JPH0717374Y2

JPH0717374Y2 - 排ガス処理装置

Info

Publication number: JPH0717374Y2
Application number: JP1989067840U
Authority: JP
Inventors: 善彦伊藤
Original assignee: 関西日本電気株式会社
Priority date: 1989-06-08
Filing date: 1989-06-08
Publication date: 1995-04-26
Anticipated expiration: 2004-06-08
Also published as: JPH037930U

Description

【考案の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本考案は、ドライエッチング装置から排出されたエッチ
ングガスが吸着筒内の吸着剤に吸着されずに、排気ダク
ト内に漏洩していることを容易に検知することができる
ようにした排ガス処理装置に関する。

〔従来の技術〕

ドライエッチング装置からエッチングガスを排出する機
構を有する排ガス処理装置を第２図を参照しながら説明
する。

同図において、（１）は、内部に収納した半導体ウェー
ハ〔図示せず〕に配線パターン等を形成するドライエッ
チング装置で、BCl₃やCl₂等のエッチングガス（２）を
導入・するガス導入管（３）と排気筒（４）とを具備す
る。（５）は、内部にエッチングガス（２）の吸着剤
（６）を充填した吸着筒で、底板に上記排気筒（４）
を、真空ポンプ（７）を介して接続する。（８）は、エ
ッチングガス（２）と化学反応して変色する検出手段
で、吸着筒（５）の天板に穿設した排気口（6a）に連通
し、例えば、エッチングガス（２）内のBCl₃と反応して
変色する上部（8a）と、Cl₂と反応して変色する下部（8
b）とで構成する。この検出手段（８）は、上記吸着剤
（６）を充填した吸着筒（５）と一体形成されている。
（９）は、空気流を形成するための排気ダクトで、検出
手段（８）の上部（8a）に接続するが、理想的には・排
気ダクト（９）内には、たとえばBCl₃のようなガス
（２）は流入しない。

以上のような排ガス処理装置において、エッチングガス
（２）は、次のように流動する。

ガス導入管（３）からドライエッチング装置（２）内に
導入されたエッチングガス（２）は、ドライエッチング
により、半導体ウェーハに配線パターン等を形成する。
しかし、一部のエッチングガス（２）は、ドライエッチ
ングに供しないで、排気筒（４）から排出される。排出
されたエッチングガス（２）は、真空ポンプ（７）によ
って、吸着筒（５）内に送られ、吸着筒（５）内の吸着
剤（６）に吸着される。この時、吸着剤（６）がエッチ
ングガス（２）を吸着する能力を喪失すると、エッチン
グガス（２）が吸着筒（５）の天板の排気口から漏洩
し、排気ダクト（９）から排出される。すると、特に、
排出されるガスがBCl₃のように空気中の成分（水分）と
反応して固体化するようなものである場合には排気ダク
ト（９）中で白い粉状のホウ酸が発生する。

そして排気ダクト（９）がたとえば大気を主とした他の
排気ダクト（図示せず）と共通に幹ダクト（図示せず）
に接続されている場合には両気流の合流するあたりで多
量のホウ酸が発生し、ダクトが詰まるという不具合が生
ずる。しかし、吸着剤（６）は、吸着筒（５）内の下部
側から上部側へ次第にエッチングガス（２）を吸着して
吸着能力が喪失し、また、吸着筒（５）の天板と排気ダ
クト（９）との間に検出手段（８）を介在してあるた
め、検出手段（８）が変色したときに、充填された全て
の吸着剤（６）の吸着能力が喪失したことがわかる。作
業者が検出手段（８）の変色したことを目視すると、新
たな吸着剤（６）を充填した吸着筒（５）を新たな検出
手段（８）とともに交換する。

尚、検出手段には、上述したような、エッチングガスと
反応して変色するものの他、温度によって変色するもの
や、エッチングガスを吸着した吸着剤の重量を測定する
もの等がある。

〔考案が解決しようとする課題〕

吸着剤（６）の吸着能力が喪失したことは、検出手段
（８）の変色や重量変化を目視して認識している。

しかし、検出手段（８）の変色は識別しにくく、また、
重量変化は誤動作することが多いことから、吸着剤
（６）の吸着能力が喪失しているにもかかわわず、吸着
剤（５）を交換せず、BCl₃のように空気中の成分と反応
して固体を作るガスを含んだエッチングガス（２）が排
気ダクト（９）内に排出されることがあった。すると、
上述したように排気ダクト（９）以後の排気系が詰ま
り、ドライエッチング装置（１）からエッチグガス
（２）を吸引する能力が低下するという不具合が生ず
る。

そこで、本考案は、吸着剤（６）の吸着能力が喪失した
ことを確実に認識することができる半導体製造装置を提
供することを目的とする。

尚、エッチングガス（２）中のCl₂は大気中の水分と反
応し、HClが溶けた液体が発生するが、塩素処理装置に
よって処理されるため、特に問題はない。

〔課題を解決するための手段〕

本考案は上記目的を達成するため、ドライエッチング装
置から排出されたエッチングガスを吸着する吸着剤を充
填した吸着筒と、前記吸着剤の吸着能力が喪失したこと
を検知する検出手段と、上記吸着筒に連通する排気ダク
トとを具備する排ガス処理装置において、上記吸着筒か
ら漏洩したエッチングガスを吸入する第１の入口と、前
記漏洩したエッチングガスと反応して着色させる空気を
外部から導入する第２の入口と、前記着色されたエッチ
ングガス及び空気を上記排気ダクトに排出する出口とを
有する透明管を上記吸着筒の排気口に付設したものであ
る。

また、吸着筒から漏洩したエッチングガスが着色された
ことを検知するセンサを、上記透明管の出口部分に付設
してもよい。

〔作用〕

吸着筒内の吸着剤が、エッチングガスの吸着能力を喪失
し、エッチングガスが吸着筒から漏洩して透明管内に流
入すると、透明管内に外部から導入される空気中の水分
とエッチングガスとが反応して透明管の内壁に生成物が
付着し着色される。

透明管が着色したことを、センサが検知するようにして
おくと、吸着剤の吸着能力が喪失したことを、自動的に
認識することがでる。

〔実施例〕

本考案に係る一実施例を第１図を参照しながら説明す
る。但し、従来と同一部品は、同一符号を附して、その
説明は省略する。

同図において、（10）は、三ッ又の透明管で、第１の入
口（11）と第２の入口（12）と出口（13）とを有する。
第１の入口（11）は、吸着筒（５）の排気口（6a）に連
通する検出手段（８）の上部（8a）に接続し、吸着筒
（５）から漏洩してくるエッチングガス（２）を透明管
内に導入する。第２の入口（12）からは、水分を含んだ
空気（14）を透明管（10）内に導入し、エッチングガス
（２）が第２の入口（12）内に流入しないように、逆止
弁〔図示せず〕を内蔵してもよい。出口（13）は、排気
ダクト（９）に接続する。（15）は、透明管（10）の出
口（13）部分に任意に、付設する透過型のセンサで、透
明管（10）の内壁が白くくもって着色されたときに、光
が遮断され、警報するようにしておく。

他の構成部分は従来の排ガス処理装置と同一であり、次
に、動作について説明する。

従来と同様、エッチングガス（２）が真空ポンプ（７）
によって、ドライエッチング装置（１）から排気筒
（４）を経由して、吸着筒（５）内に導入される。吸着
筒（５）内の吸着剤（６）がエッチングガス（２）を吸
着するが、吸着能力を喪失すると、エッチングガス
（２）は透明管（10）内に漏洩する。このとき、検出手
段（８）は変色するが目視しにくい。しかし、透明管
（10）内で、エッチングガス（２）内のBCl₃と第２の入
口（12）から導入される空気（14）中の水分とが反応
し、白い粉状のホウ酸が発生する。透明管（10）の内部
が透明から白色に着色された状態になるため、エッチン
グガス（２）が吸着筒（５）から漏洩していることを一
見して認識することができる。また、透過型のセンサ
（15）を透明管（10）の出口（13）部分に付設しておく
と、出口（13）部分が白く着色された状態になると、セ
ンサ（15）の光が遮断され、エッチングガス（２）が吸
着筒（５）から漏洩していることを作業者に警報する。
そして、作業者は、吸着筒（５）、検出手段（８）及
び、透明管（10）を新品に交換する。

以上は、本考案に係る一実施例を説明したもので、本考
案はこの実施例に限定することなく本考案の要旨内にお
いて設計変更することができる。例えば、検出手段はエ
ッチングガスと反応するものに限らず、温度によって変
色するものや重量を測定して認識するものと併用するこ
ともできる。重量を測定する検出手段と併用する場合
は、特に、透明管の第２の入口が、重量測定に支障をも
たらさないように、第２の入口は可撓性のものにしてお
く。

〔考案の効果〕

本考案によれば、吸着筒からエッチングガスが漏洩して
いることを、透明管によって確実に認識することができ
るため、排気ダクトがホウ酸等によて詰まることがなく
なる。この結果、ドライエッチング装置からエッチング
ガスを吸引する能力を維持することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係る排ガス処理装置の概略図、第２図
は従来の排ガス処理装置の概略図である。（１）……ドライエッチング装置、（２）……エッチン
グガス、（５）……吸着筒、（６）……吸着剤、（6a）
……排気口、（８）……検出手段、（９）……排気ダク
ト、（10）……透明管、（11）……第１の入口、（12）
……第２の入口、（13）……出口、（14）……空気、
（15）……センサ。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｃ２３Ｆ 4/00 Ａ 8417−4ＫＨ０１Ｌ 21/3065 Ｈ０１Ｌ 21/302 Ｂ

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】ドライエッチング装置から排出されたエッ
チングガスを吸着する吸着剤を充填した吸着筒と、前記
吸着剤の吸着能力が喪失したことを検知する検出手段
と、上記吸着筒に連通する排気ダクトとを具備する排ガ
ス処理装置において、上記吸着筒から漏洩したエッチングガスを吸入する第１
の入口と、前記漏洩したエッチングガスと反応して着色
させる空気を外部から導入する第２の入口と、前記着色
されたエッチングガス及び空気を上記排気ダクトに排出
する出口とを有する透明管を上記吸着筒の排気口に付設
したことを特徴とする排ガス処理装置。
【請求項２】吸着筒から漏洩したエッチングガスが着色
されたことを検知するセンサを、請求項１記載の透明管
の出口部分に付設したことを特徴とする排ガス処理装
置。