JPH08265093A - チップ型圧電共振部品 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 さまざまな振動モードを利用して構成するこ
とができ、小型かつ安価なチップ型の圧電共振部品を提
供する。 【構成】 端子電極４，５が上面に形成されたベース基
板１上に、幅拡がりモードを利用した圧電振動体２に連
結部７，８を介して動吸振部９，１０を連結してなる圧
電共振素子２を半田１７，１８により連結部７，８の外
側端部近傍において固定し、キャップ３により圧電共振
素子２を囲繞しつつキャップ３をベース基板１に固定し
てなるチップ型圧電共振部品。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、圧電共振子や圧電フィ
ルタなどの圧電共振部品に関し、特に、種々の振動モー
ドの圧電振動体を利用して構成し得る動吸振部内蔵型の
圧電共振素子を用いたチップ型圧電共振部品に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、圧電共振子や圧電フィルタな
どの圧電共振部品として、種々の圧電振動体を利用した
ものが提案されている。例えば、正方形板の拡がりモー
ドを利用した圧電共振子、細長い板状の圧電振動体の長
さモードを利用した圧電共振子などの種々の圧電共振子
が知られている。

【０００３】他方、圧電共振子や圧電フィルタなどの圧
電共振部品においても、他の電子部品と同様に、プリン
ト回路基板上に面実装可能なチップ型の部品として供給
されることが強く求められている。しかしながら、上記
拡がりモードを利用した圧電共振子や長さモードを利用
した圧電共振子では、圧電振動体が振動するため、共振
子のみを直接プリント回路基板上に面実装することはで
きない。

【０００４】そこで、上記のような圧電共振子をチップ
型部品として構成するに際し、従来、一対のばね端子に
より圧電共振子を保持し、合成樹脂製ケース内に収納
し、開口部を封止した構造等が用いられていた。

【０００５】また、圧電板の一部にのみ共振部を構成し
て共振エネルギーを閉じ込めるエネルギー閉じ込め型の
圧電共振子も用いられている。エネルギー閉じ込め型の
圧電共振子では、共振部以外の圧電板部分を利用して共
振子を機械的に保持することができる。従って、エネル
ギー閉じ込め型の圧電共振子の圧電板の共振部以外の部
分を、例えばケース材と貼り合わせることによりチップ
型圧電共振部品が構成されている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】従来の拡がりモードを
利用した圧電共振子や長さモードを利用した圧電共振子
では、上記のように共振子自体が振動するため、チップ
型圧電共振部品を構成するには、一対のばね端子を用い
て保持し、ケースに収納するという複雑な構造を採用せ
ざるを得なかった。その結果、圧電共振部品の小型化及
び低コスト化の大きな妨げとなっていた。

【０００７】他方、従来より周知の一般的なエネルギー
閉じ込め型圧電共振子を用いた場合は、共振部以外の圧
電板部分を機械的に保持することができる。しかしなが
ら、圧電板において、共振部を部分的に構成するもので
あるため、使用する圧電板が大きくなりがちであった。
従って、やはり、圧電共振部品の小型化を進めることが
困難であった。加えて、圧電板の一部に共振部を構成し
て共振エネルギー閉じ込める構造は、任意のモードや周
波数の振動に適用し得るものではなかった。すなわち、
上記のようなエネルギー閉じ込め構造を利用し得る振動
モード及び周波数帯が限られ、従って、例えばＫＨｚ帯
の周波数に適したエネルギー閉じ込め型圧電共振子を提
供することは非常に困難であった。

【０００８】本発明の目的は、種々の振動モードの圧電
共振素子に適用することができ、従って、種々の周波数
帯で用いることができる、小型かつ安価なチップ型圧電
共振部品を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を達
成するために成されたものであり、圧電共振素子とし
て、圧電振動体に連結部を介して動吸振部を設けたこと
により、動吸振部が設けられている部分までに振動エネ
ルギーを閉じ込めることを可能としたものである。

【００１０】すなわち、本発明は、圧電振動体と、前記
圧電振動体に一端が連結された連結部と、前記連結部の
他端側に連結された動吸振部とを有する動吸振部内蔵型
の圧電共振素子と、前記圧電共振素子が上面に固定され
ているベース基板とを備え、前記圧電共振素子の動吸振
部が設けられている部分の外側において前記連結部がベ
ース基板に固定されており、前記圧電共振素子を囲繞す
るように前記ベース基板に固定されたキャップをさらに
備えることを特徴とする、チップ型圧電共振部品であ
る。

【００１１】本発明の特定的な局面によれば、前記動吸
振部は、前記連結部の他端近傍において、該連結部の両
側面に連ねられており、かつ前記連結部他端近傍が前記
ベース基板に固定されている。

【００１２】また、本発明の別の特定的な局面によれ
ば、前記動吸振部は、伝搬してきた振動により屈曲モー
ドで振動され得るように構成される。さらに、本発明で
は、好ましくは、前記圧電共振素子のベース基板に対す
る固定が接合剤により行われており、該接合剤の厚み
が、圧電振動体及び動吸振部の振動を妨げないための空
間を圧電共振素子とベース基板との間に形成するように
定められている。

【００１３】より好ましくは、上記接合剤は、導電性接
合剤、例えば導電性接着剤や半田で構成され、それによ
ってベース基板と圧電共振子素子との固定だけでなく、
圧電共素子の共振電極と、上記端子電極との電気的接続
も接合剤により果たされる。

【００１４】

【発明の作用及び効果】本発明のチップ型圧電共振部品
では、動吸振部内蔵型の圧電共振素子が用いられてい
る。動吸振部とは、動吸振現象により伝搬してきた振動
を打ち消すように作用する部分であり、この動吸振現象
の詳細は、例えば谷口修著「振動工学」第１１３頁〜１
１６頁（コロナ社発行）に記載されている。簡単に言え
ば、動吸振現象とは、振動が防止されるべき主振動体
に、副振動体を連結し、該副振動体の固有振動数を適当
に選ぶことにより、主振動体の振動が抑制される現象で
ある。本発明のチップ型圧電共振部品における動吸振部
は、この動吸振現象における副振動体に相当し、伝搬し
てきた振動が、該動吸振部により動吸振現象に基づいて
抑制される。

【００１５】従って、上記圧電共振素子では、動吸振部
までの部分に共振エネルギーが閉じ込められるため、動
吸振部よりも外側の部分で共振特性に影響を与えること
なく保持することができる。すなわち、動吸振部までの
部分が、あたかもエネルギー閉じ込め型の圧電共振素子
として動作することになる。

【００１６】本発明では、上記圧電共振素子が、上記動
吸振部の外側において連結部によりベース基板に対して
固定されている。従って、共振エネルギーは、動吸振部
までの部分に閉じ込められるため、ベース基板側にはほ
とんど漏洩しない。言い換えれば、上記固定構造を採用
したとしても、共振特性に影響を与えることがほとんど
ない。

【００１７】従って、上記圧電共振素子をベース基板に
固定し、さらに上記キャップをベース基板に固定するこ
とにより構成された本発明のチップ型圧電共振部品で
は、動吸振部の作用によりエネルギーを閉じ込めること
が可能であるため、従来エネルギー閉じ込めが不可能で
あった拡がりモード、長さモードなどの種々の振動モー
ドを利用して圧電振動体を構成することができる。しか
も、チップ型圧電共振部品を構成するのに、ばね端子に
よる保持などの複雑な構造を必要としないため、チップ
型圧電共振部品の小型化及び低コスト化を果たすことが
可能となる。

【００１８】よって、本発明によれば、種々の周波数帯
で使用することができる小型かつ安価なチップ型圧電共
振部品を提供することかできる。加えて、従来のエネル
ギー閉じ込め型圧電共振子を用いた場合には、使用し得
る振動モードや周波数帯の制約があったが、このような
制約もない。また、従来のエネルギー閉じ込め型圧電共
振子を用いる場合、圧電板が共振部以外の圧電板部分を
必要とするため大きくならざるを得なかったのに対し、
本発明では、圧電振動体は、その全体が振動するように
構成され得るため、従来のエネルギー閉じ込め型圧電共
振子の場合のような大きな圧電板を必要としない。従っ
て、この点からも、圧電共振部品の小型化を進めること
ができる。

【００１９】また、本発明において、ベース基板への圧
電共振素子への固定を接合剤で行う場合には、上記のよ
うに接合剤の厚みを調整することにより、振動体及び動
吸振部の振動を妨げないための空間を確実に圧電共振素
子とベース基板との間に形成することができる。

【００２０】さらに、接合剤を導電性接着剤や半田など
の導電性接合剤で構成し、ベース基板に対する圧電共振
素子の固定だけでなく、共振電極と端子電極との電気的
接続も接合剤により果たした構成では、圧電共振素子の
固定と電気的接続との双方を接合剤で果たし得るため、
より一層構造が簡略化されたチップ型圧電共振部品を提
供し得る。

【００２１】

【実施例の説明】以下、図面を参照しつつ実施例を説明
することにより、本発明を明らかにする。

【００２２】第１の実施例 図１は、本発明の第１の実施例にかかるチップ型圧電共
振部品を説明するための分解斜視図であり、図２はその
外観を示す斜視図である。

【００２３】本実施例のチップ型圧電共振部品では、ベ
ース基板１上に圧電共振素子２が固定されており、該圧
電共振素子２を囲繞するようにキャップ３がベース基板
１に取り付けられる。

【００２４】ベース基板１は、アルミナなどの絶縁性セ
ラミックスよりなるが、合成樹脂などの他の絶縁性材料
により構成されていてもよい。ベース基板１は、矩形板
状の形状を有し、短辺側の両側面に、切欠１ａ，１ｂを
有する。

【００２５】ベース基板１の上面には、端子電極４，５
がケースされている。端子電極４，５は、ベース基板１
の短辺側の側面に沿うように形成されている。また、端
子電極４，５は、ベース基板１の上面だけでなく、それ
ぞれ、切欠１ａ，１ｂの内周面にも至るように形成され
ている。端子電極４，５は、本実施例のチップ型圧電共
振部品をプリント回路基板上に面実装する際に、プリン
ト回路基板上の配線パターンとの電気的接続を行うため
に設けられている。また、切欠１ａ，１ｂは、上記電気
的接続をより確実にするために設けられている。上記端
子電極４，５は、例えばＡｇなどの導電性材料よりな
り、導電ペーストの塗布・硬化、めっき、蒸着もしくは
スパッタリングなどの適宜の方法により形成され得る。

【００２６】圧電共振素子２は、図３（ａ）及び（ｂ）
に示すように、中央に矩形板状の圧電振動体６を有す
る。圧電振動体６の短辺側の側面中央には、連結部７，
８が連結されている。また、連結部７，８の外側端近傍
において、それぞれ、動吸振部９，１０が設けられてい
る。本実施例では、動吸振部９，１０は、細長い矩形板
状の形状を有するが、動吸振部９，１０の形状は特にこ
れに限定されるものではない。すなわち、動吸振現象に
より連結部７，８を経由してきた振動を抑制し得る限
り、適宜の形状とすることができる。

【００２７】本実施例では、圧電振動体６、連結部７，
８及び動吸振部９，１０は一体に形成されているが、そ
れぞれ別の部材で構成され、接着剤等により接合されて
いていもよい。本実施例では、上記圧電振動体６、連結
部７，８及び動吸振部９，１０は、チタン酸ジルコン酸
鉛系圧電セラミックスよりなる矩形板状の部材を図示の
形状となるように機械加工することにより得られてい
る。なお、圧電振動体６を構成する圧電材料としては、
上記チタン酸ジルコン酸鉛系圧電セラミックスの他、他
の圧電セラミックスや水晶等の圧電単結晶を用いてもよ
い。

【００２８】また、圧電振動体６は、長辺の長さがｂ、
短辺の長さがａの矩形板状の形状を有する。この長辺の
長さｂ、短辺の長さａ及び圧電振動体６を構成している
圧電材料のポアソン比σとは、比ａ／ｂが、

【００２９】

【数１】

【００３０】を満たす値を中心として±１０％の範囲内
となるように決定されている。また、圧電振動体６の上
面には第１の共振電極１１が、下面には第２の共振電極
１２が形成されている。また、圧電振動体６は厚み方向
に一様に分極処理されている。従って、共振電極１１，
１２間に交流電圧を印加した場合、圧電振動体６が上述
した式（１）を満たす値を中心として±１０％の範囲内
となるｂ／ａ値を有するため、圧電振動体６は幅拡がり
モードで励振される。

【００３１】上記幅拡がりモードは、矩形板状の振動体
の幅モードと、正方形板の拡がりモードとの間の振動姿
態をとる振動モードであり、該幅拡がりモードの振動の
振動のノード点は、圧電振動体６の上面及び下面の中心
と、短辺側の側面の中央に存在する。

【００３２】本実施例では、連結部７，８の一端が、上
記圧電振動体６の短辺側の側面中央に連結されているた
め、すなわち連結部７，８の一端が振動のノード点に連
結されているため、連結部７，８には、圧電振動体６の
振動はほとんど漏洩してこない。加えて、連結部７，８
に漏洩してきた若干の振動は、動吸振部９，１０により
抑制される。

【００３３】動吸振部９，１０は上記のような機能を果
たすために、連結部７，８に伝達してきた振動によっ
て、屈曲モードで振動し得るように、その固有振動数が
定められている。従って、動吸振現象に基づいて伝搬し
てきた振動が抑制される。よって、連結部７，８の他
端、すなわち図３の７ａ，８ａに示す部分には、振動は
ほとんど伝搬しない。言い換えれば、動吸振部９，１０
が設けられている部分までに伝搬してきた振動のエネル
ギーが確実に閉じ込められる。従って、連結部７，８の
他端７ａ，８ａを機械的に保持したとしても、圧電共振
素子２の共振特性はほとんど影響されない。

【００３４】なお、圧電共振素子２の上面においては、
共振電極１１に電気的に接続されるように接続導電部１
３が連結部７の上面に形成されている。また、接続導電
部１３の外側端部は動吸振部９に設けられた引出し電極
１４に電気的に接続されている。同様に、圧電共振素子
２の下面においても、共振電極１２に電気的に接続され
る接続導電部１５及び引出し電極１６が形成されてい
る。

【００３５】図１に戻り、圧電共振素子２は、半田１
７，１８を用いてベース基板１上に固定されている。半
田１７は、引出し電極１４を端子電極４に接合してお
り、それによって両者の間の電気的接続も果たされてい
る。同様に、半田１８は、引出し電極１６と端子電極５
とを接合しており、それによってこれは両者の電気的接
続を果たしている。

【００３６】すなわち、本実施例では、導電性接合剤と
しての半田１７，１８が、圧電共振素子２をベース基板
１に物理的に固定する機能だけでなく、圧電共振素子２
とベース基板１上の端子電極４，５との間の電気的接続
も果たしている。

【００３７】また、上記半田１７，１８による接合に際
しては、圧電共振素子２の下面とベース基板１の上面と
の間に、所定の厚みの空隙Ａを形成するように定められ
ている。この空隙Ａは、圧電共振素子２をベース基板１
に固定した状態において、圧電振動体６及び動吸振部
９，１０の振動を妨げないために設けられている。

【００３８】本実施例では、上記ベース基板１に対し
て、合成樹脂やセラミックス等からなるキャップ３が固
定される。この固定は、接着剤などの適宜の接合剤を用
いて行うことができ、それによって図２に示すチップ型
圧電共振部品１９が構成されている。

【００３９】本実施例では、圧電共振素子２において、
動吸振部９，１０までの部分に振動は確実に閉じ込めら
れる。従って、半田１７，１８により圧電共振素子２を
ベース基板１に固定することができ、該固定によって共
振特性がほとんど影響を受けない。よって、上記幅拡が
りモードを利用した圧電振動体６を用いてチップ型圧電
共振部品１９を提供することが可能となる。

【００４０】また、従来のエネルギー閉じ込め型圧電共
振子では、圧電板の一部に共振部を構成するものである
ため、圧電板として、振動しない大きな面積の部分を必
要としていたのに対し、本実施例では圧電振動体６はそ
の全体が振動し、振動に寄与しない圧電板部分を必要と
しない。よって、従来のエネルギー閉じ込め型圧電共振
子に比べても小型のチップ型圧電共振部品の得られるこ
とがわかる。

【００４１】第１の実施例の変形例第１の実施例では、
圧電共振素子２として、幅拡がりモードを利用した圧電
共振素子を用いたが、正方形板の拡がり振動モードを利
用しても本発明のチップ型圧電共振部品を構成し得る。
このような例を、図４及び図５を参照して説明する。

【００４２】図４は、正方形板の拡がりモードを利用し
た圧電共振素子２２を示す平面図である。圧電共振素子
２２では、中央に正方形板の圧電振動体２６が設けられ
ている。圧電振動体２６の向かい合う側面の一方の中央
に連結部２７が、他方の側面の中央に連結部２８が連結
されている。また、連結部２７，２８の外側端部２７
ａ，２８ａ近傍に、動吸振部２９，３０が設けられてい
る。圧電振動体２６の上面には、第１の共振電極３１が
全面に形成されており、下面にも第２の共振電極（図示
されず）が全面に形成されている。第１の共振電極３１
は引出し電極３２に電気的に接続されており、下面の第
２の共振電極は、動吸振部２９の下面に形成された引出
し電極３３に電気的に接続されている。

【００４３】圧電振動体２６はチタン酸ジルコン酸鉛系
圧電セラミックスのような圧電セラミックスもしくは圧
電単結晶よりなり、分極軸は厚み方向に得られている。
従って、第１，第２の共振電極から交流電圧を印加する
ことにより、圧電振動体２６は拡がりモードで励振され
る。この場合、連結部２７，２８に圧電振動体２６の振
動に伴う振動が漏洩してくる。しかしながら、漏洩して
きた振動は、動吸振部２９，３０において、動吸振現象
に基づいて抑制される。よって、連結部２７，２８の外
側端２７ａ，２８ａには振動はほとんど漏洩してこな
い。

【００４４】よって、図５に平面図で示すベース基板２
１に、上記圧電共振素子２２を第１の実施例と同様にし
て固定し、圧電共振素子２２を囲繞するようにキャップ
をベース基板２１上に固定することにより、第１の実施
例と同様にチップ型圧電共振部品を構成し得る。なお、
図５において、３４，３５は、それぞれ端子電極を示
す。また、２２ａ〜２１ｄは切欠を示す。切欠２１ａ〜
２１ｄの内周面にも端子電極３４，３５が至るように上
記端子電極３４，３５が形成されている。

【００４５】第２の実施例第２の実施例では、長さモー
ドを利用したチップ型圧電共振部品が提供される。すな
わち、ベース基板４１上に、長さモードを利用した圧電
共振素子４２が固定され、キャップ３がベース基板４１
上に圧電共振素子４２を囲繞するように固定される。

【００４６】ベース基板４１は、第１の実施例で用いた
ベース基板１と同様の材料で構成されている。もっと
も、ここでは、短辺側の側面に、それぞれ、切欠４１
ａ，４１ｂ及び４１ｃ，４１ｄが形成されている。ま
た、端子電極４４，４５が長辺側の側縁に沿うように上
面に形成されている。端子電極４４は、切欠４１ａ，４
１ｃの内周面に至るように、端子電極４５は切欠４１
ｂ，４１ｄの内周面に至るように形成されている。

【００４７】圧電共振素子４２は、細長い矩形板状の圧
電振動体４３を有する。圧電振動体４３の上面には第１
の共振電極４６が形成されており、下面には第２の共振
電極４７が形成されている。第１，第２の共振電極４
６，４７は厚み方向において対向し合うように形成され
ている。また、圧電振動体４３は、チタン酸ジルコン酸
鉛系圧電セラミックスのような圧電セラミックスまたは
水晶などの圧電単結晶により構成されており、分極軸が
厚み方向に沿うように形成されている。従って、第１，
第２の共振電極４６，４７から交流電圧を印加した場
合、圧電振動体４３は長さモードで振動される。

【００４８】圧電振動体４３の長辺側の側面中央には、
それぞれ、連結部４８，４９が連結されており、該連結
部４８，４９の外側端近傍に、それぞれ、動吸振部５
０，５１が設けられている。動吸振部５０，５１及び連
結部４８，４９が設けられている部分において、圧電共
振素子４２の上面には引出し電極５２が、下面には引出
し電極５３が形成されている。引出し電極５２，５３
は、それぞれ、連結部４８，４９の外側端部の側面にま
で至るように形成されている。さらに、引出し電極５２
については、図示のように、動吸振部５１が設けられて
いる部分の下面にまで至るように形成されている。

【００４９】圧電共振素子４２は、導電性接着剤５４，
５５によりベース基板４１上に固定される。導電性接着
剤５４は、引出し電極５３と端子電極４４とを接合して
いる。同様に、導電性接着剤５５は、引出し電極５２
と、端子電極４５とを接合している。従って、導電性接
着剤５４，５５は、圧電共振素子４２をベース基板４１
に物理的に固定しているだけでなく、圧電共振素子４２
とベース基板４１との電気的接続も果たしている。

【００５０】その他の点については、第１の実施例と同
様であるため、その詳細な説明は省略する。本実施例に
おいても、上記のようにして組み立てることにより、図
７に示す小型のチップ型圧電共振部品５６が提供され
る。すなわち、チップ型圧電共振部品５６では、圧電共
振素子４２が上記のような動吸振部５０，５１を備えて
いるため、共振特性に影響を与えることなく圧電共振素
子４２がベース基板４１上に固定されている。よって、
長さモードを利用した圧電共振素子を用いて小型のチッ
プ型圧電共振部品を提供することができる。しかも、ば
ね端子のような複雑な支持構造を必要としないため、耐
衝撃性にも優れたチップ型圧電共振部品を構成すること
ができる。

【００５１】第３の実施例 第３の実施例は、すべりモードを利用したチップ型圧電
共振部品に適用した例である。図８及び図９を参照し
て、第３の実施例を説明する。

【００５２】図８は、本実施例において、用いられる圧
電共振素子と導電性接着剤とを説明するための平面図で
あり、図９はベース基板を示す平面図である。本実施例
では、すべりモードを利用した圧電共振素子６２が用い
られる。圧電共振素子６２では、中央に矩形板状の圧電
振動体６３が配置されており、該圧電振動体６３の短辺
側の側面の一端側に寄せて連結部６４が連結されてい
る。また、圧電振動体６３の他方側の短辺側側面の一端
に寄せて連結部６５が連結されている。連結部６４，６
５の外側端部６４ａ，６５ａの側方には、動吸振部６
６，６７が設けられている。圧電振動体６３、連結部６
４，６５及び動吸振部６６，６７は、本実施例では圧電
材料を図示の平面形状を有するように機械加工すること
により一体に形成されている。

【００５３】もっとも、これらは、別部材として用意さ
れ、導電性接着剤などにより接合されていてもよい。も
っとも、本実施例のように、圧電材料を用いて一体に構
成する方法では、細長い矩形の圧電板には、溝６８，６
９を形成するだけで、上記各部材が構成されるため、好
ましい。圧電振動体６３は矢印Ｐ方向、すなわち、その
主面と平行であり、かつ長さ方向に平行に分極処理され
ている。

【００５４】他方、圧電振動体６３の長辺側の側面に沿
うように、圧電振動体６３の上面に、第１，第２の共振
電極７０，７１が形成されている。なお、共振電極７
０，７１は、圧電振動体６３の長辺側の側面にも至るよ
うに形成されていてもよく、あるいは側面にのみ形成さ
れていもよい。さらに、一方の共振電極７０及び他方の
共振電極７１のいずれか一方を圧電振動体６３の下面に
形成してもよい。要するに、圧電振動体６３の一対の長
辺側側縁近傍に、それぞれ、共振電極が形成されていれ
ばよい。

【００５５】圧電振動体６３は、上記の方向に分極処理
されており、かつ共振電極７０，７１が上記のように構
成されているため、共振電極７０，７１から交流電極を
印加することにより、圧電振動体６３はすべりモードで
励振される。この振動は、連結部６４，６５に漏洩す
る。しかしながら、本実施例においても、漏洩してきた
振動により、動吸振部６６，６７が屈曲モードで振動
し、動吸振現象に基づいて伝達してきた振動を抑制す
る。すなわち、動吸振部６６，６７において、伝搬して
きた振動が抑制される。よって、連結部６４，６５の外
側端部６４ａ，６５ａには、振動はほとんど漏洩してこ
ない。

【００５６】本実施例では、外側端部６４ａ，６５ａ近
傍において、導電性接着剤７２，７３により、ベース基
板６１に圧電共振素子６２が固定される。ベース基板６
１は、上面に短辺側の側縁に沿うように形成された端子
電極７４，７５を有する。なお、６１ａ〜６１ｄは切欠
を示す。

【００５７】上記導電性接着剤７２により、共振電極７
１が端子電極７４に電気的に接続される。同様に、導電
性接着剤７３により共振電極７０が端子電極７５に電気
的に接続される。同時に、これらの導電性接着剤７２，
７３により、圧電共振素子６２がベース基板６１に固定
される。

【００５８】従って、第１の実施例と同様に、ベース基
板上にキャップ（図示せず）を固定することにより、チ
ップ型圧電共振部品を構成し得る。なお、第３の実施例
においても、上記導電性接着剤７２，７３の厚みは、圧
電振動体６３及び動吸振部６６，６７の振動を妨げない
ように、圧電共振素子６２の下面とベース基板６１の上
面との間に空隙を形成するように定められる。

【００５９】第４の実施例 上述してきた実施例及び変形例では、１個の共振部を有
する圧電共振子について適用したが、本発明は、複数の
共振部を有する圧電フィルタなどにも適用することがで
きる。第４の実施例は２個の共振部を有する圧電フィル
タに適用した例である。

【００６０】図１０は、第４の実施例にかかるチップ型
圧電共振部品に用いられる圧電共振素子８２を示す平面
図である。また、図１１は、上記圧電共振素子８２を固
定するためのベース基板８１を示す平面図である。

【００６１】圧電共振素子８２は、２個の圧電振動体８
３，８４を有する。圧電振動体８３，８４は、細長い矩
形板状の形状を有し、それぞれ、長さ振動モードで励振
されるように構成されている。

【００６２】圧電振動体８３，８４の上面には、それぞ
れ、第１の共振電極８５，８６が形成されており、下面
にも、第１の共振電極８５，８６と重なり合う位置に共
振電極が形成されている。圧電振動体８３，８４は、チ
タン酸ジルコン酸鉛系圧電セラミックスや水晶などの圧
電単結晶よりなり、厚み方向に分極処理されている。

【００６３】他方、圧電振動体８３と圧電振動体８４と
は結合部８７により連結されている。結合部８７は、圧
電振動体８３，８４の一方の長辺側の側面中央を連結し
ている。

【００６４】また、圧電振動体８３，８４の外側の長辺
側側面中央には、連結部８８，８９が連結されている。
連結部８８，８９の外側端部８８ａ，８９ａ近傍におい
ては、動吸振部９０、９１が設けられている。上記動吸
振部９０，９１は、第２の実施例の動吸振部５０，５１
と同様に構成されている。

【００６５】他方、圧電共振素子８２に上面において
は、共振電極８５，８６に電気的に接続されるように、
引出し電極９２，９３が形成されている。同様に、圧電
共振素子８２の下面においても、圧電振動体８３，８４
の下面に形成された第２の共振電極に電気的に接続され
る引出し電極９４，９５が形成されている。

【００６６】上記引出し電極９２〜９５は、それぞれ、
圧電共振子素子８２の外側面にも至るように形成されて
いる。これは、ベース基板８１上の端子電極との電気的
接続を確実とするためである。

【００６７】圧電共振素子８２は、上記のような構成を
有するため、例えば引出し電極９２を入力端、引出し電
極９３を出力端とし、引出し電極９４，９５をグランド
電位に接続することにより、長さモードを利用した二重
モードを圧電フィルタとして動作させることができる。
この場合、圧電振動体８３，８４の外側には、それぞ
れ、動吸振部９０，９１が連結部８８，８９を介して連
結されている。従って、漏洩してきた振動は、動吸振部
９０，９１において動吸振現象において抑制される。従
って、上記連結部８８，８９の外側端部８８ａ，８９ａ
近傍を用いて保持したとしても、フィルタ特性に影響は
生じ難い。

【００６８】本実施例では、ベース基板８１の上面にお
いて、それぞれ、コーナー部分から短辺側中央に至るよ
うに、端子電極９６，９７，９８，９９が形成されてい
る。上述した引出し電極９２と端子電極９６とが、引出
し電極９３と端子電極９８とが、引出し電極９４，９５
と端子電極９７，９９とが、それぞれ、導電性接着剤に
より電気的に接続される。同時に、導電性接着剤によ
り、圧電共振素子８２がベース基板８１上に固定され
る。

【００６９】この場合においても、導電性接着剤の厚み
は、ベース基板８１の上面と、圧電共振素子８２の下面
との間に振動を妨げないための空隙を形成するように定
められる。

【００７０】よって、本実施例においても、図示しない
キャップをベース基板８１に被せ固定することにより、
第１〜第３の実施例と同様に、チップ型圧電共振部品と
して構成することができる。

【００７１】上述してきた第１〜第４の実施例及び変形
例から明らかなように、本発明において用いられる圧電
振動体については特に限定される幅拡がりモード、長さ
モード、拡がりモード、すべりモードなどの適宜の振動
モードを利用することができる。しかも、チップ型部品
を構成するに際し、ばね端子のような複雑な部材を必要
としない。よって、種々の振動モードを利用してチップ
型圧電共振部品を容易にかつ小型に構成することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１の実施例のチップ型圧電共振部品の分解斜
視図。

【図２】第１の実施例のチップ型圧電共振部品の外観を
示す斜視図。

【図３】（ａ）及び（ｂ）は、第１の実施例で用いられ
る圧電共振素子の平面図及び圧電板を透かして他方の電
極形状を示した模式的平面図。

【図４】変形例で用いられる圧電共振素子を示す平面
図。

【図５】変形例で用いられるベース基板を示す平面図。

【図６】第２の実施例のチップ型圧電共振部品の分解斜
視図。

【図７】第２の実施例のチップ型圧電共振部品の外観を
示す斜視図。

【図８】第３の実施例のチップ型圧電共振部品における
圧電共振素子と導電性接着剤とを説明するための平面
図。

【図９】第３の実施例で用いられるベース基板を示す平
面図。

【図１０】第４の実施例で用いられる圧電共振素子を示
す平面図。

【図１１】第４の実施例で用いられるベース基板を示す
平面図。

【符号の説明】

１…ベース基板 ２…圧電共振素子 ３…キャップ ４，５…端子電極 ６…圧電振動体 ７，８…連結部 ７ａ，８ａ…端部 ９，１０…動吸振部 １１，１２…共振電極 １４，１６…引出し電極 ２１…ベース基板 ２２…圧電共振素子 ２６…圧電振動体 ２７，２８…連結部 ２９，３０…動吸振部 ３１…共振電極 ３２，３３…引出し電極 ３４，３５…端子電極 ４１…ベース基板 ４２…圧電共振素子 ４３…圧電振動体 ４４，４５…端子電極 ４６，４７…共振電極 ４８，４９…連結部 ５０，５１…動吸振部 ５２，５３…引出し電極 ５４，５５…導電性接着剤 ５６…チップ型圧電共振部品 ６１…ベース基板 ６２…圧電共振素子 ６３…圧電振動体 ６４，６５…連結部 ６４ａ，６５ａ…外側端部 ６６，６７…動吸振部 ７０，７１…共振電極 ７２，７３…導電性接着剤 ７４，７５…端子電極 ８１…ベース基板 ８２…圧電共振素子 ８３，８４…圧電振動体 ８５，８６…共振電極 ８８，８９…連結部 ８８ａ，８９ａ…外側端部 ９０，９１…動吸振部 ９２〜９５…引出し電極 ９６〜９９…端子電極

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 圧電振動体と、 前記圧電振動体に一端が連結された連結部と、 前記連結部の他端側に連結された動吸振部とを有する動
   吸振部内蔵型の圧電共振素子と、 前記圧電共振素子が上面に固定されているベース基板と
   を備え、前記圧電共振素子の動吸振部が設けられている
   部分の外側において前記連結部がベース基板に固定され
   ており、 前記圧電共振素子を囲繞するように前記ベース基板に固
   定されたキャップをさらに備えることを特徴とする、チ
   ップ型圧電共振部品。
2. 【請求項２】 前記動吸振部が、前記連結部の他端近傍
   において、該連結部の両側面に連ねられており、かつ前
   記連結部他端近傍が前記ベース基板に固定されている、
   請求項１に記載のチップ型圧電共振部品。
3. 【請求項３】 前記動吸振部が、伝搬してきた振動によ
   り屈曲モードで振動されるように構成されている、請求
   項２に記載のチップ型圧電共振部品。
4. 【請求項４】 前記圧電共振素子のベース基板に対する
   固定が接合剤により行われており、該接合剤の厚みが、
   圧電振動体及び動吸振部の振動を妨げないための空間を
   圧電共振素子とベース基板との間に形成するように定め
   られている、請求項１〜３のいずれかに記載のチップ型
   圧電共振部品。
5. 【請求項５】 前記圧電共振素子が、圧電板と、圧電板
   の少なくとも一面に形成された複数の共振電極とを有
   し、 前記ベース基板に、前記共振電極に電気的に接続されて
   いる端子電極が形成されている、請求項１〜４のいずれ
   かに記載のチップ型圧電共振部品。
6. 【請求項６】 前記接合剤が、導電性接合剤により構成
   されており、該導電性接合剤によって、共振電極と端子
   電極とが電気的に接続されている、請求項５に記載のチ
   ップ型圧電共振部品。