JPH0716067B2 - レーザ加工装置 - Google Patents
レーザ加工装置Info
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- JPH0716067B2 JPH0716067B2 JP63324378A JP32437888A JPH0716067B2 JP H0716067 B2 JPH0716067 B2 JP H0716067B2 JP 63324378 A JP63324378 A JP 63324378A JP 32437888 A JP32437888 A JP 32437888A JP H0716067 B2 JPH0716067 B2 JP H0716067B2
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- Japan
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- total reflection
- reflection mirror
- light
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/035—Aligning the laser beam
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Lasers (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Description
この発明は、パルス式固体レーザ発振器から発振したレ
ーザ光を被加工物に照射して、前記被加工物の加工を行
うレーザ加工装置に関する。
ーザ光を被加工物に照射して、前記被加工物の加工を行
うレーザ加工装置に関する。
レーザ発振器は、固体レーザとしてのルビーレーザ，ガ
ラスレーザおよびYAGレーザ、気体レーザとしてのCO2レ
ーザなど数種類に限定される。このうちYAGレーザはYAG
（イツトリウム・アルミニウム・ガーネツト）結晶中
に、不純物としてネオジウム（Nd）を重量比で0.7％程
度混入したロッドに、励起ランプの光を照射して得られ
る波長1.06μｍの近赤外線光レーザである。レーザ出力
が数十Ｗから数百Ｗまでの固体レーザでは、長期間の安
定性に優れたYAGレーザが最も幅広く産業分野に使用さ
れている。 第３図は、従来例によるレーザ加工装置の構成図であ
る。第３図においてレーザ加工装置はレーザ発振器１と
レーザ加工光学系２とからなる。 レーザ発振器１から発振されたレーザ光３はレーザ光路
3aを矢印の方向に進み、全反射ミラー４で反射され、レ
ーザ光３を集光させる加工レンズ５を経て被加工物９へ
照射される。６は加工時にO2ガスや空気などのガスを噴
射し、被加工物とガスの酸化反応による反射率の低減、
反応熱の利用および生成された溶融物質の除去のほか、
切断時に被加工物から生じるヒュームやスタックから集
光レンズを保護するためアシストガス噴射ノズルであ
る。 ７は、例えばHe−Neレーザのような可視光レーザ管、８
は前記可視光レーザ管７から発振した可視レーザ光であ
り、この可視レーザ光８は前記レーザ光３と同じ光路を
通過するように光軸調整されている。レーザ加工光学系
２は前記全反射ミラー4,加工レンズ5,ガス噴出ノズル６
および可視光レーザ管７から構成されている。９は前記
したようにレーザ加工の対象となる被加工物である。前
記可視レーザ光８は、前記レーザ光路3aを通って被加工
物９の面に当たり、レーザ加工するときのガイド光とし
て被加工物表面の加工位置をあらかじめ確認するのに用
いられる。
ラスレーザおよびYAGレーザ、気体レーザとしてのCO2レ
ーザなど数種類に限定される。このうちYAGレーザはYAG
（イツトリウム・アルミニウム・ガーネツト）結晶中
に、不純物としてネオジウム（Nd）を重量比で0.7％程
度混入したロッドに、励起ランプの光を照射して得られ
る波長1.06μｍの近赤外線光レーザである。レーザ出力
が数十Ｗから数百Ｗまでの固体レーザでは、長期間の安
定性に優れたYAGレーザが最も幅広く産業分野に使用さ
れている。 第３図は、従来例によるレーザ加工装置の構成図であ
る。第３図においてレーザ加工装置はレーザ発振器１と
レーザ加工光学系２とからなる。 レーザ発振器１から発振されたレーザ光３はレーザ光路
3aを矢印の方向に進み、全反射ミラー４で反射され、レ
ーザ光３を集光させる加工レンズ５を経て被加工物９へ
照射される。６は加工時にO2ガスや空気などのガスを噴
射し、被加工物とガスの酸化反応による反射率の低減、
反応熱の利用および生成された溶融物質の除去のほか、
切断時に被加工物から生じるヒュームやスタックから集
光レンズを保護するためアシストガス噴射ノズルであ
る。 ７は、例えばHe−Neレーザのような可視光レーザ管、８
は前記可視光レーザ管７から発振した可視レーザ光であ
り、この可視レーザ光８は前記レーザ光３と同じ光路を
通過するように光軸調整されている。レーザ加工光学系
２は前記全反射ミラー4,加工レンズ5,ガス噴出ノズル６
および可視光レーザ管７から構成されている。９は前記
したようにレーザ加工の対象となる被加工物である。前
記可視レーザ光８は、前記レーザ光路3aを通って被加工
物９の面に当たり、レーザ加工するときのガイド光とし
て被加工物表面の加工位置をあらかじめ確認するのに用
いられる。
ところが、このような構成によるレーザ加工装置では目
に見えない高出力レーザ光３の光路3aに、可視レーザ光
８が通過するように調整することは容易ではなく、また
調整されたとしても通常レーザ加工装置の被加工物面へ
のガイド光として用いる場合に、何らかの理由で可視レ
ーザ光８が、レーザ光路3aから少しずれたとしても、確
認することが容易でなかった。そこで、実際上はレーザ
光３は目に見えないので、高出力のレーザ光を被加工物
面上に照射して、バーンパターン（焼き跡）をつくり、
そのバーンパターン上に可視レーザ光８が当たるように
目で確認しながら調整することによって、レーザ光路3a
と可視レーザ光８の光路とが一致したものと見なしてい
る。 ここで、レーザ光３は高出力のため直接人体に当たった
りあるいは間接的な反射光をうけても危険である。また
可視レーザ光８は、微小出力レーザのため直接目に当た
らなければ危険がない程度である。 第４図は全反射ミラーにおけるレーザ光の反射を説明す
る説明図である。レーザ光３で使用される全反射ミラー
４は、例えばYAGレーザ光の場合、波長1.06μｍに対し
てほぼ全反射されるが、可視レーザ光８例えばHe−Neレ
ーザ光（波長0.633μｍ）に対しては、全反射ミラー４
の反射膜面で80〜90以上が透過し、第４図に示すような
多重反射により多数本（２本以上）の反射光ができる。
したがつて第３図に示すような従来のレーザ加工装置の
レーザ加工光学系２で構成されるような場合レーザ光路
3aと一致するHe−Neレーザ光が、多数本の反射光のうち
どれか確認しにくいという欠点があつた。 また第５図は、レーザ発振器１の内部構成を示す図で、
結晶ロツド12の両面に励起ランプ13を配置した共振ヘツ
ド14、前記結晶ロツド12を通るレーザ光の光軸方向15に
対し第１の全反射ミラー10および出力ミラー11を備えて
いる。このレーザ発振器１の部品交換や出力再調整作業
後などには、レーザ光の光軸方向15が多少変わるときが
ある。このような場合前記第３図に示したレーザ光路3a
の位置も多少変わるので、それに伴って可視レーザ光８
も前記レーザ光路3aに一致させるように再調整しなけれ
ばならないので、その作業が容易でないという問題があ
つた。 この発明は、上記問題点を解決し、レーザ発振器の光軸
と可視レーザ光との光軸が容易に一致するようにしたレ
ーザ加工装置を提供することを目的とする。
に見えない高出力レーザ光３の光路3aに、可視レーザ光
８が通過するように調整することは容易ではなく、また
調整されたとしても通常レーザ加工装置の被加工物面へ
のガイド光として用いる場合に、何らかの理由で可視レ
ーザ光８が、レーザ光路3aから少しずれたとしても、確
認することが容易でなかった。そこで、実際上はレーザ
光３は目に見えないので、高出力のレーザ光を被加工物
面上に照射して、バーンパターン（焼き跡）をつくり、
そのバーンパターン上に可視レーザ光８が当たるように
目で確認しながら調整することによって、レーザ光路3a
と可視レーザ光８の光路とが一致したものと見なしてい
る。 ここで、レーザ光３は高出力のため直接人体に当たった
りあるいは間接的な反射光をうけても危険である。また
可視レーザ光８は、微小出力レーザのため直接目に当た
らなければ危険がない程度である。 第４図は全反射ミラーにおけるレーザ光の反射を説明す
る説明図である。レーザ光３で使用される全反射ミラー
４は、例えばYAGレーザ光の場合、波長1.06μｍに対し
てほぼ全反射されるが、可視レーザ光８例えばHe−Neレ
ーザ光（波長0.633μｍ）に対しては、全反射ミラー４
の反射膜面で80〜90以上が透過し、第４図に示すような
多重反射により多数本（２本以上）の反射光ができる。
したがつて第３図に示すような従来のレーザ加工装置の
レーザ加工光学系２で構成されるような場合レーザ光路
3aと一致するHe−Neレーザ光が、多数本の反射光のうち
どれか確認しにくいという欠点があつた。 また第５図は、レーザ発振器１の内部構成を示す図で、
結晶ロツド12の両面に励起ランプ13を配置した共振ヘツ
ド14、前記結晶ロツド12を通るレーザ光の光軸方向15に
対し第１の全反射ミラー10および出力ミラー11を備えて
いる。このレーザ発振器１の部品交換や出力再調整作業
後などには、レーザ光の光軸方向15が多少変わるときが
ある。このような場合前記第３図に示したレーザ光路3a
の位置も多少変わるので、それに伴って可視レーザ光８
も前記レーザ光路3aに一致させるように再調整しなけれ
ばならないので、その作業が容易でないという問題があ
つた。 この発明は、上記問題点を解決し、レーザ発振器の光軸
と可視レーザ光との光軸が容易に一致するようにしたレ
ーザ加工装置を提供することを目的とする。
上記目的は、レーザ発振器の内部に取付けた第１の全反
射ミラー側の外部に、光軸調整用の２個の第２の全反射
ミラー、前記第１の全反射ミラーおよび前記第２の全反
射ミラーにより反射された戻り光を受けるけい光白色
板、および前記第２の全反射ミラーに向かって可視光を
発振する可視光レーザ管を設けたレーザ加工装置によつ
て達成される。
射ミラー側の外部に、光軸調整用の２個の第２の全反射
ミラー、前記第１の全反射ミラーおよび前記第２の全反
射ミラーにより反射された戻り光を受けるけい光白色
板、および前記第２の全反射ミラーに向かって可視光を
発振する可視光レーザ管を設けたレーザ加工装置によつ
て達成される。
この発明は、レーザ発振器の内部に取付けた第１の全反
射ミラー側の外部に光軸調整用の２個の第２の全反射ミ
ラー，前記第１の全反射ミラーおよび前記第２の全反射
ミラーにより反射された戻り光を受けるけい光白色板、
および前記第２の全反射ミラーに向かって可視光を発振
する可視光レーザ管を備えたので、前記可視レーザ光の
レーザ発振器からの戻り光か、または上記レーザ発振時
に前記第１の全反射ミラーからのわずかなレーザ光の漏
れ光を利用して、前記レーザ発振器の光軸のずれをけい
光白色板の表面に照射されて映る点として監視し、前記
レーザ発振器の内部にある第１の全反射ミラーの角度を
微調整することにより、前記レーザ発振器の光軸のずれ
を調整できる。
射ミラー側の外部に光軸調整用の２個の第２の全反射ミ
ラー，前記第１の全反射ミラーおよび前記第２の全反射
ミラーにより反射された戻り光を受けるけい光白色板、
および前記第２の全反射ミラーに向かって可視光を発振
する可視光レーザ管を備えたので、前記可視レーザ光の
レーザ発振器からの戻り光か、または上記レーザ発振時
に前記第１の全反射ミラーからのわずかなレーザ光の漏
れ光を利用して、前記レーザ発振器の光軸のずれをけい
光白色板の表面に照射されて映る点として監視し、前記
レーザ発振器の内部にある第１の全反射ミラーの角度を
微調整することにより、前記レーザ発振器の光軸のずれ
を調整できる。
以下図面に基づいてこの発明の実施例を説明する。第１
図はこの発明の実施例によるレーザ加工装置の構成図
で、第３図と同じ部位は同じ番号を付してある。 レーザ発振器１は、第１の全反射ミラー10,出力ミラー1
1および共振器ヘツド14から構成されている。可視レー
ザ管７から発振した可視レーザ光８が第１の全反射ミラ
ー10,出力ミラー11および共振器ヘツド14にそれぞれ反
射して戻ってきたときの戻り光21の位置を確認するけい
光板16が配置され、このけい光板16はレーザ発振器１か
ら発振されるレーザ光にはけい光を発するようになつて
おり、また中心部には可視レーザ光８が出射する小さな
穴17がある。18は可視レーザ光８を全反射する第２の全
反射ミラーで、Ｘ軸,Y軸および回転Θ軸方向の調整がで
きるようになつている。19はレーザ発振器１から発振し
たレーザ光、20はウエッジ角度のついたガラス基板また
は石英基板に誘電体層膜を施した全反射ミラーである。 レーザ発振器１から発振されたレーザ光19は、レーザ光
路19aをとおつて前記ウエッジ角度のついた全反射ミラ
ー20で反射され、加工用レンズ５で集光されたガス噴出
ノズル６から被加工物９に照射する。 けい光白色板16は、レーザ発振器１からのレーザ出力が
最大となるように共振用の第１の全反射ミラー10,出力
ミラー11および共振器ヘッド14が構成されていれば、可
視レーザ光８の戻り光は穴17に戻るが、第１の全反射ミ
ラー10が図示のように少し角度がずれていれば、戻り光
21は前記けい光白色板16の面に当たってその照射点22が
確認されるように配置されている。この照射点22が穴17
の中心に近づくように前記第１の全反射ミラー10を角度
微調整する。このように調整された場合、レーザ発振器
１の光軸23と可視レーザ光８がレーザ発振器１内を通過
する光路とが一致し、前記可視レーザ光８の光路は目に
みえないレーザ発振器１から発振するレーザ光19の通過
する光路19aと一致する。 第２図は、ウエッジ角度のついた全反射ミラーにおける
レーザ光の反射を説明する説明図である。可視レーザ光
８はウエッジ角度のついた全反射ミラー20により、第２
図に示すように全反射ミラーの反射膜面のみの反射光を
選択的に得られるので、多数本の反射光が被加工物面に
通じることがなくなる。従って、被加工物９の面に照射
される可視レーザ光８の位置を確認すれば、高出力のレ
ーザ光19の光路19aであるとみなすことだできる。 また、逆にレーザ発振器１内の光軸23が何らかの理由で
ずれていたとしてもけい光白色板16の面に照射点22が確
認されるので、その場でレーザ発振器１の内部の第１の
全反射ミラー10または出力ミラー11の角度微調整ができ
ることになる。また別の方法として可視レーザ光の戻り
光を用いないで、レーザ発振器の光軸のずれを確認する
ことができる。すなわちレーザ発振時には、第１の全反
射ミラー10からわずかに漏れる光を利用して、もしレー
ザ発振器１の光軸がわずかにずれていれば、第１の全反
射ミラー10からの漏れ光24は、けい光白色板16の表面
で、漏れ光24の波長のみにけい光を発するので、前記の
戻り光による照射点と同様の方法で照射点の位置を確認
することができる。
図はこの発明の実施例によるレーザ加工装置の構成図
で、第３図と同じ部位は同じ番号を付してある。 レーザ発振器１は、第１の全反射ミラー10,出力ミラー1
1および共振器ヘツド14から構成されている。可視レー
ザ管７から発振した可視レーザ光８が第１の全反射ミラ
ー10,出力ミラー11および共振器ヘツド14にそれぞれ反
射して戻ってきたときの戻り光21の位置を確認するけい
光板16が配置され、このけい光板16はレーザ発振器１か
ら発振されるレーザ光にはけい光を発するようになつて
おり、また中心部には可視レーザ光８が出射する小さな
穴17がある。18は可視レーザ光８を全反射する第２の全
反射ミラーで、Ｘ軸,Y軸および回転Θ軸方向の調整がで
きるようになつている。19はレーザ発振器１から発振し
たレーザ光、20はウエッジ角度のついたガラス基板また
は石英基板に誘電体層膜を施した全反射ミラーである。 レーザ発振器１から発振されたレーザ光19は、レーザ光
路19aをとおつて前記ウエッジ角度のついた全反射ミラ
ー20で反射され、加工用レンズ５で集光されたガス噴出
ノズル６から被加工物９に照射する。 けい光白色板16は、レーザ発振器１からのレーザ出力が
最大となるように共振用の第１の全反射ミラー10,出力
ミラー11および共振器ヘッド14が構成されていれば、可
視レーザ光８の戻り光は穴17に戻るが、第１の全反射ミ
ラー10が図示のように少し角度がずれていれば、戻り光
21は前記けい光白色板16の面に当たってその照射点22が
確認されるように配置されている。この照射点22が穴17
の中心に近づくように前記第１の全反射ミラー10を角度
微調整する。このように調整された場合、レーザ発振器
１の光軸23と可視レーザ光８がレーザ発振器１内を通過
する光路とが一致し、前記可視レーザ光８の光路は目に
みえないレーザ発振器１から発振するレーザ光19の通過
する光路19aと一致する。 第２図は、ウエッジ角度のついた全反射ミラーにおける
レーザ光の反射を説明する説明図である。可視レーザ光
８はウエッジ角度のついた全反射ミラー20により、第２
図に示すように全反射ミラーの反射膜面のみの反射光を
選択的に得られるので、多数本の反射光が被加工物面に
通じることがなくなる。従って、被加工物９の面に照射
される可視レーザ光８の位置を確認すれば、高出力のレ
ーザ光19の光路19aであるとみなすことだできる。 また、逆にレーザ発振器１内の光軸23が何らかの理由で
ずれていたとしてもけい光白色板16の面に照射点22が確
認されるので、その場でレーザ発振器１の内部の第１の
全反射ミラー10または出力ミラー11の角度微調整ができ
ることになる。また別の方法として可視レーザ光の戻り
光を用いないで、レーザ発振器の光軸のずれを確認する
ことができる。すなわちレーザ発振時には、第１の全反
射ミラー10からわずかに漏れる光を利用して、もしレー
ザ発振器１の光軸がわずかにずれていれば、第１の全反
射ミラー10からの漏れ光24は、けい光白色板16の表面
で、漏れ光24の波長のみにけい光を発するので、前記の
戻り光による照射点と同様の方法で照射点の位置を確認
することができる。
この発明によれば、レーザ発振器の第１の全反射ミラー
側の外部に、２個のＸ軸,Y軸および回転Θ軸の微調整が
可能な第２の全反射ミラーと、前記第１の全反射ミラー
および第２の全反射ミラーから反射された戻り光を受け
るけい光白色板と前記第２の全反射ミラーに向かって可
視光を発信する可視光レーザ管とを配置したため、レー
ザ発振器の光軸合わせが容易になり、レーザ発振時にお
ける光軸のずれをけい光白色板で確認できるので、第１
の全反射ミラーまたは出力ミラーの角度微調整がその場
でできるようになつた。特にけい光白色板への可視レー
ザ光の戻り光による確認方法だけでなく、第１の全反射
ミラーからわずかに漏れるレーザ光の漏れ光を利用して
けい光白色板表面のけい光点の有無によりレーザ発振器
の光軸のずれの有無を確認することができる。 このようにレーザ発振器の光軸のずれが、常時監視で
き、かつレーザ発振器の光軸を微調整できるうえに、可
視レーザ光の光路がレーザ発振器から発振する高出力レ
ーザ光の光路と一致することを利用して、被加工物の加
工位置を精度よくガイド光として使用することができ
る。 また、レーザ加工光学系内にウエッジ角度のついた全反
射ミラーを用いることにより、被加工物面に不明瞭な多
数本のガイド光の発生を防ぐことができる。
側の外部に、２個のＸ軸,Y軸および回転Θ軸の微調整が
可能な第２の全反射ミラーと、前記第１の全反射ミラー
および第２の全反射ミラーから反射された戻り光を受け
るけい光白色板と前記第２の全反射ミラーに向かって可
視光を発信する可視光レーザ管とを配置したため、レー
ザ発振器の光軸合わせが容易になり、レーザ発振時にお
ける光軸のずれをけい光白色板で確認できるので、第１
の全反射ミラーまたは出力ミラーの角度微調整がその場
でできるようになつた。特にけい光白色板への可視レー
ザ光の戻り光による確認方法だけでなく、第１の全反射
ミラーからわずかに漏れるレーザ光の漏れ光を利用して
けい光白色板表面のけい光点の有無によりレーザ発振器
の光軸のずれの有無を確認することができる。 このようにレーザ発振器の光軸のずれが、常時監視で
き、かつレーザ発振器の光軸を微調整できるうえに、可
視レーザ光の光路がレーザ発振器から発振する高出力レ
ーザ光の光路と一致することを利用して、被加工物の加
工位置を精度よくガイド光として使用することができ
る。 また、レーザ加工光学系内にウエッジ角度のついた全反
射ミラーを用いることにより、被加工物面に不明瞭な多
数本のガイド光の発生を防ぐことができる。
第１図はこの発明の実施例によるレーザ加工装置の構成
図、第２図は第１図のレーザ加工装置のウエッジ角度の
ついた全反射ミラーにおけるレーザ光の反射の説明図、
第３図は従来例によるレーザ加工装置の構成図、第４図
は全反射ミラーにおけるレーザ光の反射の説明図、第５
図はレーザ発振器の構成図である。 1:レーザ発振器、2:レーザ加工光学系、3,19:レーザ
光、3a,19a:レーザ光路、5:加工用レンズ、6:ガス噴出
ノズル、7:可視光レーザ管、8:可視レーザ光、9:被加工
物、10:第１の全反射ミラー、11:出力ミラー、14:共振
器ヘッド、16:けい光白色板、18:第２の全反射ミラー、
20:ウエッジ角度のついた全反射ミラー。
図、第２図は第１図のレーザ加工装置のウエッジ角度の
ついた全反射ミラーにおけるレーザ光の反射の説明図、
第３図は従来例によるレーザ加工装置の構成図、第４図
は全反射ミラーにおけるレーザ光の反射の説明図、第５
図はレーザ発振器の構成図である。 1:レーザ発振器、2:レーザ加工光学系、3,19:レーザ
光、3a,19a:レーザ光路、5:加工用レンズ、6:ガス噴出
ノズル、7:可視光レーザ管、8:可視レーザ光、9:被加工
物、10:第１の全反射ミラー、11:出力ミラー、14:共振
器ヘッド、16:けい光白色板、18:第２の全反射ミラー、
20:ウエッジ角度のついた全反射ミラー。
Claims (1)
- 【請求項１】パルス式固体レーザ発振器から発振したレ
ーザ光を全反射ミラー，加工用レンズおよびガス噴出ノ
ズルを経て被加工物に照射し、この被加工物の加工を行
うレーザ加工装置において、前記レーザ発振器の内部に
取付けた第１の全反射ミラー側の外部に、光軸調整用の
２個の第２の全反射ミラー、前記第１の全反射ミラーお
よび前記第２の全反射ミラーから反射された戻り光を受
けるけい光白色板、前記第２の全反射ミラーに向かって
可視光を発振する可視光レーザ管を設けたことを特徴と
するレーザ加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63324378A JPH0716067B2 (ja) | 1988-12-22 | 1988-12-22 | レーザ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63324378A JPH0716067B2 (ja) | 1988-12-22 | 1988-12-22 | レーザ加工装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02170485A JPH02170485A (ja) | 1990-07-02 |
| JPH0716067B2 true JPH0716067B2 (ja) | 1995-02-22 |
Family
ID=18165125
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63324378A Expired - Lifetime JPH0716067B2 (ja) | 1988-12-22 | 1988-12-22 | レーザ加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0716067B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20220221663A1 (en) * | 2019-06-05 | 2022-07-14 | Nlight, Inc. | Fiber laser insensitive aiming laser |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2949618B1 (fr) * | 2009-09-01 | 2011-10-28 | Air Liquide | Tete de focalisation laser pour installation laser solide |
| JP7038323B2 (ja) * | 2018-04-24 | 2022-03-18 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | レーザ発振器及びそれを用いたレーザ加工装置、レーザ発振器の点検方法 |
-
1988
- 1988-12-22 JP JP63324378A patent/JPH0716067B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20220221663A1 (en) * | 2019-06-05 | 2022-07-14 | Nlight, Inc. | Fiber laser insensitive aiming laser |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02170485A (ja) | 1990-07-02 |
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