JPH071773B2 - 電子部品の接続構造 - Google Patents

電子部品の接続構造

Info

Publication number
JPH071773B2
JPH071773B2 JP62004802A JP480287A JPH071773B2 JP H071773 B2 JPH071773 B2 JP H071773B2 JP 62004802 A JP62004802 A JP 62004802A JP 480287 A JP480287 A JP 480287A JP H071773 B2 JPH071773 B2 JP H071773B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
chip
connection
wiring board
connection structure
horizontal direction
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP62004802A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS63174328A (ja
Inventor
邦夫 松本
宗夫 大島
尚哉 諌田
旻 村田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP62004802A priority Critical patent/JPH071773B2/ja
Publication of JPS63174328A publication Critical patent/JPS63174328A/ja
Publication of JPH071773B2 publication Critical patent/JPH071773B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/851Dispositions of multiple connectors or interconnections
    • H10W72/874On different surfaces
    • H10W72/877Bump connectors and die-attach connectors
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W90/00Package configurations
    • H10W90/701Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
    • H10W90/721Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bump connectors
    • H10W90/724Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bump connectors between a chip and a stacked insulating package substrate, interposer or RDL

Landscapes

  • Wire Bonding (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はLSIチップ等の電子部品を基板に電気接続する
接続構造に関する。
〔従来の技術〕
多数の接続点を有するLSIチップ等の電子部品(以下、
チップと称す)を配線基板に直接はんだ接続する方法と
してフリップチップボンディングがある。しかし、配線
基板としてセラミックやガラスエポキシ系などの材料を
用いる場合、チップと基板材料の膨張係数が異なるた
め、温度変化による熱歪がはんだ結合部に作用し、結合
破壊寿命を低下させるという問題があった。
この問題に対し、特開昭61-110441「マイクロエレクト
ロニック素子を電気的に接続するための変形可能のマル
チ結合の製法」において、水平方向の熱歪を吸収する構
造についての報告がある。第4図は上記報告による従来
構造の概念図であるが高さが最小横方向寸法の数倍であ
る板ばね100が2本のピン100a,100bに結合され、各ピン
100a,100bはチップ2及び配線基板3に接続されてい
る。板ばね100がチップ2と配線基板3の水平熱歪を吸
収し、はんだ4のせん断応力を軽減するよう作用し、結
合破壊寿命を伸す働きをする。
ところで、上記した従来構造はチップ2の背面(上面)
に熱接続される冷却体の圧力に耐えるために垂直方向に
対して十分な剛性が確保され、垂直方向に変位しない構
造が取られている。このため、チップ2の冷却手段に対
して次のような課題が存在していた。
なお、第4図における5はチップ電極、6は配線基板電
極である。
〔発明が解決しようとする問題点〕
たとえば第5図に示すように、複数個のチップ2を同一
配線基板3に接続する場合、配線基板3の反りやチップ
2の接続高さバラツキにより、それぞれのチップ2の背
面が同一平面にならない。ところが、上記した従来の接
続構造では、チップ2が垂直方向に変位できないため、
各チップ2の背面に習うよう冷却体7aを独立に熱接続す
る必要があった。第5図はベローズ7bを用いて冷却体7a
をチップ2に独立圧着させた概念図であるが、このよう
な接続構造を取る以上、それぞれのチップ2に対し独立
に冷却体7aの位置調整あるいは圧着圧力調整手段が不可
欠であり、冷却構造を相当複雑なものとしていた。
本発明の目的は上記課題を解決するため、チップ2と配
線基板3の熱歪吸収機能を低下させることなく、垂直方
向にもある限界内で自由に変位可能なチップの電気的接
続構造を提供するにある。
なお、第5図における7は冷却体本体、8はチップ2と
冷却体7aの熱接続部、10はチップ2と配線基板3との電
気接続部である。
〔問題点を解決するための手段〕
上記目的は、従来接続構造で用いた板ばねの代りに、そ
の縦横比を逆にした接続高さ方向及び水平方向に可撓性
を有するらせん形平面リードを用いることにより、達成
される。
〔作用〕
すなわち、高さが最小横方向寸法以下である接続高さ方
向及び水平方向に可撓性を有するらせん形平面リードを
チップ接続構造に採用することで、電気的接続を保持し
ながらある限界内でチップを独立に上方へ移動させるこ
とができる。このため、チップは冷却体に独立に熱接続
が可能となり、冷却系の構造を極端に簡素化できる。
〔実施例〕
以下、本発明の実施例を第1図、第2図及び第3図によ
り説明する。
第1図(a)は本発明に係る接続高さ方向及び水平方向
に可撓性を有するらせん形平面リードの見取図、(b)
はその平面図、(c)は接続状態を示す正面図(接続高
さ方向及び水平方向に可撓性を有するらせん形平面リー
ド部分は断面図)、第2図は本発明によるチップと配線
基板との接続状態及び冷却系との位置関係図であり、冷
却体に対し熱接続前のチップを(a)、熱接続後のチッ
プを(b)、その拡大図を(c)に示した。第3図は本
発明に係るらせん形可撓性平面リードの他の実施例を示
す正面配列図である。第1図及び第2図において、1は
らせん形可撓性平面リード、1a,1bはらせん形可撓性平
面リードの対チップ及び対配線基板端子、2はチップ、
3は配線基板、4ははんだ、5はチップ電極、6は配線
基板電極、7は冷却体本体、8は熱接続部、10は電気接
続部である。
本発明による一実施例として銅または銅合金による接続
高さ方向及び水平方向に可撓性を有するらせん形平面リ
ード1を第1図に示す。第1図(a)はその見取図で、
平面図(b)に示すごとくらせんの中心及び終端がそれ
ぞれ対チップ端子1aと対配線基板端子1bになっている。
第1図(c)に示すように、対チップ端子1aははんだ4
によりチップ電極5に接続され、対配線基板端子1bは溶
接または一体化加工により配線基板電極6に接続されて
いる。
チップの電気的接続構造を上記した構成にすることによ
り、電気的接続を保持しながらある限界内でチップを独
立に上方へ移動させることが可能となる。この機能は第
2図(a)(b)に示すように、複数のチップ2を同一
配線基板3に接続する場合、配線基板3の反りやチップ
2の接続高さバラツキを吸収し、冷却体本体7に直接熱
接続することを可能とする。第2図(c)は、接続状態
を示す拡大図であるが、チップ2と配線基板3と熱膨張
差による水平熱歪に対してもこれを吸収できる構造とな
っている。
ところで、第1図において接続高さ方向及び水平方向に
可撓性を有するらせん形平面リードの対チップ端子1aと
対配線基板端子1bの位置を交替しても同一の機能が得ら
れる。また、接続高さ方向及び水平方向に可撓性を有す
るらせん形平面リード1の形状としてらせん型の他、第
3図(a)(b)に示すような形状も種々考えられる。
〔発明の効果〕
以上詳述した通り、本発明によるチップの電気的接続構
造によれば、チップと配線基板との熱膨張歪を吸収機能
を損なうことなく、種々のチップを独立に冷却体本体へ
熱接続可能となり、冷却系の構造全体を極めて簡単にで
きる。すなわち、従来個々のチップに対し独立に冷却体
を設け、これにベローズなどの位置調整あるいは圧着圧
力調整手段が不可欠であったものを、本発明では必要と
せず、チップの高密度配列化に対し、優れた組立性を有
する。
【図面の簡単な説明】
第1図(a)は本発明に係る接続高さ方向及び水平方向
に可撓性を有するらせん形平面リードの見取図、(b)
はその平面図、(c)は接続状態を示す正面図、第2図
はチップ、配線基板及び冷却系との位置関係図、第3図
は本発明に係る接続高さ方向及び水平方向に可撓性を有
するらせん形平面リードの他の実施例を示す正面配列
図、第4図(a)は従来の板ばねの見取図、(b)はそ
の平面図、(c)は接続状態を示す正面図、第5図は従
来のチップ配線基板及び冷却系との位置関係図である。 1……接続高さ方向及び水平方向に可撓性を有するらせ
ん形平面リード,1a,1b……接続高さ方向及び水平方向に
可撓性を有するらせん形平面リードの端子,2……チッ
プ,3……配線基板,4……はんだ,5……チップ電極,6……
配線基板電極,7……冷却体本体,7a……冷却体,7b……ベ
ローズ,8……熱接続部,10……電気接続部,100……板ば
ね,100a,100b……ピン。
フロントページの続き (72)発明者 村田 旻 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株 式会社日立製作所生産技術研究所内 (56)参考文献 特開 昭61−247040(JP,A) 特開 昭61−287238(JP,A)

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】複数個の接続点を有する電子部品をリード
    片を介して基板に電気接続する電子部品の接続構造にお
    いて、リード片として高さが最小横方向寸法以下であ
    り、かつ接続高さ方向及び水平方向に可撓性を有するら
    せん形平面リードを用いたことを特徴とする電子部品の
    接続構造。
JP62004802A 1987-01-14 1987-01-14 電子部品の接続構造 Expired - Fee Related JPH071773B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62004802A JPH071773B2 (ja) 1987-01-14 1987-01-14 電子部品の接続構造

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62004802A JPH071773B2 (ja) 1987-01-14 1987-01-14 電子部品の接続構造

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS63174328A JPS63174328A (ja) 1988-07-18
JPH071773B2 true JPH071773B2 (ja) 1995-01-11

Family

ID=11593895

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP62004802A Expired - Fee Related JPH071773B2 (ja) 1987-01-14 1987-01-14 電子部品の接続構造

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH071773B2 (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002151550A (ja) * 2000-11-15 2002-05-24 Nec Corp 半導体装置、その製造方法並びに製造に使用するコイルスプリング切断治具及びコイルスプリング供給治具
JP4720069B2 (ja) 2002-04-18 2011-07-13 セイコーエプソン株式会社 電気光学装置及び電子機器

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61247040A (ja) * 1985-04-24 1986-11-04 Mitsubishi Electric Corp 半導体装置の製造方法
JPS61287238A (ja) * 1985-06-14 1986-12-17 Matsushita Electric Ind Co Ltd 半導体装置の製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
JPS63174328A (ja) 1988-07-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2533511B2 (ja) 電子部品の接続構造とその製造方法
EP1410701B1 (en) Method of manufacturing an integrated circuit carrier
US5616520A (en) Semiconductor integrated circuit device and fabrication method thereof
JP2001060645A (ja) 半導体ダイスの基板への取付用介在物
US20110226520A1 (en) Integrated circuit carrier assembly
US5962924A (en) Semi-conductor die interconnect
JP2004511921A (ja) 集積回路キャリヤ
JP2000124259A (ja) Icチップ、半導体装置、及び、半導体装置の製造方法
JPH10189653A (ja) 半導体素子およびこの半導体素子を有する回路モジュール
JPH071773B2 (ja) 電子部品の接続構造
JP2004511919A (ja) マルチチップ集積回路キャリヤ
JP2708696B2 (ja) 半導体素子実装コネクタ
JP3563170B2 (ja) 半導体装置の製造方法
CN220324457U (zh) 一种采用柔性连接片的低电感碳化硅模块
JP3295457B2 (ja) 半導体装置
JPH0777243B2 (ja) 表面実装用パツケ−ジ
JP2019153643A (ja) 半導体装置
JPH0226058A (ja) 混成集積回路用ヒートシンク
JPS62281453A (ja) チツプキヤリアモジユ−ル
JPS6267842A (ja) 半導体装置
JP2005167074A (ja) 半導体装置
JPH04171746A (ja) 半導体装置の製造方法及びこれにより製造される半導体装置
JP2000223627A (ja) フリップチップパッケージ
JPS6373700A (ja) 回路モジユ−ルの放熱構造
JP2513781B2 (ja) 半導体装置

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees