外側に
スペーサ169a,169bを貼り合わせた構造を有す
る。
のに相当するため、両主面に形成される電極形状は、第
1の共振プレート161と上下が逆とされている。上記
各部材を積層し、得られた積層体に、端子電極160a
〜160fを形成することにより、図42に示すラダー
型フィルタ160が得られる。本実施例においては、端
子電極160a,160dを出力端とし、端子電極16
0cを入力端とし、端子電極160bを接地電位に接続
し、端子電極160e,160fを共通接続することに
より、2段のラダー型フィルタとして動作させることが
できる。
圧電共振子をその主面が水平方向となるように複数の部
材を積層して積層型のラダー型フィルタが構成されてい
た。しかしながら、本発明のラダー型フィルタは、圧電
共振子の主面が水平方向を向くように複数積層した構造
を有するものに限らない。第9の実施例はこのように複
数の圧電共振子を主面が垂直方向を向くように積層した
構造の例である。
0では、圧電横効果を利用した幅拡がりモードの動吸振
部内蔵型圧電共振子171,173と、圧電縦効果を利
用した幅拡がりモードの動吸振部内蔵型圧電共振子17
2,174とが、図示のように交互にスペーサ175を
介して横方向に積層される。なお、圧電共振子171の
外側及び圧電共振子174の外側には、それぞれ、略コ
の字状のスペーサ176,177が貼り合わされる。
ーサ176,177は、各圧電共振子の保持部に接着さ
れる。従って、スペーサ175,176,177を用い
て複数の圧電共振子171,174を接着し一体化した
構造において、各圧電共振子171〜174の共振部及
び動吸振部の振動が妨げられることはない。
〜174をスペーサ175〜177とともに接着し一体
化した構造体の上面及び下面にケース基板178,17
9が積層される。
170の外観を図44に示す。外部との接続は、得られ
た積層体の端面に形成された端子電極170a〜170
d,170e〜170hを利用して行われる。すなわ
ち、端子電極170a,170gを接地電位に接続し、
端子電極170b〜170dを共通接続し、端子電極1
70e,170fを共通接続して出力端とし、端子電極
170hを入力端とすることにより、2段のラダー型フ
ィルタが構成される。
解斜視図であり、図46は該ラダー型フィルタの外観を
示す斜視図である。
共振プレート372〜375及びケース基板376が積
層される。ここでは、共振子の振動を妨げないために、
共振プレート372〜375がこれらに枠状に接着剤を
付与し接着することにより、振動空間が確保されてい
る。
利用したエネルギー閉じ込め型圧電共振子377の側方
に第1,第2のスペーサ板378,379を接合するこ
とにより構成されている。圧電共振子377は、矩形板
状の圧電振動部381に、支持部を介して保持部38
2,383を連結した構造を有する。圧電振動部381
においては、上面に第1の共振電極380aが、下面に
第2の共振電極380bが形成されている。本実施例に
おいても、圧電振動部381の上面が、短辺の長さを
a、長辺の長さをbとしたときに、前述した式(1)を
満たす値を中心として±10%の範囲内となるように比
b/aが定められている。従って、圧電振動部381に
振動エネルギーが効果的に閉じ込められる。
プレート372とほぼ同様に構成されている。もっと
も、共振電極380a,380bに電気的に接続されて
おり、かつ保持部382,383に形成される引き出し
電極の位置が、共振プレート372とは異ならされてい
る。
ては、第1,第2の共振電極380a,380bが、圧
電振動部381の主面よりもかなり小さい面積に形成さ
れている。従って、電極380a,380b間の静電容
量が比較的小さくされている。
拡がりモードを利用したエネルギー閉じ込め型の圧電共
振子385が用いられており、圧電共振子385の側方
に第1,第2のスペーサ板386,387が接合されて
いる。圧電共振子385は、共振電極を除いては、圧電
共振子377と同様に構成されている。従って、同一部
分については、同一の参照番号を付することによりその
説明を省略する。圧電共振子385では、第1,第2の
共振電極388a,388bが、圧電振動部381の上
面及び下面において、外周縁には至らないが、かなり大
きな面積を有するように矩形形状に形成されている。従
って、共振電極388a,388b間の静電容量が、圧
電共振子377における共振電極380a,380b間
の静電容量に比べてかなり大きくされている。
381が、幅拡がりモードを利用したエネルギー閉じ込
め型圧電共振子を構成するように設けられているため、
振動エネルギーが圧電振動部381に効果的に閉じ込め
られる。
ース基板371,376及び共振プレート372〜37
5を積層し、所定の外部電極を形成することにより得ら
れる。
ラダー型フィルタ370では、外部電極389a〜c
が、得られた積層体の一方側面に、389d〜389f
が他方側面に形成されている。この外部電極389aを
出力端として用い、外部電極389b,389eを接地
電位に接続し、外部電極389cを入力端として用いる
ことにより、2段のラダー型フィルタが構成される。こ
の場合、前述した圧電共振子377,377が直列共振
子を、容量の相対的に大きな圧電共振子385,385
が並列共振子を構成する。なお、電極389dは端子電
極A,B,Cを短絡させる作用を有するか、外部電極3
89d,389fは、ダミーの外部電極であり、ラダー
型フィルタとして動作させる際の外部回路接続用として
は用いられない。
るための分解斜視図である。本実施例のラダー型フィル
タでは、ベース基板391とキャップ材392とで構成
される空間内に複数の圧電共振子が積層される。ベース
基板391は、アルミナなどの絶縁性セラミックあるい
は合成樹脂等の適宜の絶縁材料により構成される。ベー
ス基板391上には、接続導電部391a〜391e
が、分散形成されている。これらの接続導電部391a
〜391eは、後述する圧電共振子の引き出し電極に電
気的に接続され、あるいはベース基板391の側面に形
成された外部電極391f〜391h,391jに電気
的に接続される。
属等の適宜の材料で構成され、下方に開口を有する。ま
た、キャップ材392は、開口部が、ベース基板391
の上面の面積よりも小さくされており、従ってキャップ
材392の下端面がベース基板391の上面に絶縁性接
着剤等を用いて接合され、それによって、キャップ材3
92がベース基板391と一体化される。もっとも、キ
ャップ材392の開口部は、ベース基板391の側面に
当接されるように、その大きさが選ばれていてもよい。
電共振子377及び圧電共振子385が各2個用いら
れ、図示のように積層される。もっとも、図47では特
に示してはいないが、上下に配置される圧電共振子の振
動を妨げないための空間を圧電共振子間及び圧電共振子
377とベース基板391との間に設けるために、導電
性接着剤等392A〜395が用いられる。すなわち、
図47においては、各導電性接着剤392A〜395は
浮いた状態で模式的に示されているが、積層にあたり、
塗布される。例えば、導電性接着剤392Aは、圧電共
振子377と、圧電共振子385との接着に用いられ、
両圧電共振子377,385の保持部間に所定の厚みを
有するように介在される。それによって、圧電共振子3
77と、圧電共振子385との間に所定の厚みの空間が
形成され、両圧電共振子377,385の圧電振動部の
振動が妨げられない。また、導電性接着剤392Aは、
図示のように、圧電共振子377の保持部382,38
3の側面に形成された電極382a〜382c及び38
3a〜383cに電気的に接続されるように、接続され
た状態で保持部382,383の外周縁に至るように配
置されている。同様に、他の導電性接着剤393〜39
5についても、その上方または下方に位置する圧電共振
子の圧電振動部の振動を妨げないための空間を形成する
ために、所定の厚みに形成される。
ても、各圧電共振子の側面に形成されている電極やベー
ス基板391上の接続導電部、あるいはベース基板39
1の側面に形成された外部電極391f〜391kに電
気的に接続されるように配置されている。
上記のように、2個の幅拡がりモードを利用したエネル
ギー閉じ込め型の圧電共振子377,377及び2個の
幅拡がりモードを利用したエネルギー閉じ込め型圧電共
振子385,385が積層されて2段のラダー型フィル
タが構成される。しかも、ベース基板391とキャップ
材392とを接合することにより構成された空間内に、
複数の圧電共振子377,385が囲撓されるため、耐
湿性に優れたラダー型フィルタを容易に構成することが
できる。
解斜視図である。第12の実施例のラダー型フィルタ
は、第11の実施例のラダー型フィルタの変形例に相当
する。
続導電部の形状は異なるものの、ベース基板391と同
様に構成されたベース基板396とキャップ材392と
を用いてチップ型のラダー型フィルタが構成される。
部396a〜396fが形成されている。これらの接続
導電部396a〜396fは、ベース基板396の側面
に形成された外部電極、あるいは上方に配置される圧電
共振子に電気的に接続されるように配置されている。
451〜454が積層されている。これらの圧電共振子
451〜454の接合及び圧電共振子454とベース基
板396との接合に際しては、第8の実施例と同様に、
導電性接着剤等392〜395が用いられる。図48に
おいても、これらの導電性接着剤392〜395は、中
に浮かされた状態で図示されているが、実際には、圧電
共振子451〜454の上面もしくは下面あるいはベー
ス基板396の下面に所定の厚みを有するように塗布さ
れる。ここまでは、第11の実施例と同様である。ま
た、第11の実施例及び第12の実施例において、異方
性の導電接着剤を用いれば接合材を分離形成しないでも
よい。このような異方性導電接着剤の例を図48の右方
に参照番号195Aで示す。
54が、前述した幅拡がりモードを利用したエネルギー
閉じ込め型の圧電共振子として、振動体部分のみを用い
て構成されていることにある。すなわち、圧電共振子4
51は、厚み方向に分極処理された矩形板状の圧電セラ
ミック板455を用いて構成されている。この圧電セラ
ミック板455の上面455aは、矩形の形状を有し、
その短辺の長さをa、長辺の長さをbとし、圧電セラミ
ック板455を構成している材料のポアソン比をσとし
たときに、比b/aが、前述した式(1)を満たす値を
中心として±10%の範囲内となるようにその形状が定
められている。また、圧電セラミック板455の上面及
び下面には、圧電共振子377と同様に、第1,第2の
共振電極456a,456bが主面よりもかなり小さな
面積に形成されている。
から交流電圧を印加することにより、圧電共振子451
は圧電横効果により幅拡がりモードで振動される。この
場合、振動のノード点は、圧電セラミック板455の短
辺側に沿う側面の中央に位置する。従って、本実施例で
は、短辺側の側面の中央領域に、圧電共振子451を接
合するための引き出し電極457a〜457c,458
a〜458cが形成されている。
1とほぼ同様に構成されている。異なる点は、上面及び
下面に形成された第1,第2の共振電極456a,45
6bの電極引き出し方向が異ならされているだけであ
る。
1,第2の共振電極457a,457bが、共振電極4
56a,456bに比べてかなり大きな寸法を有するよ
うに形成されていることを除いては、圧電共振子451
と同様に構成されている。また、圧電共振子453は、
上記圧電共振子452と電極引き出し方向が異なる点を
除いては同様に構成されている。
ても、両主面の第1,第2の共振電極から交流電圧を印
加することにより、幅拡がりモードの振動が励振され
る。そして、この振動に基づく共振エネルギーは、各圧
電共振子452〜454内に効果的に閉じ込められる。
ぞれ、上記のように振動のノード点が、短辺側に沿う側
面中央領域存在するため、上記のように、引き出し電極
457a〜457c,458a〜458cが形成されて
いる部分において、導電性接着剤等192A〜195を
用いて接合することにより、共振特性に影響をあまり与
えることなく、圧電共振子451〜454を積層・固着
することができる。
実施例のラダー型フィルタと同様に、2段のラダー型フ
ィルタを構成することができる。しかも、本実施例で
は、圧電共振子451〜454が、幅拡がりモードを利
用した振動体部分のみを有する圧電共振子を用いて構成
されているため、圧電共振子451〜454は、極めて
容易に製造することができ、かつ機械的強度も高められ
ている。
ラダー型フィルタは、いずれも、前述した幅拡がりモー
ドを利用した圧電共振子を用いて構成したことにおいて
共通するものであり、振動体の両短辺中央及び振動体の
主面に振動のノード点を有するため、支持構造を簡略化
することができる。従って、上述した各実施例から明ら
かなように、従来に比べて小型のラダー型フィルタを容
易に構成し得る。
に、本発明で用いられる圧電共振子は、振動体部分のみ
で構成されてもよく、従って、支持部を必ずしも備えず
ともよい。さらに、第1〜第11の実施例では、支持部
を連結した幅拡がりモードを利用した圧電共振子を用い
た例につき説明したが、図示の実施例では、支持部が振
動体の両短辺略中央に連結されていたが、いずれか一方
の短辺略中央にのみ支持部が連結されている構造であっ
てもよい。
斜視図。
体を説明するための斜視図。
図。
素法により解析された変位分布を示す図及び(a)にお
ける座標を説明するための図。
位置と変位量との関係を示す図。
比b/aとの関係を示す図。
相対変位量との関係を示す図。
利用した圧電共振子を示す平面図及び正面図。
た圧電共振子の他の例を示す平面図。
た圧電共振子のさらに他の例を示す平面図。
図。
す斜視図。
れる動吸振部内蔵型圧電共振子を説明するための各斜視
図。
説明するための模式的平面図。
を示す図。
のに用いられるT型フィルタの分解斜視図。
タの説明するための分解斜視図。
視図。
斜視図。
するための分解斜視図。
図。
するための分解斜視図。
す斜視図。
ための分解斜視図。
図。
を示す図。
分解斜視図。
を示す図。
分解斜視図。
図。
分解斜視図。
図。
ための分解斜視図。
斜視図。
明するための分解斜視図。
す斜視図。
明するための分解斜視図。
明するための分解斜視図。
蔵型圧電共振子 28,32,33…幅拡がりモードを利用した動吸振部
内蔵型圧電共振子 28a…圧電セラミック板 28b…共振部 28d,28e…支持部 28f,28g…動吸振部 28h,28i…連結部 28j,28k…保持部 40…ラダー型フィルタ 52…動吸振部内蔵型圧電共振子 52a…共振部 52b,52c…支持部 52d,52e…動吸振部 52f…連結部 52g,52h…保持部 61…動吸振部内蔵型圧電共振子
Claims (8)
- 【請求項1】 直列腕を構成する少なくとも1個の直列
共振子と、 並列腕を構成する少なくとも1個の並列共振子とを備
え、 前記直列共振子及び並列共振子のうち、少なくとも1個
の共振子が、 短辺の長さがa、長辺の長さがbであり、構成材料のポ
アソン比をσとしたときに、前記長辺と短辺の長さの比
b/aが、 【数1】 を満たす値を中心として±10%の範囲内とされている
矩形板状の振動体を有する幅拡がりモードを利用したエ
ネルギー閉じ込め型共振子である、ラダー型フィルタ。 - 【請求項2】 前記振動体の短辺略中央に連結された支
持部をさらに備える、請求項1に記載のラダー型フィル
タ。 - 【請求項3】 前記支持部が、前記振動体の両側の短辺
略中央に連結されている、請求項2に記載のラダー型フ
ィルタ。 - 【請求項4】 前記支持部の外側端に連結された保持部
をさらに備える、請求項2または3に記載のラダー型フ
ィルタ。 - 【請求項5】 前記支持部の外側端に連結された動吸振
部と、前記動吸振部の外側に連結された連結部とをさら
に備え、 前記連結部の外側端に前記保持部が連結されている、請
求項4に記載のラダー型フィルタ。 - 【請求項6】 前記保持部が矩形枠状の部材よりなり、
該枠状の部材の開口内に前記振動体が配置されている、
請求項4に記載のラダー型フィルタ。 - 【請求項7】 前記枠状の部材と、振動体及び支持部が
同一部材により一体に構成されている、請求項6に記載
のラダー型フィルタ。 - 【請求項8】 前記振動体が、圧電共振子よりなる、請
求項1〜7のいずれかに記載のラダー型フィルタ。
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