JPH07169723A - ウエハ剥がし装置，及びウエハ剥がし方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ウエハはがし時にウエハ割れ、及びウエハの
位置ずれが発生しないウエハ剥がし装置，及びウエハ剥
がし方法を得る。 【構成】 先端にアーム側吸着部１を有した，所定方向
に移動可能なアーム部２と、上部にウエハ４の形状に合
わせて形成された，深さがウエハ４の厚さより深い凹部
８が設けられたウエハ剥離台６とを備え、上記ガラス板
３に貼り付けられたウエハ４を上記ウエハ剥離台６の凹
部内に収容した状態で、上記ガラス板３を吸着保持する
アーム部２を上記ウエハ剥離台６表面と平行に移動させ
て、上記ウエハ４をガラス板３から剥がすようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、半導体ウエハをガラ
ス板から剥がすウエハ剥がし装置，及びウエハ剥がし方
法に関し、特にウエハをガラス板から剥がす際、ウエハ
の割れが発生するのを抑えることができるウエハ剥がし
装置，及びウエハ剥がし方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図７は従来のウエハ剥がし装置の構造，
及び動作を示す側面図であり、図において、１０２はウ
エハを運ぶためのアーム、１０１はアーム２の先端に取
りつけられたアーム側吸着部で、その表面にはアーム１
０２を通してガラス板等を吸い上げられるように穴（図
示せず）があいている。１０３は表面に直径３インチの
ウエハ１０４がワックス１０５によりはりつけられてい
るガラス板、１０７は支持台、１０６は支持台１０７の
一主面上に設けられた，直径がウエハより大きい円柱形
状の下側吸着部で、その表面にはウエハを吸着するため
に、吸引装置等に接続された穴（図示せず）が設けられ
ている。また、上記アーム側吸着部１０１，及び下側吸
着部１０６には、ワックス１０５を溶かすための加熱手
段（図示せず）が設けられている。

【０００３】次に動作について図７を用いて説明する。
まず、図７(a) に示すように、ウエハ１０４がワックス
１０５によりはりつけられた状態のガラス板１０３の上
にアーム１０２を移動させる。そして図７(b) に示すよ
うに、アーム側吸着部１０１に吸引によりガラス板１０
３を吸着する。つぎに、図７(c) に示すように、アーム
１０２を支持台７上の下部吸着部１０６の上に移動させ
る。その後、アーム１０２を下降し、図７(d) のよう
に、ウエハ１０４側を下部吸着部１０６で吸引してウエ
ハ１０４を吸着部１０６に吸着する。この後、アーム側
吸着部１０１と下部吸着部１０６の両側からウエハ１０
４，及びガラス板１０３を加熱することによりワックス
１０５を溶かす。その後アームを図７(e) に示すよう
に、ウエハ１０４を支持台１０７上に軽く押さえながら
支持台１０７の一主面と平行な方向にすべらせるように
すると、アーム側吸着部１に真空吸着されたガラス板１
０３から、下部吸着部１０６に真空吸着されたウエハ１
０４がはずれることとなる。

【０００４】また、図８は従来のウエハ剥がし装置の他
の例を示す図であり、図において、図７と同一符号は同
一又は相当する部分を示しており、１１１はウエハ１０
４よりも直径が小さい円柱状の下側吸着部、１１０はサ
ポートリング、１１２はサポートリング１１０にウエハ
１０４を固定するための固定ピン、１１３は該固定ピン
１１２を開閉させるための開閉機構、１１４は下側吸着
部１１１の側面部に昇降可能に設けられた、サポートリ
ングを昇降させる突起部材（昇降アーム）で、図示しな
い駆動機構に接続されている。また、図９は上記サポー
トリング１１０の構造を示す斜視図（図９(a))，及び該
サポートリング１１０の固定ピン１１２近傍部の構造を
示す拡大図（図９(b))であり、図において図８と同一符
号は同一部分を示している。

【０００５】次に動作について説明する。図７に示した
従来例と同様に、図８(a) に示すように、ウエハ１０４
をガラス板１０３から剥がしたあと、図８(b) のよう
に、サポートリング１１０を突起部材１１４によりウエ
ハの下面まで上昇させ、固定ピン１１２をウエハ１０４
側に曲げることにより、サポートリング１１０をウエハ
１０４に固定する。このサポートリング１１０の固定ピ
ン１１２は、図９に示すように、サポートリング１１０
上の４カ所に配置された開閉機構１１３に取りつけられ
ている。この開閉機構１１３は、例えばサポートリング
１１０上のウエハ１０４の有無等により固定ピン１１２
を開閉可能な構成となっている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】従来のウエハ剥がし装
置は以上のように構成されており、アームを水平にすべ
らせることによりウエハを剥がすようにしていたが、こ
の時、アームを下側に押しつける力が強いと、ウエハは
非常に薄いため、アームをすべらせた時にウエハが割れ
てしまうという問題があった。

【０００７】また、アームを押しつける力が弱いとウエ
ハがガラス板にひきずられて、ウエハの位置がずれてし
まい、ガラス板から剥がした後のウエハを機械によりハ
ンドリングすることが困難になったり、下側吸着部上に
配置した状態でサポートリングをはめることができなく
なる等の問題があった。

【０００８】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、ウエハが割れたり、ウエハの位
置がずれたりすることなくウエハを剥がすことができる
ウエハ剥がし装置，及びウエハ剥がし方法を得ることを
目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】この発明に係るウエハ剥
がし装置は、先端にガラス板を吸着可能な吸着保持部を
有する所定の方向に移動可能なアーム部と、表面部分に
深さが上記ウエハの厚さよりも深い上記ウエハ形状に合
わせて形成された凹部を有するウエハ剥離台とを備えて
おり、上記アーム部により、ワックスによりガラス板に
取りつけられたウエハを吸着保持し、このガラス板に貼
り付けられたウエハを上記ウエハ剥離台の凹部内に収容
した状態で、上記アーム部を上記ウエハ剥離台表面と平
行に移動させて、ウエハをガラス板から剥がすようにし
たものである。またこの発明は、上記ウエハ剥がし装置
において、上記ウエハ剥離台及び吸着保持部が、上記ワ
ックスを溶かすための加熱手段を有するものとしたもの
である。

【００１０】またこの発明は、上記ウエハ剥がし装置に
おいて、上記ウエハ剥離台の凹部を、該ウエハ剥離台本
体に形成した貫通穴と、この貫通穴内に上下移動可能に
設けられた底板とから構成されるものとし、この凹部の
底面の位置をその深さ方向に調整可能なものとしたもの
である。

【００１１】またこの発明は、上記ウエハ剥がし装置に
おいて、上記ウエハ剥離台が、その側面に沿って昇降可
能に設けられた複数の昇降アームを有する円柱状部材
と、該昇降アーム上に載置された、ウエハを支持するサ
ポートリングと、このサポートリング，及び昇降アーム
を収容可能なスペースをその下部に有した，上記円柱状
部材と嵌合可能な一対の略Ｕ字型部材からなる筒状部材
とを有し、上記円柱状部材をこの筒状部材内に嵌合した
状態で、これらの上面部分に上記凹部が形成されるよう
構成されているものである。

【００１２】また、この発明に係るウエハ剥がし装置
は、先端にガラス板を吸着可能な吸着保持部を有し、所
定の方向に移動可能なアーム部と、上記ワックスの溶剤
を貯溜する，上記ウエハの外形より大きな開口を有する
溶剤収容容器とを備えており、この溶剤収容容器は、基
台上に、液漏れを防止するための一対の固定壁部材を相
対向させて配設し、該固定壁部材間において移動可能に
一対の可動壁部材を配設して構成され、上記基台の表面
には、上記可動壁部材の移動により開閉される，上記容
器内に貯溜されたワックスの溶剤を排出するための液抜
き口が形成され、上記アーム部により上記ワックスによ
りウエハを貼り付けたガラス板を吸着保持し、このアー
ム部を移動させて、上記ガラス板に貼り付けたウエハを
上記溶剤収容容器の溶剤内へ浸漬して上記ワックスを上
記溶剤により溶解させることにより、上記ウエハをガラ
ス板から剥がすようにしたものである。

【００１３】またこの発明は、上記ウエハ剥がし装置に
おいて、上記溶剤収容容器内にはウエハを支持するサポ
ートリングが配置され、上記可動壁部材はその下部に該
サポートリングを収容するスペースを有し、上記溶剤収
容容器内でガラス板から剥離されたウエハが、上記サポ
ートリング上に落下するようにしたものである。

【００１４】また、この発明に係るウエハ剥がし方法
は、ガラス板に貼り付けられたウエハを、ウエハ剥離台
のウエハの形状に合わせて形成された，深さが上記ウエ
ハの厚さより深い凹部に嵌め込み、上記ワックスを加熱
により溶かした状態で、上記ガラス板をウエハ剥離台表
面と平行な方向に移動させて、上記ウエハをガラス板か
ら剥がすようにしたものである。

【００１５】また、この発明に係るウエハ剥がし方法
は、ガラス板にワックスにより貼り付けられたウエハ
を、所定の容器内に貯溜された上記ワックスの溶剤内に
浸漬し、該溶剤によりワックスを溶解させ、上記ウエハ
をガラス板から剥離させて、上記ウエハを上記容器内の
底面上に落下させ、上記容器内の溶剤を排出した後、上
記容器内からウエハを取り出すようにしたものである。

【００１６】

【作用】この発明においては、ウエハ剥離台の表面部分
にウエハの形状に合わせて形成された，深さがウエハの
厚さより深い凹部を設け、この凹部にガラス板にワック
スにより取りつけられたウエハを収容し、ワックスを溶
かした状態で、ガラス板を上記ウエハ剥離台表面と平行
に移動させて、ウエハの剥離を行うようにしたから、ウ
エハを押圧することなく、ガラス板から剥がすことがで
き、ウエハ割れの発生を抑えることができる。また、上
記凹部の側面にウエハを係合させて、ウエハを剥がすこ
とにより、ガラス板から剥がした後のウエハの位置ずれ
をなくすことができる。

【００１７】またこの発明においては、上記ウエハ剥離
部の底面の位置をその高さ方向において調整できるよう
にしたから、さまざまな厚さのウエハに対して、ウエハ
割れを発生させることなくウエハを剥がすことができ
る。またこの発明においては、上記ウエハ剥離台を、側
面に複数の昇降アームを有する円柱状部材と、該昇降ア
ーム上に載置されたサポートリングと、このサポートリ
ング，及び昇降アームを収納可能なスペースをその下部
に有した上記円柱部材と嵌合可能な一対の略Ｕ字型部材
からなる筒状部材とを有し、上記円柱状部材をこの筒状
部材内に嵌合した状態で、これらの上面部分に上記凹部
が形成されるよう構成したから、ウエハを位置ずれのな
いように剥がした後、ウエハの位置を動かすことなくサ
ポートリングをはめることができ、サポートリングをは
める工程の作業性を向上させることができる。

【００１８】また、この発明においては、ワックスの溶
剤を貯溜した溶剤収容容器内に、ガラス板にワックスで
貼り付けられたウエハを浸漬し、該溶剤でワックスを溶
かしてウエハをガラス板から剥がすようにしたので、ウ
エハに力を加えることなくガラス板からウエハを剥がす
ことができ、ウエハ割れの発生を抑えることができる。

【００１９】またこの発明においては、上記溶剤収容容
器の底面にウエハを補強するためのサポートリングを配
置したから、上記ガラス板から剥がれたウエハが落下に
よって自動的にサポートリング上に位置することとな
り、ウエハにサポートリングをはめる工程の作業性を向
上させることができる。

【００２０】

【実施例】実施例１．図１は本発明の第１の実施例によ
るウエハ剥がし装置の構造，及び動作を示す図で、図１
(a) はウエハ剥がし装置の構造を示す斜視図であり、図
１(b) 及び図１(c) は図１(a) のウエハ剥がし装置のＩ
−Ｉ線における断面図である。図において、２は所定の
方向に移動可能なアーム、１はアーム２の先端に取りつ
けられたアーム側吸着部で、その表面にはアーム２を通
してガラス板等を吸い上げられるように吸引装置等（図
示せず）に接続された穴があいている。３は表面に直径
３インチのウエハ４がワックス５によりはりつけられて
いるガラス板、７は支持台、６は該支持台７の一主面上
に配置されたウエハ剥離台で、その表面には深さが上記
ウエハ４より深く、直径がウエハ４より大きく、ガラス
板３よりも小さい，上記ウエハ４をはめ込むことができ
る円柱形状の凹部が設けられている。また、アーム側吸
着部１とウエハ剥離台６にはワックス５を溶かすための
加熱手段（図示せず）が設けられている。

【００２１】次に動作について説明する。まず、アーム
側吸着部１に吸引によりウエハ４がワックス５により貼
り付けられたガラス板３を吸着させる。次に、図１(b)
に示すように、アーム２をウエハ剥離台６上に移動させ
た後、該ウエハ剥離台６の上部に形成されたウエハ４の
形状に対応した凹部８に、図１(b) に示すように、アー
ム２を下降させてウエハ４をはめ込む。この状態でアー
ム側吸着部１と下側吸着部６の両方からウエハ４及びガ
ラス板３を加熱してワックス５を溶かし、アーム２を支
持台７の一主面と平行な方向にずらせることにより、ウ
エハ４を凹部８の側面部に係合させてガラス板３からは
ずす。

【００２２】本実施例においては、凹部８にウエハ４を
はめこみ、ワックス５をとかした後、アーム２の移動方
向に対して凹部８の側面部をウエハ４の側面部に係合さ
せてガラス板３とウエハ４を剥がすようにしたものであ
り、この時、凹部８の深さをウエハ４の厚みに対して若
干深くしておけば、従来のウエハを下側吸着部に押しつ
けてウエハを剥がす方法に比べて、ウエハ４を上から押
さえつける圧力がかからないため、ウエハ剥がし工程に
おいてウエハが割れにくくなる。なお、凹部８の深さ
は、例えば、ウエハ厚が１００μｍの場合は、凹部８の
深さは１１０μｍ程度が最適な深さである。また、凹部
８の側面部をウエハ４の側面部に係合させるので、ガラ
ス板３を外した後のウエハ４を所定の位置に配置してお
くことが可能となり、新たに位置調整等を行うことな
く、ウエハ４を機械等によりハンドリングすることがで
きる。

【００２３】このように本実施例によれば、ウエハ剥離
台６の表面部分にウエハ４の形状に合わせて形成され
た，深さがウエハ４の厚さより深い凹部を設け、この凹
部にガラス板３にワックス５により取りつけられたウエ
ハ４を収容し、ワックス５を溶かした状態で、ガラス板
３を上記ウエハ剥離台６表面と平行に移動させて、ウエ
ハ４の剥離を行うようにしたから、ウエハの割れ、及び
位置ずれを招くことなくウエハをガラス板から剥がすこ
とができる。

【００２４】実施例２．図２は本発明の第２の実施例に
よるウエハ剥がし装置の主要部の構造を示す斜視図（図
２(a))，及びそのII−II線による断面図（図２(b))であ
り、図において、図１と同一符号は同一又は相当する部
分を示しており、９はウエハ剥離台、９ａはウエハ剥離
台９の外側支持部、９ｂはウエハ剥離台９の中央部であ
る。本実施例のウエハ剥がし装置のウエハ剥離台９は、
中央部９ｂの高さ位置を外側支持部９ａの高さに対して
上下に調節可能なものである。上記第１の実施例では、
凹部８の深さは一定であるので、凹部８の深さより厚い
ウエハには利用できず、所定の範囲の厚さのウエハにし
か対応させることができないという問題があった。しか
し、現状のウエハプロセスにおいては、同一のラインに
おいて、メインに流れる機種のウエハとは異なるウエハ
厚のウエハを１〜２割、取り扱う場合が多い。そこで本
実施例に示すように、凹部８の底面となる中央部９ｂを
上下に調節できるようにして、凹部８の深さをウエハ厚
に合わせて調節できるようにすることにより、様々な厚
さのウエハに対して対応可能なウエハ剥がし装置を得る
ことができる。

【００２５】このように本実施例２によれば、ウエハ剥
離台９の上部に、ウエハ４の形状に合わせて形成した凹
部８を、その底面の高さ位置を調整可能にしたから、さ
まざまな厚さのウエハに対しても、ウエハ割れを発生さ
せることなく、また位置ずれを起こすことなく、ウエハ
をガラス板から剥がすことができるウエハ剥がし装置を
得ることができる。

【００２６】実施例３．図３は本発明の第３の実施例に
よるウエハ剥がし装置の主要部の構造を示す斜視図であ
り、図において、図１と同一符号は同一又は相当する部
分を示しており、１１は上部にウエハの形状に合わせて
形成された凹部８を備えたウエハ剥離台で、これは円柱
状の中央部１１ｂと、その周囲を囲む外側支持部１１ａ
及び１１ｃとにより構成されている。上記中央部１１ｂ
の直径は、ウエハの直径よりも小さく、その上部は上記
凹部８底面の中央部を形成している。また、外側支持部
１１ａ，１１ｃの中央部１１ｂ側は下部において直径が
広がっており、中央部１１ｂとの間に空間が形成されて
いる。１０は中央部１１ｂの下部にはめこまれているサ
ポートリングである。本装置はウエハ剥離台１１が、中
央部１１ｂと外側支持部１１ａ，１１ｃの３つの部材で
構成されているものである。

【００２７】また、図４は図３に示したウエハ剥がし装
置のIII −III 線による断面図であり、図において、図
３と同一符号は同一又は相当する部分を示しており、２
１は中央部１１ｂの側面上に昇降可能に設けられたサポ
ートリング１０を昇降させる突起部材（昇降アーム）
で、図示しない駆動機構に接続されている。１２はサポ
ートリング１０上に設けられたウエハを固定するための
固定ピン、２０は固定ピン１２を開閉させるための開閉
装置である。

【００２８】次に動作について説明する。図４(a) に示
すように、凹部８にウエハ４をはめ込み、上記第１の実
施例と同様にウエハ剥がしを行う。次に、図４(b) に示
すように、外側支持部１１ｂをウエハ剥離台中央部１１
ａに対して外側の方向に移動させるとともに、サポート
リング１０に取りつけられたウエハ固定用のピン１２を
開く。さらに、図４(c) のように、サポートリング１０
を突起部材２１によりウエハ４と同一面上になるまで上
昇させた後、開閉装置２０により固定ピン１２を閉じて
ウエハをサポートリング１０に固定する。

【００２９】一般にガラス板に張り付けた後に研削を行
ったウエハは薄くて割れやすいので、ウエハをガラス板
から剥がした後の工程で、ウエハが割れるのを防ぐため
サポートリングに固定ピンでウエハを固定する方法が有
効である。従来のウエハ剥がし装置においては、ウエハ
をガラス板から剥がした後、別の装置にウエハを移動さ
せ、サポートリングをはめる方法が一般的であったが、
このような方法では作業性が非常に悪いという問題があ
った。また、上述したように従来のウエハ剥がし装置に
おいても、サポートリングをはめる機構を備えたものが
あるが、ウエハを剥がす際にウエハの位置ずれが発生す
るため、ウエハを剥がした状態でサポートリングを確実
にはめることは非常に困難であった。しかし、本第４の
実施例に示すような機構を備えたウエハ剥がし装置にお
いては、ウエハ剥がしと、ウエハ４のサポートリング１
０への固定が一台の装置で可能になり、しかも、ガラス
板３から剥がした後のウエハ４を、サポートリング１０
をはめるための所定の位置へ位置精度良く配置すること
ができるから、サポートリング１０をはめる際にウエハ
４の位置調整を新たに行う必要がない。このため、ウエ
ハ剥がし工程の作業性を向上させることができ、ウエハ
加工の工期を短縮することができる。

【００３０】このように本実施例によれば、上記ウエハ
剥離台１１を、側面に複数の昇降アーム２１を有する円
柱状部材１１ｂと、該昇降アーム２１上に載置されたサ
ポートリング１０と、このサポートリング１０及び昇降
アーム２１を収納可能なスペースをその下部に有した上
記円柱状部材１１ｂと嵌合可能な，一対の略Ｕ字型部材
からなる筒状部材１１ａ，１１ｃとを有し、上記円柱状
部材１１ｂをこの筒状部材１１ａ，１１ｃ内に嵌合した
状態でこれらの上面部分に上記凹部が形成されるよう構
成したから、上記第１の実施例の効果に加えて、ウエハ
を剥がした後、ウエハの位置を動かすことなくサポート
リングをはめることができ、ウエハ剥がし工程の作業性
を向上させることができ、ウエハ加工の工期を短縮でき
る。

【００３１】実施例４．図５は本発明の第４の実施例に
よるウエハ剥がし装置の構造を示す斜視図であり、図に
おいて、図１と同一符号は同一又は相当する部分を示し
ており、１５は中央にウエハ４の形状に合わせて形成さ
れた，支持台７ａを底面とした開口部８ａを有する溶剤
収容容器、１５ａ及び１５ｂは収容容器１５の外側支持
部、１６は収容容器１５の側面部であり、側面部１６は
支持台７ａの一主面上に固定されており、外側支持部１
５ａ，１５ｂは支持台７の一主面上に移動可能な状態で
取付けられている。１３は開口部８ａを満たしているワ
ックス５を溶かすためのＴＭＳソルベント等の溶剤であ
る。

【００３２】図６は図５に示したウエハ剥がし装置のＶ
−Ｖ線による断面図であり、図において図５と同一符号
は同一部分を示しており、図において、１４は外側支持
部１５ｂ下部の支持台７に設けられた液抜き口で、ウエ
ハ４をガラス板５から剥がす際は、外側支持部１５ｂに
より蓋がされている。また、サポートリング１０が開口
部８ａの底面上に配置されている。

【００３３】次に動作について説明する。図６(a) に示
すように、アーム２により、上記ワックス５によりウエ
ハを貼り付けたガラス板３を吸着保持し、アーム２を移
動して、ワックス５でガラス板３に張り付けられたウエ
ハ４を溶剤収容容器１５の開口部８ａ内に配置すると、
ウエハ４の周辺部からワックス５が溶剤１３によって溶
かされ、最後には、ウエハ４がガラス板３からはずれ、
外側支持部１５ａ，１５ｂに沿って底面である支持台７
ａに向かって、浮力を受けてゆっくりと落ちていき、ち
ょうど支持台７ａ上に配置されたサポートリング１０上
に載る。すると、サポートリング１０の固定ピン１２が
閉じてウエハ４がリング１０に固定される。

【００３４】次に、図５(b) に示すように、外側支持部
１５ａ，１５ｂを支持台７ａ上を外向きに移動させる。
この時、図５(b) に示すように、溶剤１３が外側支持部
１１ａの下部に設けられた液抜き口１４から排出される
こととなり、サポートリング１０にはめられたウエハ４
を取り出すことができる。

【００３５】本実施例は、溶剤１３によりウエハ４をガ
ラス板３にはりつけているワックス５を溶かしてウエハ
４をガラス板３から剥がすようにしたものである。上記
第１ないし第３の実施例に示すような、アーム２をすべ
らせ、ウエハ４を凹部８の側面に係合させて剥がす方法
では、ウエハ厚が極端に薄くなるとウエハ４が割れる確
率が非常に高くなる。例えばＧａＡｓ基板の場合は４０
μｍ以下にすると、このような方法では割れてしまう。
しかし、本第４の実施例では、溶剤１３でワックス５を
とかして、ウエハ４を溶剤１３中に沈ませて、ウエハ４
を剥がすことができるから、ウエハ４に力を加えること
なく剥がすことができ、ウエハ割れ等を防ぐことができ
る。また、ウエハ４は外側支持部１５ａ，１５ｂに沿っ
て落ちていくので、位置精度良くサポートリング１０上
に配置されることとなり、ウエハ４の位置を移動させる
ことなく、ウエハ４にサポートリング１０をはめること
ができる。

【００３６】このように本実施例によれば、溶剤収容容
器１５内にワックス５の溶剤１３を溜め、これにガラス
板３にワックス５により貼り付けたウエハ４を浸漬し、
上記ワックス５の溶解によりウエハ４をガラス板３から
剥がすようにしたので、ウエハに力を加えることなくこ
れをガラス板から剥がすことができ、ウエハ剥離時のウ
エハ割れを低減することができる。また、上記下側吸着
部１５の貫通口８ａの支持台近傍部を、上記ウエハ４の
直径より幅がひろがっているようにし、貫通口８ａ下部
の支持台７上にサポートリング１０を配置したから、ガ
ラス板から剥がれたウエハは、落下によって自動的にサ
ポートリング上に位置することとなり、ウエハにサポー
トリングをはめる工程の作業性を向上させることができ
る。

【００３７】

【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、ウエハ
剥離台の表面部分にウエハの形状に合わせて形成され
た，深さがウエハの厚さより深い凹部を設け、この凹部
にガラス板にワックスにより取りつけられたウエハを収
容し、ワックスを溶かした状態で、ガラス板を上記ウエ
ハ剥離台表面と平行に移動させて、ウエハの剥離を行う
ようにしたから、ウエハを押圧することなく、ガラス板
から剥がすことができ、ウエハ割れの発生を抑えること
ができ、ウエハ剥がし工程におけるウエハの歩留りを向
上させられる効果がある。また、上記凹部の側面にウエ
ハを係合させて、ウエハを剥がすことにより、ガラス板
から剥がした後のウエハの位置ずれをなくすことができ
る効果がある。

【００３８】また、この発明によれば、上記ウエハ剥離
部の底面の位置をその高さ方向において調整できるよう
にしたから、さまざまな厚さのウエハに対して、ウエハ
割れを発生させることなくウエハを剥がすことができる
効果がある。また、この発明においては、上記ウエハ剥
離台を、側面に複数の昇降アームを有する円柱状部材
と、該昇降アーム上に載置されたサポートリングと、こ
のサポートリング，及び昇降アームを収納可能なスペー
スをその下部に有した上記円柱部材と嵌合可能な一対の
略Ｕ字型部材からなる筒状部材とを有し、上記円柱状部
材をこの筒状部材内に嵌合した状態でこれらの上面部分
に上記凹部が形成されるよう構成したから、ウエハを位
置ずれのないように剥がした後、ウエハの位置を動かす
ことなくサポートリングをはめることができ、サポート
リングをはめる工程の作業性を向上させることができる
効果がある。

【００３９】また、この発明によれば、ワックスの溶剤
を貯溜した溶剤収容容器内に、ガラス板にワックスで貼
り付けられたウエハを浸漬し、該溶剤でワックスを溶か
してウエハをガラス板から剥がすようにしたので、ウエ
ハに力を加えることなくガラス板からウエハを剥がすこ
とができ、ウエハ割れの発生を抑えることができる効果
がある。

【００４０】また、この発明によれば、上記溶剤収容容
器の底面にウエハを補強するためのサポートリングを配
置したから、上記ガラス板から剥がれたウエハが落下に
よって自動的にサポートリング上に位置することとな
り、ウエハにサポートリングをはめる工程の作業性を向
上させることができる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例によるウエハ剥がし装置
の構造及び動作を示す斜視図（図１(a))，及び断面図
（図１(b),(c))である。

【図２】本発明の第２の実施例によるウエハ剥がし装置
の構造及び動作を示す図である。

【図３】本発明の第３の実施例によるウエハ剥がし装置
の構造を示す斜視図である。

【図４】本発明の第３の実施例によるウエハ剥がし装置
の構造及び動作を示す断面図である。

【図５】本発明の第４の実施例によるウエハ剥がし装置
の構造及び動作を示す斜視図である。

【図６】本発明の第４の実施例によるウエハ剥がし装置
の構造及び動作を示す断面図である。

【図７】従来のウエハ剥がし装置の構造及び動作を示す
側面図である。

【図８】従来の他のウエハ剥がし装置の構造を示す側面
図である。

【図９】従来のサポートリングの構造を示す斜視図であ
る。

【符号の説明】

１ アーム側吸着部 ２ アーム ３ ガラス板 ４ ウエハ ５ ワックス ６，９，１１ ウエハ剥離台 ７，７ａ 支持台 ８ 凹部 ８ａ 開口部 ９ａ，１１ａ，１１ｃ，１５ａ，１５ｂ 外側支持部 ９ｂ，１１ｂ 中央部 １０ サポートリング １２ 固定ピン １３ 溶剤 １４ 液抜き口 １５ 溶剤収容容器 １６ 側面部 ２０ 開閉装置 ２１ 突起部材

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ワックスによりガラス板に貼り付けられ
   たウエハを、該ガラス板から剥がすウエハ剥がし装置に
   おいて、 その先端に上記ガラス板を吸着可能な吸着保持部を有
   し、所定の方向に移動可能に構成されたアーム部と、 その表面部分に上記ウエハの形状に合わせて形成され
   た，深さがウエハの厚さより深い凹部を有し、上記凹部
   内にウエハを収容可能なウエハ剥離台とを備え、 上記アーム部により上記ワックスによりウエハを貼り付
   けたガラス板を吸着保持し、該ガラス板に貼り付けられ
   たウエハを上記ウエハ剥離台の凹部内に収容した状態
   で、上記ガラス板を吸着保持するアーム部を上記ウエハ
   剥離台表面と平行に移動させて、上記ウエハをガラス板
   から剥がすことを特徴とするウエハ剥がし装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載のウエハ剥がし装置におい
   て、 上記ウエハ剥離台，及び吸着保持部は、上記ワックスを
   加熱により溶かすための加熱手段を有することを特徴と
   するウエハ剥がし装置。
3. 【請求項３】 請求項１記載のウエハ剥がし装置におい
   て、 上記ウエハ剥離台の凹部は、該ウエハ剥離台本体に形成
   した貫通穴と、該貫通穴内に上下移動可能に設けられた
   底板とから構成され、該凹部の底面の位置をその深さ方
   向に調整可能な構造となっていることを特徴とするウエ
   ハ剥がし装置。
4. 【請求項４】 請求項１記載のウエハ剥がし装置におい
   て、 上記ウエハ剥離台は、その側面に沿って昇降可能に設け
   られた複数の昇降アームを有する円柱状部材と、該昇降
   アーム上に載置された，ウエハを支持するサポートリン
   グと、該サポートリング及び昇降アームを収容可能なス
   ペースをその下部に有し、上記円柱状部材と嵌合可能
   な，一対の略Ｕ字型部材からなる筒状部材とを有し、上
   記円柱状部材を上記筒状部材内に嵌合した状態でこれら
   の上面部分に上記凹部が形成されるよう構成されたもの
   であることを特徴とするウエハ剥がし装置。
5. 【請求項５】 ワックスによりガラス板に貼り付けられ
   たウエハを、該ガラス板から剥がすウエハ剥がし装置に
   おいて、 その先端に上記ガラス板を吸着可能な吸着保持部を有
   し、移動可能に構成されたアーム部と、 上記ワックスの溶剤を貯溜する，上記ウエハの外形より
   大きな開口を有する溶剤収容容器とを備え、 上記溶剤収容容器は、基台上に、液漏れを防止するため
   の一対の固定壁部材を相対向させて配設し、該固定壁部
   材間において移動可能に一対の可動壁部材を配設して構
   成され、 上記基台の表面には、上記可動壁部材の移動により開閉
   される，上記容器内に貯溜されたワックスの溶剤を排出
   するための液抜き口が形成されており、 上記アーム部により上記ワックスによりウエハを貼り付
   けたガラス板を吸着保持し、該アーム部を移動させて、
   上記ガラス板に貼り付けたウエハを上記溶剤収容容器の
   溶剤内へ浸漬して上記ワックスを上記溶剤により溶解さ
   せることにより、該ウエハをガラス板から剥離するよう
   にしたことを特徴とするウエハ剥がし装置。
6. 【請求項６】 請求項５記載のウエハ剥がし装置におい
   て、 上記溶剤収容容器内には、ウエハを支持するサポートリ
   ングが配置され、 上記可動壁部材はその下部に該サポートリングを収容す
   るスペースを有し、 上記溶剤収容容器内でガラス板から剥離されたウエハ
   は、上記サポートリング上に落下するようになっている
   ことを特徴とするウエハ剥がし装置。
7. 【請求項７】 ガラス板に貼り付けられたウエハを、ウ
   エハ剥離台のウエハの形状に合わせて形成された，深さ
   が上記ウエハの厚さより深い凹部に嵌め込み、 上記ワックスを加熱により溶融させた状態で、上記ガラ
   ス板をウエハ剥離台表面と平行な方向に移動させて、上
   記ウエハをガラス板から剥がすことを特徴とするウエハ
   剥がし方法。
8. 【請求項８】 ガラス板にワックスにより貼り付けられ
   たウエハを、所定の容器内に貯溜された上記ワックスの
   溶剤内に浸漬し、該溶剤によりワックスを溶解させ、上
   記ウエハをガラス板から剥離させて、上記ウエハを上記
   容器内の底面上に落下させ、 上記容器内の溶剤を排出した後、上記容器内から上記ウ
   エハを取り出すことを特徴とするウエハ剥がし方法。