JPH0718409B2 - クライオポンプ - Google Patents
クライオポンプInfo
- Publication number
- JPH0718409B2 JPH0718409B2 JP60285462A JP28546285A JPH0718409B2 JP H0718409 B2 JPH0718409 B2 JP H0718409B2 JP 60285462 A JP60285462 A JP 60285462A JP 28546285 A JP28546285 A JP 28546285A JP H0718409 B2 JPH0718409 B2 JP H0718409B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat load
- load flange
- stage heat
- intermediate portion
- stage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 11
- 239000003610 charcoal Substances 0.000 description 4
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 4
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 4
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 3
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
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- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、２段冷凍機を駆動して２段熱負荷フランジお
よび２段熱負荷フランジを夫々冷却して効率良好に排気
するクライオポンプに関するものである。
よび２段熱負荷フランジを夫々冷却して効率良好に排気
するクライオポンプに関するものである。
従来、第２図に示すように、２段冷凍機を用いて発生さ
せた２種の異なる温度からなる第１段熱負荷フランジ４
および第２段熱負荷フランジ１を用いて排気するよう構
成したクライオポンプがある。このクライオポンプは、
第１段熱負荷フランジ４に積み重ねる態様で熱絶縁性の
中間部分３を介してより低温の第２段熱負荷フランジ１
を配置してある。この配置により、熱絶縁性の中間部分
３の温度は、第１段熱負荷フランジ４の温度（例えば20
゜K以上）から第２段熱負荷フランジ１の温度（例えば2
0゜K以下）まで連続的に分布する。気体が引口５から例
えば矢印の方向に飛び込み、輻射シールド８で反射を繰
り返して中間部分３に附着すると、この中間部分３に附
着した気体の飽和蒸気圧が第２段熱負荷フランジ１およ
びこれに接続された部分に附着した気体の飽和蒸気圧よ
りも高く、この気体が逆方向に引口５に戻り易いため、
引口５での圧力を高くする。このため、中間部分３に附
着した気体が全て離脱するまでは、第２段熱負荷フラン
ジ１の示す温度における気体の飽和蒸気圧、即ち所定の
到達圧力まで排気し得ないという問題点があった。
せた２種の異なる温度からなる第１段熱負荷フランジ４
および第２段熱負荷フランジ１を用いて排気するよう構
成したクライオポンプがある。このクライオポンプは、
第１段熱負荷フランジ４に積み重ねる態様で熱絶縁性の
中間部分３を介してより低温の第２段熱負荷フランジ１
を配置してある。この配置により、熱絶縁性の中間部分
３の温度は、第１段熱負荷フランジ４の温度（例えば20
゜K以上）から第２段熱負荷フランジ１の温度（例えば2
0゜K以下）まで連続的に分布する。気体が引口５から例
えば矢印の方向に飛び込み、輻射シールド８で反射を繰
り返して中間部分３に附着すると、この中間部分３に附
着した気体の飽和蒸気圧が第２段熱負荷フランジ１およ
びこれに接続された部分に附着した気体の飽和蒸気圧よ
りも高く、この気体が逆方向に引口５に戻り易いため、
引口５での圧力を高くする。このため、中間部分３に附
着した気体が全て離脱するまでは、第２段熱負荷フラン
ジ１の示す温度における気体の飽和蒸気圧、即ち所定の
到達圧力まで排気し得ないという問題点があった。
本発明は、前記問題点を解決するために、第１段熱負荷
フランジ４と第２段熱負荷フランジ１との間に設けた熱
絶縁性の中間部分３を、より低温の第２段熱負荷フラン
ジ１に接続したシールド板２を用いて接触することなく
覆う構成を採用することにより、この中間部分３に気体
が入射して附着することを防止し、所定の到達圧力まで
短時間に排気し得るようにしている。
フランジ４と第２段熱負荷フランジ１との間に設けた熱
絶縁性の中間部分３を、より低温の第２段熱負荷フラン
ジ１に接続したシールド板２を用いて接触することなく
覆う構成を採用することにより、この中間部分３に気体
が入射して附着することを防止し、所定の到達圧力まで
短時間に排気し得るようにしている。
第１図に示す本発明の１実施例構成の側面断面図を用い
て問題点を解決するための手段を説明する。
て問題点を解決するための手段を説明する。
第１図において、第２段熱負荷フランジ１は、２段冷凍
機によって最も低い温度（例えば20゜K以下）が生成さ
れるものである。
機によって最も低い温度（例えば20゜K以下）が生成さ
れるものである。
シールド板２は、第２段熱負荷フランジ１に接続され、
中間部分３に接触することなく周囲を覆うものである。
中間部分３に接触することなく周囲を覆うものである。
中間部分３は、熱絶縁性のものであって、第１段熱負荷
フランジ４上に積み上げる態様で第２段熱負荷フランジ
１を保持するものである。
フランジ４上に積み上げる態様で第２段熱負荷フランジ
１を保持するものである。
第２段熱負荷フランジ１は、２段冷凍機によって冷却さ
れる中間の温度（例えば20゜K以上）を生成するもので
ある。
れる中間の温度（例えば20゜K以上）を生成するもので
ある。
チャコールパネル６およびコンデンセーションパネル７
は、引口５から飛び込んできた気体を効率良好にトラッ
プするためのものである。
は、引口５から飛び込んできた気体を効率良好にトラッ
プするためのものである。
輻射シールド８は、第１段熱負荷フランジ４に接続され
たものであって、第２段熱負荷フランジ１およびこれに
接続したシールド板２などに対する外部からの熱輻射を
遮断するものである。
たものであって、第２段熱負荷フランジ１およびこれに
接続したシールド板２などに対する外部からの熱輻射を
遮断するものである。
第１図を用いて説明した構成を採用し、中間部分３の周
囲を、第２段熱負荷フランジ１に接続したシールド板２
を用いて覆っているため、引口５から矢印のように輻射
シールド８に反射を繰り返して中間部分３に向って飛び
込んだ気体は、シールド板２に附着する。このため、シ
ールド板２と第１段熱負荷フランジ４との間の狭い隙間
を通り抜けて中間部分３に附着する気体は、極めて少な
くなる。また、この狭い隙間を通り抜けて中間部分３に
附着して凝縮した気体は、たとえ離脱しても、大部分は
20゜K以下に冷えたシールド板２の内側に凝縮してしま
い、せまい隙間を通り抜けて更に引口５まで戻る気体は
なくなる。
囲を、第２段熱負荷フランジ１に接続したシールド板２
を用いて覆っているため、引口５から矢印のように輻射
シールド８に反射を繰り返して中間部分３に向って飛び
込んだ気体は、シールド板２に附着する。このため、シ
ールド板２と第１段熱負荷フランジ４との間の狭い隙間
を通り抜けて中間部分３に附着する気体は、極めて少な
くなる。また、この狭い隙間を通り抜けて中間部分３に
附着して凝縮した気体は、たとえ離脱しても、大部分は
20゜K以下に冷えたシールド板２の内側に凝縮してしま
い、せまい隙間を通り抜けて更に引口５まで戻る気体は
なくなる。
以上説明したように、中間部分３をシールド板２を用い
て覆うことにより、中間部分３に気体が凝縮することが
なく、第２段熱負荷フランジ１の温度によって決定され
る到達圧力に排気するまでの時間を短くすることができ
る。
て覆うことにより、中間部分３に気体が凝縮することが
なく、第２段熱負荷フランジ１の温度によって決定され
る到達圧力に排気するまでの時間を短くすることができ
る。
第１図は本発明の１実施例構成の側面断面図を示す。図
中、１は第２段熱負荷フランジ、２はシールド板、３は
中間部分、４は第１段熱負荷フランジ、５は引口、６は
チャコールパネル、７はコンデンセーションパネル、８
は輻射シールドを表す。
中、１は第２段熱負荷フランジ、２はシールド板、３は
中間部分、４は第１段熱負荷フランジ、５は引口、６は
チャコールパネル、７はコンデンセーションパネル、８
は輻射シールドを表す。
第１図に示す本発明に係わるクライオポンプは、第１段
熱負荷フランジ４および第２段熱負荷フランジ１を夫々
冷却する２段冷凍機によって駆動されている。第１段熱
負荷フランジ４には、図示のように輻射シールド８が接
続されている。この輻射シールド８は、より低温の第２
段熱負荷フランジ１およびこれに接続されたものの周囲
を覆い、外部からの熱輻射を遮断している。
熱負荷フランジ４および第２段熱負荷フランジ１を夫々
冷却する２段冷凍機によって駆動されている。第１段熱
負荷フランジ４には、図示のように輻射シールド８が接
続されている。この輻射シールド８は、より低温の第２
段熱負荷フランジ１およびこれに接続されたものの周囲
を覆い、外部からの熱輻射を遮断している。
第２段熱負荷フランジ１は、第１段熱負荷フランジ４上
に積み重ねる態様で熱絶縁性の中間部分３を介して配置
されており、ポンプ作用を発揮するチャコールパネル６
とコンデンセーションパネル７、および中間部分３を覆
うシールド板２が設けられている。この中間部分３の温
度は、第１段熱負荷フランジ４の温度（例えば20゜K以
上）から第２段熱負荷フランジ１の温度（例えば20゜K
以下）まで連続的に分布している。
に積み重ねる態様で熱絶縁性の中間部分３を介して配置
されており、ポンプ作用を発揮するチャコールパネル６
とコンデンセーションパネル７、および中間部分３を覆
うシールド板２が設けられている。この中間部分３の温
度は、第１段熱負荷フランジ４の温度（例えば20゜K以
上）から第２段熱負荷フランジ１の温度（例えば20゜K
以下）まで連続的に分布している。
以上の構成を採用したクライオポンプを用いる系を排気
中に、第１図図中矢印を用いて示す方向に気体が引口５
から飛び込んできた場合、輻射シールド８に反射を繰り
返して中間部分３に向かった気体はシールド板２上に凝
縮される。万一、気体がシールド板２と第１段熱負荷フ
ランジ４との狭い間から中間部分３に飛び込んで当該中
間部分３に凝縮しても、この中間部分３から離脱した気
体は、近接した設けたシールド板２の内側に凝縮し、外
部に飛び出すものは殆どない。このため、中間部分３に
向かって飛び込んだ気体が引口５に向かって戻る確率は
殆どなくなり、第２段熱負荷フランジ１の温度によって
決定される到達圧力に達するまでの時間が短くなる。
中に、第１図図中矢印を用いて示す方向に気体が引口５
から飛び込んできた場合、輻射シールド８に反射を繰り
返して中間部分３に向かった気体はシールド板２上に凝
縮される。万一、気体がシールド板２と第１段熱負荷フ
ランジ４との狭い間から中間部分３に飛び込んで当該中
間部分３に凝縮しても、この中間部分３から離脱した気
体は、近接した設けたシールド板２の内側に凝縮し、外
部に飛び出すものは殆どない。このため、中間部分３に
向かって飛び込んだ気体が引口５に向かって戻る確率は
殆どなくなり、第２段熱負荷フランジ１の温度によって
決定される到達圧力に達するまでの時間が短くなる。
以上説明したように、本発明によれば、第１段熱負荷フ
ランジ４と第２段熱負荷フランジ１との間に設けた熱絶
縁性の中間部分３を、より低温の第２段熱負荷フランジ
１に接続したシールド板２を用いて覆う構成を採用して
いるため、この中間部分３に気体が入射して附着するこ
とがなく、第２段熱負荷フランジ１の冷却温度によって
決定される所定の到達圧力まで短時間に排気することが
可能となる。
ランジ４と第２段熱負荷フランジ１との間に設けた熱絶
縁性の中間部分３を、より低温の第２段熱負荷フランジ
１に接続したシールド板２を用いて覆う構成を採用して
いるため、この中間部分３に気体が入射して附着するこ
とがなく、第２段熱負荷フランジ１の冷却温度によって
決定される所定の到達圧力まで短時間に排気することが
可能となる。
第１図は本発明の１実施例構成の側面断面図、第２図は
従来のクライオポンプの側面断面図を示す。 図中、１は第２段熱負荷フランジ、２はシールド板、３
は中間部分、４は第１段熱負荷フランジ、５は引口、６
はチャコールパネル、７はコンデンセーションパネル、
８は輻射シールドを表す。
従来のクライオポンプの側面断面図を示す。 図中、１は第２段熱負荷フランジ、２はシールド板、３
は中間部分、４は第１段熱負荷フランジ、５は引口、６
はチャコールパネル、７はコンデンセーションパネル、
８は輻射シールドを表す。
Claims (1)
- 【請求項１】２段冷凍機を用いて排気するように構成し
たクライオポンプにおいて、 ２段冷凍機の温度を40゜Kないし100゜Kに保持した第１
段熱負荷フランジと２段熱負荷フランジとの間に設けた
熱絶縁性の中間部分と、 この中間部分に接触することなく可及的に近接して覆
い、かつこの覆いを第２段熱負荷フランジに接続して約
20゜K以下の温度に保持したシールド板と、 このシールド板を含み２段熱負荷フランジに接続した部
分を覆う態様で設け、かつ覆いを第１段熱負荷フランジ
に接続した輻射シールドとを備え、 ２段冷凍機を駆動して第１段熱負荷フランジおよび２段
熱負荷フランジを夫々冷却して排気するよう構成したこ
とを特徴とするクライオポンプ
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60285462A JPH0718409B2 (ja) | 1985-12-20 | 1985-12-20 | クライオポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60285462A JPH0718409B2 (ja) | 1985-12-20 | 1985-12-20 | クライオポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62147056A JPS62147056A (ja) | 1987-07-01 |
| JPH0718409B2 true JPH0718409B2 (ja) | 1995-03-06 |
Family
ID=17691825
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60285462A Expired - Lifetime JPH0718409B2 (ja) | 1985-12-20 | 1985-12-20 | クライオポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0718409B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011153629A (ja) * | 2011-05-17 | 2011-08-11 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | クライオポンプ |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS606086A (ja) * | 1983-06-23 | 1985-01-12 | Arubatsuku Kuraio Kk | クライオポンプ装置 |
-
1985
- 1985-12-20 JP JP60285462A patent/JPH0718409B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62147056A (ja) | 1987-07-01 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |