JPH07178914A - インクジェットヘッドおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 基板上に積層される熱硬化型樹脂材料によっ
て形成された液路および吐出口両側のバリアー部が基板
から剥離するのを防止する。 【構成】 基板（１１）上に樹脂材料によって形成され
る複数の液路（１２）と吐出口（１３）とを有する液体
噴射記録ヘッドにおいて、液路（１２）および吐出口
（１３）の断面形状を基板（１１）の側の幅を狭くした
Ｔ字型とした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、インクジェット記録方
式に適用される記録液小滴を発生するためのインクジェ
ットヘッドおよびその製造方法に関し、特にエッジシュ
ータ型のインクジェットヘッドおよびその製造方法に関
する。

【０００２】

【従来の技術】インクジェット記録方式（液体噴射記録
方式）に適用される液体噴射記録ヘッドは、一般に微細
な記録液吐出口（オリフィス）、液路および液路の一部
に設けられた液体吐出エネルギー発生手段を備えてい
る。図３はこのような従来の液体噴射記録ヘッドの構成
例を示すもので、ここで、１０１はその基板、１０２は
基板１０１上に形成されている液路である。なお、基板
１０１上には複数の液路１０２が並列に形成されてい
て、その各先端部に記録液（以下ではインクという）を
吐出させるインク吐出口１０３が設けられると共に、各
液路１０２ごとに吐出エネルギー発生手段として本例の
場合、電気熱変換素子１０４が配設されている。なお、
個々の電気熱変換素子１０４には吐出信号を供給するた
めの配線（不図示）が基板１０１上に形成されている。
１０５は各液路１０２にインクを供給する共通液室、１
０６は隣接する液路間および共通液室１０５周りを仕切
っているバリアー、１０７は天板部である。

【０００３】ところで、このような液体噴射記録ヘッド
を作成する従来の方法としては、例えば特開昭６１−１
５４９４７号公報や特開昭６２−２５３４５７号に開示
されている図４に示すような工程が知られている。

【０００４】まず、その（Ａ）に示すように被処理基板
１上に感光性樹脂層（ポジ型フォトレジスト層）２を形
成し、その上方から（Ｂ）に示すようにマスク３を介し
て光線ｈνによる露光を行った上、現像処理を施して
（Ｃ）に示すような感光性樹脂層のパターンを形成し、
これによって被処理基板１上に液路となる型材を形成す
る。次に、（Ｄ）の過程でパターニングされた型材４上
に活性エネルギー線硬化型あるいは熱硬化型の天板部お
よびバリアー形成用の樹脂材料５を被覆し、（Ｅ）の過
程で活性エネルギー線照射、あるいは加熱により上記活
性エネルギー線硬化型あるいは熱硬化型の樹脂材料５を
硬化させる。そして、このあと、上記パターニングされ
た型材４を含ハロゲン炭化水素，ケトン，エステル，エ
ーテル，アルコール等の有機溶剤あるいは水酸化ナトリ
ウム，水酸化カリウム等のアルカリ水溶液を用いて溶解
除去し、（Ｆ）に示すようにして液路６と共にバリアー
７および天板部８を形成する。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たような従来の方法によって液体噴射記録ヘッドを製造
する場合、活性エネルギー線あるいは熱硬化型の液路形
成用材料と液体吐出エネルギー発生手段が形成されてい
る基板との接着面積は、ノズルの高密度化が進むにつれ
て小さくなる傾向があり、このため、高密度記録を達成
するために吐出口間隔を狭く配置した液体噴射記録ヘッ
ドにおいては、樹脂材料５と基板１との接着力が不足す
ることから、樹脂材料５あるいは基板１に発生する僅か
な内部応力により剥離が発生し、最悪の場合は記録中に
液路６を形成しているバリアー７の部分が基板１から剥
離してしまうという問題が発生する。

【０００６】本発明の目的は、このような障害が発生し
ないようにした信頼性の高いインクジェットヘッドおよ
びその製造方法を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】かかる目的は、次に示す
手段により達成することができる。即ち、本発明による
インクジェットヘッドは、液体吐出エネルギー発生手段
を有する基板上に、樹脂材料の積層によって並列に形成
された複数の液路と、個々の該液路の端部に形成された
吐出口とを有し、前記液体吐出エネルギー発生手段の選
択的駆動により前記吐出口から液体を被記録材に向けて
吐出するインクジェットヘッドにおいて、前記吐出口お
よび前記液路の断面形状を前記基板側の幅を狭くしたＴ
字型としたことを特徴とするものである。

【０００８】また、本発明によるインクジェットヘッド
の製造方法は、液体吐出エネルギー発生手段を有する基
板上に、感光性樹脂材料により前記基板側の幅を狭くし
たＴ字型断面形状を有する液路および吐出口形成のため
の型材をフォトリソグラフィーにより形成し、該型材上
に活性エネルギー線硬化型材料もしくは熱硬化型材料を
被覆して硬化させた後、前記型材を溶解除去することに
より前記液路および吐出口を形成することを特徴とする
ものである。

【０００９】

【作用】本発明によれば、吐出口および液路の断面形状
を基板側の幅を狭くしたＴ字型としたことにより樹脂材
料の積層によって形成される吐出口および液路の両側の
バリアー部分と基板との接合面積を広く確保することが
でき、その間の剥離が防止される。

【００１０】

【実施例】以下に、図面を参照して本発明による記録ヘ
ッドの製造方法を詳細かつ具体的に説明するが、それに
先立ち、本発明にかかるインクジェットヘッドの構成例
を図１に示しておく。

【００１１】なお、本発明においては、例えば、ガラ
ス，セラミックス，プラスチック，金属等からなる基板
１１を用いることができる。このような基板１１は液路
１２および共通液室１５の構成材料の一部として機能
し、また、後述の型材および硬化性材料形成時の支持体
として機能するものであり、この場合は、その形状、材
質等特に限定されることなく使用することができる。

【００１２】図１に示すように、本発明による液路１２
およびインク吐出口１３はその断面形状がＴ字型に形成
されるものである。また、１４は基板１１上に配設され
た電気熱変換素子あるいは圧電素子などの吐出エネルギ
ー発生手段であり、これらの吐出エネルギー発生手段１
４によって液路１２内のインクに選択的に吐出エネルギ
ーが付与されることによりインクが小滴となって吐出さ
れ、記録が行われる。また、バリアー部１６は天板部１
７と共に後述する手順に従って硬化性材料により一体に
形成されるものである。なお、上記吐出エネルギー発生
手段１４として電気熱変換素子が用いられる場合には、
この素子が近傍のインクを加熱することにより吐出エネ
ルギーを発生する。また、上記吐出エネルギー発生手段
１４として圧電素子が用いられる場合には、この素子の
機械的振動によって吐出エネルギーが発生される。

【００１３】なお、一般にこれら吐出エネルギー発生素
子の耐用性の向上等を目的として、保護層等の各種の機
能層が設けられるが、本発明においてもこのような機能
層を設けることが可能なことはいうまでもない。

【００１４】続いて、図２に従い本発明液体噴射記録ヘ
ッドの製造にかかるインク吐出口１３および液路１２の
形成手順について説明する。

【００１５】まず、図２の（Ａ）には基板１１上に例え
ば感光性樹脂材料（ポジ型フォトレジスト材料）を用い
て第１のレジスト層２０を形成する過程が示されてい
る。なお、この第１のレジスト層２０は図１に示すイン
ク吐出口１３および液路１２の内幅を狭めて形成される
部分（以下で基板側吐出口部１３Ａおよび基板側液路部
１２Ａという）形成のために積層されるものである。つ
いで図２の（Ｂ）で基板側液路部１２Ａおよび基板側吐
出部１３Ａと対応する位置にパターンが形成された第１
のマスク２１を第１レジスト層２０の上方に配置し、露
光用光源からの感光波長域を有する光線ｈνにより第１
回目の露光を行う。

【００１６】図２の（Ｃ）は（Ｂ）で露光を終えた第１
レジスト層２０の更に上面に第２のレジスト層２２を形
成する工程を示す。なお、この第２レジスト層２２は図
１に示すインク吐出口１３および液路１２のうち、幅を
広めて形成される部分（以下で天板側吐出部１３Ｂおよ
び天板側液路部１２Ｂという）成形のために積層される
ものである。

【００１７】図２の（Ｄ）は（Ｃ）で積層された第２レ
ジスト層２２の上方に第２のマスク２３を配置し、光線
ｈνによる第２の露光を行う工程を示す。ここで、第２
のマスク２３には天板側吐出部１３Ｂおよび天板側液路
１２Ｂに対応する幅のパターンが形成されており、この
ような露光によって上述の吐出部１３Ｂおよび液路１２
Ｂを除く部分だけが露光されたことになる。なお、図示
はしないが、図１に示す共通液室１５の形成にあたって
は、図２の（Ｂ）および（Ｄ）に示した第１回目および
第２回目の露光にあたり、共通液室１５形成部分の全面
にわたりマスキングすればよい。

【００１８】以上に述べてきた図２の（Ａ）から（Ｄ）
までの工程は、本発明にかかるインク吐出口１３および
液路１２形成のための型として作用する部分を作成する
ための前工程であり、図２の（Ｅ）および（Ｆ）に上記
の型を基板１１上に形成する工程を示す。すなわち、
（Ａ）〜（Ｄ）の工程により露光された部分のみを可溶
化の状態に保つことができるので、まず（Ｅ）の段階で
第２レジスト層２２の露光部分を現像によって除去し、
更に（Ｆ）の段階で第１レジスト層２０の露光部分を同
じく現像によって除去する。（Ｅ）および（Ｆ）におい
て、２２Ａ，２０Ａは現像の結果、形成された吐出口１
３および液路１２の型材である。なお、本例においては
第２レジスト層２２と第１レジスト層２０との現像処理
を２段階の工程で行うようにしたが、（Ｅ）および
（Ｆ）の工程を同時に行うようにしてもよい。

【００１９】ついで、（Ｇ）の工程で上述のようにして
得られた型材２０Ａ，２２Ａの周りを充填する形で基板
１１上を硬化性樹脂材料２４で所定の厚さとなるまで被
覆し、光照射または熱処理を施して硬化性樹脂材料２４
を硬化させる。かくして、天板部１５およびバリアー部
１６となる部分を基板１１上に一体形成することができ
るので、このあと（Ｈ）の工程で型材２２Ａ，２０Ａを
薬品により溶融除去し、図１に示したような液体噴射記
録ヘッドに仕上げることができる。

【００２０】なお、上記の硬化性樹脂材料２４として
は、光照射や熱処理によって硬化可能なものであればよ
いが、これらの材料と基板１１とによりインク吐出口１
３，液路１２および共通液室１５が形成されるものであ
るから、好ましくは基板１１との密着性，機械的強度お
よび耐蝕性等の面で優れたものであることが望ましい。

【００２１】以下に、本発明にかかる液体噴射記録ヘッ
ドの製造方法を具体的な実施例によって説明する。

【００２２】実施例１ 液体吐出エネルギー発生手段としての電気熱変換素子を
形成したガラス被処理基板上にポジ型フォトレジストＡ
Ｚ−４９０３（ヘキスト社製）を膜厚５μｍとなるよう
にスピンコートし、オーブン中９０℃で２０分間のプリ
ベークを行って第１のレジスト層を形成した。この第１
レジスト層上にＴ字型インク吐出口および液路の下層部
分すなわち、基板側部分を形成するマスクパターンを介
してパターン露光を行った後、０．１ｍｍＨｇの真空条
件下で３０分間の脱気処理を行った。

【００２３】次に、第１のレジスト層上にポジ型ドライ
フィルムとしてオザテックＲ−２２５（ヘキスト社製，
膜厚２５μｍ）をラミネートし、オーブン中１１０℃で
２０分間のプリベークを行って第２のレジスト層を形成
した。次いでＴ字型インク吐出口および液路の上層部分
すなわち天板側の部分を形成するマスクパターンを介し
てパターン露光した後、水酸化ナトリウム水溶液を用い
て現像処理し、引き続いてイオン交換水によるリンス処
理を行ってＴ字型のレジストパターンを得た。

【００２４】次に、このレジストパターン上に日本ユニ
オンカーバイト社製エポキシ樹脂 Ｃｙｒａｃｕｒｅ ＵＶＲ−６１１０ ４０重量部 Ｃｙｒａｃｕｒｅ ＵＶＲ−６２００ ２０重量部 Ｃｙｒａｃｕｒｅ ＵＶＲ−６３５１ ４０重量部 および トリフェニルスルホニウムヘキサフル オロアンチモネート １重量部 から成る光硬化性材料を被覆し、全面露光および熱処理
を行って硬化させた後、アセトン中で超音波処理を行
い、レジストパターンを除去して６００ｄｐｉ相当のノ
ズルを有する液体噴射記録ヘッドを得た。

【００２５】このようにして作成されたインク吐出口お
よび液路部分を光学顕微鏡により観察したところ、上記
の樹脂材料によって形成されたバリアー部および天板部
の基板からの剥離は全く観察されなかった。さらに、こ
のようにして作成された液体噴射記録ヘッドにより、安
定した記録が可能であった。

【００２６】実施例２ 液体吐出エネルギー発生手段としての電気熱変換素子を
形成したガラス被処理基板上にｍ−，ｐ−クレゾールノ
ボラック共重合体，ｏ−ナフトキノンジアジド誘導体お
よびトリエタノールアミンからなるイメージリバーサル
用レジストを膜厚５μｍとなるようにスピンコートし、
オーブン中９０℃で２０分間のプリベークを行って第１
のレジスト層を形成した。この第１レジスト層上にＴ字
型インク吐出口および液路の下層部分を形成するマスク
パターンを介してパターン露光した後、加熱，全面露光
処理を行った。

【００２７】次に、第１のレジスト層上にポジ型ドライ
フィルムとしてオザテックＲ−２２５（ヘキスト社製，
膜厚２５μｍ）をラミネートし、オーブン中１１０℃で
２０分間のプリベークを行って第２のレジスト層を形成
した。次いでＴ字型インク吐出口および液路の上層部分
を形成するマスクパターンを介してパターン露光した
後、水酸化ナトリウム水溶液を用いて現像処理し、引き
続いてイオン交換水によるリンス処理を行ってＴ字型の
レジストパターンを得た。

【００２８】次に、レジストパターン上に日本ユニオン
カーバイト社製エポキシ樹脂 Ｃｙｒａｃｕｒｅ ＵＶＲ−６１１０ ４０重量部 Ｃｙｒａｃｕｒｅ ＵＶＲ−６２００ ２０重量部 Ｃｙｒａｃｕｒｅ ＵＶＲ−６３５１ ４０重量部 および トリフェニルスルホニウムヘキサフル オロアンチモネート １重量部 から成る光硬化性材料を被覆し、全面露光および熱処理
を行って硬化させた後、アセトン中で超音波処理を行
い、レジストパターンを除去して６００ｄｐｉ相当のノ
ズルを有する液体噴射記録ヘッドを得た。

【００２９】このようにして作成されたインク吐出口お
よび液路を光学顕微鏡により観察したところ、上記の樹
脂材料によって形成されたバリアー部および天板部の基
板からの剥離は全く観察されなかった。さらに、このよ
うにして作成された液体噴射記録ヘッドにより、安定し
た記録が可能であった。

【００３０】なお、上述の実施例によって作成した記録
ヘッドをこれまでの製造によるものと比較するために、
下記のようにして記録ヘッドの作成を行った。

【００３１】比較例 液体吐出エネルギー発生手段としての電気熱変換素子を
形成したガラス被処理基板上にポジ型フォトレジストＡ
Ｚ−４９０３（ヘキスト社製）を膜厚３０μｍとなるよ
うスピンコートし、オーブン中９０℃で４０分間のプリ
ベークを行ってレジスト層を形成した。このレジスト層
上にインク吐出口および液路形成用のマスクパターンを
介してパターン露光した後、水酸化ナトリウム水溶液を
用いて現像し、ついでイオン交換水でリンス処理を施
し、オーブン中７０℃で３０分間のポストベークを行
い、レジストパターンを得た。

【００３２】次に、このレジストパターン上に１．０Ｊ
／ｃｍ² の露光量で全面露光を行い、０．１ｍｍＨｇの
真空条件下で３０分間の脱気処理を行った後、日本ユニ
オンカーバイト社製エポキシ樹脂 Ｃｙｒａｃｕｒｅ ＵＶＲ−６１１０ ４０重量部 Ｃｙｒａｃｕｒｅ ＵＶＲ−６２００ ２０重量部 Ｃｙｒａｃｕｒｅ ＵＶＲ−６３５１ ４０重量部 および トリフェニルスルホニウムヘキサフル オロアンチモネート １重量部 から成る光硬化性材料を被覆し、全面露光および熱処理
を行って硬化させた後、アセトン中で超音波処理を行
い、レジストパターンを除去して６００ｄｐｉ相当のイ
ンク吐出口列を有する液体噴射記録ヘッドを得た。

【００３３】このようにして作成されたインク吐出口お
よび液路を光学顕微鏡により観察したところ、吐出口間
や液路間において上記樹脂材料によって形成されたバリ
アー部の基板からの剥離が観察された。

【００３４】図５は本発明液体噴射記録ヘッドの適用が
可能な液体噴射記録装置の構成例を示す。ここで、ＩＪ
Ｃはインクタンクと液体噴射記録ヘッド１０００とが一
体形のインクジェットカートリッジであり、キャリッジ
ＨＣに搭載されている。５００２は被記録材である記録
シートＰを記録位置に保持するプラテン、５００３およ
び５００４はキャリッジＨＣを記録シートＰに沿って移
動させるための案内軸およびリードスクリューであり、
リードスクリュー５００４にはスクリューねじ５００５
が形成されていて、キャリッジＨＣ側の不図示の係合ピ
ンがスクリューねじ５００５と係合することにより、リ
ードスクリュー５００４の回転に合わせて、キャリッジ
ＨＣが移動される。

【００３５】また、５００６はキャリッジＨＣから突出
したしゃ蔽突起、５００７はストッパ、５００８はしゃ
蔽突起５００６のしゃ蔽によって、キャリッジＨＣのホ
ームポジション位置を検出するセンサ、５００９および
５０１１は駆動モータ５０１３により駆動されるギアで
あり、記録時にはこれらのギア５００９，５０１１を介
してリードスクリュー５００４が所定のタイミングで駆
動され、キャリッジＨＣと共に記録ヘッド１０００を走
査させて記録ヘッド１０００からインクを吐出させ、記
録シートＰ上に記録を行うことができる。５０１６およ
び５０１７はキャリッジＨＣがホームポジション近傍に
あるときに、記録ヘッド１に対する回復動作にかかわる
キャップ部材および掃拭部材である。

【００３６】なお、図５では単体のインクジェットカー
トリッジＩＪＣをキャリッジＨＣに搭載して記録を行う
インクジェット記録装置ＩＪＲＡの場合について述べた
が、本発明液体噴射記録ヘッド１０００の適用はこれに
限られるものではなく、インクタンクと記録ヘッドとが
別に設けられるものでもよくまた、カラーインクジェッ
ト記録装置は勿論のこと、シリアルでなく、被記録材の
幅一杯にわたって記録が可能なフルライン記録にも適用
できることはいうまでもない。

【００３７】なお、本発明は、特にインクジェット記録
方式の中でも、インク吐出を行わせるために利用される
エネルギとして熱エネルギを発生する手段（例えば電気
熱変換体やレーザ光等）を備え、前記熱エネルギにより
インクの状態変化を生起させる方式の記録ヘッド、記録
装置において優れた効果をもたらすものである。かかる
方式によれば記録の高密度化，高精細化が達成できるか
らである。

【００３８】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第４７２３１２９号明細書，同第４７４０
７９６号明細書に開示されている基本的な原理を用いて
行うものが好ましい。この方式は所謂オンデマンド型，
コンティニュアス型のいずれにも適用可能であるが、特
に、オンデマンド型の場合には、液体（インク）が保持
されているシートや液路に対応して配置されている電気
熱変換素子に、記録情報に対応していて核沸騰を越える
急速な温度上昇を与える少なくとも１つの駆動信号を印
加することによって、電気熱変換素子に熱エネルギを発
生せしめ、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさせ
て、結果的にこの駆動信号に一対一で対応した液体（イ
ンク）内の気泡を形成できるので有効である。この気泡
の成長，収縮により吐出用開口を介して液体（インク）
を吐出させて、少なくとも１つの滴を形成する。この駆
動信号をパルス形状とすると、即時適切に気泡の成長収
縮が行われるので、特に応答性に優れた液体（インク）
の吐出が達成でき、より好ましい。このパルス形状の駆
動信号としては、米国特許第４４６３３５９号明細書，
同第４３４５２６２号明細書に記載されているようなも
のが適している。なお、上記熱作用面の温度上昇率に関
する発明の米国特許第４３１３１２４号明細書に記載さ
れている条件を採用すると、さらに優れた記録を行うこ
とができる。

【００３９】さらに、記録装置が記録できる記録媒体の
最大幅に対応した長さを有するフルラインタイプの記録
ヘッドに対しても本発明は有効に適用できる。そのよう
な記録ヘッドとしては、複数記録ヘッドの組合せによっ
てその長さを満たす構成や、一体的に形成された１個の
記録ヘッドとしての構成のいずれでもよい。

【００４０】加えて、上例のようなシリアルタイプのも
のでも、装置本体に固定された記録ヘッド、あるいは装
置本体に装着されることで装置本体との電気的な接続や
装置本体からのインクの供給が可能になる交換自在のチ
ップタイプの記録ヘッド、あるいは記録ヘッド自体に一
体的にインクタンクが設けられたカートリッジタイプの
記録ヘッドを用いた場合にも本発明は有効である。

【００４１】また、搭載される記録ヘッドの種類ないし
個数についても、例えば単色のインクに対応して１個の
みが設けられたものの他、記録色や濃度を異にする複数
のインクに対応して複数個数設けられるものであっても
よいし、多種類のインクが類別に吐出可能な吐出口群が
１つの記録ヘッドに一体に設けられるものであってもよ
い。すなわち、例えば記録装置の記録モードとしては黒
色等の主流色のみの記録モードだけではなく、記録ヘッ
ドを一体的に構成するか複数個の組み合わせによるかい
ずれでもよいが、異なる色の複色カラー、または混色に
よるフルカラーの各記録モードの少なくとも一つを備え
た装置にも本発明は極めて有効である。

【００４２】さらに加えて、以上説明した本発明実施例
においては、インクを液体として説明しているが、室温
やそれ以下で固化するインクであって、室温で軟化もし
くは液化するものを用いてもよく、あるいはインクジェ
ット方式ではインク自体を３０℃以上７０℃以下の範囲
内で温度調整を行ってインクの粘性を安定吐出範囲にあ
るように温度制御するものが一般的であるから、使用記
録信号付与時にインクが液状をなすものを用いてもよ
い。加えて、熱エネルギによる昇温を、インクの固形状
態から液体状態への状態変化のエネルギとして使用せし
めることで積極的に防止するため、またはインクの蒸発
を防止するため、放置状態で固化し加熱によって液化す
るインクを用いてもよい。いずれにしても熱エネルギの
記録信号に応じた付与によってインクが液化し、液状イ
ンクが吐出されるものや、記録媒体に到達する時点では
すでに固化し始めるもの等のような、熱エネルギの付与
によって初めて液化する性質のインクを使用する場合も
本発明は適用可能である。このような場合のインクは、
特開昭５４−５６８４７号公報あるいは特開昭６０−７
１２６０号公報に記載されるような、多孔質シート凹部
または貫通孔に液状又は固形物として保持された状態
で、電気熱変換素子に対して対向するような形態として
もよい。本発明においては、上述した各インクに対して
最も有効なものは、上述した膜沸騰方式を実行するもの
である。

【００４３】さらに加えて、本発明の適用が可能なイン
クジェット記録装置の形態としては、コンピュータ等の
情報処理機器の画像出力端末として用いられるものの
他、リーダ等と組合せた複写装置、さらには送受信機能
を有するファクシミリ装置の形態を採るもの等であって
もよい。

【００４４】

【発明の効果】以上説明してきたように、本発明にかか
る液体噴射記録ヘッドによれば、吐出口および前記液路
の断面形状を前記基板側の幅を狭くしたＴ字型としたの
で、基板とバリアーとの間で剥離が発生したりすること
のない信頼性の高い微細なインク吐出口および液路を有
する液体噴射記録ヘッドが得られる。

【００４５】また、本発明にかかる液体噴射記録ヘッド
の製造方法によれば、液体吐出エネルギー発生手段を有
する基板上に、感光性樹脂材料により前記基板側の幅を
狭くしたＴ字型断面形状を有する液路および吐出口形成
のための型材をパターニングおよび露光により形成し、
該型材上に活性エネルギー線硬化型材料もしくは熱硬化
型材料を被覆して硬化させた後、前記型材を溶解除去す
ることにより前記液路および吐出口を形成するので、高
密度記録が可能であり、しかも破損を生じる虞のない液
体噴射記録ヘッドを製造することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明液体噴射記録ヘッドの構成の一例を示す
斜視図である。

【図２】本発明にかかる液体噴射記録ヘッドの製造工程
を（Ａ）〜（Ｈ）によって示す説明図である。

【図３】従来例の構成を示す斜視図である。

【図４】従来例による液体噴射記録ヘッドの製造工程を
（Ａ）〜（Ｆ）によって示す説明図である。

【図５】本発明液体噴射記録ヘッドの適用が可能な液体
噴射記録装置の構成例を示す斜視図である。

【符号の説明】

１１ 基板 １２ 液路 １２Ａ 基板側液路部 １２Ｂ 天板側液路部 １３ インク吐出口 １３Ａ 基板側インク吐出部 １３Ｂ 天板側インク吐出部 １４ 吐出エネルギー発生手段（電気熱変換素子） １５ 共通液室 １６ バリアー（部） １７ 天板（部） ２０ 第１（の）フォトレジスト層 ２１ 第１（の）マスク ２２ 第２（の）フォトレジスト層 ２０Ａ，２２Ａ 型材 ２３ 第２（の）マスク ２４ 硬化性樹脂材料 １０００ 液体噴射記録ヘッド ＨＣ キャリッジ ＩＪＲＡ 液体噴射記録装置

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 液体吐出エネルギー発生手段を有する基
   板上に、樹脂材料の積層によって並列に形成された複数
   の液路と、個々の該液路の端部に形成された吐出口とを
   有し、前記液体吐出エネルギー発生手段の選択的駆動に
   より前記吐出口から液体を被記録材に向けて吐出するイ
   ンクジェットヘッドにおいて、 前記吐出口および前記液路の断面形状を前記基板側の幅
   を狭くしたＴ字型としたことを特徴とするインクジェッ
   トヘッド。
2. 【請求項２】 前記液体吐出エネルギー発生手段は、熱
   エネルギーを発生する電気熱変換素子であり、該電気熱
   変換素子の発生する熱エネルギーにより液体中に発泡を
   生じさせ、該発泡による圧力変化に伴って前記液体を吐
   出することを特徴とする請求項１に記載のインクジェッ
   トヘッド。
3. 【請求項３】 前記吐出口が前記被記録材の記録領域の
   全幅にわたって配設されるフルライン型であることを特
   徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
4. 【請求項４】 前記吐出口は異なる種類の記録用液体を
   吐出する吐出口群が一体に形成されていることを特徴と
   する請求項１に記載のインクジェットヘッド。
5. 【請求項５】 液体吐出エネルギー発生手段を有する基
   板上に、感光性樹脂材料により前記基板側の幅を狭くし
   たＴ字型断面形状を有する液路および吐出口形成のため
   の型材をフォトリソグラフィーにより形成し、該型材上
   に活性エネルギー線硬化型材料もしくは熱硬化型材料を
   被覆して硬化させた後、前記型材を溶解除去することに
   より前記液路および吐出口を形成することを特徴とする
   インクジェットヘッドの製造方法。
6. 【請求項６】 請求項１に記載の液体噴射記録ヘッドお
   よび該ヘッドを搭載する部材を少なくとも具備すること
   を特徴とするインクジェット装置。