JPH07182607A

JPH07182607A - 複合磁気ヘッド装置及びその製造方法

Info

Publication number: JPH07182607A
Application number: JP32414293A
Authority: JP
Inventors: Susumu Okada; 将岡田; Yuichiro Murata; 雄一郎村田; Shinichiro Eguchi; 信一郎江口
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1993-12-22
Filing date: 1993-12-22
Publication date: 1995-07-21

Abstract

(57)【要約】【目的】この発明はフロッピーディスク装置に使用す
る複合磁気ヘッド装置及び製造方法に関するもので、外
部妨害電磁界を遮蔽する効果を有するとともに、製造工
程において発生する熱応力を抑制して記録・再生性能を
向上し、生産性を向上することを目的とする。【構成】スライダー１４に磁気ヘッドコア１と同一素
材を用い、磁気ヘッドコア１とスライダー１４を一体化
するために熱膨張係数のマッチングが取れた絶縁物１３
を用いて構成した複合磁気ヘッド装置である。【効果】スライダー１４に磁気ヘッドコア１と同一の
磁性材料を用いたので、外部からの妨害電磁界を遮蔽
し、また、スライダー１４、磁気ヘッドコア１および絶
縁物１３の熱膨張係数のマッチングが取れるようにした
ので、熱応力の発生が抑制されて記録・再生特性が向上
する効果がある。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、磁気記録媒体上の複
数のデータトラックに磁気的な情報を書き込み、また、
書き込まれた情報を読み出すための主としてフロッピー
ディスク装置に用いる複合磁気ヘッド装置及びその製造
方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】磁気ヘッドコアの両側方にスライダーを
固着してなるフロッピーディスク用磁気ヘッド装置は、
例えば、実開昭６１−１９９７１３号および実開昭６１
−１９３５１３号がある。また、磁気ヘッド用スライダ
ーの構造及びその製造方法が特開昭６１−２５８３２８
号に記載されている。

【０００３】図１４（ａ）〜（ｂ）は上記公知文献に開
示された従来の複合磁気ヘッド装置を示す斜視図であ
る。図１４（ａ）において、１は磁気ヘッドコアで、消
去コア（Ｅコア）２、読みだし・書き込みコア（Ｒ／Ｗ
コア）４、Ｅコア２とＲ／Ｗコア４に対して兼用される
センターコア３、Ｅコア２とセンターコア３との間およ
びＲ／Ｗコア４とセンターコア３との間に形成されたＳ
ｉＯ₂、Ａｌ₂Ｏ₃などから成る消去ギャップ（Ｅギャ
ップ）５および読みだし・書き込みギャップ（Ｒ／Ｗギ
ャップ）６、Ｒ／Ｗコア４のトラック幅（Ｔ_wr）を規制
する溝に充填されたガラス７、Ｒ／Ｗコア４、Ｅコア２
およびセンターコア３をＲ／Ｗギャップ６およびＥギャ
ップ５を介して一体化するための熔着ガラス８、Ｒ／Ｗ
コア４の脚部およびＥコア２の脚部に巻回されたコイル
１０、１１並びにＲ／Ｗコア４、センターコア３および
Ｅコア２を磁気的にシャントさせるＭｎ−Ｚｎフェライ
ト、Ｎｉ−Ｚｎフェライトまたはケイソ鋼に代表される
金属磁性体から成るバックバー１２から構成されてい
る。また、同図１４（ａ）において、９は磁気ヘッドコ
ア１を補強するためのスライダーで、このスライダー９
の材料には高硬質のチタン酸カルシウムやチタン酸バリ
ウムなどの非磁性材料が用いられている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従来の複合磁気ヘッド
装置は、上記のように構成された磁気ヘッドコア１とス
ライダー９は異なる素材から成るので、それぞれ別個に
作製し、その後、図１４（ｂ）に示したように１個の磁
気ヘッドコア１を２個のスライダー９で挟持して接着
し、一体化形成することになるので、生産性が著しく悪
く、また、接着剤の収縮応力が発生し、さらには磁気ヘ
ッドコア１とスライダー９の材料の熱膨張係数の違いに
起因して発生する熱応力が磁気ヘッドコア１に加わり、
磁気ヘッドコア１の透磁率が低下し、記録・再生性能が
低下するという問題があった。

【０００５】また、スライダー９の材料は非磁性材料で
あるので外部の妨害電磁界の影響を受け易いという問題
があった。

【０００６】この発明は、上記のような問題を解決する
ためになされたもので、記録・再生性能に優れるととも
に外部からの妨害電磁界を遮蔽し、かつ、生産性の高い
磁気ヘッド装置及びその製造方法を提供するものであ
る。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の複合磁
気ヘッド装置は、消去ギャップを有する消去コアと読み
だし・書き込みギャップを有する読みだし・書き込みコ
アが磁気媒体と摺動方向に一軸状に配列された磁気ヘッ
ドコア、該磁気ヘッドコアの外側に該磁気ヘッドコアと
絶縁されて配設され、一体化されたスライダーを有する
複合磁気ヘッド装置において、上記磁気ヘッドコアと上
記スライダーとが同一素材を含むものである。

【０００８】請求項２に記載の複合磁気ヘッド装置は、
請求項第１項記載の複合型磁気ヘッド装置において、ス
ライダーと磁気ヘッドコアが、該磁気ヘッドコアの熱膨
張係数とほぼ等しい熱膨張係数を有する絶縁物を介して
配設されたものである。

【０００９】請求項３に記載の複合磁気ヘッド装置は、
請求項第２項記載の複合型磁気ヘッド装置において、絶
縁物が無機化合物系あるいは有機化合物系接着剤を主成
分とするものである。

【００１０】請求項４に記載の複合磁気ヘッド装置は、
請求項第２項記載の複合磁気ヘッド装置において、絶縁
物がガラスから成るものである。

【００１１】請求項５に記載の複合磁気ヘッド装置は、
請求項第１項記載の複合磁気ヘッド装置において、外部
からの妨害電磁界を遮蔽する遮蔽板が、磁気ヘッドコア
の摺動方向と垂直の面および上記磁気ヘッドコアの摺動
面と反対の面に配設されたものである。

【００１２】請求項６に記載の複合磁気ヘッド装置は、
請求項第５項記載の複合磁気ヘッド装置において、磁気
ヘッドコアと対向する遮蔽板の対向面が平面であるもの
である。

【００１３】請求項７に記載の複合磁気ヘッド装置は、
請求項第１項記載の複合磁気ヘッド装置において、消去
コアと読みだし・書き込みコアとを兼用するセンターコ
アを有し、該センターコアの両側端面でそれぞれ消去ギ
ャップと読みだし・書き込みギャップとが形成され、上
記センターコアの中間部に、上記消去コアと上記読みだ
し・書き込みコアとを絶縁する接着絶縁層を有するもの
である。

【００１４】請求項８に記載の複合磁気ヘッド装置は、
請求項第７項記載の複合磁気ヘッド装置において、セン
ターコアの中間部に設けられた消去コアと上記読みだし
・書き込みコアとを絶縁する接着絶縁層がガラスである
ものである。

【００１５】請求項９に記載の複合磁気ヘッド装置は、
請求項第７項記載の複合磁気ヘッド装置において、セン
ターコアの中間部に、消去コアと読みだし・書き込みコ
アとを絶縁する非磁性材料から成るスペーサを配設し、
該スペーサーを介して接着されたものである。

【００１６】請求項１０に記載の複合磁気ヘッド装置
は、請求項第７項記載の複合磁気ヘッド装置において、
センターコアの読みだし・書き込みコア側の厚さを消去
コア側のセンターコア厚さよりも大きくしたものであ
る。

【００１７】請求項１１に記載の複合磁気ヘッド装置
は、請求項第１項記載の複合磁気ヘッド装置において、
スライダー表面に透磁率が小さい層を有するものであ
る。

【００１８】請求項１２に記載の複合磁気ヘッド装置
は、請求項第１１項記載の複合磁気ヘッド装置におい
て、スライダー表面の透磁率が小さい層が、上記スライ
ダーを酸化した酸化物層であるものである。

【００１９】請求項１３に記載の複合磁気ヘッド装置
は、請求項第１１項記載の複合磁気ヘッド装置におい
て、スライダー表面の透磁率が小さい層が、非磁性層で
あるものである。

【００２０】請求項１４に記載の複合磁気ヘッド装置の
製造方法は、消去ギャップを有する消去コアと読みだし
・書き込みギャップを有する読みだし・書き込みコアが
磁気媒体と摺動する方向に一軸状に配列された磁気ヘッ
ドコア、該磁気ヘッドコアの脚部を連結して磁気回路を
構成するバックバー、上記磁気ヘッドコアの外側に配設
され該磁気ヘッドコアと絶縁物を介して一体化されたス
ライダーを有する複合磁気ヘッド装置の製造方法におい
て、第１のフェライトピースおよび第２のフェライトピ
ースを第３のフェライトピースの両側にギャップ材を介
して配設・接合して熔着コアブロックを形成する工程、
上記熔着コアブロックに上記消去コアのトラック幅を規
制するとともに上記磁気ヘッドコアと上記スライダーを
形成する分離溝を設ける工程、上記分離溝に絶縁物を充
填して上記磁気ヘッドコアと上記スライダーを一体化す
る工程、この後上記熔着コアブロックの上記分離溝の下
部を切断・除去して上記磁気ヘッドコアと上記スライダ
ーを磁気的に分離する工程、この後上記熔着コアブロッ
クに上記消去コイル、読みだし・書き込みコイルおよび
バックバーを挿入する溝を形成する工程を備えたもので
ある。

【００２１】請求項１５に記載の複合磁気ヘッド装置の
製造方法は、請求項第１４項に記載の複合磁気ヘッド装
置の製造方法において、第１のフェライトピースにコイ
ルを巻回する巻線窓に相当するアペックス溝および接合
のためのテーパ溝を形成し、第２のフェライトピースに
アペックス溝、テーパ溝および読みだし・書き込みコア
のトラック幅規制溝を形成し、第３のフェライトピース
に読みだし・書き込みコアのトラック幅規制溝を形成す
る工程を備えたものである。

【００２２】請求項１６に記載の複合磁気ヘッド装置の
製造方法は、請求項第１４項に記載の複合磁気ヘッド装
置の製造方法において、第１のフェライトピースにアペ
ックス溝、テーパ溝および消去コアのトラック幅規制溝
を形成し、第２のフェライトピースにアペックス溝、テ
ーパ溝および読みだし・書き込みコアのトラック幅規制
溝を形成し、第３のフェライトピースに読みだし・書き
込みコアのトラック幅規制溝を形成する工程を備えたも
のである。

【００２３】請求項１７に記載の複合磁気ヘッド装置の
製造方法は、請求項第１５項または第１６項記載の複合
磁気ヘッド装置の製造方法において、第２のフェライト
ピースおよび／または第３のフェライトピースの読みだ
し・書き込みコアのトラック幅規制溝形成面に高飽和磁
束密度を有する磁性薄膜を形成する工程を備えたもので
ある。

【００２４】請求項１８に記載の複合磁気ヘッド装置の
製造方法は、請求項第１４項記載の複合磁気ヘッド装置
の製造方法において、熔着コアブロックを第３のフェラ
イトピースの中央から切断・分離した後、切断・分離面
から所定の厚さ除去し、再度切断・分離面を接合する工
程を備えたものである。

【００２５】請求項１９に記載の複合磁気ヘッド装置の
製造方法は、請求項第１８項記載の複合磁気ヘッド装置
の製造方法において、切断・分離面をガラス熔着で接合
する工程を備えたものである。

【００２６】請求項２０に記載の複合磁気ヘッド装置の
製造方法は、請求項第１８項記載の複合磁気ヘッド装置
の製造方法において、切断・分離面を非磁性体のスペー
サを介して接合する工程を備えたものである。

【００２７】請求項２１に記載の複合磁気ヘッド装置の
製造方法は、請求項第１４項記載の複合磁気ヘッド装置
の製造方法において、熔着コアブロックのスライダー部
に高周波電流を流し、上記スライダー部の温度を大気中
あるいは酸素雰囲気中で３００℃以上とし、上記スライ
ダーを酸化させる工程を備えたものである。

【００２８】

【作用】本願発明に係る請求項１〜１３の複合磁気ヘッ
ド装置は、スライダーと磁気ヘッドコアとが同一素材を
含む構成であるので、磁気ヘッドコアと同一の磁性材料
を含むスライダーは、外部からの妨害電磁界を遮蔽し、
スライダーと磁気ヘッドコアの熱膨張係数が同一である
ので、熱膨張差に起因する熱応力の発生を抑制し、記録
・再生性能が向上する。

【００２９】請求項２〜４に記載の複合磁気ヘッド装置
は、磁気ヘッドコアとスライダーが同一素材を含む構成
であるので、外部からの妨害電磁界を遮蔽し、また、分
離溝に磁気ヘッドコアおよびスライダーの熱膨張係数と
ほぼ同一の熱膨張係数を有する絶縁物を充填して磁気ヘ
ッドコアとスライダーを一体化するので、熱膨張係数の
違いによる熱応力の発生を抑制し、記録・再生性能が一
層向上する。

【００３０】請求項３に記載の複合磁気ヘッド装置は、
接着剤を使用してスライダーと磁気ヘッドコアとを一体
化するので、加熱温度を低くでき、加熱による劣化を小
さくできる。

【００３１】請求項５および請求項６に記載の複合磁気
ヘッド装置は、遮蔽板が磁気ヘッドコアの摺動方向と垂
直方向の面および上記磁気ヘッドコアの摺動面と反対の
面に配設された構成としたので、外部からの妨害電磁界
をより効率よく遮蔽する。

【００３２】請求項６に記載の複合磁気ヘッド装置は、
遮蔽板に平板を用いることができるので、製造が容易に
なり生産性が向上する。

【００３３】請求項第７項〜第１０項に記載の複合磁気
ヘッド装置は、センターコアを共有する消去コアと読み
だし・書き込みコアとをセンターコアの中間部で磁気的
に絶縁するので、消去磁気ヘッドコアと読みだし・書き
込みコアとの間のクロストークを防止する。

【００３４】請求項１０に記載の複合磁気ヘッド装置
は、センターコアの読みだし・書き込みコア側の厚さを
厚くしたので、読みだし・書き込みコアの記録・再生性
能を低下させることがなくなる。

【００３５】請求項第１１項〜第１３項に記載の複合磁
気ヘッド装置は、スライダー表面に透磁率が小さい層を
有するので、クロスフィードを抑制する。

【００３６】請求項第１２項に記載の複合磁気ヘッド装
置は、スライダー部材が酸化されて形成された層が透磁
率が小さい層であるので、クロスフィードを抑制するこ
とができる。

【００３７】請求項１３に記載の複合磁気ヘッド装置
は、スライダー表面に非磁性層を形成したのでクロスフ
ィードを抑制する効果がより一層大きくなる。

【００３８】請求項１４〜請求項２１の複合磁気ヘッド
装置の製造方法によれば、それぞれ、スライダーと磁気
ヘッドコアを同一素材を含む構成の複合磁気ヘッド装置
が製造でき、生産性が向上する。

【００３９】請求項１５の複合磁気ヘッド装置の製造方
法によれば、先行消去型の消去コアを有する複合磁気ヘ
ッド装置が製造できる。

【００４０】請求項１６の複合磁気ヘッド装置の製造方
法によれば、トンネル消去型の消去コアを有する複合磁
気ヘッド装置が製造できる。

【００４１】請求項１７の複合磁気ヘッド装置の製造方
法によれば、読みだし・書き込みコアの読みだし・書き
込みギャップに高飽和磁束密度の磁性体を有するＭＩＧ
ヘッド型の複合磁気ヘッド装置が製造できる。

【００４２】請求項１８〜２０に記載の複合磁気ヘッド
装置の製造方法によれば、センターコアに相当する第３
のフェライトピースの厚さが大きなものを使用してコア
ブロックを形成した後、上記第３のフェライトピース中
央部で切断し、切断面から上記第３のフェライトピース
の肉厚を減じてセンターコア部の厚さが小さいものが破
損することなく容易に製造できる。

【００４３】請求項１９および２０に記載の複合磁気ヘ
ッド装置の製造方法によれば、センターコア中間部に接
着絶縁層を有し、クロストークを抑制する複合磁気ヘッ
ド装置が製造できる。

【００４４】請求項２１記載の複合磁気ヘッド装置の製
造方法によれば、スライダー表面を酸化する簡単を手段
で、クロスフィードを抑制する複合磁気ヘッド装置が製
造できる。

【００４５】

【実施例】

実施例１．図１はこの発明の一実施例を示す斜視図であ
る。この図において、１は先行消去型の磁気ヘッドコア
で１４はスライダーであり、磁気ヘッドコア１は、消去
コア（Ｅコア）２、読みだし・書き込みコア（Ｒ／Ｗコ
ア）４、Ｅコア２とＲ／Ｗコアに対して兼用されるセン
ターコア３、Ｅコア２とセンターコア３との間およびＲ
／Ｗコア４とセンターコア３との間に形成されたＳｉＯ
₂、Ａｌ₂Ｏ₃などから成る消去ギャップ（Ｅギャッ
プ）５および読みだし・書き込みギャップ（Ｒ／Ｗギャ
ップ）６、Ｒ／Ｗコア４のトラック幅（Ｔ_wr）を規制す
る溝に充填されたガラス７、Ｒ／Ｗコア４、Ｅコア２お
よびセンターコア３をＲ／Ｗギャップ６およびＥギャッ
プ５を介して一体化するガラス８から構成され、磁気ヘ
ッドコア１とスライダー１４は絶縁物１３で一体化され
ており、さらに、Ｒ／Ｗコア４の脚部およびＥコアの脚
部にコイル１０、１１が巻回され、Ｒ／Ｗコア４、セン
ターコア３およびＥコア２を磁気的にシャントさせるよ
うに磁性体から成るバックバー１２が接続される。

【００４６】また、１４は磁気ヘッドコア１を補強する
ためのスライダーで、Ｍｎ−Ｚｎフェライト、Ｎｉ−Ｚ
ｎフェライトなどの高透磁率フェライトから成る磁気ヘ
ッドコア１と同一素材で形成され、絶縁物１３によって
磁気ヘッドコア１と磁気的に絶縁されるとともに、接合
され一体化されている。なお、スライダー１４の外側に
耐磨耗性の異種材料を付加して、スライダーの耐磨耗性
を向上することも可能であり、また、Ｍｎ−Ｚｎフェラ
イトを素材とし、スライダーにさらにＮｉ−Ｚｎフェラ
イト金属磁性材料などの異種材料を添付して、さらに外
部からの妨害電磁界を遮蔽する効果を強化することもで
きる。

【００４７】上記構成において、スライダー１４を磁気
ヘッドコア１と同一素材を含む構成としたので、磁気ヘ
ッドコア１とスライダー１４との間に発生する熱膨張係
数差に基づく熱応力を抑制出来るとともに、磁気ヘッド
コアと同一の高透磁率フェライトで形成したので外部か
らの妨害電磁界を遮蔽する効果を有する。

【００４８】また、絶縁物１３を磁気ヘッドコア１およ
びスライダー１４とほぼ同一の熱膨張係数とすることに
よって、より一層熱応力の発生を抑制することができ
る。使用されるＭｎ−Ｚｎフェライト、Ｎｉ−Ｚｎフェ
ライトの熱膨張係数はおおよそ１００×１０^-7〜１３５
×１０^-7／℃であり、使用するフェライト素材によっ
て、絶縁物１３の熱膨張係数を整合させることが必要に
なる。

【００４９】なお、絶縁物１３の材料には、ガラスが好
ましく使用され、ガラス７、８にも同一のガラスを使用
することによって、Ｅコア２、Ｒ／Ｗコア４およびセン
ターコア３の一体化トラック幅（Ｔ_wr）を規制する溝へ
のガラス充填並びに磁気ヘッドコア１とスライダー１４
との一体化が同時にできるようになる。

【００５０】また、絶縁物１３の材料には、無機化合物
系接着剤を主成分としてこれにＳｉＯ₂などのフィラー
を添加して上記のように熱膨張係数を調整したもの、エ
ポキシ樹脂など有機系接着剤を主成分としてこれにＳｉ
Ｏ₂などのフィラーを添加して熱膨張係数を調整したも
のが好ましく使用され、上記接着剤を使用することによ
り、より低い温度で磁気ヘッドコア１とスライダー１４
を一体化できるようになり、熱応力の発生を抑制すると
ともに、加熱による劣化を少なくできるようになる。

【００５１】実施例２．図２〜図４はこの発明の複合磁
気ヘッド装置の製造方法の一実施例を示す斜視図であ
る。図２（ａ）において、１５はＥコア部の素材となる
Ｅコアピース（第１のフェライトピース）、１６はＲ／
Ｗコアの素材となるＲ／Ｗコアピース（第２のフェライ
トピース）、１７はセンターコアの素材となるセンター
コアピース（第３のフェライトピース）で、それぞれ、
Ｍｎ−Ｚｎフェライトなどの高透磁率フェライトから成
りスライダーの構成部材ともなるものであり、研削加工
およびラッピング加工によって所定の寸法に仕上げ、特
に、ギャップ面となる面は加工歪みのない鏡面に仕上げ
る。

【００５２】次に、図２（ｂ）に示したように、Ｅコア
ピース１５にコイルを巻回するためのアペックス溝１８
と各コアピースをガラスなどで接合するためのテーパ溝
１９を、また、Ｒ／Ｗコアピース１６にアペックス溝１
８、テーパ溝１９およびトラック幅規制溝２０を、さら
に、センターコアピース１７にＲ／Ｗトラック幅を規制
するためのＲ／Ｗトラック幅規制溝２０を形成する。

【００５３】この後、ラッピング加工を施した面に厚さ
十分の数のミクロン〜数ミクロンのＳｉＯ₂あるいはＡ
ｌ₂Ｏ₃などから成るギャップ材をスパッタリングある
いは蒸着により形成し、次に、図３（ａ）に示したよう
に、センターコアピース１７の両側にＥコアピース１５
とＲ／Ｗコアピース１６を配設し、Ｒ／Ｗトラック幅規
制溝２０およびテーパ溝１９に熔着ガラス２１を熔着
し、熔着コアブロック２２を形成する。

【００５４】次に、図３（ｂ）に示したように、スライ
ダー部２３、２４、２５と磁気ヘッドコア部２６を分離
して形成するための分離溝２７を設け、図３（ｃ）に示
したように、分離溝２７に絶縁物２８を充填した後に、
図３（ｄ）に示したように熔着コアブロック２２の底部
でスライダー２３、２４、と磁気ヘッドコア２６並びに
スライダー２４、２５と磁気ヘッドコア２６が連結した
連結部を切除する。

【００５５】なお、絶縁物２８には、各フェライトピー
ス１５、１６、１７とほぼ同一の熱膨張係数を有するガ
ラス、無機系接着剤あるいは有機系接着剤を主成分とす
る接着剤が好ましく使用され、熱膨張係数をほぼ同一と
することによって、磁気ヘッドコア２６とスライダー２
４、２５との間の熱応力発生を抑制することができる。

【００５６】次に、図４（ａ）に示したように、磁気ヘ
ッドが磁気媒体（磁気ディスク）面上で摺動する際に磁
気ディスクに傷を付けないようにするため、テーパ加工
部２９およびＶ溝３０を形成する。

【００５７】次に、図４（ｂ）に示したように、コイル
を挿入するための側溝３１を、また、図４（ｃ）に示し
たように脚溝３２およびバックバーを挿入し、添付する
ための溝３３を形成し、Ｖ溝３０の中央から切断し、図
４（ｄ）に示したように一個の複合磁気ヘッド装置に分
離する。

【００５８】さらに、磁気ヘッドコア２６の脚部にそれ
ぞれコイルを挿入した後、磁気ヘッドコア２６のＥコア
ピース１５とセンターコアピース１７およびＲ／Ｗコア
ピース１６とセンターコアコピース１７の脚部をシャン
トするバックバーを添付して複合磁気ヘッド装置を製造
する。

【００５９】上記複合磁気ヘッド装置の製造方法によれ
ば、スライダー２３、２４、２５と磁気ヘッドコア２６
が同一素材から成る多数の複合型磁気ヘッド装置を熔着
コアブロック２２に形成し、磁気ヘッドコア２６の間で
切断することによって、スライダー２３、２４、２５と
磁気ヘッドコア２６を同一素材で構成した複合磁気ヘッ
ド装置が製造できるとともに生産性が向上する。

【００６０】実施例３．図５〜図７はこの発明の複合磁
気ヘッド装置の製造方法の他の実施例を示す斜視図であ
る。図５は製造工程を説明するための総合概念を示すも
のであり、図５（ａ）に示すような、例えば、長さ７０
ｍｍ、幅４０ｍｍ、厚さ４ｍｍのフェライト基板を３枚
準備し、Ｅコア用、Ｒ／Ｗコア用およびセンターコア用
のフェライト基板としてそれぞれ第１、第２および第３
のフェライト基板とする。

【００６１】第１および第２のフェライト基板は片面を
鏡面ラッピング仕上げし、第３のフェライト基板は両面
を鏡面ラッピング仕上げする。その後、それぞれのフェ
ライト基板のラッピング仕上げ面に図５（ａ）に示した
加工の方向にＲ／Ｗコアのトラック幅規制の溝加工およ
びアペックス溝加工を施す。第１のフェライト基板には
アペックス溝加工を、第２のフェライト基板にはＲ／Ｗ
コアのトラック幅規制の溝加工とアペックス溝加工の両
方の加工を、また、第３のフェライト基板にはＲ／Ｗコ
アのトラック幅規制の溝加工を施し図５（ｂ）（第１の
フェライト基板のみ示した）とした後、アペックス溝加
工の方向に切断して図５（ｃ）に示したようなＥコアピ
ース、Ｒ／Ｗコアピースおよびセンターコアピースを形
成して、これをガラスを使用した熔着などの方法で接合
し、熔着コアブロックを形成する。

【００６２】図６（ｂ）、（ａ）および（ｃ）はそれぞ
れ第１（Ｅコア用）フェライト基板３４、第２（Ｒ／Ｗ
コア用）フェライト基板３５および第３（センターコア
用）３６の一部を拡大してトラック幅規制溝２０とアペ
ックス溝１８を示したものである。これらの基板を上記
のように、アペックス溝方向に切断して、図６（ｄ）に
示したようにＥコアピース１５、Ｒ／Ｗコアピース１６
およびセンターコアピース１７を形成することによっ
て、多数のＥコアピース１５、Ｒ／Ｗコアピース１６お
よびセンターコアピース１７を作製することができる。

【００６３】次に、Ｅコアピース１５、Ｒ／Ｗコアピー
ス１６およびセンターコアピース１７にギャップ材を形
成し、さらに図６（ｅ）のように分離溝２７を形成し、
図６（ｆ）のようにセンターコアピース１７を挟んでＥ
コアピース１５とＲ／Ｗコアピース１６を配置する。

【００６４】次に、図７（ａ）のように、分離溝２７、
アペックス溝１８およびトラック幅規制溝２０に絶縁物
を充填して熔着コアブロック２２を形成する。さらに、
センターコアピース１７の中間部で切断した後、切断面
を研削してセンターコアピース１７を所定の肉厚に仕上
げ、図７（ｂ）のように、再度センターコアピース１７
の切断面を接着して、この後、分離溝２７の下部を切除
する。

【００６５】図７（ｂ）に示した４ＭＢ（メガバイト）
のＦＤＤの採用されている先行消去型の複合磁気ヘッド
においては、センターコア１７の厚さ、即ちＲ／Ｗギャ
ップとＥギャップとの間の距離は０．２ｍｍに仕上げ
る。また、接着した時の接着層の厚さは数十ミクロン以
下にし、Ｒ／Ｗ磁気ヘッドの再生性能を十分に確保する
という観点から、Ｒ／Ｗコアピース１６側のセンターコ
アピース１７の厚さをＥコアピース１５側のセンターコ
アピース１７の厚さよりも厚くしたほうが望ましい。

【００６６】次に、図７（ｃ）のように、コイルを挿入
するための側溝３１、脚溝３２およびバックバーを挿入
し、添付するための溝３３を形成するとともに磁気ヘッ
ドコア２６の摺動方向の端面３４を研削して磁気ヘッド
コア２６の長さをスライダー部２３、２４、２５の長さ
より短くする。

【００６７】次に、図７（ｄ）のように、熔着コアブロ
ック２２の側面に平板状の遮蔽板３５を接着添付する。
遮蔽板３５の材料には、スライダー２３、２４、２５と
同一または異なる磁性フェライト、金属などの他、導電
性を有する材料であれば使用でき、導電性の高分子材料
も使用される。

【００６８】次に、図７（ｅ）のように、各磁気ヘッド
コア２６の間で切断し、その後、Ｒ／ＷコイルおよびＥ
コイルを挿入し、さらに、Ｒ／Ｗコアとセンターコアお
よびＥコアとセンターコアの間をシャントするバックバ
ーを添付する。

【００６９】上記複合磁気ヘッド装置の製造方法によれ
ば、センターコアピース１７に取り扱い易い厚さの素材
を使用して熔着コアブロック２２を形成した後、センタ
ーコアピース１７の中間部で切断してセンターコアピー
ス１７の肉厚を減じ、再度、接合するようにしたので、
破損することなく厚さが薄いセンターコアピース１７を
有する熔着ブロック２２が得られ、また、スライダー２
３、２４、２５の側面に遮蔽板３５を設けたので、外部
からの妨害電磁界を遮蔽する効果が一層向上する。

【００７０】また、磁気ヘッドコア２６の長さをスライ
ダー２３、２４、２５より短くすることによって平板状
の遮蔽板が使用できる。

【００７１】また、センターコアピース１７の中間部に
ある接着層でＲ／ＷコアとＥコアが磁気的に分離されて
いるので、Ｒ／ＷコアとＥコアとの間の磁界の影響、即
ち、クロストークを抑制することができる。

【００７２】実施例４．図８はこの発明の他の実施例を
示す斜視図である。実施例３はセンターコアの中間部に
接着層が形成されたものであるが、図８に示したもの
は、センターコアピース１７の中間部にチタン酸カルシ
ウムなどの非磁性体から成るスペーサ３６を設けたもの
である。上記スペーサ３６にはガラスも好ましく使用さ
れる。

【００７３】実施例５．図９はこの発明の他の実施例を
示す斜視図である。実施例１および実施例４は磁気ヘッ
ドコアの両側に磁性フェライトから成るスライダーを配
設し、また、実施例３はスライダーの側面にも遮蔽板を
配設した構成となっているので、外部からの妨害電磁界
を遮蔽する効果を有するものであるが、図９のように、
磁気ヘッドコア１と直接接触しないように凹部を有する
遮蔽板をスライダー１４の両側面および下部に配設する
ことによって、さらに遮蔽効果を向上することができ
る。

【００７４】また、磁気ヘッドコア１の長さをスライダ
ー１４より短くし、平板状の遮蔽板とすることにより、
製造が容易となり生産性が向上する。

【００７５】実施例６．実施例１〜実施例５は磁気ヘッ
ドコアとスライダーが同一素材から成り、従って、磁気
ヘッドコアとスライダーの透磁率が同一となる。フロッ
ピーディスク（ＦＤＤ）装置は磁気ディスクの両面に情
報を記録する両面記録方式を採用しているので、図１０
に示したように、磁気ディスクの両面に２個の複合磁気
ヘッドが対向して配置され、一方の複合磁気ヘッド装置
で記録および消去する時に、ギャップの漏れ磁束が磁気
ディスクを通り、他方の複合磁気ヘッド装置のスライダ
ーから他方のギャップに還流して他面の磁気媒体を磁化
・消去するいわゆるクロスフィード現象が問題となる。

【００７６】上記クロスフィード現象は、スライダー表
面に透磁率が小さい層あるいは非磁性層を形成すること
によって抑制される。上記スライダー表面の透磁率が小
さい層は、図３（ｂ）の製造工程の後にスライダー部２
３と２３、２４と２４および２５と２５の面間に大気中
あるいは酸素雰囲気中で高周波電流を流して３００℃以
上の温度に上げ、スライダー部のみを酸化させ透磁率を
２分の１以下に低下させることによって形成される。

【００７７】また、Ｓｉの酸化物あるいは窒化物、非磁
性金属酸化物などの非磁性層をスパッタリング、イオン
プレーティングなどの方法で形成することもできる。

【００７８】実施例７．図１１はこの発明の他の実施例
を示す斜視図である。上記実施例１〜実施例４の複合磁
気ヘッド装置では消去コアが先行消去型である磁気ヘッ
ドコアを有するものであるが、図１１に示す複合磁気ヘ
ッド装置は磁気媒体の進入方向に対してＲ／Ｗコア４、
センターコア３およびＥコア２の順に配設したトンネル
消去型の磁気ヘッドを有するものである。

【００７９】上記構造の複合磁気ヘッド装置は、実施例
２の製造方法を示す図２（ｂ）において、Ｒ／Ｗコアフ
ェライトピース１６にアペックス溝、テーパ溝およびＲ
／Ｗトラック幅規制溝を、Ｅコアフェライトピース１５
にアペックス溝、テーパ溝およびＥトラック幅規制溝
を、また、センターコアフェライトピース１７にＲ／Ｗ
トラック幅規制溝を形成し、以後の工程は実施例２の製
造方法と同様にして製造される。

【００８０】実施例８．実施例１〜７の複合磁気ヘッド
装置あるいはその製造方法は磁気ヘッドコアがフェライ
トのみから成るものについて示したが、実施例１〜７の
複合磁気ヘッド装置あるいはその製造方法において、Ｒ
／Ｗコアのギャップ面に高飽和磁束密度を有するセンダ
スト合金（Ｆｅ−Ｓｉ−Ａｌ）あるいはアモルファス合
金（Ｃｏ−Ｚｒ−Ｎｂ系合金など）をスパッタリングあ
るいはイオンプレーティングなどの方法で薄膜形成した
ＮＩＧ（メタルインギャップ）ヘッドを有する複合磁気
ヘッド装置も上記実施例１〜７の複合磁気ヘッド装置あ
るいはその製造方法と同様の作用効果が得られる。

【００８１】ＭＩＧヘッドを有する複合磁気ヘッド装置
は、製造工程を示す図２（ｂ）あるいは図６（ｄ）にお
いて、ギャップ材を形成する前に上記高飽和磁束密度を
有する磁性体をＲ／Ｗコアのギャップ面に形成すること
によって製造される。

【００８２】実施例９．図１２は、この発明の他の実施
例の複合磁気ヘッド装置を示す斜視図である。図のよう
に、磁気ヘッドコア１はトンネル消去型のＥコア２を有
するもので、センターコア３の中間部に非磁性のスペー
サが設けられてクロストークを抑制するものである。

【００８３】上記図１２に示した複合磁気ヘッド装置
は、実施例３の製造工程を説明した図６（ｂ）におい
て、さらに、Ｅコアのトラック幅規制溝を形成し、その
後、実施例３と同様の工程で図１３（ａ）に示したよう
に、熔着コアブロック２２を形成してセンターコアピー
ス１７の中間部で切断し、センターコアピース１７の肉
厚を減じ、図１３（ｂ）のように再度切断面をスペーサ
３６を介して接着することによって製造する。

【００８４】

【発明の効果】以上のように、請求項１〜１３によれ
ば、スライダーと磁気ヘッドコアとが同一素材を含む構
成としたので、磁性材料からなるスライダーは、外部か
らの妨害電磁界を遮蔽し、スライダーと磁気ヘッドコア
の熱膨張係数差に起因する熱応力の発生を抑制するの
で、記録・再生性能を向上する効果がある。

【００８５】また、請求項２〜４によれば、スライダー
が磁気ヘッドコアと同一素材である磁性体を有するの
で、外部からの妨害電磁界を遮蔽するとともに、分離溝
に磁気ヘッドコアおよびスライダーの熱膨張係数とほぼ
同一の熱膨張係数を有する絶縁物を充填して磁気ヘッド
コアとスライダーを一体化して熱膨張係数の違いによる
熱応力の発生を抑制するので、記録・再生性能がより一
層向上する。

【００８６】請求項３によれば、接着剤を使用してスラ
イダーと磁気ヘッドコアとを一体化するので、より低い
温度で一体化でき、加熱による劣化が小さくなる。

【００８７】請求項５および請求項６によれば、遮蔽板
が磁気ヘッドコアの摺動方向と垂直の面および磁気ヘッ
ドコアの摺動面と反対の面に配設されたので、外部から
の妨害電磁界をより効率的に遮蔽することができる。

【００８８】請求項６によれば、遮蔽板に平板を用いる
ことができるので、製造が容易になり生産性が向上す
る。

【００８９】請求項７〜請求項１０によれば、センター
コアを共有する消去コアと読みだし・書き込みコアとを
センターコアの中間部で磁気的に絶縁したので、消去コ
アと読みだし・書き込みコアとの間のクロストークを防
止することができる。

【００９０】請求項１０によれば、センターコアの読み
だし・書き込み側の厚さを厚くしたので、読みだし・書
き込みコアの記録・再生性能を低下させることがない。

【００９１】請求項１１〜請求項１３によれば、スライ
ダー表面に透磁率が小さい層を形成したので、クロスフ
ィードを抑制することができる。

【００９２】請求項１２によれば、スライダー部が酸化
されて形成された層が透磁率が小さい層であるので、ク
ロスフィードを抑制することができる。

【００９３】請求項１３によれば、スライダー表面に非
磁性層を形成したのでクロスフィードを抑制する効果が
より一層大きくなる。

【００９４】請求項１４〜請求項２１によれば、それぞ
れ、スライダーと磁気ヘッドコアが同一部材から成る複
合磁気ヘッド装置が製造でき、生産性が向上する。

【００９５】請求項１５によれば、先行消去型の消去コ
アを有する複合磁気ヘッド装置が製造できる。

【００９６】請求項１６によれば、トンネル消去型の消
去コアを有する複合磁気ヘッド装置が製造できる。

【００９７】請求項１７によれば、読みだし・書き込み
コアの読みだし・書き込みギャップに高飽和磁束密度の
磁性体を有するＭＩＧヘッド型の複合磁気ヘッド装置が
製造できる。

【００９８】請求項１８〜２０によれば、センターコア
に相当する第３のフェライトピースの厚さが大きなもの
を使用してコアブロックを形成した後、上記第３のフェ
ライトピース中央部で切断し、切断面から上記第３のフ
ェライトピースの肉厚を減じてセンターコア部の厚さが
小さいものが破損することなく容易に製造できる。

【００９９】請求項１９および請求項２０によれば、セ
ンターコア中間部に接着絶縁層を有し、クロストークを
抑制する複合磁気ヘッド装置が製造できる。

【０１００】請求項２１によれば、スライダー表面を酸
化するという簡単な手段でクロスフィードを抑制する複
合磁気ヘッド装置が製造できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施例１による複合磁気ヘッド装置
を示す斜視図である。

【図２】この発明の実施例２による複合磁気ヘッド装置
の製造方法を説明する斜視図である。

【図３】この発明の実施例２による複合磁気ヘッド装置
の製造方法を説明する斜視図である。

【図４】この発明の実施例２による複合磁気ヘッド装置
の製造方法を説明する斜視図である。

【図５】この発明の実施例３による複合磁気ヘッド装置
の製造方法を説明する斜視図である。

【図６】この発明の実施例３による複合磁気ヘッド装置
の製造方法を説明する斜視図である。

【図７】この発明の実施例３による複合磁気ヘッド装置
の製造方法を説明する斜視図である。

【図８】この発明の実施例４による複合磁気ヘッド装置
を示す斜視図である。

【図９】この発明の実施例５による複合磁気ヘッド装置
を示す斜視図である。

【図１０】両面記録のＦＤＤ装置におけるクロスフィー
ド現象を説明する断面図である。

【図１１】この発明の実施例７による複合磁気ヘッド装
置を示す斜視図である。

【図１２】この発明の実施例９による複合磁気ヘッド装
置を示す斜視図である。

【図１３】この発明の実施例９による複合磁気ヘッド装
置の製造方法を説明する斜視図である。

【図１４】従来の複合磁気ヘッド装置を示す斜視図であ
る。

【符号の説明】

１磁気ヘッドコア２消去コア（Ｅコア）３センターコア４読みだし・書き込みコア（Ｒ／Ｗコア）５消去ギャップ（Ｅギャップ）６読みだし・書き込みギャップ（Ｒ／Ｗギャップ）７充填ガラス８熔着ガラス９スライダー１０Ｒ／Ｗコイル１１Ｅコイル１２バックバー１３絶縁物１４スライダー１５Ｅコアピース（第１のフェライトピース）１６Ｒ／Ｗコアピース（第２のフェライトピース）１７センターコアピース（第３のフェライトピース）１８アペックス溝１９テーパ溝２０Ｒ／Ｗトラック幅規制溝２１熔着ガラス２２熔着コアブロック２３スライダー２４スライダー２５スライダー２６磁気ヘッドコア２７分離溝２８絶縁物３１溝（側溝）３２溝（脚溝）３３溝３５遮蔽板３６スペーサ３７遮蔽板

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】消去ギャップを有する消去コアと読みだ
し・書き込みギャップを有する読みだし・書き込みコア
が磁気媒体と摺動方向に一軸状に配列された磁気ヘッド
コア、該磁気ヘッドコアの外側に該磁気ヘッドコアと絶
縁されて配設され、一体化されたスライダーを有する複
合型磁気ヘッド装置において、上記磁気ヘッドコアと上
記スライダーとが同一素材を含むことを特徴とする複合
磁気ヘッド装置。
【請求項２】スライダーと磁気ヘッドコアが、該磁気
ヘッドコアの熱膨張係数とほぼ等しい熱膨張係数を有す
る絶縁物を介して配設され、一体化されたことを特徴と
する請求項第１項記載の複合磁気ヘッド装置。
【請求項３】絶縁物が無機化合物系あるいは有機化合
物系接着剤を主成分とする請求項第２項記載の複合磁気
ヘッド装置。
【請求項４】絶縁物がガラスである請求項第２項記載
の複合型磁気ヘッド装置。
【請求項５】外部からの妨害電磁界を遮蔽する遮蔽板
が、磁気ヘッドコアの摺動方向と垂直の面および上記磁
気ヘッドコアの摺動面と反対の面に配設されたことを特
徴とする請求項第１項記載の複合磁気ヘッド装置。
【請求項６】磁気ヘッドコアと対向する遮蔽板の対向
面が平面である請求項第５項記載の複合磁気ヘッド装
置。
【請求項７】消去コアと読みだし・書き込みコアとを
兼用するセンターコアを有し、該センターコアの両側端
面でそれぞれ消去ギャップと読みだし・書き込みギャッ
プとが形成され、上記センターコアの中間部に、上記消
去コアと上記読みだし・書き込みコアとを絶縁する接着
絶縁層を有することを特徴とする請求項第１項記載の複
合磁気ヘッド装置。
【請求項８】センターコアの中間部に設けられた消去
コアと上記読みだし・書き込みコアとを絶縁する接着絶
縁層がガラスであることを特徴とする請求項第７項記載
の複合磁気ヘッド装置。
【請求項９】センターコアの中間部に、消去コアと読
みだし・書き込みコアとを絶縁する非磁性材料から成る
スペーサを配設し、該スペーサーを介して接着されたこ
とを特徴とする請求項第７項記載の複合磁気ヘッド装
置。
【請求項１０】センターコアの読みだし・書き込みコ
ア側の厚さを消去コア側のセンターコア厚さよりも大き
くしたことを特徴とする請求項第７項記載の複合磁気ヘ
ッド装置。
【請求項１１】スライダー表面に透磁率が小さい層を
有することを特徴とする請求項第１項記載の複合磁気ヘ
ッド装置。
【請求項１２】スライダー表面に透磁率が小さい層
が、上記スライダーを酸化した酸化物層であることを特
徴とする請求項第１１項記載の複合磁気ヘッド装置。
【請求項１３】スライダー表面の透磁率が小さい層
が、非磁性層であることを特徴とする請求項第１１項記
載の複合磁気ヘッド装置。
【請求項１４】消去ギャップを有する消去コアと読み
だし・書き込みギャップを有する読みだし・書き込みコ
アが磁気媒体と摺動する方向に一軸状に配列された磁気
ヘッドコア、該磁気ヘッドコアの脚部を連結して磁気回
路を構成するバックバー、上記磁気ヘッドコアの外側に
配設され該磁気ヘッドコアと絶縁物を介して一体化され
たスライダーを有する複合磁気ヘッド装置の製造方法に
おいて、第１のフェライトピースおよび第２のフェライ
トピースを第３のフェライトピースの両側にギャップ材
を介して配設・接合して熔着コアブロックを形成する工
程、上記熔着コアブロックに上記消去コアのトラック幅
を規制するとともに上記磁気ヘッドコアと上記スライダ
ーを形成する分離溝を設ける工程、上記分離溝に絶縁物
を充填して上記磁気ヘッドコアと上記スライダーを一体
化する工程、この後上記熔着コアブロックの上記分離溝
の下部を切断・除去して上記磁気ヘッドコアと上記スラ
イダーを磁気的に分離する工程、この後上記熔着コアブ
ロックに上記消去コイル、読みだし・書き込みコイルお
よびバックバーを挿入する溝を形成する工程を備えたこ
とを特徴とする複合磁気ヘッド装置の製造方法。
【請求項１５】第１のフェライトピースにコイルを巻
回する巻線窓に相当するアペックス溝および接合のため
のテーパ溝を形成し、第２のフェライトピースにアペッ
クス溝、テーパ溝および読みだし・書き込みコアのトラ
ック幅規制溝を形成し、第３のフェライトピースに読み
だし・書き込みコアのトラック幅規制溝を形成する工程
を備えたことを特徴とする請求項第１４項記載の複合磁
気ヘッド装置の製造方法。
【請求項１６】第１のフェライトピースにアペックス
溝、テーパ溝および消去コアのトラック幅規制溝を形成
し、第２のフェライトピースにアペックス溝、テーパ溝
および読みだし・書き込みコアのトラック幅規制溝を形
成し、第３のフェライトピースに読みだし・書き込みコ
アのトラック幅規制溝を形成する工程を備えたことを特
徴とする請求項第１４項記載の複合磁気ヘッド装置の製
造方法。
【請求項１７】第２のフェライトピースおよび／また
は第３のフェライトピースの読みだし・書き込みコアの
トラック幅規制溝形成面に高飽和磁束密度を有する磁性
薄膜を形成する工程を備えたことを特徴とする請求項第
１５項または第１６項記載の複合磁気ヘッド装置の製造
方法。
【請求項１８】熔着コアブロックを第３のフェライト
ピースの中央から切断・分離した後、切断・分離面から
所定の厚さ除去し、再度切断・分離面を接合する工程を
備えたことを特徴とする請求項第１４項記載の複合磁気
ヘッド装置の製造方法。
【請求項１９】切断・分離面をガラス熔着で接合する
ことを特徴とする請求項第１８項記載の複合磁気ヘッド
装置の製造方法。
【請求項２０】切断・分離面を非磁性体のスペーサを
介して接合することを特徴とする請求項第１８項記載の
複合磁気ヘッド装置の製造方法。
【請求項２１】熔着コアブロックのスライダー部に高
周波電流を流し、上記スライダー部の温度を大気中ある
いは酸素雰囲気中で３００℃以上とし、上記スライダー
を酸化させる工程を備えたことを特徴とする請求項第１
４項記載の複合型磁気ヘッド装置の製造方法。