JPH0716906B2 - クリーンルーム用ウエハ搬送ロボット - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ＜産業上の利用分野＞ 本発明はクリーンルーム用ウエハ搬送ロボットに関す
る。

＜従来の技術＞ 従来から実施されている半導体工場におけるウエハ搬送
ロボットは走行体と走行体に連結されたロボット部とを
具備している。前記ウエハ搬送ロボットは複数個の装置
に設けられた受渡口においてウエハを挿置したカセット
を掴み又は離す機能及び受渡口からカセットを搬送路位
置まで移動させるとともにウエハを昇降させる機能と、
これらを所定位置まで搬送させる走行機能を有してい
る。

またロボット部及び走行体はカバーによって外周壁が密
閉されている。そして、クリーンルームの天井から噴出
し流下する清浄空気がロボット部や走行体周囲を通過し
て床下に流下するようになっている。

＜発明が解決しようとする課題＞ しかしながら、前記ウエハ搬送ロボットの搬送中におい
て、流下する清浄空気が前記ロボット部や走行体の側壁
に当たって乱流が発生する。そしてこの乱流によって搬
送中のウエハの鏡面にその裏面から舞い上がった微塵が
付着するという不具合があった。さらに前記ロボット部
に比して走行体ほうが表面積が大であるため、走行体か
ら発生する乱流がその多くを占めている。

本発明は上記事情に鑑みて創案されたもので、、ウエハ
搬送中に乱流が発生しないようにしたウエハ搬送ロボッ
トを提供することを目的としている。

＜課題を解決するための手段＞ 上記課題を解決するため、本発明に係る搬送ロボット
は、走行体と走行体の上部に設けたロボット部とからな
り、頭部でウエハを挿置したカセットを掴み、クリーン
ルーム内の複数箇所に配設された受渡口間を搬送する搬
送ロボットにおいて、前記走行体は上面に多数の通気孔
を開設するとともに搬送方向に面した側壁に複数個のス
リットを鉛直線方向に開設したカバーを具備し、内部に
排気装置を設けたことを特徴としている。

＜作用＞ 天井から噴出し流下する清浄空気は上部の通気孔から吸
い込まれて乱流を防止する。また走行中において、走行
体の側壁に当たって発生した清浄空気の乱流はスリット
を介して走行体内に吸引される。

＜実施例＞ 以下、図面を参照して本発明に係る一実施例を説明す
る。

第１図は本発明に係るウエハ搬送ロボットの実施状態を
示す外観斜視図である。

本発明ロボット10は走行体20と走行体20の上部に設けら
れたロボット部30からなっている。走行体20の底面には
吸引ファン61が設けられており、排気孔をもったピット
内に設けられた搬送路40上に配置され走行装置（図示せ
ず）によって走行レールに沿って図示Ａ方向に搬送する
ようになっている。

走行体20の外周壁はカバー21で密閉されており、搬送方
向に面した両側壁21a、21aには、複数個のスリット22、
22・・・・が鉛直線方向に並べて開設され、また上面21
bには多数の通気孔24が開設されている。そしてクリー
ンルーム内に天井から噴出し流下する清浄空気（以下、
エアという）は吸引ファン60により前記通気孔24から走
行体20内を流下し、下端から走行体20下方に流出するよ
うになっている。

ロボット部30は、前方に突出しカセットを掴む２本のア
ーム31、31等を備えており、これらはすべてカバーで密
閉されている。

つぎにスリット22の作用について説明する。

本発明ロボット10がカセット51を図示Ａ方向に搬送中、
流下するエアは図示Ｂ方向に示すように、通気孔24を介
して走行体20の内部を通過し下端から走行体外に流出す
る。また、搬送方向前方では、流下するエアが側壁21a
にあたって乱流が発生する。さらに、搬送方向の後方で
も乱流が発生する。そして前記の乱流は吸引ファン61に
より側壁21aに開設されたスリット22を通過して図示Ｃ
方向に示すように本体20内に吸引され、下端より床下に
排出される。それ故、本発明ロボット10の搬送方向前後
両側面には乱流が発生せず、微塵が舞い上がることもな
い。

なお前記スリット22の位置はできるだけ装置60側に近づ
けて設けることが望ましい。これは装置端の水平部と垂
直部の交点に生じる下方流の乱流を吸引することと、走
行中に装置の垂直部と外周の側壁21aとの交点に生じる
水平方向の乱流を同時によく吸引させるためである。な
お走行体20の下端から流出するエアは床下ピット内又は
床下に放出され、クリーンルームのクリーン度を低下さ
せることはない。

＜発明の効果＞ 以上説明したように、本発明ロボットは走行体の両側壁
に複数個のスリットを鉛直線方向に開設し、乱流を走行
体内に吸引するようにしたので、ウエハ搬送中に乱流が
発生しない。従って、ウエハに微塵が付着しないという
効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るウエハ搬送ロボットの実施状態を
示す外観斜視図である。 10……本発明ロボット 20……走行体 21……カバー 22……スリット 24……通気孔 30……ロボット部 40……搬送路 50……ウエハ 51……カセット

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−124895（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−200979（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−106282（ＪＰ，Ａ)

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】走行体と走行体の上部に設けたロボット部
   とからなり、頭部でウエハを挿置したカセットを掴み、
   クリーンルーム内の複数箇所に配設された受渡口間を搬
   送する搬送ロボットにおいて、前記走行体は上面に多数
   の通気孔を開設するとともに搬送方向に面した側壁に複
   数個のスリットを鉛直線方向に開設したカバーを具備
   し、内部に排気装置を設けたことを特徴とするクリーン
   ルーム用ウエハ搬送ロボット。