JPH07181065A - マイクロメカニックセンサを接着によって支持体上に固定するための装置 - Google Patents
マイクロメカニックセンサを接着によって支持体上に固定するための装置Info
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- JPH07181065A JPH07181065A JP6223503A JP22350394A JPH07181065A JP H07181065 A JPH07181065 A JP H07181065A JP 6223503 A JP6223503 A JP 6223503A JP 22350394 A JP22350394 A JP 22350394A JP H07181065 A JPH07181065 A JP H07181065A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 マイクロメカニックなセンサを接着によって
支持体上に固定するための装置において、はっきりとし
た不可量物を除去すると共に、その際に執られる手段が
大量生産を遂行するのに適したものであるようにする。 【構成】 そのためセンサと支持体との間の接触領域内
で一方の載着面が、少くとも１つの溝によって分断さ
れ、センサの層平行な載着面に対して小さな接着面が形
成されている。
支持体上に固定するための装置において、はっきりとし
た不可量物を除去すると共に、その際に執られる手段が
大量生産を遂行するのに適したものであるようにする。 【構成】 そのためセンサと支持体との間の接触領域内
で一方の載着面が、少くとも１つの溝によって分断さ
れ、センサの層平行な載着面に対して小さな接着面が形
成されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、マイクロメカニックセ
ンサを接着によって支持体上に固定するための装置であ
って、センサが殊に、シリコン層内に組織パターン加工
された曲げ振動体を備えているガラス−シリコン−ガラ
ス−層ユニットとして構成されている形式のものに関す
る。
ンサを接着によって支持体上に固定するための装置であ
って、センサが殊に、シリコン層内に組織パターン加工
された曲げ振動体を備えているガラス−シリコン−ガラ
ス−層ユニットとして構成されている形式のものに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】この種のセンサは、適合した評価回路と
協働して加速度発信器として役立っており、その際加速
度の測定値は、１つ又は２つの不動の電極と１つの運動
する電極との間のキャパシタンス的な間隔測定値で、こ
の場合は曲げ振動体の質量で、フィードバックされてい
る。この測定原理は、感度が高いという特徴を有してい
て公知である。満足すべき直線性及び温度に伴う測定誤
差の補正が、差動測定法を利用することによって達成さ
れている。マイクロメカニックセンサの場合には測定値
に依存するキャパシタンスの変化が極めて小さいので、
凝結する湿分の影響、センサと評価回路との間の接続導
線の接触位置の腐蝕、電磁場の放射及び必要な接続導線
によって惹き起される寄生キャパシタンス等による作用
によって、測定精度、特に長期間の安定性に極めて大き
な負の影響が現れる。これに対応しドイツ国実用新案第
９２０２５３３号明細書に開示されているように、この
種の加速度発信器に気密状にシール可能で電気的に遮蔽
されている保護ケーシングを配設すると共に、センサと
評価回路を支えるプリント配線板との間の接続導線を可
限な限り短く保持するということが公知である。更に前
述のドイツ国実用新案第９２０２５３３号明細書に基く
加速度発信器にあっては、センサをセラミック支持体又
は適した金属支持体乃至基体上に直接固定することによ
って、温度に伴う機械的な応力の顕著な作用が測定信号
にもはや影響を与え得ないような、前提条件を探し出そ
うとする試みがなされている。
協働して加速度発信器として役立っており、その際加速
度の測定値は、１つ又は２つの不動の電極と１つの運動
する電極との間のキャパシタンス的な間隔測定値で、こ
の場合は曲げ振動体の質量で、フィードバックされてい
る。この測定原理は、感度が高いという特徴を有してい
て公知である。満足すべき直線性及び温度に伴う測定誤
差の補正が、差動測定法を利用することによって達成さ
れている。マイクロメカニックセンサの場合には測定値
に依存するキャパシタンスの変化が極めて小さいので、
凝結する湿分の影響、センサと評価回路との間の接続導
線の接触位置の腐蝕、電磁場の放射及び必要な接続導線
によって惹き起される寄生キャパシタンス等による作用
によって、測定精度、特に長期間の安定性に極めて大き
な負の影響が現れる。これに対応しドイツ国実用新案第
９２０２５３３号明細書に開示されているように、この
種の加速度発信器に気密状にシール可能で電気的に遮蔽
されている保護ケーシングを配設すると共に、センサと
評価回路を支えるプリント配線板との間の接続導線を可
限な限り短く保持するということが公知である。更に前
述のドイツ国実用新案第９２０２５３３号明細書に基く
加速度発信器にあっては、センサをセラミック支持体又
は適した金属支持体乃至基体上に直接固定することによ
って、温度に伴う機械的な応力の顕著な作用が測定信号
にもはや影響を与え得ないような、前提条件を探し出そ
うとする試みがなされている。
【０００３】更に実際の運転中には、前述の形式で製作
された加速度発信器の測定信号が、全く同一の測定条件
の場合でも満足するような再現性を発揮することができ
ず、かつ自動車の場合に発生する例へば−４０℃と＋８
０℃との間の温度範囲の場合に、許容できないような測
定信号の偏位が発生することが判明した。
された加速度発信器の測定信号が、全く同一の測定条件
の場合でも満足するような再現性を発揮することができ
ず、かつ自動車の場合に発生する例へば−４０℃と＋８
０℃との間の温度範囲の場合に、許容できないような測
定信号の偏位が発生することが判明した。
【０００４】発生するこの不安定性は結局のところ機械
的な応力によって惹き起されると推測されており、該応
力は、センサのカバーされたガラス層を介してシリコン
層内に、ひいては活性領域内に伝達されて曲げ振動体の
振動特性に影響を与えている。その際センサの所与の感
度に明らかな誤信号を惹き起すためには、ｎｍ範囲の変
形で充分である。センサとその支持体との温度係数に実
際にはある程度の相違があるが、このことの外にこの機
械的な応力は、センサと支持体との結合技術にもその原
因があると考えなければならない。支持体上のセンサの
載着面が例へば５０ｍｍ2と比較的小さいため、通常の
形式で行われている接着による接続技術の場合には適し
た形式で、センサの全載着面上に多数の小さな接着液滴
を塗着するか、又は接着材料跡を付け、その後でセンサ
と支持体とを接着せしめている。その際結合されるべき
面の接着材料による不完全な濡れと、不均一な接着層厚
及び硬化程度と、結局は夫々のセンサの幾何学的形状に
対応するセンサの比較的大きな緊締長さと、接着剤が短
時間の間小さな粘性を有している場合の反応位相の間に
一般に使用されている多成分接着剤の不均一な延びとが
共に、はっきりとした不安定性を惹き起していると考え
られる。
的な応力によって惹き起されると推測されており、該応
力は、センサのカバーされたガラス層を介してシリコン
層内に、ひいては活性領域内に伝達されて曲げ振動体の
振動特性に影響を与えている。その際センサの所与の感
度に明らかな誤信号を惹き起すためには、ｎｍ範囲の変
形で充分である。センサとその支持体との温度係数に実
際にはある程度の相違があるが、このことの外にこの機
械的な応力は、センサと支持体との結合技術にもその原
因があると考えなければならない。支持体上のセンサの
載着面が例へば５０ｍｍ2と比較的小さいため、通常の
形式で行われている接着による接続技術の場合には適し
た形式で、センサの全載着面上に多数の小さな接着液滴
を塗着するか、又は接着材料跡を付け、その後でセンサ
と支持体とを接着せしめている。その際結合されるべき
面の接着材料による不完全な濡れと、不均一な接着層厚
及び硬化程度と、結局は夫々のセンサの幾何学的形状に
対応するセンサの比較的大きな緊締長さと、接着剤が短
時間の間小さな粘性を有している場合の反応位相の間に
一般に使用されている多成分接着剤の不均一な延びとが
共に、はっきりとした不安定性を惹き起していると考え
られる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従って本発明の課題
は、微小機械的なセンサを固定する際はっきりとした不
可量物を除去すると共に、その際に執られる手段が大量
生産を遂行するのに適したものであるようにすることに
ある。
は、微小機械的なセンサを固定する際はっきりとした不
可量物を除去すると共に、その際に執られる手段が大量
生産を遂行するのに適したものであるようにすることに
ある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明では請求項１に記
載の特徴、つまりセンサと支持体との間の接触領域内で
一方の載着面が、少くとも１つの溝によって分断され、
センサの層平行な載着面に対して小さな接着面が形成さ
れていることによって、上記課題を解決することができ
た。また本発明の有利な別の構成が請求項２以下に述べ
られている。
載の特徴、つまりセンサと支持体との間の接触領域内で
一方の載着面が、少くとも１つの溝によって分断され、
センサの層平行な載着面に対して小さな接着面が形成さ
れていることによって、上記課題を解決することができ
た。また本発明の有利な別の構成が請求項２以下に述べ
られている。
【０００７】
【発明の効果】本発明は、比較的小さな寸法の正確に規
定された接着面を形成することができるという利点を有
している。この接着面の境界において一方では、毛細管
現象によって惹き起される接着材料の洩れを正確に遮断
することができ、他方ではこの接着面のための接着材料
の量を比較的正確に計量することができる。つまり条片
状の接着面を場合には接着材料を有利には、ビード形状
で又は液滴列として塗着することができ、点対称的な接
着面にあっては場合によっては液滴として塗着すること
ができる。重要なことは、センサが載置面に対し完全平
面状に固定され得ないという偏見を克服し、かつそれに
よって、応力により曲げ振動体の領域内に惹き起される
緊定効果も阻止することができるということである。更
に強調すべきことは、接着面を制限している所定の溝
が、センサの製造工程中に取り付けられ得て、しかも接
着されたウエハ層ユニットからセンサを個別化するのに
役立ちかつ数値制御されたダイヤモンド分離ディスクに
よってウエハ層ユニットに取付けられた切込み部と協同
することができるということである。
定された接着面を形成することができるという利点を有
している。この接着面の境界において一方では、毛細管
現象によって惹き起される接着材料の洩れを正確に遮断
することができ、他方ではこの接着面のための接着材料
の量を比較的正確に計量することができる。つまり条片
状の接着面を場合には接着材料を有利には、ビード形状
で又は液滴列として塗着することができ、点対称的な接
着面にあっては場合によっては液滴として塗着すること
ができる。重要なことは、センサが載置面に対し完全平
面状に固定され得ないという偏見を克服し、かつそれに
よって、応力により曲げ振動体の領域内に惹き起される
緊定効果も阻止することができるということである。更
に強調すべきことは、接着面を制限している所定の溝
が、センサの製造工程中に取り付けられ得て、しかも接
着されたウエハ層ユニットからセンサを個別化するのに
役立ちかつ数値制御されたダイヤモンド分離ディスクに
よってウエハ層ユニットに取付けられた切込み部と協同
することができるということである。
【０００８】
【実施例】次に本発明の実施例を示す図面に基いて、本
発明を詳しく説明することにする。
発明を詳しく説明することにする。
【０００９】図１から明らかなように、例へば図示され
た加速度発信器は、以下に基体として特徴づけられてい
る支持体１とカバー２とから成るケーシング３を備え
た、電子工学的な構造ユニットである。基体１に固定さ
れた接触ピンの内の１つが符号４で表わされているが、
該接触ピンは付加的に、例へば装置のプリント配線板上
でケーシング３を直接固定するのに役立っている。基体
１及びカーバ２が金属から成っている図示のケーシング
３は、これによって放射される電磁場に対する遮蔽作用
を有しており、かつ両側に形成された縁部５において、
有利には環状のリブ６をを間挿し乍ら相互に溶接されて
いるか、場合によっては保護ガスが充填されている。接
触ピン４は図２に示されているように、有利にはＫＯＶ
ＡＲという商品名の鋼材から製作された基体１内に、例
へばガラス質量体７を用いて絶縁部として埋め込まれて
いる。基体１又は両ケーシング部分はセラミックから形
成されていても宜く、かつ電磁場に対する遮蔽作用が必
要な場合には金属メッキが旋工される。
た加速度発信器は、以下に基体として特徴づけられてい
る支持体１とカバー２とから成るケーシング３を備え
た、電子工学的な構造ユニットである。基体１に固定さ
れた接触ピンの内の１つが符号４で表わされているが、
該接触ピンは付加的に、例へば装置のプリント配線板上
でケーシング３を直接固定するのに役立っている。基体
１及びカーバ２が金属から成っている図示のケーシング
３は、これによって放射される電磁場に対する遮蔽作用
を有しており、かつ両側に形成された縁部５において、
有利には環状のリブ６をを間挿し乍ら相互に溶接されて
いるか、場合によっては保護ガスが充填されている。接
触ピン４は図２に示されているように、有利にはＫＯＶ
ＡＲという商品名の鋼材から製作された基体１内に、例
へばガラス質量体７を用いて絶縁部として埋め込まれて
いる。基体１又は両ケーシング部分はセラミックから形
成されていても宜く、かつ電磁場に対する遮蔽作用が必
要な場合には金属メッキが旋工される。
【００１０】更に図２及び図３には、符号８で表わされ
た、有利には差動コンデンサとして形成されているマイ
クロセンサが図示されており、該センサ８は基体１の内
面９上に接着によって直接的に固定されている。既に冒
頭で述べたように、センサ８はガラス−シリコン−ガラ
ス−層ユニットから成り、その場合力を検出する部材
は、曲げ振動体としてシリコン層から組織パターンが加
工されている。符号１０，１１及び１２によって、有利
にはセンサ８のガラス層上に並列状に配置されて、セン
サ８の図示されていない電極に配設されている接続接触
部が表わされている。これらはボンド付けされたワイヤ
―その内の１つが符号１４で表わされている―によって
接触部１５，１６及び１７に接続されており、該接触部
１５，１６，１７は、回路支持体として役立っているプ
リント配線板１８上乃至はプリント配線板１８に形成さ
れた舌部１９上に位置している。プリント配線板１８
は、センサ８によって供給される信号の評価のために必
要な電気的な構造部材、即ち抵抗２０，２１及び２２
と、多重ゲート２３と、別のゲート２４とを支えてい
る。見易くするため、プリント配線板１８上に装着され
たプリント回路は完全には図示されていない。接触部２
５，２６及び２７の内の２つが供給電圧の負荷のために
役立ち、一方別の１つが測定信号を案内している。
た、有利には差動コンデンサとして形成されているマイ
クロセンサが図示されており、該センサ８は基体１の内
面９上に接着によって直接的に固定されている。既に冒
頭で述べたように、センサ８はガラス−シリコン−ガラ
ス−層ユニットから成り、その場合力を検出する部材
は、曲げ振動体としてシリコン層から組織パターンが加
工されている。符号１０，１１及び１２によって、有利
にはセンサ８のガラス層上に並列状に配置されて、セン
サ８の図示されていない電極に配設されている接続接触
部が表わされている。これらはボンド付けされたワイヤ
―その内の１つが符号１４で表わされている―によって
接触部１５，１６及び１７に接続されており、該接触部
１５，１６，１７は、回路支持体として役立っているプ
リント配線板１８上乃至はプリント配線板１８に形成さ
れた舌部１９上に位置している。プリント配線板１８
は、センサ８によって供給される信号の評価のために必
要な電気的な構造部材、即ち抵抗２０，２１及び２２
と、多重ゲート２３と、別のゲート２４とを支えてい
る。見易くするため、プリント配線板１８上に装着され
たプリント回路は完全には図示されていない。接触部２
５，２６及び２７の内の２つが供給電圧の負荷のために
役立ち、一方別の１つが測定信号を案内している。
【００１１】センサ８の載置面２８の平面図が図４に示
されており、２つの溝３１及び３２が一方の寸法を制限
している縁部２９及び３０内の載着面２８に対し平行に
ガラス層１３内に切り込まれている。その際溝３１は、
本来の接着面３３を載着面２８の内方で制限しており、
一方溝３２は付加的な停止組織として、接着の際余剰の
接着剤が溝３１を介して外方に噴出するか、又は別の形
式で溝３１を介して外方に持ち出されるのを阻止するの
に役立っている。意図されたように機能させるため、セ
ンサ８と基体１との間の接着ギャップ内で毛細管効果を
遮断することが重要であり、そのため溝３１及び３２は
比較的平滑に、場合によっては種々の深さで形成されて
いて、ガラス層の顕著な弱体化が発生し得ないようにな
っている。
されており、２つの溝３１及び３２が一方の寸法を制限
している縁部２９及び３０内の載着面２８に対し平行に
ガラス層１３内に切り込まれている。その際溝３１は、
本来の接着面３３を載着面２８の内方で制限しており、
一方溝３２は付加的な停止組織として、接着の際余剰の
接着剤が溝３１を介して外方に噴出するか、又は別の形
式で溝３１を介して外方に持ち出されるのを阻止するの
に役立っている。意図されたように機能させるため、セ
ンサ８と基体１との間の接着ギャップ内で毛細管効果を
遮断することが重要であり、そのため溝３１及び３２は
比較的平滑に、場合によっては種々の深さで形成されて
いて、ガラス層の顕著な弱体化が発生し得ないようにな
っている。
【００１２】図４によれば接着面３３は、縁部３０と、
溝３１によって形成された縁部３４と、載着面２８を横
方向で縁部２９及び３０に対して制限している縁部３５
及び３６とによって規定されている。センサ８の質量は
比較的小さな接着面を備えたセンサ８で充分確実に固定
することができるので、接着面を１つの縁部だけで、又
は交差する溝によって形成された中央接着領域だけで形
成することも考えられる。同じ様に接着面を、基体１の
内面９の内方の乃至はセンサ８の基本側の載着面の内方
に形成することも考えられる。しかしこの場合には外方
縁部を利用することができず、かつ必要な溝３１及び３
２をいづれ行われる切断工程中に切り出すことができな
い。
溝３１によって形成された縁部３４と、載着面２８を横
方向で縁部２９及び３０に対して制限している縁部３５
及び３６とによって規定されている。センサ８の質量は
比較的小さな接着面を備えたセンサ８で充分確実に固定
することができるので、接着面を１つの縁部だけで、又
は交差する溝によって形成された中央接着領域だけで形
成することも考えられる。同じ様に接着面を、基体１の
内面９の内方の乃至はセンサ８の基本側の載着面の内方
に形成することも考えられる。しかしこの場合には外方
縁部を利用することができず、かつ必要な溝３１及び３
２をいづれ行われる切断工程中に切り出すことができな
い。
【００１３】本発明にとってはそれ程重要ではないが完
全を期すために触れておくべきことは、菱形の輪郭とし
て認識されたセンサ８を製造するために１１０−配置の
シリコンウエハが使用されているということである。こ
れによって異方性のエッチング技術の利点、つまり切断
面に対し直角状の極めて迅速なエッチング及びそれから
得られる構造的な可能性の利点を利用することができ
る。更にセンサの構造形状は、センサをボンド付けされ
たウエハ層ユニットから個別化する際、一方の側からア
クセスし得て並列状に位置する接触部１０，１１，１２
を備えたコンソールを形成することができるように選択
されている。図３に比較して図４には、センサ８の曲げ
振動体、つまり２つのアーム３７及び３８に掛止された
質量体３９並びに運動アーム４０が図示されている。質
量体３９に配設された電極はシリコン層４１（図２）を
覆っている夫々１つのガラス層１３乃至４２に配設され
ていているか、乃至はその接触部１０，１１，１２への
接続導線に配設されているけれども、よく見えるように
するため該電極の図面は省略されている。
全を期すために触れておくべきことは、菱形の輪郭とし
て認識されたセンサ８を製造するために１１０−配置の
シリコンウエハが使用されているということである。こ
れによって異方性のエッチング技術の利点、つまり切断
面に対し直角状の極めて迅速なエッチング及びそれから
得られる構造的な可能性の利点を利用することができ
る。更にセンサの構造形状は、センサをボンド付けされ
たウエハ層ユニットから個別化する際、一方の側からア
クセスし得て並列状に位置する接触部１０，１１，１２
を備えたコンソールを形成することができるように選択
されている。図３に比較して図４には、センサ８の曲げ
振動体、つまり２つのアーム３７及び３８に掛止された
質量体３９並びに運動アーム４０が図示されている。質
量体３９に配設された電極はシリコン層４１（図２）を
覆っている夫々１つのガラス層１３乃至４２に配設され
ていているか、乃至はその接触部１０，１１，１２への
接続導線に配設されているけれども、よく見えるように
するため該電極の図面は省略されている。
【００１４】センサ８を基体１上に固定するための望ま
しい機械的な方法は、適した分散によって接着材料を、
不動の接着像乃至接着図に基く接着材料ビート乃至点列
の形状で基体１上に塗着することができるという特徴を
有している。即ちマガジンから供給される基体１又は多
数の基体が配向された場合には、例へばプリント配線板
１８を固定するための２つの平行な接着ビード及びセン
サ８の接着面３３に配設された１つの接着ビードを、分
散によって塗着せしめることができる。その後センサ８
及びプリント配線板１８を正しい位置に載置し、その後
でこのように準備された基体を接着材料の固化のために
適した炉に供給する。このようにして加速度発信器を完
成することができる。
しい機械的な方法は、適した分散によって接着材料を、
不動の接着像乃至接着図に基く接着材料ビート乃至点列
の形状で基体１上に塗着することができるという特徴を
有している。即ちマガジンから供給される基体１又は多
数の基体が配向された場合には、例へばプリント配線板
１８を固定するための２つの平行な接着ビード及びセン
サ８の接着面３３に配設された１つの接着ビードを、分
散によって塗着せしめることができる。その後センサ８
及びプリント配線板１８を正しい位置に載置し、その後
でこのように準備された基体を接着材料の固化のために
適した炉に供給する。このようにして加速度発信器を完
成することができる。
【図１】加速度発信器の実施例の斜視図である。
【図２】図１の加速度発信器の断面図である。
【図３】図１の加速度発信器の、カバーを取り外した場
合の平面図である。
合の平面図である。
【図４】図１の加速度発信器内に設けられたマイクロメ
カニックな加速度センサの、載着面の平面図である。
カニックな加速度センサの、載着面の平面図である。
１ 支持体 ２ カバー ３ ケーシング ４ 接触ピン ５ 縁部 ６ リブ ７ ガラス質量体 ８ 差動コンデンサ ９ 内面 １０，１１，１２ 接続接触部 １３ ガラス層 １４ ワイヤ １５，１６，１７ 接触部 １８ プリント配線板 １９ 舌部 ２０，２１，２２ 抵抗 ２３ 多重ゲート ２４ ゲート ２５，２６，２７ 接触部 ２８ 載着面 ２９，３０ 縁部 ３１，３２ 溝 ３３ 接着面 ３５，３６ 縁部 ３７，３８ アーム ３９ 質量体 ４０ 運動空間 ４１ シリコン層 ４２ ガラス層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ヴォルフガング シュライバー−プリルヴ ィッツ ドイツ連邦共和国 フィリンゲン−シュヴ ェニンゲン テックシュトラーセ 19 (72)発明者 ホルスト プランケンホルン ドイツ連邦共和国 フィリンゲン−シュヴ ェニンゲン ブライザッハーシュトラーセ 10 (72)発明者 トーマス リンドナー ドイツ連邦共和国 ケーニヒスフェルト グラスヴァルトシュトラーセ 26
Claims (8)
- 【請求項１】 マイクロメカニックセンサを接着によっ
て支持体上に固定するための装置であって、センサが殊
に、シリコン層内に組織パターン加工された曲げ振動体
を備えているガラス−シリコン−ガラス−層ユニットと
して構成されている形式のものにおいて、 センサと支持体との間の接触領域内で一方の載着面が、
少くとも１つの溝によって分断され、センサの層平行な
載着面に対して小さな接着面が形成されていることを特
徴とする、マイクロメカニックセンサを接着によって支
持体上に固定するための装置。 - 【請求項２】 接着面（３３）がセンサ（８）に切り込
まれた溝（３１）によって形成されていることを特徴と
する、請求項１記載の装置。 - 【請求項３】 接着面（３３）が、曲げ振動体（３７，
３８，３９）のために設けられたセンサ（８）の運動空
間（４０）の層平行な横断面に合同に向い合って位置し
ている載着面領域の外にあることを特徴とする、請求項
１記載の装置。 - 【請求項４】 溝（３１）がセンサ（８）の製作プロセ
ス中に、殊にウエハ層ユニットからのセンサ（８）の個
別化に役立つ分離切込みを設ける間に一緒に切り出され
うることを特徴とする、請求項１記載の装置。 - 【請求項５】 接着面がセンサ（８）の載着面（２８）
の２つの外方縁部及び少くとも１つの溝によって制限さ
れていることを特徴とする、請求項１記載の装置。 - 【請求項６】 接着面（３３）が３つの外方縁部（３
４，３５，３６）及び１つの溝（３１）によって制限さ
れていることを特徴とする、請求項１記載の装置。 - 【請求項７】 接着面がほぼ対状に平行な溝によって制
限されていることを特徴とする、請求項１記載の装置。 - 【請求項８】 溝(３１)が支持体(１)に対するセンサ
（８）の載着面の内部で支持体（１）に形成されている
ことを特徴とする、請求項１記載の装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE9314084.3 | 1993-09-17 | ||
| DE9314084U DE9314084U1 (de) | 1993-09-17 | 1993-09-17 | Anordnung zum Befestigen eines mikromechanischen Sensors auf einem Träger durch Kleben |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07181065A true JPH07181065A (ja) | 1995-07-18 |
Family
ID=6898232
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6223503A Pending JPH07181065A (ja) | 1993-09-17 | 1994-09-19 | マイクロメカニックセンサを接着によって支持体上に固定するための装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0644586A3 (ja) |
| JP (1) | JPH07181065A (ja) |
| DE (1) | DE9314084U1 (ja) |
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|---|---|---|---|---|
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| US5825091A (en) * | 1997-03-25 | 1998-10-20 | Motorola, Inc. | Sensor assembly mounted to a leadframe with adhesive deposits at separate locations |
| DE102004022822A1 (de) * | 2004-05-08 | 2005-12-01 | Conti Temic Microelectronic Gmbh | Aufnehmersystem/Auslösesensor, geeignet für Diagnose-/Sicherheitsvorrichtung, insbesondere für Unfallschutzeinrichtungen in einem Fahrzeug |
| EP1728055A1 (de) | 2004-03-26 | 2006-12-06 | Contitemic Microelectronic GmbH | Fahrzeugsensor zur erfassung von körperschall |
| DE102004022808A1 (de) * | 2004-05-08 | 2005-12-01 | Conti Temic Microelectronic Gmbh | Aufnehmersystem/Auslösesensor, geeignet für Diagnose-/Sicherheitsvorrichtung, insbesondere für Unfallschutzeinrichtungen in einem Fahrzeug |
| DE102004022831A1 (de) * | 2004-05-08 | 2005-12-01 | Conti Temic Microelectronic Gmbh | Aufnehmersystem/Auslösesensor, geeignet für Diagnose-/Sicherheitsvorrichtung, insbesondere für Unfallschutzeinrichtungen in einem Fahrzeug |
| DE102004022830A1 (de) * | 2004-05-08 | 2005-12-01 | Conti Temic Microelectronic Gmbh | Aufnehmersystem/Auslösesensor, geeignet für Diagnose-/Sicherheitsvorrichtung, insbesondere für Unfallschutzeinrichtungen in einem Fahrzeug |
| JP6819338B2 (ja) * | 2017-02-13 | 2021-01-27 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量検出装置および電子機器 |
| DE102022130307A1 (de) * | 2022-10-26 | 2024-05-02 | Schaeffler Technologies AG & Co. KG | Sensor und Antriebskomponente, insbesondere Kupplung, mit solch einem Sensor |
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| DD257715A1 (de) * | 1987-02-13 | 1988-06-22 | Univ Dresden Tech | Traeger fuer halbleiterchips |
| FR2637984B1 (fr) * | 1988-10-19 | 1991-01-11 | Sagem | Accelerometre pendulaire asservi a detection electrostatique |
| EP0515521B1 (en) * | 1990-02-14 | 1994-09-28 | Endevco Corporation | Surface-mount piezoceramic accelerometer and method for making same |
| DE4107658A1 (de) * | 1991-03-09 | 1992-09-17 | Bosch Gmbh Robert | Montageverfahren fuer mikromechanische sensoren |
| FR2686191B1 (fr) * | 1993-02-23 | 1994-10-28 | Sextant Avionique | Montage de micro-capteur. |
-
1993
- 1993-09-17 DE DE9314084U patent/DE9314084U1/de not_active Expired - Lifetime
-
1994
- 1994-08-19 EP EP94112914A patent/EP0644586A3/de not_active Withdrawn
- 1994-09-19 JP JP6223503A patent/JPH07181065A/ja active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE9314084U1 (de) | 1994-01-05 |
| EP0644586A3 (de) | 1996-05-22 |
| EP0644586A2 (de) | 1995-03-22 |
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