JPH07169422A - X線管 - Google Patents
X線管Info
- Publication number
- JPH07169422A JPH07169422A JP31340793A JP31340793A JPH07169422A JP H07169422 A JPH07169422 A JP H07169422A JP 31340793 A JP31340793 A JP 31340793A JP 31340793 A JP31340793 A JP 31340793A JP H07169422 A JPH07169422 A JP H07169422A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- anode
- target piece
- ray tube
- anode target
- ray
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- X-Ray Techniques (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】この発明は、陽極タ−ゲット片の必要とする焦
点寸法と形状が容易に得られ、且つ従来より高X線出力
エネルギのX線管を提供することを目的とする。 【構成】この発明のX線管は、真空外囲器1内に陰極フ
ィラメント4と重金属の陽極タ−ゲット片6とが対向配
設され、この陽極タ−ゲット片が陽極基体9に支持され
てなり、更に陽極基体は合成ダイヤモンドからなってい
るので、上記の目的を達成することが出来る。
点寸法と形状が容易に得られ、且つ従来より高X線出力
エネルギのX線管を提供することを目的とする。 【構成】この発明のX線管は、真空外囲器1内に陰極フ
ィラメント4と重金属の陽極タ−ゲット片6とが対向配
設され、この陽極タ−ゲット片が陽極基体9に支持され
てなり、更に陽極基体は合成ダイヤモンドからなってい
るので、上記の目的を達成することが出来る。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明はX線管に係わり、特に
その陽極基体の材質の改良に関する。
その陽極基体の材質の改良に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、固定陽極形X線管は図2に示すよ
うに構成され、ガラス等の絶縁体からなる真空外囲器1
内に陰極構体2と陽極構体3とが対向して配設されてい
る。陰極構体2には陰極フィラメント4が設けられ、陽
極構体3は陽極基体5の傾斜面に陽極タ−ゲット片6が
埋設されてなっている。この陽極タ−ゲット片6に対応
して、真空外囲器1にはX線放射窓7が封着されてい
る。
うに構成され、ガラス等の絶縁体からなる真空外囲器1
内に陰極構体2と陽極構体3とが対向して配設されてい
る。陰極構体2には陰極フィラメント4が設けられ、陽
極構体3は陽極基体5の傾斜面に陽極タ−ゲット片6が
埋設されてなっている。この陽極タ−ゲット片6に対応
して、真空外囲器1にはX線放射窓7が封着されてい
る。
【0003】動作時には、陰極フィラメント4より放出
された電子ビ−ムが電界により加速され、陽極タ−ゲッ
ト片6上に集束させつつ衝突させてX線を発生させる。
そして、このX線を出来るだけ減衰させないように、X
線放射窓7から取り出している。
された電子ビ−ムが電界により加速され、陽極タ−ゲッ
ト片6上に集束させつつ衝突させてX線を発生させる。
そして、このX線を出来るだけ減衰させないように、X
線放射窓7から取り出している。
【0004】ところで陽極タ−ゲット片6の材質は、特
に必要とする場合を除き、X線の発生効率が良いこと、
高融点であること等の理由から主としてタングステンが
用いられる。しかしながら、タングステンは熱伝導率が
0.4cal/cm・sec・deg(=167w/m
・deg)と余り良くないため、比較的、熱伝導率が良
く(0.94cal/cm・sec・deg)入手が容
易な銅を接合し、タングステン表面が高温になり溶解す
るのを防止している。
に必要とする場合を除き、X線の発生効率が良いこと、
高融点であること等の理由から主としてタングステンが
用いられる。しかしながら、タングステンは熱伝導率が
0.4cal/cm・sec・deg(=167w/m
・deg)と余り良くないため、比較的、熱伝導率が良
く(0.94cal/cm・sec・deg)入手が容
易な銅を接合し、タングステン表面が高温になり溶解す
るのを防止している。
【0005】一方、X線源は出来るだけ小さいほうがX
線像が鮮明になり、使用上好ましいが、入力エネルギの
99%以上が熱エネルギに変換されることから、X線源
の寸法は入力エネルギに制限されて、或る限度以上は小
さくすることが出来ない。従って、入力エネルギとX線
源の寸法は使用目的に応じ最適な組み合わせのものが選
べるように多種製造されている。
線像が鮮明になり、使用上好ましいが、入力エネルギの
99%以上が熱エネルギに変換されることから、X線源
の寸法は入力エネルギに制限されて、或る限度以上は小
さくすることが出来ない。従って、入力エネルギとX線
源の寸法は使用目的に応じ最適な組み合わせのものが選
べるように多種製造されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】以上説明した従来技術
によると、次のような不都合がある。一般にX線強度は
大で焦点寸法は出来るだけ小さいものが当然要求される
が、焦点面の温度が上昇するため、或る限度以上の強度
で小焦点のものは実現出来なかった。又、焦点寸法を小
さくすることは、電子銃より放出された電子の軌道を陽
極タ−ゲット表面で集束するように陰極の電子レンズの
形状を決めるが、或る程度(0.1mm)以下に小さく
絞り込むのは困難であった。又、管電圧,管電流等の条
件を変えることにより焦点寸法が変化し、使用上の制限
もあった。更に、小さく絞り込むためには多極構造とな
り、陰極構体2が複雑となる。この発明は、陽極タ−ゲ
ット片の必要とする焦点寸法と形状が容易に得られ、且
つ従来より高X線出力エネルギのX線管を提供すること
を目的とする。
によると、次のような不都合がある。一般にX線強度は
大で焦点寸法は出来るだけ小さいものが当然要求される
が、焦点面の温度が上昇するため、或る限度以上の強度
で小焦点のものは実現出来なかった。又、焦点寸法を小
さくすることは、電子銃より放出された電子の軌道を陽
極タ−ゲット表面で集束するように陰極の電子レンズの
形状を決めるが、或る程度(0.1mm)以下に小さく
絞り込むのは困難であった。又、管電圧,管電流等の条
件を変えることにより焦点寸法が変化し、使用上の制限
もあった。更に、小さく絞り込むためには多極構造とな
り、陰極構体2が複雑となる。この発明は、陽極タ−ゲ
ット片の必要とする焦点寸法と形状が容易に得られ、且
つ従来より高X線出力エネルギのX線管を提供すること
を目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】この発明は、真空外囲器
内に陰極フィラメントと重金属の陽極タ−ゲット片とが
対向配設され、陽極タ−ゲット片が陽極基体に支持され
てなるX線管において、陽極基体は合成ダイヤモンドか
らなるX線管である。
内に陰極フィラメントと重金属の陽極タ−ゲット片とが
対向配設され、陽極タ−ゲット片が陽極基体に支持され
てなるX線管において、陽極基体は合成ダイヤモンドか
らなるX線管である。
【0008】
【作用】この発明によれば、陽極基体の表面に必要とす
る焦点寸法,形状のタ−ゲット片を接合しておくことに
より、容易に所定寸法・形状の微小焦点が得られる。
る焦点寸法,形状のタ−ゲット片を接合しておくことに
より、容易に所定寸法・形状の微小焦点が得られる。
【0009】
【実施例】以下、図面を参照して、この発明の一実施例
を詳細に説明する。この発明による固定陽極形のX線管
の要部は、図1に示すように構成され、従来例(図2)
と同一箇所は同一符号で示すと、図示しない真空外囲器
内には陰極構体2と陽極構体8が対向して配設されてい
る。そして、陰極構体2には陰極フィラメント4が設け
られ、陽極構体8は陽極基体9に陽極タ−ゲット片6が
埋設されてなっている。この場合、陽極基体9は合成ダ
イヤモンドからなっており、この発明の特徴となってい
る。この陽極基体9に高融点重金属であるタングステン
によって必要とする焦点寸法形状に形成された陽極タ−
ゲット片6が埋設されている。更に、合成ダイヤモンド
は絶縁物ゆえ、陽極タ−ゲット片6に電圧を印加するた
めのリ−ド線10が陽極基体9に貫通埋設され、陽極タ
−ゲット片6に接続されている。
を詳細に説明する。この発明による固定陽極形のX線管
の要部は、図1に示すように構成され、従来例(図2)
と同一箇所は同一符号で示すと、図示しない真空外囲器
内には陰極構体2と陽極構体8が対向して配設されてい
る。そして、陰極構体2には陰極フィラメント4が設け
られ、陽極構体8は陽極基体9に陽極タ−ゲット片6が
埋設されてなっている。この場合、陽極基体9は合成ダ
イヤモンドからなっており、この発明の特徴となってい
る。この陽極基体9に高融点重金属であるタングステン
によって必要とする焦点寸法形状に形成された陽極タ−
ゲット片6が埋設されている。更に、合成ダイヤモンド
は絶縁物ゆえ、陽極タ−ゲット片6に電圧を印加するた
めのリ−ド線10が陽極基体9に貫通埋設され、陽極タ
−ゲット片6に接続されている。
【0010】或いは、上記のリ−ド線10を設ける代り
に、陽極基体9の表面にX線を殆ど発生しない導電材料
の被膜を、幅狭く形成して導電リ−ドとしても良い。
尚、上記以外は従来例(図2)と同様構成ゆえ、詳細な
説明を省略する。
に、陽極基体9の表面にX線を殆ど発生しない導電材料
の被膜を、幅狭く形成して導電リ−ドとしても良い。
尚、上記以外は従来例(図2)と同様構成ゆえ、詳細な
説明を省略する。
【0011】このような構造のX線管によれば、必要と
する焦点寸法(特に微小焦点)を容易に形成することが
出来る。その結果、従来のような集束電極等は不要とな
り、管電流,管電圧の影響を全く受けることなく、安定
した焦点寸法を得ることが出来る。
する焦点寸法(特に微小焦点)を容易に形成することが
出来る。その結果、従来のような集束電極等は不要とな
り、管電流,管電圧の影響を全く受けることなく、安定
した焦点寸法を得ることが出来る。
【0012】即ち、動作時には陰極フィラメント4より
放出された電子11は、正の高電圧が印加されている陽
極タ−ゲット片6に選択的に衝突する。この陽極タ−ゲ
ット片6の形状は必要とする焦点寸法形状に作っておく
だけで容易に焦点を形成することが出来る。そして、合
成ダイヤモンドは絶縁物(1016Ω・cm)であるが、
熱伝導率は高い(5.0cal/cm・sec1・de
g=Cuの約5倍)ため、陽極タ−ゲット片6から発生
した熱は合成ダイヤモンドの伝導により放熱される。
又、陽極タ−ゲット片6を外れ陽極基体9に衝突した電
子は、陽極タ−ゲット片6に比べX線発生効率は十分低
いため、実使用上は問題はない。
放出された電子11は、正の高電圧が印加されている陽
極タ−ゲット片6に選択的に衝突する。この陽極タ−ゲ
ット片6の形状は必要とする焦点寸法形状に作っておく
だけで容易に焦点を形成することが出来る。そして、合
成ダイヤモンドは絶縁物(1016Ω・cm)であるが、
熱伝導率は高い(5.0cal/cm・sec1・de
g=Cuの約5倍)ため、陽極タ−ゲット片6から発生
した熱は合成ダイヤモンドの伝導により放熱される。
又、陽極タ−ゲット片6を外れ陽極基体9に衝突した電
子は、陽極タ−ゲット片6に比べX線発生効率は十分低
いため、実使用上は問題はない。
【0013】
【発明の効果】この発明によれば、陽極基体が合成ダイ
ヤモンドからなっているので、この陽極基体の表面に必
要とする焦点寸法,形状のタ−ゲット片を接合しておく
ことにより、容易に所定寸法・形状の微小焦点を有する
X線管を提供することが出来る。
ヤモンドからなっているので、この陽極基体の表面に必
要とする焦点寸法,形状のタ−ゲット片を接合しておく
ことにより、容易に所定寸法・形状の微小焦点を有する
X線管を提供することが出来る。
【図1】この発明の一実施例に係るX線管の要部を示す
断面図。
断面図。
【図2】従来のX線管を示す断面図。
1…真空外囲器、2…陰極構体、3…陽極構体、4…陰
極フィラメント、5…陽極基体、6…陽極タ−ゲット
片、7…X線放射窓、8…陽極構体、9…陽極基体、1
0…リ−ド線。
極フィラメント、5…陽極基体、6…陽極タ−ゲット
片、7…X線放射窓、8…陽極構体、9…陽極基体、1
0…リ−ド線。
Claims (1)
- 【請求項1】 真空外囲器内に陰極フィラメントと重金
属の陽極タ−ゲット片とが対向配設され、該陽極タ−ゲ
ット片が陽極基体に支持されてなるX線管において、 上記陽極基体は合成ダイヤモンドからなることを特徴と
するX線管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31340793A JPH07169422A (ja) | 1993-12-14 | 1993-12-14 | X線管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31340793A JPH07169422A (ja) | 1993-12-14 | 1993-12-14 | X線管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07169422A true JPH07169422A (ja) | 1995-07-04 |
Family
ID=18040910
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31340793A Pending JPH07169422A (ja) | 1993-12-14 | 1993-12-14 | X線管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07169422A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011071101A (ja) * | 2009-08-31 | 2011-04-07 | Hamamatsu Photonics Kk | X線発生装置 |
| KR20140066734A (ko) | 2011-08-31 | 2014-06-02 | 캐논 가부시끼가이샤 | 타겟 구조체 및 x선 발생장치 |
| CN113571396A (zh) * | 2021-07-12 | 2021-10-29 | 无锡日联科技股份有限公司 | 一种靶窗分离双真空室透射x射线管 |
-
1993
- 1993-12-14 JP JP31340793A patent/JPH07169422A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011071101A (ja) * | 2009-08-31 | 2011-04-07 | Hamamatsu Photonics Kk | X線発生装置 |
| KR20140066734A (ko) | 2011-08-31 | 2014-06-02 | 캐논 가부시끼가이샤 | 타겟 구조체 및 x선 발생장치 |
| US9524846B2 (en) | 2011-08-31 | 2016-12-20 | Canon Kabushiki Kaisha | Target structure and X-ray generating apparatus |
| CN113571396A (zh) * | 2021-07-12 | 2021-10-29 | 无锡日联科技股份有限公司 | 一种靶窗分离双真空室透射x射线管 |
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