JPH07186393A - ノズルプレートの製造方法 - Google Patents
ノズルプレートの製造方法Info
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- JPH07186393A JPH07186393A JP5331535A JP33153593A JPH07186393A JP H07186393 A JPH07186393 A JP H07186393A JP 5331535 A JP5331535 A JP 5331535A JP 33153593 A JP33153593 A JP 33153593A JP H07186393 A JPH07186393 A JP H07186393A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 インク滴の飛翔方向のばらつきを生じさせる
ことの無いノズルプレートの製造方法を提供すること。 【構成】 支持用シート１０の粘着性を有する面をノズ
ル用シート９の下面に密着して張り付け、エキシマレー
ザビーム２をノズル用シート９に照射してノズル加工を
行う。レーザビーム２の不均一性等によって、ノズル２
５の円周部領域がノズル２５の中心部領域より先に加工
されるので、ノズル２５の加工が終わると、加工されな
かったノズル２５の中心部領域である蓋１１が、支持用
シート１０に接着されている。次に、ノズル用シート９
より支持用シート１０をひきはがし、蓋１１を支持用シ
ート１０の粘着力よって取り去り、蓋１１の無いきれい
な形状のノズル２５を得られたノズルプレートが製造さ
れる。
ことの無いノズルプレートの製造方法を提供すること。 【構成】 支持用シート１０の粘着性を有する面をノズ
ル用シート９の下面に密着して張り付け、エキシマレー
ザビーム２をノズル用シート９に照射してノズル加工を
行う。レーザビーム２の不均一性等によって、ノズル２
５の円周部領域がノズル２５の中心部領域より先に加工
されるので、ノズル２５の加工が終わると、加工されな
かったノズル２５の中心部領域である蓋１１が、支持用
シート１０に接着されている。次に、ノズル用シート９
より支持用シート１０をひきはがし、蓋１１を支持用シ
ート１０の粘着力よって取り去り、蓋１１の無いきれい
な形状のノズル２５を得られたノズルプレートが製造さ
れる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、インクが噴射されるノ
ズルがレーザビームによって設けられるノズルプレート
の製造方法に関するものである。
ズルがレーザビームによって設けられるノズルプレート
の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種のノズルプレートの製造方
法としては、特開平２−１２１８４２号公報に記載され
ているものがあり、以下その概略を説明する。
法としては、特開平２−１２１８４２号公報に記載され
ているものがあり、以下その概略を説明する。
【０００３】インクを噴射するヘッドを構成するノズル
プレートは、複数のインクが噴射されるノズルを有して
いる。そして、そのノズルは、ポリイミド、ポリエーテ
ルサルフォン等の高分子材料で形成されたプレートに、
前記ノズルプレートのノズルが加工される部位に対応し
て透明な部分が設けられたマスクを介して、エキシマレ
ーザビームを照射することにより形成される。その形成
過程を説明すると、エキシマレーザビームの照射によ
り、前記プレートは、エキシマレーザビームを吸収し、
次に高分子材料の分子結合が切られ、その結合が切られ
た分子、原子が分解、飛散してノズルが形成される（ア
メリカン・ケミカル・ソサエティ発行のケミカル・レビ
ュー、１９８９年、ｖｏｌ．８９、Ｎｏ．６参照）。
プレートは、複数のインクが噴射されるノズルを有して
いる。そして、そのノズルは、ポリイミド、ポリエーテ
ルサルフォン等の高分子材料で形成されたプレートに、
前記ノズルプレートのノズルが加工される部位に対応し
て透明な部分が設けられたマスクを介して、エキシマレ
ーザビームを照射することにより形成される。その形成
過程を説明すると、エキシマレーザビームの照射によ
り、前記プレートは、エキシマレーザビームを吸収し、
次に高分子材料の分子結合が切られ、その結合が切られ
た分子、原子が分解、飛散してノズルが形成される（ア
メリカン・ケミカル・ソサエティ発行のケミカル・レビ
ュー、１９８９年、ｖｏｌ．８９、Ｎｏ．６参照）。
【０００４】そして、このノズル形状は、エキシマレー
ザビーム入射側の内径が、エキシマレーザビーム出口側
の内径より大きくなる。ここで、ノズルの形状は、イン
ク噴射側の内径が、ヘッド内側の内径より小さい方が好
ましいので、ノズルプレートのヘッド内側となる前記プ
レートの面からエキシマレーザビームが照射され、ノズ
ルが形成され、ノズルプレートが製造される。
ザビーム入射側の内径が、エキシマレーザビーム出口側
の内径より大きくなる。ここで、ノズルの形状は、イン
ク噴射側の内径が、ヘッド内側の内径より小さい方が好
ましいので、ノズルプレートのヘッド内側となる前記プ
レートの面からエキシマレーザビームが照射され、ノズ
ルが形成され、ノズルプレートが製造される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たように、ポリイミド、ポリエーテルサルフォン等の材
質のプレートにノズルを加工すると、エキシマレーザビ
ームの有する広がり角や不均一性及び加工時のノズル内
部でのエキシマレーザビームの乱反射等によって、図４
（ａ）に示すように、ノズル２５の円周部領域２６がノ
ズル２５の中心部領域２７より先に加工される。そし
て、エキシマレーザビーム２のエネルギーの不均一性等
によって、図４（ｂ）、（ｃ）のように、ノズル２５の
円周部領域２６の一部の領域２６ａが加工されずに残る
ことがある。すると、ノズル２５の円周部領域２６より
後に加工されるノズル２５の中心部領域２７が加工され
ずに残り、その中心部領域２７は、その後のエキシマレ
ーザビーム２のエネルギーによって、加工されなかった
領域２６ａを軸として回転して裏返され、エキシマレー
ザビーム２によるさらなる加工がなされなくなり、結果
的に蓋１１として残る。このような蓋１１が存在する
と、インク滴の飛翔に影響を与えて飛翔方向にばらつき
が生じて、印字品質が悪くなるといった問題があった。
たように、ポリイミド、ポリエーテルサルフォン等の材
質のプレートにノズルを加工すると、エキシマレーザビ
ームの有する広がり角や不均一性及び加工時のノズル内
部でのエキシマレーザビームの乱反射等によって、図４
（ａ）に示すように、ノズル２５の円周部領域２６がノ
ズル２５の中心部領域２７より先に加工される。そし
て、エキシマレーザビーム２のエネルギーの不均一性等
によって、図４（ｂ）、（ｃ）のように、ノズル２５の
円周部領域２６の一部の領域２６ａが加工されずに残る
ことがある。すると、ノズル２５の円周部領域２６より
後に加工されるノズル２５の中心部領域２７が加工され
ずに残り、その中心部領域２７は、その後のエキシマレ
ーザビーム２のエネルギーによって、加工されなかった
領域２６ａを軸として回転して裏返され、エキシマレー
ザビーム２によるさらなる加工がなされなくなり、結果
的に蓋１１として残る。このような蓋１１が存在する
と、インク滴の飛翔に影響を与えて飛翔方向にばらつき
が生じて、印字品質が悪くなるといった問題があった。
【０００６】本発明は、上述した問題点を解決するため
になされたものであり、インク滴の飛翔方向にばらつき
を生じさせることの無いノズルプレートの製造方法を提
示することを目的とする。
になされたものであり、インク滴の飛翔方向にばらつき
を生じさせることの無いノズルプレートの製造方法を提
示することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の請求項１では、インクが噴射されるノズルが
レーザビームによって設けられるノズルプレートの製造
方法において、前記ノズルプレートとなるプレートの一
面に、粘着性を有する粘着部材を接着する工程と、前記
プレートの前記一面と反対側の他面から、レーザビーム
を照射する工程と、前記粘着部材を前記プレートの前記
一面から剥す工程とからなることを特徴とする。
に本発明の請求項１では、インクが噴射されるノズルが
レーザビームによって設けられるノズルプレートの製造
方法において、前記ノズルプレートとなるプレートの一
面に、粘着性を有する粘着部材を接着する工程と、前記
プレートの前記一面と反対側の他面から、レーザビーム
を照射する工程と、前記粘着部材を前記プレートの前記
一面から剥す工程とからなることを特徴とする。
【０００８】請求項２では、インクが噴射されるノズル
がレーザビームによって設けられるノズルプレートの製
造方法において、前記ノズルプレートとなるプレートの
一面に、レーザビームを照射する工程と、前記プレート
の前記一面と反対側の他面に、粘着性を有する粘着部材
を接着する工程と、前記粘着部材を前記プレートの前記
他面から剥す工程とからなることを特徴とする。
がレーザビームによって設けられるノズルプレートの製
造方法において、前記ノズルプレートとなるプレートの
一面に、レーザビームを照射する工程と、前記プレート
の前記一面と反対側の他面に、粘着性を有する粘着部材
を接着する工程と、前記粘着部材を前記プレートの前記
他面から剥す工程とからなることを特徴とする。
【０００９】請求項３では、前記レーザビームは、エキ
シマレーザビームであることを特徴とする。
シマレーザビームであることを特徴とする。
【００１０】
【作用】上記の構成を有する本発明の請求項１のノズル
プレートの製造方法では、プレートの一面に、粘着性を
有する粘着部材が接着され、前記プレートの前記一面と
反対側の他面から、レーザビームが照射されて、ノズル
加工が行われる。このノズル加工時に、レーザビームに
よって加工される領域であって加工されずに残った部分
は、前記粘着部材を前記プレートの前記一面から剥すこ
とによって、除去される。
プレートの製造方法では、プレートの一面に、粘着性を
有する粘着部材が接着され、前記プレートの前記一面と
反対側の他面から、レーザビームが照射されて、ノズル
加工が行われる。このノズル加工時に、レーザビームに
よって加工される領域であって加工されずに残った部分
は、前記粘着部材を前記プレートの前記一面から剥すこ
とによって、除去される。
【００１１】また、請求項２のノズルプレートの製造方
法では、プレートの一面に、レーザビームが照射されて
ノズル加工が行われ、前記プレートの前記一面と反対側
の他面に粘着部材が接着された後、剥されることによっ
て、ノズル加工時にレーザビームによって加工される領
域であって加工されずに残った部分が除去される。
法では、プレートの一面に、レーザビームが照射されて
ノズル加工が行われ、前記プレートの前記一面と反対側
の他面に粘着部材が接着された後、剥されることによっ
て、ノズル加工時にレーザビームによって加工される領
域であって加工されずに残った部分が除去される。
【００１２】
【実施例】以下、本発明を具体化した第一実施例を図面
を参照して説明する。但し、従来技術と同一の部材に付
いては、同一の符号を付し、その説明を省略する。
を参照して説明する。但し、従来技術と同一の部材に付
いては、同一の符号を付し、その説明を省略する。
【００１３】図１はレーザ加工機の構成を示す構成図で
ある。レーザ発振機１より発振されたエキシマレーザビ
ーム２は、ミラー３ａ、３ｂ、３ｃによって、加工テー
ブル８にいたる光路が形成される。ミラー３ａとミラー
３ｂとの間の光路には、エキシマレーザビーム２を所望
のサイズに拡大するビームエキスパンダー４が設けられ
ている。ミラー３ｂとミラー３Ｃとの間の光路には、エ
キシマレーザビーム２を、開けようとする穴に対応した
形状にするためのマスク５が設けられており、またマス
ク５の下流には、マスク５を通過したマスク像を結像光
学系７に導くためのフィールドレンズ６が設けられてい
る。前記結像光学系７は、ミラー３ｃと加工テーブル８
との間に設けられ、加工テーブル８に置かれた被加工物
にマスク５を透過したエキシマレーザビーム２を所定の
大きさに絞り込むためのものである。
ある。レーザ発振機１より発振されたエキシマレーザビ
ーム２は、ミラー３ａ、３ｂ、３ｃによって、加工テー
ブル８にいたる光路が形成される。ミラー３ａとミラー
３ｂとの間の光路には、エキシマレーザビーム２を所望
のサイズに拡大するビームエキスパンダー４が設けられ
ている。ミラー３ｂとミラー３Ｃとの間の光路には、エ
キシマレーザビーム２を、開けようとする穴に対応した
形状にするためのマスク５が設けられており、またマス
ク５の下流には、マスク５を通過したマスク像を結像光
学系７に導くためのフィールドレンズ６が設けられてい
る。前記結像光学系７は、ミラー３ｃと加工テーブル８
との間に設けられ、加工テーブル８に置かれた被加工物
にマスク５を透過したエキシマレーザビーム２を所定の
大きさに絞り込むためのものである。
【００１４】本実施例では、プレートとしてのシート状
のノズル用シート９が被加工物であり、粘着部材として
の支持用シート１０がノズル用シート９の下面に接着さ
れた状態で、ノズル用シート９にノズルを加工しようと
するものである。
のノズル用シート９が被加工物であり、粘着部材として
の支持用シート１０がノズル用シート９の下面に接着さ
れた状態で、ノズル用シート９にノズルを加工しようと
するものである。
【００１５】マスク５及び結像光学系７は、ノズル形状
やレーザ加工条件等によって適切に設定する。本実施例
に用いたエキシマレーザは２４８ｎｍの波長をもつＫｒ
Ｆエキシマレーザである。
やレーザ加工条件等によって適切に設定する。本実施例
に用いたエキシマレーザは２４８ｎｍの波長をもつＫｒ
Ｆエキシマレーザである。
【００１６】図１、図２を用いて、ノズル用シート９の
下面に接着された粘着性を有する支持用シート１０を用
いて蓋１１を除去する具体的実施例を示す。
下面に接着された粘着性を有する支持用シート１０を用
いて蓋１１を除去する具体的実施例を示す。
【００１７】ノズル用シート９は高分子材料であるポリ
イミドで形成されており、そのノズル用シート９の下面
には、粘着性を有する支持用シート１０が接着されてい
る。支持用シート１０は片面もしくは両面に粘着性を有
しており、本実施例の場合は、片面に粘着性を有してい
るものを用い、図２（ａ）に示すように、粘着性を有す
る面をノズル用シート９の下面に密着して張り付ける。
このノズル用シート９と支持用シート１０とを張り合わ
せたものを、図１に示すように、支持用シート１０が下
となるように加工テーブル８上に設置し、エキシマレー
ザビーム２をノズル用シート９に照射してノズル加工を
行う。
イミドで形成されており、そのノズル用シート９の下面
には、粘着性を有する支持用シート１０が接着されてい
る。支持用シート１０は片面もしくは両面に粘着性を有
しており、本実施例の場合は、片面に粘着性を有してい
るものを用い、図２（ａ）に示すように、粘着性を有す
る面をノズル用シート９の下面に密着して張り付ける。
このノズル用シート９と支持用シート１０とを張り合わ
せたものを、図１に示すように、支持用シート１０が下
となるように加工テーブル８上に設置し、エキシマレー
ザビーム２をノズル用シート９に照射してノズル加工を
行う。
【００１８】ノズル加工は、支持用シート１０を多少加
工しても構わないが、支持用シート１０を貫通加工しな
いようにエキシマレーザビーム２の照射時間やエネルギ
ーを設定する。望ましくは、ノズル用シート９の加工直
後に、エキシマレーザビーム２の照射をストップさせる
ようにする。そして、上述したようにレーザビーム２の
有する広がり角や不均一性及び加工時のノズル内部での
エキシマレーザビーム２の乱反射等によって、ノズル２
５の円周部領域がノズル２５の中心部領域より先に加工
されるので、ノズル２５の加工が終わると、図２（ｂ）
のように、加工されなかったノズル２５の中心部領域で
ある蓋１１が、支持用シート１０に接着されている。次
に、図２（ｃ）に示すように、ノズル用シート９より支
持用シート１０をひきはがす。この時、ノズル用シート
９の加工されなかった蓋１１は、支持用シート１０の粘
着力よって取り去られ、蓋１１の無いきれいな形状のノ
ズル２５が得られる。
工しても構わないが、支持用シート１０を貫通加工しな
いようにエキシマレーザビーム２の照射時間やエネルギ
ーを設定する。望ましくは、ノズル用シート９の加工直
後に、エキシマレーザビーム２の照射をストップさせる
ようにする。そして、上述したようにレーザビーム２の
有する広がり角や不均一性及び加工時のノズル内部での
エキシマレーザビーム２の乱反射等によって、ノズル２
５の円周部領域がノズル２５の中心部領域より先に加工
されるので、ノズル２５の加工が終わると、図２（ｂ）
のように、加工されなかったノズル２５の中心部領域で
ある蓋１１が、支持用シート１０に接着されている。次
に、図２（ｃ）に示すように、ノズル用シート９より支
持用シート１０をひきはがす。この時、ノズル用シート
９の加工されなかった蓋１１は、支持用シート１０の粘
着力よって取り去られ、蓋１１の無いきれいな形状のノ
ズル２５が得られる。
【００１９】次に、本発明における第二実施例を図３を
用いて説明する。まず、ノズル用シート９を加工テーブ
ル８（図１）上に設置し、エキシマレーザビーム２を照
射してノズル加工を行う。すると、図３（ａ）のごとく
ノズル２５のエキシマレーザビーム２の出射側に蓋１１
が形成される。そして、図３（ｂ）に示すように、粘着
性を有する支持用シート１０の粘着面をエキシマレーザ
ビーム２の出射側のノズル用シート９に接触させ、その
後図３（ｃ）に示すように支持用シート１０をノズル用
シート９から引き剥す。これによってノズル２５に形成
された蓋１１が、支持用シート１０の粘着力によって、
ノズル用シート９から除去される。
用いて説明する。まず、ノズル用シート９を加工テーブ
ル８（図１）上に設置し、エキシマレーザビーム２を照
射してノズル加工を行う。すると、図３（ａ）のごとく
ノズル２５のエキシマレーザビーム２の出射側に蓋１１
が形成される。そして、図３（ｂ）に示すように、粘着
性を有する支持用シート１０の粘着面をエキシマレーザ
ビーム２の出射側のノズル用シート９に接触させ、その
後図３（ｃ）に示すように支持用シート１０をノズル用
シート９から引き剥す。これによってノズル２５に形成
された蓋１１が、支持用シート１０の粘着力によって、
ノズル用シート９から除去される。
【００２０】上述したように、第一、第二実施例では、
加工されなかったノズル２５の中心領域の蓋１１が、支
持用シート１０の粘着力によって、ノズル用シート９か
ら除去されるので、ノズル２５から噴射されたインク滴
は飛翔方向にばらつきを生じない。従って、このノズル
プレートを使用したインク噴射装置では、印字品質が良
好である。尚、インク噴射装置としては、圧電セラミッ
クスを用いた方式やバブルジェット方式等、特に限定す
るものではない。
加工されなかったノズル２５の中心領域の蓋１１が、支
持用シート１０の粘着力によって、ノズル用シート９か
ら除去されるので、ノズル２５から噴射されたインク滴
は飛翔方向にばらつきを生じない。従って、このノズル
プレートを使用したインク噴射装置では、印字品質が良
好である。尚、インク噴射装置としては、圧電セラミッ
クスを用いた方式やバブルジェット方式等、特に限定す
るものではない。
【００２１】尚、本発明は上述した実施例にのみ限定さ
れるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において
種久の変更を加えることが出来る。例えば、本実施例に
おいては、粘着性を有する支持用シート１０を用いた
が、粘着性を有するブロック状のものであってもよい。
れるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において
種久の変更を加えることが出来る。例えば、本実施例に
おいては、粘着性を有する支持用シート１０を用いた
が、粘着性を有するブロック状のものであってもよい。
【００２２】また、本実施例においては、支持用シート
１０が片面に粘着性を有していたが、両面に粘着性を有
していてもよい。この場合、加工テーブル８上に支持用
シートが接着されて、ノズル用シートが加工テーブル８
に対して固定され、ノズル加工中にノズル用シートが移
動することがない。更に、ノズル加工中にノズル用シー
トが移動しないようにするための設備が不必要である。
１０が片面に粘着性を有していたが、両面に粘着性を有
していてもよい。この場合、加工テーブル８上に支持用
シートが接着されて、ノズル用シートが加工テーブル８
に対して固定され、ノズル加工中にノズル用シートが移
動することがない。更に、ノズル加工中にノズル用シー
トが移動しないようにするための設備が不必要である。
【００２３】
【発明の効果】以上説明したことから明かなように、本
発明のノズルプレートの製造方法によれば、レーザビー
ムによって加工されずに残った部分が、前記粘着部材の
粘着力によって、除去されるので、ノズルの出射側に未
加工の部分が無くなり、インク滴の飛翔方向のばらつき
を生じさせない。従って、このように製造されたノズル
プレートを使用したインク噴射装置では、印字品質が良
好である。
発明のノズルプレートの製造方法によれば、レーザビー
ムによって加工されずに残った部分が、前記粘着部材の
粘着力によって、除去されるので、ノズルの出射側に未
加工の部分が無くなり、インク滴の飛翔方向のばらつき
を生じさせない。従って、このように製造されたノズル
プレートを使用したインク噴射装置では、印字品質が良
好である。
【図１】本発明の一実施例のノズルプレートのノズルを
加工する装置の概略構成図である。
加工する装置の概略構成図である。
【図２】本発明の第一実施例のノズルプレート製造方法
を示す説明図である。
を示す説明図である。
【図３】本発明の第二実施例のノズルプレート製造方法
を示す説明図である。
を示す説明図である。
【図４】従来のノズルプレート製造方法を示す説明図で
ある。
ある。
２ エキシマレーザビーム ９ ノズル用シート １０ 支持用シート １１ 蓋
Claims (3)
- 【請求項１】 インクが噴射されるノズルがレーザビー
ムによって設けられるノズルプレートの製造方法におい
て、 前記ノズルプレートとなるプレートの一面に、粘着性を
有する粘着部材を接着する工程と、 前記プレートの前記一面と反対側の他面から、レーザビ
ームを照射する工程と、 前記粘着部材を前記プレートの前記一面から剥す工程と
からなることを特徴とするノズルプレートの製造方法。 - 【請求項２】 インクが噴射されるノズルがレーザビー
ムによって設けられるノズルプレートの製造方法におい
て、 前記ノズルプレートとなるプレートの一面に、レーザビ
ームを照射する工程と、 前記プレートの前記一面と反対側の他面に、粘着性を有
する粘着部材を接着する工程と、 前記粘着部材を前記プレートの前記他面から剥す工程と
からなることを特徴とするノズルプレートの製造方法。 - 【請求項３】 前記レーザビームは、エキシマレーザビ
ームであることを特徴とする請求項１及び請求項２記載
のノズルプレートの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5331535A JP2914146B2 (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | ノズルプレートの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5331535A JP2914146B2 (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | ノズルプレートの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07186393A true JPH07186393A (ja) | 1995-07-25 |
| JP2914146B2 JP2914146B2 (ja) | 1999-06-28 |
Family
ID=18244750
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5331535A Expired - Lifetime JP2914146B2 (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | ノズルプレートの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2914146B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001315339A (ja) * | 2000-05-08 | 2001-11-13 | Konica Corp | インクジェットヘッドのノズルプレート組立方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007261251A (ja) | 2006-02-28 | 2007-10-11 | Ricoh Co Ltd | 液滴吐出ヘッド、画像形成装置、液滴吐出記録装置の製造方法、液滴吐出ヘッドの洗浄方法 |
-
1993
- 1993-12-27 JP JP5331535A patent/JP2914146B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001315339A (ja) * | 2000-05-08 | 2001-11-13 | Konica Corp | インクジェットヘッドのノズルプレート組立方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2914146B2 (ja) | 1999-06-28 |
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