JPH0715934B2 - オリフラ整列機 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本発明は、各種ウエハ製造装置に適用され、半導体ウエ
ハの位置決めに必要なオリフラ（ウエハ外周に設けられ
た切り欠き）を一定方向に整列するオリフラ整列機に関
する。

「従来の技術」 第６図（Ａ），（Ｂ）および第７図に示されるように、
従来、半導体ウエハ１を丸ベルトコンベア２等で搬送す
る途中にはオリフラ整列機構３が設けられ、オリフラ11
の位置をガイドレール４に平行になるように整列してい
るが、その方法としては、丸ベルトコンベア２上を丸ベ
ルト13,14により送られたウエハ１を、アクチエータ17
により昇降可能なウエハ用ストッパ５によって停止さ
せ、センタリングした後、バキュームチャック８を設け
た昇降回転ユニット６によりウエハ１を丸ベルトコンベ
ア２から１〜2mm持ち上げ、バキュームチャック８をモ
ータ９により歯車７を介して回転し、オリフラセンサ10
によりオリフラ11の位置を検出する方法が行われてい
る。オリフラ11の位置を検出するためには、第７図に示
されるように２個のオリフラセンサ10により、オリフラ
11の切り欠きとウエハ１の外周との寸法差を利用した検
出が行われている。オリフラ11を検出した後、モータ９
は停止され、昇降回転ユニット６およびストッパ５はア
クチエータ17,18により降下され、ウエハ１を丸ベルト1
3,14上に降し搬送する。以上の様に、従来においては多
数の部品と複雑な制御によりオリフラ整列を行うため、
コスト高となり多くのスペースを要していた。

「発明が解決しようとする問題点」 本発明は、上記の問題を解決するためになされたもので
あり、安価にかつ省スペースで、オリフラ整列を行うこ
とができる構造が簡単なオリフラ整列機を提供すること
を目的とする。

「問題点を解決するための手段」 しかして、本発明によれば、側面にガイドレールを有す
ると共に、２本以上のベルト用いたベルトコンベアによ
り搬送されるオリフラ付の半導体ウエハを整列するため
のオリフラ整列機において、１本のベルトを持ち上げて
他のベルトからウエハを離し、かつそのウエハを傾斜す
ることにより、前記ガイドレールにウエハを押し付ける
様にするアイドルプーリと、前記ウエハがアイドルプー
リ上のベルトにより回転される様に案内する案内曲面を
形成された案内部材と、前記アイドルプーリおよび案内
部材を昇降させる１つ以上のアクチエータとを備えるこ
とを特徴とするオリフラ整列機が提供される。

「作用」 上記構成によれば、アイドルプーリによって持ち上げら
れたベルトがウエハの下面を送り方向に押すため、ウエ
ハが案内部材に曲面に沿って回転し、そのウエハのオリ
フラは側面のガイドレールに当接するように整列され
る。

「実施例」 本発明の実施例を第１図から第５図について説明する。

第１図（Ａ）は丸ベルトコンベア２の上面を示し、第１
図（Ｂ）は正面を示し、第１図（Ｃ）は側断面を示す。
半導体ウエハ１はコンベア用モータ12により駆動された
丸ベルト13および丸ベルト14上を搬送される。アイドル
プーリ15およびウエハ用ストッパ５はオリフラ合せ位置
に設けられており、アクチエータ17により昇降される。
第３図に示されるように、アイドルプーリ15は丸ベルト
13の直下に位置し、かつストッパ５に対しては回転自在
なように回転軸19により一体に結合され、ストッパ５は
アクチエータ17のピストン20に連結されている。第４図
に示されるように、案内部材をなすウエハ用ストッパ５
の案内曲面51の半径Ｒは、ウエハ１の半径ｒより大きく
されており、そのストッパ５の材質はテフロン等の摩擦
が小さいプラスチックが用いられている。丸ベルト13,1
4はウレタンゴム等の高摩擦で耐摩耗性が高い材料が用
いられている。また、第３図に示されるようにウエハ用
ストッパ５には、ベルト13およびベルト14に接触しない
ように溝5A,5Bが刻設されている。第５図に示されるよ
うに、オリフラセンサ10としては、発光ダイオード10A
とフォトトランジスタ10Bとを備え、例えば発光ダイオ
ード10Aの光を遮えぎるとオンする光電式のセンサが使
用されている。

次に、本実施例の作動を説明する。第１図から第５図に
おいて、丸ベルトコンベア２に前工程からウエハ１が送
られてきたとき、アクチエータ17を作動してピストン20
を上昇させストッパ５およびアイドルプーリ15を持ち上
げると、ウエハ１がストッパ５に当ってアイドルプーリ
15の上に停まると共に、丸ベルト13がアイドルプーリ15
によって持ち上げられる。そして、第２図に示されるよ
うに、アイドルプーリ15により持ち上げられた丸ベルト
13がウエハ１の下面に接触し、そのウエハ１がガイドレ
ール４に向けて傾斜され、他方の丸ベルト14はウエハ１
の下面から離れるため、ウエハ１はストッパ５の案内曲
面51に押し付けられながら、丸ベルト13の摩擦力により
回転され、ガイドレール４にオリフラ11が合せられる。
ガイドレール４上にはオリフラセンサ10が設けられてい
るため、オリフラ11がガイドレール４に合ったことが確
認されると、図示しない制御装置を介してアクチエータ
17が作動され、アイドルプーリ15およびストッパ５が下
降される。ウエハ１はベルト13およびベルト14上に降さ
れ、オリフラ11がガイドレール14に沿って平行に整列さ
れたままの姿勢で両ベルト13,14により後工程へ搬送さ
れる。なお、シリコン板などからなるウエハ１は軽く、
ベルト13による回転力は自重分による摩擦力で得ている
ため、ウエハ１を破損するような応力は全く生じない。

「数値的性能例」 本発明のオリフラ整列機を試作し、従来の整列機構と専
有スペースおよび価格を比較したところ、専有スペース
が二分の一以下となり、価格は四分の一以下であった。
この結果は、主に従来におけるバキュームチャック８、
チャック用モータ９、およびアクチエータ18が不要にな
ったためと考えられる。

「その他の実施例」 なお、上記実施例においては、ベルトコンベアのベルト
が２本であったが、３本またはそれ以上のベルトを有す
るベルトコンベアについて本発明を実施するようにする
こともできる。また、前記ベルトは丸ベルトに限られ
ず、例えば、平ベルトが用いられてもよい。さらに、ア
クチエータは２個用いられてもよい。

「効果」 以上述べたように、本発明のオリフラ整列機は上記の構
成を有するから、安価にかつ省スペースでオリフラ整列
を行うことができ、構造も簡単であるなどの優れた効果
がある。

【図面の簡単な説明】

第１図（Ａ）は本発明の実施例を示す上面図、第１図
（Ｂ）は正面図、第１図（Ｃ）は側面断面図、第２図は
作動状態を示す断面図、第３図は要部の斜視図、第４図
はウエハ用ストッパの説明に供する模式図、第５図はオ
リフラセンサを示す斜視図、第６図（Ａ）は従来のオリ
フラ整列機構を示す上面図、第６図（Ｂ）は側面断面
図、第７図は従来機構の斜視図である。 １……半導体ウエハ、２……丸ベルトコンベア ４……ガイドレール、５……ウエハ用ストッパ 51……案内曲面、13……丸ベルト 14……丸ベルト、15……アイドルプーリ 17……アクチエータ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】側面にガイドレールを有すると共に、２本
   以上のベルトを用いたベルトコンベアより搬送されるオ
   リフラ付の半導体ウエハを整列するためのオリフラ整列
   機において、 １本のベルトを持ち上げて他のベルトからウエハを離
   し、かつそのウエハを傾斜することにより、前記ガイド
   レールにウエハを押し付ける様にするアイドルプーリ
   と、 前記ウエハがアイドルプーリ上のベルトにより回転され
   る様に案内する案内曲面を形成された案内部材と、 前記アイドルプーリおよび案内部材を昇降させる１つ以
   上のアクチエータと を備えることを特徴とするオリフラ整列機。