JPH07178Y2 - 真空容器の圧力調整バルブ - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本考案は、スパッター成膜等を行う真空容器の内部に設
けられる圧力調整バルブに関する。

〈従来の技術〉 プラズマ放電によりスパッター成膜，エッチング等を行
う場合には、真空容器内の電極テーブル上に均一に起き
ているプラズマ放電を乱すことなく、真空容器内の不活
性ガスを排気してその圧力を調整する必要がある。即
ち、例えば真空容器に設けた一つの排気口からポンプで
直接不活性ガスを排気すると、排気の際に電極テーブル
上の不活性ガスの圧力が不均一となってプラズマ放電が
乱れる。その為、例えばスパッター成膜では均一な膜が
形成されない等の不都合が生じる。

そこで従来は、真空容器に複数の排気口を設けると共
に、排気配管の途中に可変バルブを設けて不活性ガスの
排気流量を変化し、その圧力を調整していた。

〈考案が解決しようとする問題点〉 しかし上記従来の調整では可変バルブと多くの排気配管
を設ける必要があり、真空容器の周囲を煩雑にするとと
もにスペースを要していた。

〈問題点を解決するための手段〉 本考案は上記問題点を解決すべく案出されたもので、真
空容器の内部に設けられ、該真空容器底面に設けた排気
口から排気される不活性ガスの圧力を調整するバルブで
ある。

この圧力調整バルブを、電極テーブルの周囲を包囲する
円柱状の内筒と、該内筒を内部に遊挿した円柱状の外筒
と、該外筒を前記真空容器の外部から回動させる調整装
置とにより構成する。更に前記内筒の中空部に前記排気
口に連通する環状室部を形成するとともに、前記内筒に
前記環状室部に連通する複数の固定孔を略等間隔に設
け、前記外筒には前記内筒の複数の固定孔を同時に開閉
し得る複数の調整孔を設ける。そして前記調整装置を操
作して前記外筒を回動することにより前記複数の固定孔
の夫々の開口度を同時に且つ無段階に調整することを特
徴とするものである。

〈作用〉 上記構成により、真空容器内に導入された不活性ガス
は、圧力調整バルブの全ての調整孔及び固定孔から均一
に環状室部に流入し、排気口から排気される。即ち、不
活性ガスは電極テーブルの周囲から均一に排気される。

〈実施例〉 以下、図面に基づいて本考案の一実施例を説明する。

第１図は圧力調整バルブの斜視概略図、第２図は圧力調
整バルブを真空容器内に設けた状態を示す側断面概略図
である。

図で示す様に、円柱状の真空容器１の内部には円柱状の
電極テーブル２が設けられ、その電極テーブル２下方
の、真空容器１の底面11には排気口12が設けられてい
る。排気口12は排気配管ｐにより開閉弁Ｖを介して真空
ポンプＰと連結されている。そして電極テーブル２の周
囲に圧力調整バルブ３が設けられている。

圧力調整バルブ３は、電極テーブル２の周囲を包囲する
円柱状の内筒４と、その内筒４を内部に遊挿した外筒５
と、その外筒５を真空容器１の外部から気動させる調整
装置６とにより構成されている。

内筒４の上端と下端には夫々外方へ突出したフランジ4
1,42が形成されており、外筒５はこれらフランジ41,42
の間に係着された状態で周方向へ回動し得る。内筒４下
端のフランジ42は真空容器１の底面11に密着されてい
る。

又、内筒４の内壁4aに断面略逆Ｌ状の環状板材ｋを取着
するとともに、その環状板材ｋの下端を真空容器１の底
面11に密着することにより、内筒４中空部の上記電極テ
ーブル２下方に環状室部７が形成されている。よってこ
の環状室部７は、真空容器１の底面11に設けられた排気
口12に連通した状態となる。さらに内筒４には、環状室
部７に連通する複数の固定孔43,43…が略等間隔に設け
られている。

一方、外筒５には上記内筒４の複数の固定孔43,43…を
同時に開閉し得る複数の調整孔51,51…が設けられてい
る。即ち外筒５を回動させて固定孔43,43…に対する調
整孔51,51…の位置を変えることにより、複数の固定孔4
3,43…の開口度を同時に且つ無段階に調整し得る。

上記調整装置６は、例えば一端に調整ハンドル61を取付
けた回転棒62を、真空容器１の周壁13に固定された支持
ナットｎに螺合させた状態で周壁13を貫通させ、その回
転棒62の他端を上記外筒５に回転自在に係着させたもの
である。そして調整ハンドル61を回転させることにより
真空容器１の外部ら上記外筒５を回動させることができ
る。

上記構成により、真空ポンプＰを稼働させ開閉弁Ｖを開
くと、真空容器１内に導入された不活性ガスｇは、圧力
調整バルブ１の全ての調整孔51,51…及び固定孔43,43…
を通って均一に環状室部７に流入し、排気口12から排気
される。その際、調整装置６の調整ハンドル61を回転さ
せて外筒５を回動させると、調整孔51,51…により内筒
４に設けられた全ての固定孔43,43…の開口度が同時に
且つ無段階に調整され、前記不活性ガスｇの排気流量が
可変される。即ち、不活性ガスｇは電極テーブル２の周
囲から均一に排気され、よって電極テーブル２上の不活
性ガスの圧力が均一に調整されてプラズマ放電は乱れな
い。

更に圧力調整バルブ３を金属等の導電体により形成し
て、その圧力調整バルブ３に電極テーブル２の側方及び
下方におけるプラズマ放電防止用のシールド板を兼用さ
せることができる。

〈考案の効果〉 以上述べた様に本考案の圧力調整バルブによれば、電極
テーブル上に均一に起きているプラズマ放電を乱すこと
なく不活性ガスの圧力を微妙に調整することができ、し
かも真空容器周囲の煩雑性を解消刷るとともにスペース
を節約することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、圧力調整バルブの斜視概略図、 第２図は、圧力調整バルブを真空容器内に設けた状態を
示す側断面概略図である。 尚、図中１は真空容器,11は底面,12は排気口,2は電極テ
ーブル,3は圧力調整バルブ,4は内筒,44は固定孔,5は外
筒,51は調整孔,6は調整装置,7は環状室部,gは不活性ガ
スである。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】導入した低圧の不活性ガスに電極テーブル
   により電場をかけてスパッター成膜等を行う真空容器の
   内部に設けられ、該真空容器底面に設けた排気口から排
   気される前記不活性ガスの圧力を調整するバルブであっ
   て、前記電極テーブルの周囲を包囲する円柱状の内筒
   と、該内筒を内部に遊挿した円柱状の外筒と、該外筒を
   前記真空容器の外部から回動させる調整装置とにより構
   成し、前記内筒の中空部に前記排気口に連通する環状室
   部を形成すると共に、前記内筒に前記環状室部に連通す
   る複数の固定孔を略等間隔に設け、前記外筒には前記内
   筒の複数の固定孔を同時に開閉し得る複数の調整孔を設
   け、前記調整装置を操作して前記外筒を回動することに
   より前記複数の固定孔の夫々の開口度を同時に且つ無段
   階に調整することを特徴とする真空容器の圧力調整バル
   ブ。