JPH0716438A - メンブレンフィルター表面の異物除去方法 - Google Patents
メンブレンフィルター表面の異物除去方法Info
- Publication number
- JPH0716438A JPH0716438A JP7618191A JP7618191A JPH0716438A JP H0716438 A JPH0716438 A JP H0716438A JP 7618191 A JP7618191 A JP 7618191A JP 7618191 A JP7618191 A JP 7618191A JP H0716438 A JPH0716438 A JP H0716438A
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- Japan
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- membrane filter
- fine particles
- foreign matter
- adhesive
- adhering
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- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、簡単な操作でメンブレンフィルタ
ー表面の微粒子数を大幅に減少させることのできるメン
ブレンフィルター表面の異物除去方法である。 【構成】 メンブレンフィルター表面に付着した異物を
除去する方法において、前記メンブレンフィルター表面
に粘着性物質を接触させた後、前記粘着性物質を剥離す
ることにより、前記メンブレンフィルター表面に付着し
た異物を粘着フィルムに転写させて除去する。
ー表面の微粒子数を大幅に減少させることのできるメン
ブレンフィルター表面の異物除去方法である。 【構成】 メンブレンフィルター表面に付着した異物を
除去する方法において、前記メンブレンフィルター表面
に粘着性物質を接触させた後、前記粘着性物質を剥離す
ることにより、前記メンブレンフィルター表面に付着し
た異物を粘着フィルムに転写させて除去する。
Description
【０００１】
【０００２】
【産業上の利用分野】本発明はバイオ、製薬、電子工
業、食品工業等で使用されるメンブレンフィルター表面
の異物除去方法に係り、特に、超純水中の微粒子数を直
接剣鏡法で測定する方法（ＪＩＳ Ｋ０５５４）に好適
するメンブレンフィルターに関する。
業、食品工業等で使用されるメンブレンフィルター表面
の異物除去方法に係り、特に、超純水中の微粒子数を直
接剣鏡法で測定する方法（ＪＩＳ Ｋ０５５４）に好適
するメンブレンフィルターに関する。
【０００３】
【従来の技術】従来から、超純水中の微粒子個数を測定
する方法として、メンブレンフィルターを用いて一定の
条件下で超純水中の微粒子を瀘別し、メンブレンフィル
ター上に補足された微粒子の数を直接顕微鏡で観察して
計数する直接検鏡法が知られている。
する方法として、メンブレンフィルターを用いて一定の
条件下で超純水中の微粒子を瀘別し、メンブレンフィル
ター上に補足された微粒子の数を直接顕微鏡で観察して
計数する直接検鏡法が知られている。
【０００４】この方法に使用されるメンブレンフィルタ
ーは、測定しようとする粒径の微粒子が確実に表面で捕
促されるような構造を有している必要があり、このため
一般には所定の直径の孔径を持ったニュークリポアフィ
ルター［Nuclepore filter］（商品名）のようなメンブ
レンフィルターが用いられている。
ーは、測定しようとする粒径の微粒子が確実に表面で捕
促されるような構造を有している必要があり、このため
一般には所定の直径の孔径を持ったニュークリポアフィ
ルター［Nuclepore filter］（商品名）のようなメンブ
レンフィルターが用いられている。
【０００５】また、直接検鏡法における試料水の瀘過水
量は、直径25mmのメンブレンフィルターを用いた場合、
ＪＩＳ Ｋ０５５４（超純水中 微粒子数測定方法）
で、光学顕微鏡による測定では微粒子約50000 個、電子
顕微鏡による測定では微粒子約500000個を捕集するよう
な瀘過水量と定められている。
量は、直径25mmのメンブレンフィルターを用いた場合、
ＪＩＳ Ｋ０５５４（超純水中 微粒子数測定方法）
で、光学顕微鏡による測定では微粒子約50000 個、電子
顕微鏡による測定では微粒子約500000個を捕集するよう
な瀘過水量と定められている。
【０００６】この瀘過水量は、計数精度の問題からメン
ブレンフィルター表面にもともと存在している微粒子数
によっても制約を受ける。
ブレンフィルター表面にもともと存在している微粒子数
によっても制約を受ける。
【０００７】すなわち、通常使用されるメンブレンフィ
ルター表面にもともと付着している微粒子数は、孔径0.
2 μｍや0.1 μｍの微粒子測定用のメンブレンフィルタ
ーの場合、メンブレンフィルター１枚当たり105 〜106
個になることが知られている。しかしながら、このよう
にもともとメンブレンフィルター表面に付着している微
粒子と試料から捕捉された微粒子とを区別することは一
般に不可能である。
ルター表面にもともと付着している微粒子数は、孔径0.
2 μｍや0.1 μｍの微粒子測定用のメンブレンフィルタ
ーの場合、メンブレンフィルター１枚当たり105 〜106
個になることが知られている。しかしながら、このよう
にもともとメンブレンフィルター表面に付着している微
粒子と試料から捕捉された微粒子とを区別することは一
般に不可能である。
【０００８】このため、例えば表面に105 個／１枚の微
粒子の付着したメンブレンフィルターを使用して瀘過す
る場合には、瀘過によって新たに超純水から捕捉される
微粒子数が瀘過前の10倍程度、すなわち106 個／リット
ル枚程度となるように瀘過水量を設定しなければ測定の
信頼性を維持することは困難である。
粒子の付着したメンブレンフィルターを使用して瀘過す
る場合には、瀘過によって新たに超純水から捕捉される
微粒子数が瀘過前の10倍程度、すなわち106 個／リット
ル枚程度となるように瀘過水量を設定しなければ測定の
信頼性を維持することは困難である。
【０００９】したがって、メンブレンフィルター表面に
付着している微粒子数が少ない程少ない瀘過水量での測
定が可能となり、このため微粒子の付着数の少ないメン
ブレンフィルターが望まれていた。
付着している微粒子数が少ない程少ない瀘過水量での測
定が可能となり、このため微粒子の付着数の少ないメン
ブレンフィルターが望まれていた。
【００１０】一方、近年議論される超純水中の微粒子径
は0.2 μｍ→0.1 μｍ→0.05μｍとますます微小化して
きており、これに伴って使用するメンブレンフィルター
も細孔径のものが必要になり、所定量の試料水を瀘過す
るのに長時間を要している。例えば0.05μｍの孔径をも
つ直径25mmのメンブレンフィルターの超純水の瀘過は7
リットル／口であって 200リットル瀘過するには約１か
月間を要し、この点からも瀘過水量が少なくて済む微粒
子の付着数の少ないメンブレンフィルターが望まれてい
た。
は0.2 μｍ→0.1 μｍ→0.05μｍとますます微小化して
きており、これに伴って使用するメンブレンフィルター
も細孔径のものが必要になり、所定量の試料水を瀘過す
るのに長時間を要している。例えば0.05μｍの孔径をも
つ直径25mmのメンブレンフィルターの超純水の瀘過は7
リットル／口であって 200リットル瀘過するには約１か
月間を要し、この点からも瀘過水量が少なくて済む微粒
子の付着数の少ないメンブレンフィルターが望まれてい
た。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、メン
ブレンフィルターを用いた直接検鏡法による超純水中の
微粒子個数の測定方法においては、少ない瀘過水量で必
要な測定精度を得るとともに瀘過時間を短縮するため
に、表面に付着する微粒子の少ないメンブレンフィルタ
ーが望まれていた。
ブレンフィルターを用いた直接検鏡法による超純水中の
微粒子個数の測定方法においては、少ない瀘過水量で必
要な測定精度を得るとともに瀘過時間を短縮するため
に、表面に付着する微粒子の少ないメンブレンフィルタ
ーが望まれていた。
【００１２】本発明は、かかる従来の問題を解決すべく
なされたもので、簡単な操作でメンブレンフィルター表
面の微粒子数を大幅に減少させることのできるメンブレ
ンフィルター表面の異物除去方法を提供することを目的
とする。
なされたもので、簡単な操作でメンブレンフィルター表
面の微粒子数を大幅に減少させることのできるメンブレ
ンフィルター表面の異物除去方法を提供することを目的
とする。
【００１３】［発明の構成］
【００１４】
【課題を解決するための手段】本発明のメンブレンフィ
ルター表面の異物除去方法は、メンブレンフィルター表
面に付着した異物を除去する方法において、前記メンブ
レンフィルター表面に粘着性物質を接触させた後、前記
粘着性物質を剥離することにより、前記メンブレンフィ
ルター表面に付着した異物を粘着フィルムに転写させて
除去することを特徴としている。
ルター表面の異物除去方法は、メンブレンフィルター表
面に付着した異物を除去する方法において、前記メンブ
レンフィルター表面に粘着性物質を接触させた後、前記
粘着性物質を剥離することにより、前記メンブレンフィ
ルター表面に付着した異物を粘着フィルムに転写させて
除去することを特徴としている。
【００１５】上記粘着性物質としては粘着テープが適し
ているが、この他粘土状の粘着性可塑物も使用可能であ
る。また、粘着テープとしては、基材テープに粘着剤を
コーディングした粘着剤タイプの他、テープ自体に粘着
力があり粘着剤を使用しない自己粘着タイプのテープが
使用される。
ているが、この他粘土状の粘着性可塑物も使用可能であ
る。また、粘着テープとしては、基材テープに粘着剤を
コーディングした粘着剤タイプの他、テープ自体に粘着
力があり粘着剤を使用しない自己粘着タイプのテープが
使用される。
【００１６】粘着テープの粘着力は、幅20mmに切ったメ
ンブレンフィルターをステンレス板に貼着し、２４時間
後に剥離角度180 °、剥離角度300mm/min で剥離したと
き10g/25mm〜500g/25mm の範囲であることが望ましい。
ンブレンフィルターをステンレス板に貼着し、２４時間
後に剥離角度180 °、剥離角度300mm/min で剥離したと
き10g/25mm〜500g/25mm の範囲であることが望ましい。
【００１７】粘着力が強すぎるとメンブレンフィルター
から剥離するときにメンブレンフィルターを破損してし
まうおそれがあり、弱すぎるとメンブレンフィルター上
の付着微粒子が除去できない場合が生ずる。
から剥離するときにメンブレンフィルターを破損してし
まうおそれがあり、弱すぎるとメンブレンフィルター上
の付着微粒子が除去できない場合が生ずる。
【００１８】なお、本発明に使用する粘着物質は、メン
ブレンフィルターから剥離する際にその一部がメンブレ
ンフィルタに転写したり、滲出物等がメンブレンフィル
ターに付着することのないものを使用する必要がある。
このような粘着物質としては、半導体工業で使用されて
いるダイシング用シートが最適である。
ブレンフィルターから剥離する際にその一部がメンブレ
ンフィルタに転写したり、滲出物等がメンブレンフィル
ターに付着することのないものを使用する必要がある。
このような粘着物質としては、半導体工業で使用されて
いるダイシング用シートが最適である。
【００１９】
【作用】本発明によれば、前記メンブレンフィルター表
面に粘着性物質を接触させた後、この粘着性物質を剥離
することにより、メンブレンフィルター表面に付着した
異物が粘着フィルムに転写して除去され、メンブレンフ
ィルター表面の微粒子は１／10以下にまで減少する。こ
れによって、所定の精度の測定結果を得るために必要な
瀘過水量は１／10以下で済むことになって測定に要する
時間が大幅に短縮され、また瀘過水中量を一定にした場
合には測定精度が向上する。
面に粘着性物質を接触させた後、この粘着性物質を剥離
することにより、メンブレンフィルター表面に付着した
異物が粘着フィルムに転写して除去され、メンブレンフ
ィルター表面の微粒子は１／10以下にまで減少する。こ
れによって、所定の精度の測定結果を得るために必要な
瀘過水量は１／10以下で済むことになって測定に要する
時間が大幅に短縮され、また瀘過水中量を一定にした場
合には測定精度が向上する。
【００２０】
実施例１ 予め光学顕微鏡により付着微粒子を計数したメンブレン
フィルター（ニュ−クリポアフィルター）の上に、日本
加工製紙社製 粘着シート ワンタックＣ−３（商品
名）を載せ、ゴムロールを用いて加圧して一体に粘着さ
せた。このまま５時間室温に放置した後、上記粘着シー
トの一端を180 °折り返してゆっくり引っ張って剥離さ
せメンブレンフィルター表面の微粒子を粘着シートに転
写し除去した。
フィルター（ニュ−クリポアフィルター）の上に、日本
加工製紙社製 粘着シート ワンタックＣ−３（商品
名）を載せ、ゴムロールを用いて加圧して一体に粘着さ
せた。このまま５時間室温に放置した後、上記粘着シー
トの一端を180 °折り返してゆっくり引っ張って剥離さ
せメンブレンフィルター表面の微粒子を粘着シートに転
写し除去した。
【００２１】これによって、粘着テープ貼着前5.2 ×10
5 個／枚だったメンブレンフィルター表面の微粒子数
は、2.1 ×104 個／枚に減少していた。
5 個／枚だったメンブレンフィルター表面の微粒子数
は、2.1 ×104 個／枚に減少していた。
【００２２】実施例２ 粘着シートとして日東電工社製粘着シート エレップホ
ルダーＢＴ−１５０Ｅ−ＡＴを使用し、かつメンブレン
フィルターへ貼着後３日間放置した後粘着シートを剥離
した以外は、実施例１と同じ条件でメンブレンフィルタ
ー表面の微粒子を粘着テープに転写し除去した。
ルダーＢＴ−１５０Ｅ−ＡＴを使用し、かつメンブレン
フィルターへ貼着後３日間放置した後粘着シートを剥離
した以外は、実施例１と同じ条件でメンブレンフィルタ
ー表面の微粒子を粘着テープに転写し除去した。
【００２３】これによって、粘着テープ貼着前3.8 ×10
5 個／枚だったメンブレンフィルター表面の微粒子数は
1.3 ×104 個／枚に減少していた。
5 個／枚だったメンブレンフィルター表面の微粒子数は
1.3 ×104 個／枚に減少していた。
【００２４】
【発明の効果】以上の実施例からも明らかなように、本
発明によれば、メンブレンフィルター表面の微粒子を容
易に減少させることができ、これによって測定に必要な
瀘過水量を大幅に減少させて、瀘過時間を大幅に短縮す
ることができる。また、瀘過水量を一定にした場合には
測定精度が向上する。
発明によれば、メンブレンフィルター表面の微粒子を容
易に減少させることができ、これによって測定に必要な
瀘過水量を大幅に減少させて、瀘過時間を大幅に短縮す
ることができる。また、瀘過水量を一定にした場合には
測定精度が向上する。
【００２５】
Claims (2)
- 【請求項１】 メンブレンフィルター表面に付着した異
物を除去する方法において、前記メンブレンフィルター
表面に粘着性物質を接触させた後、前記粘着性物質を剥
離することにより、前記メンブレンフィルター表面に付
着した異物を粘着フィルムに転写させて除去することを
特徴とするメンブレンフィルター表面の異物除去方法。 - 【請求項２】 粘着性物質がテープ基体の表面に塗着さ
れていることを特徴とする請求項１記載のメンブレンフ
ィルター表面の異物除去方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7618191A JPH0716438A (ja) | 1991-04-09 | 1991-04-09 | メンブレンフィルター表面の異物除去方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7618191A JPH0716438A (ja) | 1991-04-09 | 1991-04-09 | メンブレンフィルター表面の異物除去方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0716438A true JPH0716438A (ja) | 1995-01-20 |
Family
ID=13597946
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7618191A Withdrawn JPH0716438A (ja) | 1991-04-09 | 1991-04-09 | メンブレンフィルター表面の異物除去方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0716438A (ja) |
-
1991
- 1991-04-09 JP JP7618191A patent/JPH0716438A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980711 |