JPH07187719A - 金属窒化物層を備えた透明基材とその製法 - Google Patents
金属窒化物層を備えた透明基材とその製法Info
- Publication number
- JPH07187719A JPH07187719A JP6269674A JP26967494A JPH07187719A JP H07187719 A JPH07187719 A JP H07187719A JP 6269674 A JP6269674 A JP 6269674A JP 26967494 A JP26967494 A JP 26967494A JP H07187719 A JPH07187719 A JP H07187719A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- metal
- substrate
- type
- nitride layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 76
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 45
- 239000002184 metal Substances 0.000 title claims abstract description 45
- 150000002825 nitriles Chemical class 0.000 title 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims abstract description 74
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 27
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 claims abstract description 20
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 claims abstract description 20
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 12
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims abstract description 12
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract description 12
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims abstract description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 190
- 238000000197 pyrolysis Methods 0.000 claims description 29
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 22
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 21
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 17
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 16
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 16
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 239000002243 precursor Substances 0.000 claims description 14
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 claims description 14
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 11
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims description 11
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 9
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 9
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 claims description 8
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 claims description 7
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 claims description 7
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 7
- 239000007790 solid phase Substances 0.000 claims description 6
- -1 titanium halide Chemical class 0.000 claims description 6
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 claims description 6
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 claims description 5
- 239000004408 titanium dioxide Substances 0.000 claims description 5
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 150000004703 alkoxides Chemical class 0.000 claims description 4
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 claims description 4
- 239000012686 silicon precursor Substances 0.000 claims description 4
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 claims description 3
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims description 3
- POILWHVDKZOXJZ-ARJAWSKDSA-M (z)-4-oxopent-2-en-2-olate Chemical compound C\C([O-])=C\C(C)=O POILWHVDKZOXJZ-ARJAWSKDSA-M 0.000 claims description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 claims description 2
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 claims description 2
- 150000004820 halides Chemical class 0.000 claims description 2
- WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N hydroxyacetaldehyde Natural products OCC=O WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims 1
- LMHHRCOWPQNFTF-UHFFFAOYSA-N s-propan-2-yl azepane-1-carbothioate Chemical compound CC(C)SC(=O)N1CCCCCC1 LMHHRCOWPQNFTF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 21
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 16
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 239000005329 float glass Substances 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 7
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 6
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 5
- 238000010583 slow cooling Methods 0.000 description 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 5
- 229910000906 Bronze Inorganic materials 0.000 description 4
- YBGZDTIWKVFICR-JLHYYAGUSA-N Octyl 4-methoxycinnamic acid Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)\C=C\C1=CC=C(OC)C=C1 YBGZDTIWKVFICR-JLHYYAGUSA-N 0.000 description 4
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 4
- 239000010974 bronze Substances 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N copper tin Chemical compound [Cu].[Sn] KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229960001679 octinoxate Drugs 0.000 description 4
- 238000005728 strengthening Methods 0.000 description 4
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 3
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 3
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- RYSXWUYLAWPLES-MTOQALJVSA-N (Z)-4-hydroxypent-3-en-2-one titanium Chemical compound [Ti].C\C(O)=C\C(C)=O.C\C(O)=C\C(C)=O.C\C(O)=C\C(C)=O.C\C(O)=C\C(C)=O RYSXWUYLAWPLES-MTOQALJVSA-N 0.000 description 2
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 239000003570 air Substances 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000013522 chelant Substances 0.000 description 2
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 2
- FFUAGWLWBBFQJT-UHFFFAOYSA-N hexamethyldisilazane Chemical compound C[Si](C)(C)N[Si](C)(C)C FFUAGWLWBBFQJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 2
- VXUYXOFXAQZZMF-UHFFFAOYSA-N titanium(IV) isopropoxide Chemical compound CC(C)O[Ti](OC(C)C)(OC(C)C)OC(C)C VXUYXOFXAQZZMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 2
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 2
- YOBOXHGSEJBUPB-MTOQALJVSA-N (z)-4-hydroxypent-3-en-2-one;zirconium Chemical compound [Zr].C\C(O)=C\C(C)=O.C\C(O)=C\C(C)=O.C\C(O)=C\C(C)=O.C\C(O)=C\C(C)=O YOBOXHGSEJBUPB-MTOQALJVSA-N 0.000 description 1
- DBGSRZSKGVSXRK-UHFFFAOYSA-N 1-[2-[5-[2-(2,3-dihydro-1H-inden-2-ylamino)pyrimidin-5-yl]-1,3,4-oxadiazol-2-yl]acetyl]-3,6-dihydro-2H-pyridine-4-carboxylic acid Chemical compound C1C(CC2=CC=CC=C12)NC1=NC=C(C=N1)C1=NN=C(O1)CC(=O)N1CCC(=CC1)C(=O)O DBGSRZSKGVSXRK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WZJUBBHODHNQPW-UHFFFAOYSA-N 2,4,6,8-tetramethyl-1,3,5,7,2$l^{3},4$l^{3},6$l^{3},8$l^{3}-tetraoxatetrasilocane Chemical compound C[Si]1O[Si](C)O[Si](C)O[Si](C)O1 WZJUBBHODHNQPW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XBIUWALDKXACEA-UHFFFAOYSA-N 3-[bis(2,4-dioxopentan-3-yl)alumanyl]pentane-2,4-dione Chemical compound CC(=O)C(C(C)=O)[Al](C(C(C)=O)C(C)=O)C(C(C)=O)C(C)=O XBIUWALDKXACEA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 1
- NIPNSKYNPDTRPC-UHFFFAOYSA-N N-[2-oxo-2-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)ethyl]-2-[[3-(trifluoromethoxy)phenyl]methylamino]pyrimidine-5-carboxamide Chemical compound O=C(CNC(=O)C=1C=NC(=NC=1)NCC1=CC(=CC=C1)OC(F)(F)F)N1CC2=C(CC1)NN=N2 NIPNSKYNPDTRPC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 101100289792 Squirrel monkey polyomavirus large T gene Proteins 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- SMZOGRDCAXLAAR-UHFFFAOYSA-N aluminium isopropoxide Chemical compound [Al+3].CC(C)[O-].CC(C)[O-].CC(C)[O-] SMZOGRDCAXLAAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JPUHCPXFQIXLMW-UHFFFAOYSA-N aluminium triethoxide Chemical compound CCO[Al](OCC)OCC JPUHCPXFQIXLMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012080 ambient air Substances 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000007705 chemical test Methods 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000001627 detrimental effect Effects 0.000 description 1
- WPCPXPTZTOMGRF-UHFFFAOYSA-K di(butanoyloxy)alumanyl butanoate Chemical compound [Al+3].CCCC([O-])=O.CCCC([O-])=O.CCCC([O-])=O WPCPXPTZTOMGRF-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- UCXUKTLCVSGCNR-UHFFFAOYSA-N diethylsilane Chemical compound CC[SiH2]CC UCXUKTLCVSGCNR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 230000004313 glare Effects 0.000 description 1
- 150000002334 glycols Chemical class 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- NEXSMEBSBIABKL-UHFFFAOYSA-N hexamethyldisilane Chemical compound C[Si](C)(C)[Si](C)(C)C NEXSMEBSBIABKL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UQEAIHBTYFGYIE-UHFFFAOYSA-N hexamethyldisiloxane Chemical compound C[Si](C)(C)O[Si](C)(C)C UQEAIHBTYFGYIE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 230000000670 limiting effect Effects 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000006386 neutralization reaction Methods 0.000 description 1
- 150000002829 nitrogen Chemical class 0.000 description 1
- HMMGMWAXVFQUOA-UHFFFAOYSA-N octamethylcyclotetrasiloxane Chemical compound C[Si]1(C)O[Si](C)(C)O[Si](C)(C)O[Si](C)(C)O1 HMMGMWAXVFQUOA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010992 reflux Methods 0.000 description 1
- 230000000284 resting effect Effects 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000005361 soda-lime glass Substances 0.000 description 1
- HUAUNKAZQWMVFY-UHFFFAOYSA-M sodium;oxocalcium;hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+].[Ca]=O HUAUNKAZQWMVFY-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000010532 solid phase synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 238000002798 spectrophotometry method Methods 0.000 description 1
- 238000005478 sputtering type Methods 0.000 description 1
- 230000000475 sunscreen effect Effects 0.000 description 1
- 239000000516 sunscreening agent Substances 0.000 description 1
- 238000010301 surface-oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005496 tempering Methods 0.000 description 1
- CZDYPVPMEAXLPK-UHFFFAOYSA-N tetramethylsilane Chemical compound C[Si](C)(C)C CZDYPVPMEAXLPK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XJDNKRIXUMDJCW-UHFFFAOYSA-J titanium tetrachloride Chemical compound Cl[Ti](Cl)(Cl)Cl XJDNKRIXUMDJCW-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 description 1
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/3411—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials
- C03C17/3429—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating
- C03C17/3435—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating comprising a nitride, oxynitride, boronitride or carbonitride
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/3411—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials
- C03C17/3429—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating
- C03C17/3441—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating comprising carbon, a carbide or oxycarbide
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10S428/913—Material designed to be responsive to temperature, light, moisture
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
- Y10T428/24942—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including components having same physical characteristic in differing degree
- Y10T428/2495—Thickness [relative or absolute]
- Y10T428/24967—Absolute thicknesses specified
- Y10T428/24975—No layer or component greater than 5 mils thick
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 吸収と反射により日射を部分的にフィルター
にかけることができる金属窒化物層を備え、この金属窒
化物層が酸化に対して最適に保護された透明基材と、そ
の製法を提供する。 【構成】 この透明基材は、その上に日射をフィルター
にかけるための金属窒化物層（３）が載っており、この
金属窒化物層（３）を特に高温での酸化に対して保護す
るため、この層（３）の上に熱分解された金属酸化物層
（４）を配置してなり、その金属の酸化物生成標準自由
エンタルピーΔＧ°の値は所定の温度における当該窒化
物層（３）の金属のそれに等しいかあるいはそれより小
さい。
にかけることができる金属窒化物層を備え、この金属窒
化物層が酸化に対して最適に保護された透明基材と、そ
の製法を提供する。 【構成】 この透明基材は、その上に日射をフィルター
にかけるための金属窒化物層（３）が載っており、この
金属窒化物層（３）を特に高温での酸化に対して保護す
るため、この層（３）の上に熱分解された金属酸化物層
（４）を配置してなり、その金属の酸化物生成標準自由
エンタルピーΔＧ°の値は所定の温度における当該窒化
物層（３）の金属のそれに等しいかあるいはそれより小
さい。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、特に日射に対する保護
特性を有する窓ガラス（glazing)を製造するのを目的と
した、金属窒化物層を備えた透明基材、特にガラスの透
明基材に関する。
特性を有する窓ガラス（glazing)を製造するのを目的と
した、金属窒化物層を備えた透明基材、特にガラスの透
明基材に関する。
【０００２】例えば、このような層を備えた窓ガラス
は、金属窒化物の層、例えば窒化チタンの層が吸収と反
射により日射を部分的にフィルターにかけることができ
るため、日射に由来する熱を減少させるのを可能にす
る。
は、金属窒化物の層、例えば窒化チタンの層が吸収と反
射により日射を部分的にフィルターにかけることができ
るため、日射に由来する熱を減少させるのを可能にす
る。
【０００３】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】基材上
に金属窒化物の層を付着させる方法にはいろいろなもの
がある。特に、例えば磁場によって支援される陰極スパ
ッタリングタイプの真空を利用する方法がある。しかし
ながら、これらの方法は有効ではあるものの、それらは
必要とする装置に関して費用がかさみ、そしてフロート
ガラスの帯に対して連続的に運転することができない。
に金属窒化物の層を付着させる方法にはいろいろなもの
がある。特に、例えば磁場によって支援される陰極スパ
ッタリングタイプの真空を利用する方法がある。しかし
ながら、これらの方法は有効ではあるものの、それらは
必要とする装置に関して費用がかさみ、そしてフロート
ガラスの帯に対して連続的に運転することができない。
【０００４】お互いどうし接触すると基材上で分解して
金属窒化物の膜を残す窒素前駆物質と金属前駆物質とを
高温にした基材上へ噴射することからなる、いわゆる熱
分解法もある。これらの方法は実施するのがより簡単で
あり、そして特に、フロートガラス帯に対して連続的に
使用することができる。
金属窒化物の膜を残す窒素前駆物質と金属前駆物質とを
高温にした基材上へ噴射することからなる、いわゆる熱
分解法もある。これらの方法は実施するのがより簡単で
あり、そして特に、フロートガラス帯に対して連続的に
使用することができる。
【０００５】例えば、ヨーロッパ特許第128169号明細書
には、四塩化チタンのようなチタン前駆物質とアンモニ
アの形をした窒素前駆物質から、化学気相成長又はＣＶ
Ｄとしても知られている気相熱分解によって、窒化チタ
ンＴｉＮの層を堆積させる方法が開示されている。しか
しながら、単一の窒化物層を付着させることは基材に日
光遮蔽特性を付与するとは言え、それは色の選択に関し
て柔軟性をもたらすことはほとんどない。更に、保護さ
れていない窒化物層は製造ラインで又はその後で、例え
ば曲げ加工、強化あるいは徐冷といったような基材に対
する熱処理を行う間に、酸化することがある。こうし
て、部分的に酸化した窒化物層は、その特性と目に見え
る外観に有意の悪変を被る。
には、四塩化チタンのようなチタン前駆物質とアンモニ
アの形をした窒素前駆物質から、化学気相成長又はＣＶ
Ｄとしても知られている気相熱分解によって、窒化チタ
ンＴｉＮの層を堆積させる方法が開示されている。しか
しながら、単一の窒化物層を付着させることは基材に日
光遮蔽特性を付与するとは言え、それは色の選択に関し
て柔軟性をもたらすことはほとんどない。更に、保護さ
れていない窒化物層は製造ラインで又はその後で、例え
ば曲げ加工、強化あるいは徐冷といったような基材に対
する熱処理を行う間に、酸化することがある。こうし
て、部分的に酸化した窒化物層は、その特性と目に見え
る外観に有意の悪変を被る。
【０００６】ヨーロッパ特許第239280号明細書が窒化物
層の上にそれを保護するための、スズ、ケイ素又はアル
ミニウムの酸化物で構成される別の層を付着させている
のは、このためである。ところが、このようにして窒化
物層が手に入れる耐酸化性の程度は、保護層の固有の性
質、特に酸化物を形成する金属の選定にも、またその厚
さにも密接に依存しており、これらの特性はまた支持基
材の光学的な外観、特に反射の外観に影響を及ぼす。
層の上にそれを保護するための、スズ、ケイ素又はアル
ミニウムの酸化物で構成される別の層を付着させている
のは、このためである。ところが、このようにして窒化
物層が手に入れる耐酸化性の程度は、保護層の固有の性
質、特に酸化物を形成する金属の選定にも、またその厚
さにも密接に依存しており、これらの特性はまた支持基
材の光学的な外観、特に反射の外観に影響を及ぼす。
【０００７】従って、本発明の目的は、透明な基材上に
付着した金属窒化物層の保護、特に酸化に対する保護を
最適にすることであり、この最適化が光学的な外観にと
って有害でないものにすることである。
付着した金属窒化物層の保護、特に酸化に対する保護を
最適にすることであり、この最適化が光学的な外観にと
って有害でないものにすることである。
【０００８】
【課題を解決するための手段及び作用効果】それゆえ
に、本発明は、日射をフィルターにかけるための金属窒
化物層が上に載っていて、この窒化物層自体の上に、金
属酸化物層であってその主たる金属の酸化物生成標準自
由エンタルピーΔＧ°が所定の温度、特におよそ600 ℃
で当該金属窒化物層の金属のそれに等しいかあるいはそ
れより小さいものが載っている、透明な基材、特にガラ
スの基材に関する。この酸化物層は、支持基材に対して
実施される例えば徐冷、曲げ又は強化といったような熱
処理を行う際における酸化現象、特に高温でのそれか
ら、上記の窒化物層を保護する。
に、本発明は、日射をフィルターにかけるための金属窒
化物層が上に載っていて、この窒化物層自体の上に、金
属酸化物層であってその主たる金属の酸化物生成標準自
由エンタルピーΔＧ°が所定の温度、特におよそ600 ℃
で当該金属窒化物層の金属のそれに等しいかあるいはそ
れより小さいものが載っている、透明な基材、特にガラ
スの基材に関する。この酸化物層は、支持基材に対して
実施される例えば徐冷、曲げ又は強化といったような熱
処理を行う際における酸化現象、特に高温でのそれか
ら、上記の窒化物層を保護する。
【０００９】このように、驚くべきことに、酸化物保護
層の付着を行うための熱分解法の選定とその酸化物の金
属を窒化物のそれに関連するものとして選ぶ（それらの
それぞれのΔＧ°の値を比較して）こととの組み合わせ
によって、窒化物層はその特性が光学的にもエネルギー
の観点からも損なわれるであろう酸化から効果的に保護
されるのである。
層の付着を行うための熱分解法の選定とその酸化物の金
属を窒化物のそれに関連するものとして選ぶ（それらの
それぞれのΔＧ°の値を比較して）こととの組み合わせ
によって、窒化物層はその特性が光学的にもエネルギー
の観点からも損なわれるであろう酸化から効果的に保護
されるのである。
【００１０】本発明の発明者らは、保護層が上に載って
いても窒化物層が高温で酸化を被ることの理由をまとめ
ることを試みた。たくさんの理由が存在している。それ
らの一つは、恐らく、保護層の固有の特性、特にその密
度又は多孔度に原因がある。例えば、多孔性の層は外部
の雰囲気からその厚みを通して下にある窒化物層まで酸
素が拡散するのを容易にしよう。保護層の厚みを増すこ
とである一定の多孔度を補償しようとすれば、支持基材
の目に見える外観、特に反射の外観を有意に悪くする危
険があろう。
いても窒化物層が高温で酸化を被ることの理由をまとめ
ることを試みた。たくさんの理由が存在している。それ
らの一つは、恐らく、保護層の固有の特性、特にその密
度又は多孔度に原因がある。例えば、多孔性の層は外部
の雰囲気からその厚みを通して下にある窒化物層まで酸
素が拡散するのを容易にしよう。保護層の厚みを増すこ
とである一定の多孔度を補償しようとすれば、支持基材
の目に見える外観、特に反射の外観を有意に悪くする危
険があろう。
【００１１】本発明により熱分解で、すなわち高温（一
般には500 〜650 又は700 ℃）で行われる方法で、保護
用酸化物層を付着させることは、保護用酸化物層が高密
度を有し且つ下にある層への優れた付着力も有すること
を保証する。このようにして、そのような非多孔性の層
を通しての酸素の拡散は、たとえこの層が比較的薄くて
も、大幅に少なくなる。
般には500 〜650 又は700 ℃）で行われる方法で、保護
用酸化物層を付着させることは、保護用酸化物層が高密
度を有し且つ下にある層への優れた付着力も有すること
を保証する。このようにして、そのような非多孔性の層
を通しての酸素の拡散は、たとえこの層が比較的薄くて
も、大幅に少なくなる。
【００１２】窒化物層が酸化するもう一つの理由は、保
護層自体によるものである。それを形成している酸化物
は、高温では、それらの二つの層の界面で窒化物と化学
的に反応する傾向が著しくなることがあり、そしてこれ
は、この界面の近傍において、酸化物の酸素が化学量論
量未満の酸化物への、そして窒化物の部分的に酸化され
た窒化物ＴｉＮx Ｏy への変態を引き起こす。
護層自体によるものである。それを形成している酸化物
は、高温では、それらの二つの層の界面で窒化物と化学
的に反応する傾向が著しくなることがあり、そしてこれ
は、この界面の近傍において、酸化物の酸素が化学量論
量未満の酸化物への、そして窒化物の部分的に酸化され
た窒化物ＴｉＮx Ｏy への変態を引き起こす。
【００１３】しかしながら、高温で、特に約600 ℃で、
窒化物の金属のΔＧ°の値に等しいかまたはそれより小
さいΔＧ°の値を持つように酸化物の金属を選ぶことに
よって、その酸化物は窒化物に比べて化学的不活性（ch
emical inertia）を高められ、そして窒化物の酸化の速
度が落ちる。従って、本発明による解決策は機能的な窒
化物層の美観と一体性とを兼ね備える。
窒化物の金属のΔＧ°の値に等しいかまたはそれより小
さいΔＧ°の値を持つように酸化物の金属を選ぶことに
よって、その酸化物は窒化物に比べて化学的不活性（ch
emical inertia）を高められ、そして窒化物の酸化の速
度が落ちる。従って、本発明による解決策は機能的な窒
化物層の美観と一体性とを兼ね備える。
【００１４】ＴｉＮ層は一方では日射に対して効果的な
保護をもたらすことと、他方でそれらは、特に気相熱分
解により、容易に堆積させることができることを理解し
て、好ましくは、窒化物層の金属は主としてチタンであ
る。フロートガラスの帯に連続方式で適用することがで
きるこの方法は、より詳しく言えば、例えば1993年８月
12日出願のフランス国特許出願第93-09916号（これは平
成６年８月12日出願の特願平6-190428号に対応する）明
細書の教示に従って、ハロゲン化チタンとアンモニア及
び／又はアミンのような窒素誘導体とを前駆物質として
使用する。
保護をもたらすことと、他方でそれらは、特に気相熱分
解により、容易に堆積させることができることを理解し
て、好ましくは、窒化物層の金属は主としてチタンであ
る。フロートガラスの帯に連続方式で適用することがで
きるこの方法は、より詳しく言えば、例えば1993年８月
12日出願のフランス国特許出願第93-09916号（これは平
成６年８月12日出願の特願平6-190428号に対応する）明
細書の教示に従って、ハロゲン化チタンとアンモニア及
び／又はアミンのような窒素誘導体とを前駆物質として
使用する。
【００１５】上記の窒化物層が、特にガラス製の、支持
基材のエネルギー透過を、その透明性を過度に失わせず
に十分に減らすためには、その幾何学的な厚さは、好ま
しくは最大で80nm、特に4 〜80nm、殊に10〜60nm、例え
ば15〜35nmの間である。
基材のエネルギー透過を、その透明性を過度に失わせず
に十分に減らすためには、その幾何学的な厚さは、好ま
しくは最大で80nm、特に4 〜80nm、殊に10〜60nm、例え
ば15〜35nmの間である。
【００１６】好ましくは、本発明によれば、金属酸化物
層の金属は主としてチタンである。それはＴｉＯ2 でよ
い（しかし、下記に示す理由からアルミナ又はジルコニ
アを使用することも可能であろう）。
層の金属は主としてチタンである。それはＴｉＯ2 でよ
い（しかし、下記に示す理由からアルミナ又はジルコニ
アを使用することも可能であろう）。
【００１７】その幾何学的な厚さは、有利には10〜120
nm、好ましくは90nm未満、特に10〜30nmであり、これは
いずれの酸化からも、また更にいずれの化学的又は機械
的な作用からも、窒化物層を保護するのに十分なもので
ある。
nm、好ましくは90nm未満、特に10〜30nmであり、これは
いずれの酸化からも、また更にいずれの化学的又は機械
的な作用からも、窒化物層を保護するのに十分なもので
ある。
【００１８】本発明の好ましい態様は基材／ＴｉＮ／Ｔ
ｉＯ2 積重体を提供することからなる、ということに注
目すべきである。このように、窒化物層と保護層を形成
するために同一の金属を選ぶことによって、これらの二
つの層の相容性が、特に相互の接着力に関して、優れた
ものになる。更に、最小割合の酸素が酸化物層から窒化
物層へ移ってその表面の酸化を引き起こしたとしても、
これは酸化物層のＴｉＯ2 を消失させて次に窒化物層の
表面で直ちに再生成させるに過ぎないであろう。この反
応は量的に取るに足りず、検出不能であり、そして一般
に化学収支はゼロである。
ｉＯ2 積重体を提供することからなる、ということに注
目すべきである。このように、窒化物層と保護層を形成
するために同一の金属を選ぶことによって、これらの二
つの層の相容性が、特に相互の接着力に関して、優れた
ものになる。更に、最小割合の酸素が酸化物層から窒化
物層へ移ってその表面の酸化を引き起こしたとしても、
これは酸化物層のＴｉＯ2 を消失させて次に窒化物層の
表面で直ちに再生成させるに過ぎないであろう。この反
応は量的に取るに足りず、検出不能であり、そして一般
に化学収支はゼロである。
【００１９】とは言うものの、窒化物層としてＴｉＮ層
を使用することにより、チタンの酸化ΔＧ°の値は 600
℃でおよそ−190kcal/mol(O2) であることを理解すれ
ば、先に言及したように、酸化物層の金属を、ΔＧ°の
値がこの温度で精々−190kcal/mol(O2) であるジルコニ
ウム及びアルミニウムのうちから都合よく選ぶこともで
きる。例えば、ジルコニウムの 600℃でのΔＧ°の値は
およそ−221kcal/mol(O2) であり、アルミニウムのそれ
はジルコニウムのそれに非常に近い。
を使用することにより、チタンの酸化ΔＧ°の値は 600
℃でおよそ−190kcal/mol(O2) であることを理解すれ
ば、先に言及したように、酸化物層の金属を、ΔＧ°の
値がこの温度で精々−190kcal/mol(O2) であるジルコニ
ウム及びアルミニウムのうちから都合よく選ぶこともで
きる。例えば、ジルコニウムの 600℃でのΔＧ°の値は
およそ−221kcal/mol(O2) であり、アルミニウムのそれ
はジルコニウムのそれに非常に近い。
【００２０】このように、二酸化チタンを選ぶことの利
益の一つは、上記のような層を既知の熱分解法で堆積さ
せることが容易なことである。例えば、ヨーロッパ特許
第75,516号明細書に記載されたように、チタンアセチル
アセトネート、テトラアルキルチタネートあるいはＴｉ
（ＯＣＨ3)4 のような粉末形態の前駆物質を用いる固相
熱分解法を利用することが可能である。また、有機溶剤
に溶解したあるいはそれで希釈した前駆物質をもちいる
液相熱分解法を利用することも可能であり、この前駆物
質はチタンアセチルアセトネート及び／又はチタンイソ
プロピラート、あるいはチタンテトラオクチレングリコ
ールのようなアルコキシドでよく、いずれもフランス国
特許第 2664259号明細書から知られているものである。
その上に、ＴｉＣｌ4 タイプのハロゲン化物と、Ｈ
2 Ｏ、ＣＯ2 、空気又はエタノールタイプのアルコール
といったような酸素源からの気相熱分解がある。二酸化
ジルコニウムＺｒＯ2 層を、熱分解により、特に粉末の
前駆物質としてジルコニウムアセチルアセトネートを用
いる固相法を使って、あるいはまた液相法もしくは気相
法によって、堆積させることも可能である。同じように
して、特にアルコキシド又はβ−ジケトン官能性を有す
る前駆物質、例えばアルミニウムトリイソプロピラー
ト、アルミニウムトリ−ｎ−ブチラート、アルミニウム
トリ−tert−ブチラート、アルミニウムトリエチラート
又はアルミニウムアセチルアセトネートといったような
ものを使って液相又は固相熱分解により、あるいは気相
法を使用して、アルミナを堆積させることができる。
益の一つは、上記のような層を既知の熱分解法で堆積さ
せることが容易なことである。例えば、ヨーロッパ特許
第75,516号明細書に記載されたように、チタンアセチル
アセトネート、テトラアルキルチタネートあるいはＴｉ
（ＯＣＨ3)4 のような粉末形態の前駆物質を用いる固相
熱分解法を利用することが可能である。また、有機溶剤
に溶解したあるいはそれで希釈した前駆物質をもちいる
液相熱分解法を利用することも可能であり、この前駆物
質はチタンアセチルアセトネート及び／又はチタンイソ
プロピラート、あるいはチタンテトラオクチレングリコ
ールのようなアルコキシドでよく、いずれもフランス国
特許第 2664259号明細書から知られているものである。
その上に、ＴｉＣｌ4 タイプのハロゲン化物と、Ｈ
2 Ｏ、ＣＯ2 、空気又はエタノールタイプのアルコール
といったような酸素源からの気相熱分解がある。二酸化
ジルコニウムＺｒＯ2 層を、熱分解により、特に粉末の
前駆物質としてジルコニウムアセチルアセトネートを用
いる固相法を使って、あるいはまた液相法もしくは気相
法によって、堆積させることも可能である。同じように
して、特にアルコキシド又はβ−ジケトン官能性を有す
る前駆物質、例えばアルミニウムトリイソプロピラー
ト、アルミニウムトリ−ｎ−ブチラート、アルミニウム
トリ−tert−ブチラート、アルミニウムトリエチラート
又はアルミニウムアセチルアセトネートといったような
ものを使って液相又は固相熱分解により、あるいは気相
法を使用して、アルミナを堆積させることができる。
【００２１】本発明による積重体に第三の層を設けるこ
とも都合よく可能であり、それは基材と窒化物層との間
に配置され、そして誘電体材料を基礎材料とする。その
屈折率は好ましくは1.4 〜２であり、特に1.6 〜1.9 で
ある。その幾何学的な厚さは好ましくは100 nm未満であ
り、特におよそ40〜90nmである。この第三の層のための
好ましい誘電体材料はＳｉＯ2 及び／又はＳｉＯx Ｃy
に基づくものであり、既に知られているやり方でもっ
て、例えばケイ素前駆物質の気相熱分解により、堆積さ
せることができる。
とも都合よく可能であり、それは基材と窒化物層との間
に配置され、そして誘電体材料を基礎材料とする。その
屈折率は好ましくは1.4 〜２であり、特に1.6 〜1.9 で
ある。その幾何学的な厚さは好ましくは100 nm未満であ
り、特におよそ40〜90nmである。この第三の層のための
好ましい誘電体材料はＳｉＯ2 及び／又はＳｉＯx Ｃy
に基づくものであり、既に知られているやり方でもっ
て、例えばケイ素前駆物質の気相熱分解により、堆積さ
せることができる。
【００２２】本発明の発明者らは、基材と窒化物層との
間にこの中間層が存在していることは窒化物層の酸化に
対する耐性を有意に強化することができる、ということ
を発見した。これについて提案されている説明は、窒化
物層を施された基材が受ける熱処理が、十分に長い場合
及び／又は十分に高い温度に達する場合には、酸素イオ
ンがガラス製の支持基材から窒化物層の方へ移動するの
に好都合であって、従ってそれは、酸化物の上層で保護
されていても、酸化する傾向があるのであろうというこ
とである。基材と窒化物層との間に配置された誘電体材
料層は、この拡散を効果的に妨げて、窒化物が酸化する
のを防ぐのであろう。
間にこの中間層が存在していることは窒化物層の酸化に
対する耐性を有意に強化することができる、ということ
を発見した。これについて提案されている説明は、窒化
物層を施された基材が受ける熱処理が、十分に長い場合
及び／又は十分に高い温度に達する場合には、酸素イオ
ンがガラス製の支持基材から窒化物層の方へ移動するの
に好都合であって、従ってそれは、酸化物の上層で保護
されていても、酸化する傾向があるのであろうというこ
とである。基材と窒化物層との間に配置された誘電体材
料層は、この拡散を効果的に妨げて、窒化物が酸化する
のを防ぐのであろう。
【００２３】後の熱処理の際の酸素に関するこのバリヤ
ー機能を果たすのに最も適当な材料は、ＳｉＯx Ｃy 又
はＳｉＯ2 を基礎材料とする誘電体である。とは言え、
このような層は、特に窒化物層の堆積を熱分解で、殊に
フロートガラスの帯に対して行う場合には、窒化物層の
実際の堆積の際にバリヤーとして有効に働くこともでき
る。この中間層はまた、光学的な機能を果たすこともで
き、特に、保護用の酸化物の上層と一緒になって、基材
の反射の見かけを調節することを可能にする。
ー機能を果たすのに最も適当な材料は、ＳｉＯx Ｃy 又
はＳｉＯ2 を基礎材料とする誘電体である。とは言え、
このような層は、特に窒化物層の堆積を熱分解で、殊に
フロートガラスの帯に対して行う場合には、窒化物層の
実際の堆積の際にバリヤーとして有効に働くこともでき
る。この中間層はまた、光学的な機能を果たすこともで
き、特に、保護用の酸化物の上層と一緒になって、基材
の反射の見かけを調節することを可能にする。
【００２４】例えば、基材について考えられる熱処理が
どんなものであれ、窒化物層を酸化に対してより信頼で
きるように保護するためには、先に説明したように化学
的に不活性な緻密な酸化物の上層を持つだけでなく、基
材に関してバリヤーとして働く下層も有することがより
一層優れている。全ては、上記の下層はオプションのま
まに、考えられる熱処理の性質と、窒化物層のために得
ることが望まれる酸化に対する耐性の程度に依存する。
どんなものであれ、窒化物層を酸化に対してより信頼で
きるように保護するためには、先に説明したように化学
的に不活性な緻密な酸化物の上層を持つだけでなく、基
材に関してバリヤーとして働く下層も有することがより
一層優れている。全ては、上記の下層はオプションのま
まに、考えられる熱処理の性質と、窒化物層のために得
ることが望まれる酸化に対する耐性の程度に依存する。
【００２５】金属酸化物の保護層の上に、屈折率が２未
満、特に1.6 〜1.9 である、いわゆる反射防止層を配置
することも可能である。それは、有利にはＳｉＯ2 又は
ＳｉＯx Ｃy を基礎材料とする。本質的に光学的な機能
を持つとすれば、この層は好ましくは200 nm未満、特に
20〜150 nm、好ましくは40〜70nmの幾何学的厚さを有す
る。従って、屈折率が小さいこの層は、支持基材の光の
反射率の値を有利に低下させ、そして、特に下層の金属
酸化物層の屈折率が比較的大きく、例えば二酸化チタン
の場合のように2.2 を超える場合に、有効である。それ
は特に気相熱分解により堆積させることができる。
満、特に1.6 〜1.9 である、いわゆる反射防止層を配置
することも可能である。それは、有利にはＳｉＯ2 又は
ＳｉＯx Ｃy を基礎材料とする。本質的に光学的な機能
を持つとすれば、この層は好ましくは200 nm未満、特に
20〜150 nm、好ましくは40〜70nmの幾何学的厚さを有す
る。従って、屈折率が小さいこの層は、支持基材の光の
反射率の値を有利に低下させ、そして、特に下層の金属
酸化物層の屈折率が比較的大きく、例えば二酸化チタン
の場合のように2.2 を超える場合に、有効である。それ
は特に気相熱分解により堆積させることができる。
【００２６】従って、本発明の好ましい態様は、窒化物
層の上にＴｉＯ2 に基づく第一の層を堆積させ、そして
次にＳｉＯx Ｃy に基づく第二の層を堆積させることか
らなり、有利にはこれらの後者の二つの層の厚さの合計
はおよそ40〜80nm、特に50〜75nmであり、好ましくはＴ
ｉＯ2 は10nmである。これは、曲げやすさ／強化しやす
さと美観の要求条件を融和させるのを可能にする。例え
ば、窒化物の酸化に対する保護を最適にするためにはＴ
ｉＯ2 保護層の厚さは少なくとも10nmで十分である一
方、適切な厚さと屈折率を有するＳｉＯ2 層の選択は、
二酸化チタンのような高屈折率の酸化物を使用すること
による積重体の反射の明るい見かけを程度はともあれ
「消す」ことを可能にする。
層の上にＴｉＯ2 に基づく第一の層を堆積させ、そして
次にＳｉＯx Ｃy に基づく第二の層を堆積させることか
らなり、有利にはこれらの後者の二つの層の厚さの合計
はおよそ40〜80nm、特に50〜75nmであり、好ましくはＴ
ｉＯ2 は10nmである。これは、曲げやすさ／強化しやす
さと美観の要求条件を融和させるのを可能にする。例え
ば、窒化物の酸化に対する保護を最適にするためにはＴ
ｉＯ2 保護層の厚さは少なくとも10nmで十分である一
方、適切な厚さと屈折率を有するＳｉＯ2 層の選択は、
二酸化チタンのような高屈折率の酸化物を使用すること
による積重体の反射の明るい見かけを程度はともあれ
「消す」ことを可能にする。
【００２７】製造法に関しては、一番簡単なのは全部の
層の堆積を熱分解で行うことである。この場合、フロー
ト設備のガラス帯に対して連続する堆積を連続式に行う
ことが可能である。例えば、任意的なバリヤー下層と窒
化物層をフロート浴の囲いの中で気相熱分解により堆積
させることができ、そしてＴｉＯ2 タイプの酸化物の上
層をフロート浴の囲いの中での気相熱分解によるか、あ
るいはフロートガラスの囲いと徐冷がまの間での固相又
は液相熱分解で堆積させることができる。最後に、Ｓｉ
Ｏx Ｃy タイプの第二の上層を、特に徐冷がまでの、気
相熱分解により堆積させることができる。
層の堆積を熱分解で行うことである。この場合、フロー
ト設備のガラス帯に対して連続する堆積を連続式に行う
ことが可能である。例えば、任意的なバリヤー下層と窒
化物層をフロート浴の囲いの中で気相熱分解により堆積
させることができ、そしてＴｉＯ2 タイプの酸化物の上
層をフロート浴の囲いの中での気相熱分解によるか、あ
るいはフロートガラスの囲いと徐冷がまの間での固相又
は液相熱分解で堆積させることができる。最後に、Ｓｉ
Ｏx Ｃy タイプの第二の上層を、特に徐冷がまでの、気
相熱分解により堆積させることができる。
【００２８】透明基材は、熱分解での堆積により課され
る温度に耐えるために、好ましくはガラスの基材であ
る。通常の透明なソーダ−石灰−シリカガラス、特にPl
aniluxの商品名でサン−ゴバン・ビトラージュにより市
販されているもの、から作られた基材を使用することが
好ましい。しかしながら、固有の熱的性質を既に有し、
それらを取り入れる窓ガラスのエネルギー透過率を、例
えば着色剤といったような特定の化合物を添加すること
で、低下させることができるガラス基材を選んでもよ
い。Parsolの商品名でサン−ゴバン・ビトラージュによ
り市販されている、種々の熱的性質と色を有する一連の
着色ガラス基材を挙げることができる。また、国際特許
出願公開WO-93/O7095 号パンフレット（特表平6-503300
号公報に対応）及び1992年12月23日付けのサン−ゴバン
・ビトラージュ・アンテルナショナル名義のフランス国
特許出願第92/15537号（特願平6-514881号に対応）明細
書に記載されたガラスを挙げることもできる。一定の機
能性を既に有するガラス基材を使用することは、このよ
うに一方では基材のそして他方では薄い層の積重体の美
観と熱的な効果の両方を相乗的に組み合わせるのが可能
なため、非常に有利である。
る温度に耐えるために、好ましくはガラスの基材であ
る。通常の透明なソーダ−石灰−シリカガラス、特にPl
aniluxの商品名でサン−ゴバン・ビトラージュにより市
販されているもの、から作られた基材を使用することが
好ましい。しかしながら、固有の熱的性質を既に有し、
それらを取り入れる窓ガラスのエネルギー透過率を、例
えば着色剤といったような特定の化合物を添加すること
で、低下させることができるガラス基材を選んでもよ
い。Parsolの商品名でサン−ゴバン・ビトラージュによ
り市販されている、種々の熱的性質と色を有する一連の
着色ガラス基材を挙げることができる。また、国際特許
出願公開WO-93/O7095 号パンフレット（特表平6-503300
号公報に対応）及び1992年12月23日付けのサン−ゴバン
・ビトラージュ・アンテルナショナル名義のフランス国
特許出願第92/15537号（特願平6-514881号に対応）明細
書に記載されたガラスを挙げることもできる。一定の機
能性を既に有するガラス基材を使用することは、このよ
うに一方では基材のそして他方では薄い層の積重体の美
観と熱的な効果の両方を相乗的に組み合わせるのが可能
なため、非常に有利である。
【００２９】本発明による被覆された基材は、日射防護
窓ガラス（solar protection glazing）、特に一体式
の、多重式の、又は二重式の窓ガラス、より詳しく言え
ば建物で使用するためのものに、有利に取り入れられ
る。この場合には、本発明による基材は二重窓ガラス
に、好ましくは薄い層の積重体がその窓ガラスが取り付
けられると面２に位置するようにして配置される。（多
重窓ガラスの面は標準的に、それらが使用される部屋に
関して一番外の面から始まる番号がつけられる。）この
ように、間に入れられたガス層の断熱効果と薄い層の積
重体で覆われた基材の熱線に関するフィルター効果が組
み合わされる。
窓ガラス（solar protection glazing）、特に一体式
の、多重式の、又は二重式の窓ガラス、より詳しく言え
ば建物で使用するためのものに、有利に取り入れられ
る。この場合には、本発明による基材は二重窓ガラス
に、好ましくは薄い層の積重体がその窓ガラスが取り付
けられると面２に位置するようにして配置される。（多
重窓ガラスの面は標準的に、それらが使用される部屋に
関して一番外の面から始まる番号がつけられる。）この
ように、間に入れられたガス層の断熱効果と薄い層の積
重体で覆われた基材の熱線に関するフィルター効果が組
み合わされる。
【００３０】こうして形成された二重窓ガラスは、65％
に等しいかあるいはそれより低い光透過率ＴL と、１を
超え、特に1.2 と1.4 の間、例えばおよそ1.3 の、エネ
ルギー透過率に対する光透過率の比ＴL ／ＴE を有する
ことができる。従って、性能の観点から、これらの窓ガ
ラスは、それらを建物で使用するのに特に適したものに
する透明性のレベルを維持しながら、良好な「日射フィ
ルター」を形成する。比較的大きなＴL ／ＴE 比は、そ
れらが選択的であることを証明している。これらの窓ガ
ラスはまた、0.5 未満であることができる日射ファクタ
ー（solar factor）を持つことができ、これはそれらの
非常に重要な「抗日射（anti-solar）」効果を証明して
いる。（窓ガラスの日射ファクターは、窓ガラスを通っ
て室内に入る全エネルギーと入射太陽エネルギーとの比
であることが指摘される。）
に等しいかあるいはそれより低い光透過率ＴL と、１を
超え、特に1.2 と1.4 の間、例えばおよそ1.3 の、エネ
ルギー透過率に対する光透過率の比ＴL ／ＴE を有する
ことができる。従って、性能の観点から、これらの窓ガ
ラスは、それらを建物で使用するのに特に適したものに
する透明性のレベルを維持しながら、良好な「日射フィ
ルター」を形成する。比較的大きなＴL ／ＴE 比は、そ
れらが選択的であることを証明している。これらの窓ガ
ラスはまた、0.5 未満であることができる日射ファクタ
ー（solar factor）を持つことができ、これはそれらの
非常に重要な「抗日射（anti-solar）」効果を証明して
いる。（窓ガラスの日射ファクターは、窓ガラスを通っ
て室内に入る全エネルギーと入射太陽エネルギーとの比
であることが指摘される。）
【００３１】
【実施例】本発明の有利な詳細と特徴は、三つの層２、
３、４で覆われた基材１の断面図を示す添付の図１を参
照して行う、以下の非限定の実施態様の説明から理解す
ることができる。（異なる材料の厚さの割合は、図面を
分かりやすくするため無視されている。）
３、４で覆われた基材１の断面図を示す添付の図１を参
照して行う、以下の非限定の実施態様の説明から理解す
ることができる。（異なる材料の厚さの割合は、図面を
分かりやすくするため無視されている。）
【００３２】例１〜４ 例１〜３は、Planiluxタイプの透明ソーダ−石灰−シリ
カガラスの厚さ６mmの基材１の上に、ＳｉＯx Ｃy 層
２、窒化チタンＴｉＮ層３、そして二酸化チタンＴｉＯ
2 層４を連続して含む薄層の積重体を堆積させることに
関連している。例４は、例１〜３と同様であるが、Ｓｉ
Ｏx Ｃy 層２を持たない例である。
カガラスの厚さ６mmの基材１の上に、ＳｉＯx Ｃy 層
２、窒化チタンＴｉＮ層３、そして二酸化チタンＴｉＯ
2 層４を連続して含む薄層の積重体を堆積させることに
関連している。例４は、例１〜３と同様であるが、Ｓｉ
Ｏx Ｃy 層２を持たない例である。
【００３３】次に説明するようにして堆積を行った。Ｓ
ｉＯx Ｃy 層２の堆積は、これが存在する場合には、ヨ
ーロッパ特許出願公開第518755号明細書の教示に従って
既に知られているやり方でＳｉＨ4 を気相熱分解させて
行った。ＴｉＮ層３の堆積は、ヨーロッパ特許第128169
号明細書に従ってＴｉＣｌ4 とアンモニアの気相熱分解
によるか、あるいは1993年８月12日に出願のフランス国
特許出願第93/09916号（特願平6-190428号に対応）明細
書に従いＴｉＣｌ4 とアミンの気相熱分解により行っ
た。ＴｉＯ2 層４の堆積は、チタンキレート（アセチル
アセトネートとチタンイソプロピラート）とチタンアル
コキシド（チタンテトラオクチレングリコール）との混
合物の酢酸エチル中での液相熱分解により行った。キレ
ート濃度とアルコキシド濃度のチタンの重量で表した比
は２：２であるようにした。これらの前駆物質と割合は
フランス国特許第 2664259号明細書から知られているも
のである。
ｉＯx Ｃy 層２の堆積は、これが存在する場合には、ヨ
ーロッパ特許出願公開第518755号明細書の教示に従って
既に知られているやり方でＳｉＨ4 を気相熱分解させて
行った。ＴｉＮ層３の堆積は、ヨーロッパ特許第128169
号明細書に従ってＴｉＣｌ4 とアンモニアの気相熱分解
によるか、あるいは1993年８月12日に出願のフランス国
特許出願第93/09916号（特願平6-190428号に対応）明細
書に従いＴｉＣｌ4 とアミンの気相熱分解により行っ
た。ＴｉＯ2 層４の堆積は、チタンキレート（アセチル
アセトネートとチタンイソプロピラート）とチタンアル
コキシド（チタンテトラオクチレングリコール）との混
合物の酢酸エチル中での液相熱分解により行った。キレ
ート濃度とアルコキシド濃度のチタンの重量で表した比
は２：２であるようにした。これらの前駆物質と割合は
フランス国特許第 2664259号明細書から知られているも
のである。
【００３４】表１は、これらの四つの例のそれぞれにつ
いて層２〜４のナノメートルで表した厚さの値ｅを示し
ており、そしてＳｉＯx Ｃy 層２の場合にはその屈折率
が記載されている。
いて層２〜４のナノメートルで表した厚さの値ｅを示し
ており、そしてＳｉＯx Ｃy 層２の場合にはその屈折率
が記載されている。
【００３５】 表 １ 例 １ 例 ２ 例 ３ 例 ４ 層２ 厚さｅ 50 50 45 − 屈折率 1.9 1.9 1.7 層３ 厚さｅ 23 30 23 23 層４ 厚さｅ 30 30 85 85
【００３６】例１〜３については、次に掲げる表２が次
の分光光度測定値、すなわち百分率として表した光透過
率ＴL とエネルギー透過率ＴE 、選択率と呼ばれる無次
元のＴL ／ＴE 比、百分率として表した外部光反射率Ｒ
L 、を示している。これらの値は、三つの層で覆われた
基材を、もう一つの同じ基材であって被覆のないものと
12mmの厚さのガス空間を介して集成したものから構成さ
れている二重窓ガラスにより得られたものであり、上記
の層は面２上にある。これらの値は、光源Ｄ65に関する
ものとして示されている。
の分光光度測定値、すなわち百分率として表した光透過
率ＴL とエネルギー透過率ＴE 、選択率と呼ばれる無次
元のＴL ／ＴE 比、百分率として表した外部光反射率Ｒ
L 、を示している。これらの値は、三つの層で覆われた
基材を、もう一つの同じ基材であって被覆のないものと
12mmの厚さのガス空間を介して集成したものから構成さ
れている二重窓ガラスにより得られたものであり、上記
の層は面２上にある。これらの値は、光源Ｄ65に関する
ものとして示されている。
【００３７】 表 ２ 例 １ 例 ２ 例 ３ ＴL 63 60 46 ＴE 47 43 41 ＴL ／ＴE 1.3 1.4 1.1 ＲL 13 13 28
【００３８】更に、二重窓ガラスを形成するため集成す
る前に、これらの三つの例による被覆された基材を、強
化あるいは曲げ加工をシミュレーションする500 ℃より
高い温度での熱処理にかけた。このタイプの処理は基材
の外観を視覚的に検出できるように変更しなかった。ま
た、ＴｉＮ層は変化しないでそのままであり、日射に関
してその反射／吸収特性を保持していた。
る前に、これらの三つの例による被覆された基材を、強
化あるいは曲げ加工をシミュレーションする500 ℃より
高い温度での熱処理にかけた。このタイプの処理は基材
の外観を視覚的に検出できるように変更しなかった。ま
た、ＴｉＮ層は変化しないでそのままであり、日射に関
してその反射／吸収特性を保持していた。
【００３９】集成の前に、例４による基材を、これを覆
う薄い層の積重体の機械的及び化学的な耐久性の評価を
可能にする２種類の試験にかけた。いわゆるテーバー
（Taber)試験は、層の耐磨耗性を評価するのを可能にす
る機械的な試験である。それは、研磨剤粉末をエラスト
マーに埋め込んだものから作られた研削砥石（wheels）
を利用して行われる。この機械は、米国のTaber Instru
ment Corporation製のもので、モデル 174の「標準磨耗
試験機（Standard Abrasion Tester、商標）」である。
タイプ CS10Fの砥石に 500グラムを負荷した。層は2000
回転させた。ＨＣｌ試験として知られる化学的試験は、
被覆した基材を濃度１モル／リットルのＨＣｌ水溶液に
浸漬し、そして100 ℃で１時間還流させることからなる
ものである。
う薄い層の積重体の機械的及び化学的な耐久性の評価を
可能にする２種類の試験にかけた。いわゆるテーバー
（Taber)試験は、層の耐磨耗性を評価するのを可能にす
る機械的な試験である。それは、研磨剤粉末をエラスト
マーに埋め込んだものから作られた研削砥石（wheels）
を利用して行われる。この機械は、米国のTaber Instru
ment Corporation製のもので、モデル 174の「標準磨耗
試験機（Standard Abrasion Tester、商標）」である。
タイプ CS10Fの砥石に 500グラムを負荷した。層は2000
回転させた。ＨＣｌ試験として知られる化学的試験は、
被覆した基材を濃度１モル／リットルのＨＣｌ水溶液に
浸漬し、そして100 ℃で１時間還流させることからなる
ものである。
【００４０】両方の試験においては、層の劣化の程度の
評価を、一方では試験の終わりに得られた光透過率の値
ＴL と初めにおけるものとの差（ＴL −ＴL0）によって
行い、そして他方では試験の終わりに得られた拡散光の
フラクション値と初めにおけるものとの差（ＨL −
ＨL0）により行う。これらの値を次に掲げる表に百分率
として示す。
評価を、一方では試験の終わりに得られた光透過率の値
ＴL と初めにおけるものとの差（ＴL −ＴL0）によって
行い、そして他方では試験の終わりに得られた拡散光の
フラクション値と初めにおけるものとの差（ＨL −
ＨL0）により行う。これらの値を次に掲げる表に百分率
として示す。
【００４１】表 ３ 例 ４ ＴL −ＴL0 ＨL −ＨL0 テーバー試験 8 % ＜2.5 % ＨＣｌ試験 2 % 0.75 %
【００４２】上記の全てのデータから次の結論を引き出
すことができる。二酸化チタンの上層４は、たとえその
厚さが比較的限られたものであっても、下にある窒化物
層３を保護するのに大変効果的である。600 ℃における
ΔＧ°の値が窒化物の金属のそれと等しい金属の酸化物
を作るのを選ぶこと（ここでは同じ金属、すなわちチタ
ンを問題としているから）は、二つの利点を兼ね備え
る。酸化物は窒化物に比べて化学的慣性が大きく、酸化
物からの酸素により窒素が酸化する危険をかなり減少さ
せる。その上、たとえ非常に限られた割合の酸素がＴｉ
Ｎ層の表面酸化を引き起こすとしても、両方の層につい
て同じ金属が選ばれるということは、その酸化を検出で
きず且つ不利とならないものにし、ＴｉＮは二つの層の
界面で事により酸化されてＴｉＯ2 層と一致するＴｉＯ
2 になる。
すことができる。二酸化チタンの上層４は、たとえその
厚さが比較的限られたものであっても、下にある窒化物
層３を保護するのに大変効果的である。600 ℃における
ΔＧ°の値が窒化物の金属のそれと等しい金属の酸化物
を作るのを選ぶこと（ここでは同じ金属、すなわちチタ
ンを問題としているから）は、二つの利点を兼ね備え
る。酸化物は窒化物に比べて化学的慣性が大きく、酸化
物からの酸素により窒素が酸化する危険をかなり減少さ
せる。その上、たとえ非常に限られた割合の酸素がＴｉ
Ｎ層の表面酸化を引き起こすとしても、両方の層につい
て同じ金属が選ばれるということは、その酸化を検出で
きず且つ不利とならないものにし、ＴｉＮは二つの層の
界面で事により酸化されてＴｉＯ2 層と一致するＴｉＯ
2 になる。
【００４３】更に、機械的及び化学的な耐久性試験で得
られた良好な結果は、上層４の密度が高く且つ下にある
窒化物層３に対するその接着力が強いことを証明してお
り、この密度と接着力は使用した堆積法、すなわち高温
熱分解の結果として得られたものである。このように、
緻密で非多孔性の酸化物の上層は、外部雰囲気からの酸
素が窒化物層３に到達してこれを酸化するために酸化物
の上層を通って拡散するのを防止する。
られた良好な結果は、上層４の密度が高く且つ下にある
窒化物層３に対するその接着力が強いことを証明してお
り、この密度と接着力は使用した堆積法、すなわち高温
熱分解の結果として得られたものである。このように、
緻密で非多孔性の酸化物の上層は、外部雰囲気からの酸
素が窒化物層３に到達してこれを酸化するために酸化物
の上層を通って拡散するのを防止する。
【００４４】最適な処理は、酸化物の上層４を窒化物層
３の堆積の後に、後者が覆われる前に表面で酸化する時
間がないように、堆積させることであり、これは、窒化
物層を、フロート浴の囲いから出ると周囲空気と接触す
る非常に高温のフロートガラスの帯の上に熱分解で堆積
させる場合にますます注目されるものである。
３の堆積の後に、後者が覆われる前に表面で酸化する時
間がないように、堆積させることであり、これは、窒化
物層を、フロート浴の囲いから出ると周囲空気と接触す
る非常に高温のフロートガラスの帯の上に熱分解で堆積
させる場合にますます注目されるものである。
【００４５】例１と例２から、窒化物層３の厚さの選択
はＴL の値を変更し、従って窓ガラスの透明性の程度を
変えるのを可能にするが、ＴL ：ＴE 比はおよそ1.3 〜
1.4でほぼ一定のままであることが分かる。これは、た
とえ所望されるＴL の値がどんなであれ、本発明による
層の積重体は選択的な窓ガラス、すなわち比較的高いＴ
L ：ＴE 比を有する窓ガラスを得るのを可能にすること
を意味している。
はＴL の値を変更し、従って窓ガラスの透明性の程度を
変えるのを可能にするが、ＴL ：ＴE 比はおよそ1.3 〜
1.4でほぼ一定のままであることが分かる。これは、た
とえ所望されるＴL の値がどんなであれ、本発明による
層の積重体は選択的な窓ガラス、すなわち比較的高いＴ
L ：ＴE 比を有する窓ガラスを得るのを可能にすること
を意味している。
【００４６】例１と例３の比較から推論される最後の点
は、機能性窒化物層３の両側で下層２と上層４を組み合
わせて使用することは窓ガラスの光学的な見かけを調整
することを可能にするということである。例えば、例１
によれば、窓ガラスは15％未満のＲL 値を有し、従って
明るくない、わずかに反射性の見かけを有し、これは美
観の観点から現在極めて尊重されていることである。と
は言うものの、例３によれば、もっと有意に厚い酸化物
の上層４を使用してもっとＲL 値が大きい窓ガラスを選
ぶことも可能である。下層２が存在していることはま
た、酸素イオンが基材１から窒化物層３へ移動するのを
妨げるが、これはそうでなければ、特に考えられる曲げ
又は強化型の熱処理が窒化物の酸化に特に適した条件で
行われる場合に、起こりかねないであろうことである。
は、機能性窒化物層３の両側で下層２と上層４を組み合
わせて使用することは窓ガラスの光学的な見かけを調整
することを可能にするということである。例えば、例１
によれば、窓ガラスは15％未満のＲL 値を有し、従って
明るくない、わずかに反射性の見かけを有し、これは美
観の観点から現在極めて尊重されていることである。と
は言うものの、例３によれば、もっと有意に厚い酸化物
の上層４を使用してもっとＲL 値が大きい窓ガラスを選
ぶことも可能である。下層２が存在していることはま
た、酸素イオンが基材１から窒化物層３へ移動するのを
妨げるが、これはそうでなければ、特に考えられる曲げ
又は強化型の熱処理が窒化物の酸化に特に適した条件で
行われる場合に、起こりかねないであろうことである。
【００４７】例５〜８ これらの例は、例１〜３の場合と同じ特性を有するが、
ＳｉＯx Ｃy の下層２をなくして、ＴｉＯ2 層４の上に
載っている同じようにＳｉＯＣに基づく、図面には示さ
れていない上層を付け加えた、少し異なる積重体で覆わ
れる透明なガラス基材への堆積に関連している。従っ
て、この場合には、積重体はガラス／ＴｉＮ／ＴｉＯ2
／ＳｉＯx Ｃy 型のものである。
ＳｉＯx Ｃy の下層２をなくして、ＴｉＯ2 層４の上に
載っている同じようにＳｉＯＣに基づく、図面には示さ
れていない上層を付け加えた、少し異なる積重体で覆わ
れる透明なガラス基材への堆積に関連している。従っ
て、この場合には、積重体はガラス／ＴｉＮ／ＴｉＯ2
／ＳｉＯx Ｃy 型のものである。
【００４８】ＴｉＮ層とＴｉＯ2 層は先に述べたように
製造される。ＳｉＯx Ｃy の上層は、Ｏ2 、Ｏ3 、水蒸
気又はＮ2 Ｏの如き酸化性ガスと組み合わせて、ヨーロ
ッパ特許出願公開第518755号明細書から知られているよ
うにＳｉＨ4 とエチレンから気相熱分解により得られる
か、あるいは、有機のケイ素前駆物質（例えばテトラエ
チルオルトシリケート、ジエチルシラン、ヘキサメチル
ジシラン、ヘキサメチルジシロキサン、オクタメチルシ
クロテトラシロキサン、テトラメチルシクロテトラシロ
キサン、ヘキサメチルジシラザン、あるいはテトラメチ
ルシランといったようなもの）から得られる。ＳｉＨ4
よりも有機のケイ素前駆物質を使用することの利益は、
特に、その分解温度が一般にＳｉＨ4 より少し高く、す
なわちテトラエチルオルトシリケートＴＥＯＳについて
はほぼ480 ℃であることである。従って、フロートライ
ンで堆積させる場合に、その時にフロートガラスの帯が
適当な温度にある徐冷がまで第二の上層を堆積させるこ
とが可能である。
製造される。ＳｉＯx Ｃy の上層は、Ｏ2 、Ｏ3 、水蒸
気又はＮ2 Ｏの如き酸化性ガスと組み合わせて、ヨーロ
ッパ特許出願公開第518755号明細書から知られているよ
うにＳｉＨ4 とエチレンから気相熱分解により得られる
か、あるいは、有機のケイ素前駆物質（例えばテトラエ
チルオルトシリケート、ジエチルシラン、ヘキサメチル
ジシラン、ヘキサメチルジシロキサン、オクタメチルシ
クロテトラシロキサン、テトラメチルシクロテトラシロ
キサン、ヘキサメチルジシラザン、あるいはテトラメチ
ルシランといったようなもの）から得られる。ＳｉＨ4
よりも有機のケイ素前駆物質を使用することの利益は、
特に、その分解温度が一般にＳｉＨ4 より少し高く、す
なわちテトラエチルオルトシリケートＴＥＯＳについて
はほぼ480 ℃であることである。従って、フロートライ
ンで堆積させる場合に、その時にフロートガラスの帯が
適当な温度にある徐冷がまで第二の上層を堆積させるこ
とが可能である。
【００４９】この層の堆積条件は、その屈折率がおよそ
1.7 になるように既知のやり方でもって調節される。次
に掲げる表４は、例５〜８のおのおのについて、存在す
る層のそれぞれの厚さｅの値をナノメートルで示すもの
である。
1.7 になるように既知のやり方でもって調節される。次
に掲げる表４は、例５〜８のおのおのについて、存在す
る層のそれぞれの厚さｅの値をナノメートルで示すもの
である。
【００５０】 表 ４ ｅ〔ＴｉＮ (3)〕 ｅ〔ＴｉＯ2(4)〕 ｅ〔ＳｉＯx Ｃy 上層〕 例５ １５ １０ ６０ 例６ １５ １５ ５５ 例７ １５ ２０ ５０ 例８ １５ ３０ ４０
【００５１】これらの基材に、曲げ又は強化をシミュレ
ーションする500 ℃での熱処理を施した。やはり、視覚
的なあるいは熱的な観点から有意の変化は認められなか
った。これは、厚さがわずか10nm（例５）のＴｉＯ2 の
上層が、殊にその高密度に起因する有効な「遮蔽（シー
ルド）」効果のため、窒化物を酸化に対して最適に保護
するのに十分であることができるということを確認する
ものである。
ーションする500 ℃での熱処理を施した。やはり、視覚
的なあるいは熱的な観点から有意の変化は認められなか
った。これは、厚さがわずか10nm（例５）のＴｉＯ2 の
上層が、殊にその高密度に起因する有効な「遮蔽（シー
ルド）」効果のため、窒化物を酸化に対して最適に保護
するのに十分であることができるということを確認する
ものである。
【００５２】次に、これらの基材を例１〜３の場合と同
じ条件で二重窓ガラスに取り付けた。表５は、これらの
四つの二重ガラスについて、測光値ＴL 、ＴE 、ＴL ／
ＴE比、ＲL （これらは先に示したものと同じ意味を有
する）を示している。この表には、透過光の無次元の日
射ファクターＦＳ、主波長ηｄ(t) 、及び色純度Ｐe(t)
も挙げられている。この表はまた、外部反射光の主波
長ηｄ(R) 、及び色純度Ｐe (R) も示している。
じ条件で二重窓ガラスに取り付けた。表５は、これらの
四つの二重ガラスについて、測光値ＴL 、ＴE 、ＴL ／
ＴE比、ＲL （これらは先に示したものと同じ意味を有
する）を示している。この表には、透過光の無次元の日
射ファクターＦＳ、主波長ηｄ(t) 、及び色純度Ｐe(t)
も挙げられている。この表はまた、外部反射光の主波
長ηｄ(R) 、及び色純度Ｐe (R) も示している。
【００５３】 表 ５ 例 ５ 例 ６ 例 ７ 例 ８ ＦＳ 0.46 − 0.45 − ＴE 37 37 38 36 ＴL 52 51 50 49 ＴL ／ＴE 1.40 1.38 1.32 1.38 ηｄ(t) 499 498 498 507 Ｐe (t) 1.7 1.7 1.6 1.0 ＲL 24 26 27 32 ηｄ(R) 497 498 498 504 Ｐe (R) 3.5 3.3 3.2 2.4
【００５４】このように、これらの全ての二重窓ガラス
は、0.5 未満の日射ファクターと1.30より大きい選択率
を有する。従って、それらは、透明性を過度に犠牲とせ
ずに太陽からの熱線に対して良好に保護する。透過光で
は、色は青−緑の範囲にあるが、純度が２未満のままで
あるため非常に弱められた形態になっている、というこ
とにも注目すべきである。
は、0.5 未満の日射ファクターと1.30より大きい選択率
を有する。従って、それらは、透明性を過度に犠牲とせ
ずに太陽からの熱線に対して良好に保護する。透過光で
は、色は青−緑の範囲にあるが、純度が２未満のままで
あるため非常に弱められた形態になっている、というこ
とにも注目すべきである。
【００５５】同じように、外部反射光では、窓ガラスは
青の着色を有し、それは美的であって且つ、その純度が
４未満にとどまっているため、やはり非常に弱くされて
いる。このように、これらの全ての例において、ＴｉＯ
2 の上層と第二のＳｉＯＣの上層の厚さの合計の値を、
およそ70nmの一定値に保つことが可能であった。ＴｉＯ
2 層の厚さがＳｉＯＣ層のそれに比べて厚くなればなる
ほど、ＲL の値が大きくなることが分かる。このよう
に、高い密度と大きな接着力を得ることを可能にする条
件下で堆積させる場合には、10nmのＴｉＯ2 が下にある
窒化物を保護するのに十分であることができることを知
れば、これらの二つの層の厚さを変えることによって外
側から見える窓ガラスの反射の外観を大なり小なり調節
することが可能である。
青の着色を有し、それは美的であって且つ、その純度が
４未満にとどまっているため、やはり非常に弱くされて
いる。このように、これらの全ての例において、ＴｉＯ
2 の上層と第二のＳｉＯＣの上層の厚さの合計の値を、
およそ70nmの一定値に保つことが可能であった。ＴｉＯ
2 層の厚さがＳｉＯＣ層のそれに比べて厚くなればなる
ほど、ＲL の値が大きくなることが分かる。このよう
に、高い密度と大きな接着力を得ることを可能にする条
件下で堆積させる場合には、10nmのＴｉＯ2 が下にある
窒化物を保護するのに十分であることができることを知
れば、これらの二つの層の厚さを変えることによって外
側から見える窓ガラスの反射の外観を大なり小なり調節
することが可能である。
【００５６】例９〜１８ これらの例は、それら自体のエネルギー透過率が低下し
ているガラス基材上に例５〜８におけるようにして得ら
れた三つの層ＴｉＮ／ＴｉＯ2 ／ＳｉＯx Ｃyの積重体
の堆積に関するものである。最初の三つは、サン−ゴバ
ン・ビトラージュによりParsolブロンズ、Parsolグレー
及びParsolグリーンの商品名で市販されているものであ
る。四番目のものは、国際特許出願公開WO-93/07095 号
パンフレット（特表平6-503300号公報に対応）に記載さ
れているものと同様の、青（ブルー）に着色したガラス
である。表６は、厚さ６mmのこれらの四つの一体式ガラ
スの特性を先の例で使用したPlanilux透明ガラスと比較
して示している。
ているガラス基材上に例５〜８におけるようにして得ら
れた三つの層ＴｉＮ／ＴｉＯ2 ／ＳｉＯx Ｃyの積重体
の堆積に関するものである。最初の三つは、サン−ゴバ
ン・ビトラージュによりParsolブロンズ、Parsolグレー
及びParsolグリーンの商品名で市販されているものであ
る。四番目のものは、国際特許出願公開WO-93/07095 号
パンフレット（特表平6-503300号公報に対応）に記載さ
れているものと同様の、青（ブルー）に着色したガラス
である。表６は、厚さ６mmのこれらの四つの一体式ガラ
スの特性を先の例で使用したPlanilux透明ガラスと比較
して示している。
【００５７】 表 ６ ブランクガラス 透 明 ブロンズ グレー グリーン ブルー ＦＳ 0.86 0.61 0.58 0.60 0.56 ＴE 83 50 45 48 42 ＴL 90 49 41 72 76 ＴL ／ＴE 1.08 0.99 0.92 1.49 1.81 ηｄ(t) 509 584 473 494 491 Ｐe (t) 0.1 9 2 5 7 ＲL 8 5 5 7 7 ηｄ(R) 509 584 473 494 490 Ｐe (R) 0.1 3 1 3 5
【００５８】これらの５種類の基材のそれぞれの上に２
種類の積重体ＡとＢを堆積させた。積重体Ａは15nmのＴ
ｉＮ層、次に10nmのＴｉＯ2 層、そして次に60nmのＳｉ
ＯＣ層を堆積させたもの、積重体Ｂは５nmのＴｉＮ層、
次に10nmのＴｉＯ2 層、そして次に60nmのＳｉＯＣ層を
堆積させたものであった。
種類の積重体ＡとＢを堆積させた。積重体Ａは15nmのＴ
ｉＮ層、次に10nmのＴｉＯ2 層、そして次に60nmのＳｉ
ＯＣ層を堆積させたもの、積重体Ｂは５nmのＴｉＮ層、
次に10nmのＴｉＯ2 層、そして次に60nmのＳｉＯＣ層を
堆積させたものであった。
【００５９】積重体Ａで被覆した基材に関する分光測定
の結果を、各例の番号の下に使用したガラスの種類を指
示して表７に示す。
の結果を、各例の番号の下に使用したガラスの種類を指
示して表７に示す。
【００６０】 表 ７ 例 ９ 例10 例 11 例12 例 13 透 明 ブロンズ グレー グリーン ブルー ＦＳ 0.55 0.43 0.42 0.44 0.92 ＴE 45 27 24 28 49 ＴL 58 32 27 46 25 ＴL ／ＴE 1.29 1.19 1.12 1.69 1.93 ηｄ(t) 498 582 481 494 491 Ｐe (t) 1 8 3 6 8 ＲL 21 9 8 15.1 16.4 ηｄ(R) 497 577 486 494 491 Ｐe (R) 3 8 3 9 12
【００６１】積重体Ｂで被覆した、一体式窓ガラスの基
材に関する分光測定の結果を、上記と同じ方式で表８に
示す。
材に関する分光測定の結果を、上記と同じ方式で表８に
示す。
【００６２】 表 ８ 例 14 例15 例 16 例17 例 18 透 明 ブロンズ グレー グリーン ブルー ＦＳ 0.69 0.51 0.49 0.51 0.48 ＴE 61 37 33 36 61 ＴL 72 40 33 58 33 ＴL ／ＴE 1.17 1.08 1.01 1.59 1.87 ηｄ(t) 500 583 478 494 491 Ｐe (t) 1 8 2 5 8 ＲL 16 8 7 12 13 ηｄ(R) 501 577 489 495 492 Ｐe (R) 3 7 2 8 11
【００６３】この最後の一連の例からいくつものポイン
トを引き出すことが可能である。第一に、本発明による
薄い層の積重体の透過光の着色が中性であることは、ガ
ラス基材がその最初の透過光の色を保持するのを可能に
することに注目すべきである。とは言うものの、反射光
では、これらの薄い層の積重体は、美的であることを証
明できる最初の色との組み合わせの効果を得ながら、ブ
ランクのガラス基材の外観をわずかに変更することがで
きる。
トを引き出すことが可能である。第一に、本発明による
薄い層の積重体の透過光の着色が中性であることは、ガ
ラス基材がその最初の透過光の色を保持するのを可能に
することに注目すべきである。とは言うものの、反射光
では、これらの薄い層の積重体は、美的であることを証
明できる最初の色との組み合わせの効果を得ながら、ブ
ランクのガラス基材の外観をわずかに変更することがで
きる。
【００６４】一方では実際の基材によるそして他方では
薄い層による日射をフィルターにかける効果が、特に都
合のよいように組み合わされることにも注目すべきであ
る。例えば、光の透過率とエネルギーの透過率との新し
い「折衷」を得ることが可能であり、従って、基材のガ
ラスの種類と窒化物層の厚さの両方を変える可能性を持
ちながらいわゆる日射調節窓ガラス（solar control gl
azings）の範囲を多様化させることによって、窓ガラス
の性能特性を必要に応じてよりうまく調節することが可
能である。表７と表８の比較からは、同一の基材につい
て、ＴｉＮの厚さがＴL を、それゆえに必要とする透明
性のレベルを、必要に応じるように、そして特に、基材
が一体式の窓ガラスとして用いられるのかそれとも二重
窓ガラスタイプの多重窓ガラスの一部を形成するのかを
考慮に入れるように、「調節する」のを可能にすること
が示される。
薄い層による日射をフィルターにかける効果が、特に都
合のよいように組み合わされることにも注目すべきであ
る。例えば、光の透過率とエネルギーの透過率との新し
い「折衷」を得ることが可能であり、従って、基材のガ
ラスの種類と窒化物層の厚さの両方を変える可能性を持
ちながらいわゆる日射調節窓ガラス（solar control gl
azings）の範囲を多様化させることによって、窓ガラス
の性能特性を必要に応じてよりうまく調節することが可
能である。表７と表８の比較からは、同一の基材につい
て、ＴｉＮの厚さがＴL を、それゆえに必要とする透明
性のレベルを、必要に応じるように、そして特に、基材
が一体式の窓ガラスとして用いられるのかそれとも二重
窓ガラスタイプの多重窓ガラスの一部を形成するのかを
考慮に入れるように、「調節する」のを可能にすること
が示される。
【００６５】従って、結論として、積重体の層の数と厚
さを所定の範囲内で変え、また基材の種類を変えること
で、窓ガラスの抗日射性能特性も視覚的外観も耐酸化性
も変更することが可能であり、これは窓ガラスを市場の
要求に適応させるの可能にする。
さを所定の範囲内で変え、また基材の種類を変えること
で、窓ガラスの抗日射性能特性も視覚的外観も耐酸化性
も変更することが可能であり、これは窓ガラスを市場の
要求に適応させるの可能にする。
【００６６】このような積重体をフロートラインで製造
する際に問題は生じず、初めの酸化物又は酸炭化物層２
と窒化物層３の二つの堆積は、例えば、フロート浴の囲
いの下流部分で気相熱分解により行われ、そしてＴｉＯ
2 の酸化物の上層４の堆積は、フロートガラスの囲いと
徐冷がまとの間での液相又は固相熱分解により、あるい
はガラス帯がフロート浴の囲いを出てゆく直前での気相
熱分解により行われ、また第二の上層のそれは徐冷がま
での気相熱分解により行われる。
する際に問題は生じず、初めの酸化物又は酸炭化物層２
と窒化物層３の二つの堆積は、例えば、フロート浴の囲
いの下流部分で気相熱分解により行われ、そしてＴｉＯ
2 の酸化物の上層４の堆積は、フロートガラスの囲いと
徐冷がまとの間での液相又は固相熱分解により、あるい
はガラス帯がフロート浴の囲いを出てゆく直前での気相
熱分解により行われ、また第二の上層のそれは徐冷がま
での気相熱分解により行われる。
【００６７】このように、本発明による積重体は、機能
性金属窒化物層を最適に保護すると同時に、工業的に実
施可能なものである。それをフィルター用基材と組み合
わせることによって、窓ガラスとそれらの性能特性を最
適化し且つ多様化することが可能である。
性金属窒化物層を最適に保護すると同時に、工業的に実
施可能なものである。それをフィルター用基材と組み合
わせることによって、窓ガラスとそれらの性能特性を最
適化し且つ多様化することが可能である。
【図１】金属窒化物層を備えた本発明の透明基材を説明
する図である。
する図である。
１…基材 ２…下層 ３…金属窒化物層 ４…上層
Claims (21)
- 【請求項１】 日射をフィルターにかけるための金属窒
化物層（３）を上に載せた透明基材（１）であって、当
該金属窒化物層を特に高温での酸化に対して保護するた
め、この層（３）の上に熱分解された金属酸化物層
（４）を配置してなり、その金属の酸化物生成標準自由
エンタルピーΔＧ°の値が所定の温度における当該窒化
物層（３）の金属のそれに等しいかあるいはそれより小
さいことを特徴とする透明基材。 - 【請求項２】 前記金属窒化物層（３）の金属が主とし
てチタンであることを特徴とする、請求項１記載の基
材。 - 【請求項３】 前記金属窒化物層（３）の幾何学的厚さ
が５〜80nm、好ましくは10〜60nm、特に15〜35nmである
ことを特徴とする、請求項１又は２記載の基材。 - 【請求項４】 前記保護用金属酸化物層（４）の金属が
主としてチタンであり、特にこの層がＴｉＯ2 層である
ことを特徴とする、請求項１から３までのいずれ一つに
記載の基材。 - 【請求項５】 前記保護用金属酸化物層（４）の金属が
ジルコニウム又はアルミニウムであることを特徴とす
る、請求項１から３までのいずれ一つに記載の基材。 - 【請求項６】 前記保護用金属酸化物層（４）の幾何学
的厚さが10〜120 nm、好ましくは90nm未満、特に10〜30
nmであることを特徴とする、請求項１から５までのいず
れか一つに記載の基材。 - 【請求項７】 当該基材（１）と前記金属窒化物層
（３）との間に位置する誘電体材料層（２）を備えてな
ることをことを特徴とする、請求項１から６までのいず
れか一つに記載の基材。 - 【請求項８】 前記誘電体材料層（２）の屈折率が1.5
〜２、好ましくは1.6 〜1.9 であり、幾何学的厚さが10
0 nm未満、特におよそ40〜90nmであることを特徴とす
る、請求項７記載の基材。 - 【請求項９】 前記誘電体材料層（２）がＳｉＯ2 及び
／又はＳｉＯx Ｃyに基づくものであることを特徴とす
る、請求項７又は８記載の基材。 - 【請求項１０】 前記金属酸化物層（４）の上に、屈折
率が２未満、特に1.6 〜1.9 の反射防止層が配置されて
いることを特徴とする、請求項１から９までのいずれか
一つに記載の基材。 - 【請求項１１】 屈折率が２未満の前記反射防止層が酸
化物に基づく、特にＳｉＯ2 又はＳｉＯx Ｃy に基づく
ものであることを特徴とする、請求項１０記載の基材。 - 【請求項１２】 屈折率が２未満の前記反射防止層の幾
何学的厚さが200 nm未満、特に20〜150 nm、好ましくは
40〜70nmであることを特徴とする、請求項１０又は１１
記載の基材。 - 【請求項１３】 ＴｉＮタイプの前記金属窒化物層
（３）の上にＴｉＯ2 タイプの保護用金属酸化物層
（４）が配置されていて、それ自体の上にＳｉＯＣタイ
プの反射防止層が載っていることをことを特徴とする、
請求項１０から１２までのいずれか一つに記載の基材。 - 【請求項１４】 前記ＴｉＯ2 タイプの保護層（４）と
前記ＳｉＯＣタイプの反射防止層の幾何学的厚さの合計
がおよそ40〜80nm、特に50〜75nmであり、そのうちの好
ましくは少なくとも10nmはＴｉＯ2 タイプの保護層であ
ることを特徴とする、請求項１３記載の基材。 - 【請求項１５】 当該透明基材（１）がソーダ−石灰−
シリカガラスタイプの透明ガラス基材、又はエネルギー
透過率を低下させた、特に着色されている、ガラス基材
であることを特徴とする、請求項１から１４までのいず
れか一つに記載の基材。 - 【請求項１６】 請求項１から１５までのいずれか一つ
に記載の被覆された基材を取り入れてなる日射防護窓ガ
ラス（solar protection glazing）であって、その光透
過率ＴL が65％に等しいかあるいはそれ未満であり、且
つ、光透過率ＴL とエネルギー透過率ＴE との比ＴL ／
ＴE が１より大きく、特に1.2 〜1.4、例えばほぼ1.3
であることを特徴とする日射防護窓ガラス。 - 【請求項１７】 最高で0.5 の日射ファクター（solar
factor）を有することを特徴とする、請求項１６記載の
日射防護窓ガラス。 - 【請求項１８】 前記金属酸化物層（４）を固相、液相
又は気相熱分解法によって、特に二酸化チタンの場合に
はアセチルアセトネート及び／又はイソプロピラート及
び／又はアルコキシドタイプの前駆物質の、例としてチ
タンテトラオクチレングリコールのようなものの固相熱
分解により、あるいはＴｉＣｌ4 タイプのハロゲン化物
と酸素源、例えば、Ｈ2 Ｏ、空気、ＣＯ2 もしくは、エ
タノールの如きアルコール、といったようなものとを主
原料とする気相熱分解により、堆積させることを特徴と
する、請求項１から１５までのいずれか一つに記載の層
を備えてなる基材を得るための方法。 - 【請求項１９】 前記金属窒化物層（３）を熱分解法に
よって、特に窒化チタン層の場合にはハロゲン化チタン
タイプの金属前駆物質とアンモニア及び／又はアミンタ
イプの窒素前駆物質の気相熱分解により、堆積させるこ
とを特徴とする、請求項１８記載の方法。 - 【請求項２０】 前記誘電体材料層（２）を熱分解法に
よって、特にＳｉＯ 2 及び／又はＳｉＯx Ｃy の場合に
はケイ素前駆物質の気相熱分解により、堆積させること
を特徴とする、請求項１８又は１９記載の方法。 - 【請求項２１】 前記層の堆積をフロートラインのガラ
ス帯の上で熱分解法により連続的に行うことを特徴とす
る、請求項１８から２０までのいずれか一つに記載の方
法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR9313023A FR2711983B1 (fr) | 1993-11-02 | 1993-11-02 | Substrat transparent muni d'une couche de nitrure métallique. |
| FR9313023 | 1993-11-02 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07187719A true JPH07187719A (ja) | 1995-07-25 |
| JP3889454B2 JP3889454B2 (ja) | 2007-03-07 |
Family
ID=9452425
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26967494A Expired - Lifetime JP3889454B2 (ja) | 1993-11-02 | 1994-11-02 | 金属窒化物層を備えた透明基材とその製法 |
Country Status (10)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5514454A (ja) |
| EP (1) | EP0650938B1 (ja) |
| JP (1) | JP3889454B2 (ja) |
| AT (1) | ATE188195T1 (ja) |
| DE (1) | DE69422369T2 (ja) |
| DK (1) | DK0650938T3 (ja) |
| ES (1) | ES2143537T3 (ja) |
| FR (1) | FR2711983B1 (ja) |
| GR (1) | GR3032919T3 (ja) |
| PT (1) | PT650938E (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10309777A (ja) * | 1997-02-10 | 1998-11-24 | Saint Gobain Vitrage | 少なくとも一つの薄層を備えた透明基材及びその製法 |
| WO2006054730A1 (ja) * | 2004-11-19 | 2006-05-26 | Nippon Sheet Glass Company, Limited | 薄膜付きガラス板の製造方法 |
Families Citing this family (25)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB9414957D0 (en) * | 1994-07-25 | 1994-09-14 | Glaverbel | A pyrolytically coated glazing panel |
| FR2727107B1 (fr) * | 1994-11-21 | 1996-12-27 | Saint Gobain Vitrage | Vitrage muni d'au moins une couche mince et son procede d'obtention |
| US5691044A (en) * | 1994-12-13 | 1997-11-25 | Asahi Glass Company, Ltd. | Light absorptive antireflector |
| FR2738813B1 (fr) * | 1995-09-15 | 1997-10-17 | Saint Gobain Vitrage | Substrat a revetement photo-catalytique |
| FR2744117B1 (fr) * | 1996-01-11 | 1998-04-03 | Saint Gobain Vitrage | Vitrage avec couches reflechissantes et son procede de fabrication |
| FR2752235B3 (fr) * | 1996-08-07 | 1998-08-28 | Saint Gobain Vitrage | Substrat verrier muni d'une couche reflechissante |
| US6212004B1 (en) * | 1996-05-10 | 2001-04-03 | Applied Coatings, Inc. | Reflector with directional control of visible and infra-red radiation |
| FR2748743B1 (fr) * | 1996-05-14 | 1998-06-19 | Saint Gobain Vitrage | Vitrage a revetement antireflet |
| US6238738B1 (en) * | 1996-08-13 | 2001-05-29 | Libbey-Owens-Ford Co. | Method for depositing titanium oxide coatings on flat glass |
| FR2757151B1 (fr) | 1996-12-12 | 1999-01-08 | Saint Gobain Vitrage | Vitrage comprenant un substrat muni d'un empilement de couches minces pour la protection solaire et/ou l'isolation thermique |
| US6027766A (en) | 1997-03-14 | 2000-02-22 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Photocatalytically-activated self-cleaning article and method of making same |
| US7096692B2 (en) | 1997-03-14 | 2006-08-29 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Visible-light-responsive photoactive coating, coated article, and method of making same |
| JPH10275683A (ja) * | 1997-03-28 | 1998-10-13 | Fuji Electric Co Ltd | 薄膜積層型導電体 |
| FR2793889B1 (fr) | 1999-05-20 | 2002-06-28 | Saint Gobain Vitrage | Substrat transparent a revetement anti-reflets |
| FR2806014B1 (fr) * | 2000-03-08 | 2002-09-20 | Saint Gobain Vitrage | Substrat a revetement photocatalytique et/ou hydrophile |
| US20030228476A1 (en) * | 2001-10-22 | 2003-12-11 | Harry Buhay | Methods of changing the visible light transmittance of coated articles and coated articles made thereby |
| US6869644B2 (en) * | 2000-10-24 | 2005-03-22 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Method of making coated articles and coated articles made thereby |
| US7311961B2 (en) * | 2000-10-24 | 2007-12-25 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Method of making coated articles and coated articles made thereby |
| US6649561B2 (en) * | 2001-02-26 | 2003-11-18 | United Technologies Corporation | Titania-coated honeycomb catalyst matrix for UV-photocatalytic oxidation of organic pollutants, and process for making |
| US7232615B2 (en) * | 2001-10-22 | 2007-06-19 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Coating stack comprising a layer of barrier coating |
| DE10204257A1 (de) * | 2002-02-02 | 2003-08-07 | Grundig Ag I Ins | Gehäuse für Geräte der Unterhaltungselektronik |
| US7482060B2 (en) * | 2004-07-14 | 2009-01-27 | Agc Flat Glass North America, Inc. | Silicon oxycarbide coatings having durable hydrophilic properties |
| HRP20161790T1 (hr) * | 2012-12-06 | 2017-03-10 | Saint-Gobain Glass France | Vatrootporni panel i vatrostalno staklo |
| KR101959712B1 (ko) | 2014-09-15 | 2019-03-19 | 생-고뱅 퍼포먼스 플라스틱스 코포레이션 | 적외선 흡수층을 포함하는 광학 필름 |
| EP3221142A4 (en) | 2014-11-21 | 2018-08-29 | Saint-Gobain Performance Plastics Corporation | Infra-red control optical film |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4690871A (en) * | 1986-03-10 | 1987-09-01 | Gordon Roy G | Protective overcoat of titanium nitride films |
| JP2535350B2 (ja) * | 1987-06-26 | 1996-09-18 | 旭硝子株式会社 | 高透過ソ−ラ−コントロ−ルガラス |
| JP2574018B2 (ja) * | 1988-12-12 | 1997-01-22 | 日本板硝子株式会社 | 反射色が金色の熱線遮へいガラス |
| BR9005414A (pt) * | 1989-02-21 | 1991-08-06 | Libbey Owens Ford Co | Artigo de vidro revestido,processo para preparacao de artigos de vidro revestidos,processo para deposito de vapor quimico e vidraca para janelas arquitetonicas e automotivas |
| JPH02307844A (ja) * | 1989-05-22 | 1990-12-21 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 熱線遮へいガラス |
| JPH02307843A (ja) * | 1989-05-23 | 1990-12-21 | Asahi Glass Co Ltd | 帯電防止ガラス |
| JP2811885B2 (ja) * | 1990-03-23 | 1998-10-15 | 日本板硝子株式会社 | 熱線遮蔽ガラス |
| US5091244A (en) * | 1990-08-10 | 1992-02-25 | Viratec Thin Films, Inc. | Electrically-conductive, light-attenuating antireflection coating |
| JPH0818849B2 (ja) * | 1991-08-29 | 1996-02-28 | 日本板硝子株式会社 | 熱線遮蔽ガラス |
| FR2684095B1 (fr) * | 1991-11-26 | 1994-10-21 | Saint Gobain Vitrage Int | Produit a substrat en verre muni d'une couche a basse emissivite. |
-
1993
- 1993-11-02 FR FR9313023A patent/FR2711983B1/fr not_active Expired - Lifetime
-
1994
- 1994-10-27 AT AT94402431T patent/ATE188195T1/de active
- 1994-10-27 EP EP94402431A patent/EP0650938B1/fr not_active Expired - Lifetime
- 1994-10-27 PT PT94402431T patent/PT650938E/pt unknown
- 1994-10-27 ES ES94402431T patent/ES2143537T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1994-10-27 DK DK94402431T patent/DK0650938T3/da active
- 1994-10-27 DE DE69422369T patent/DE69422369T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1994-11-01 US US08/333,302 patent/US5514454A/en not_active Expired - Lifetime
- 1994-11-02 JP JP26967494A patent/JP3889454B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2000
- 2000-03-10 GR GR20000400615T patent/GR3032919T3/el unknown
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10309777A (ja) * | 1997-02-10 | 1998-11-24 | Saint Gobain Vitrage | 少なくとも一つの薄層を備えた透明基材及びその製法 |
| WO2006054730A1 (ja) * | 2004-11-19 | 2006-05-26 | Nippon Sheet Glass Company, Limited | 薄膜付きガラス板の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0650938A1 (fr) | 1995-05-03 |
| PT650938E (pt) | 2000-06-30 |
| FR2711983A1 (fr) | 1995-05-12 |
| US5514454A (en) | 1996-05-07 |
| EP0650938B1 (fr) | 1999-12-29 |
| DE69422369T2 (de) | 2000-07-06 |
| ES2143537T3 (es) | 2000-05-16 |
| DE69422369D1 (de) | 2000-02-03 |
| JP3889454B2 (ja) | 2007-03-07 |
| ATE188195T1 (de) | 2000-01-15 |
| DK0650938T3 (da) | 2000-06-13 |
| FR2711983B1 (fr) | 1996-01-19 |
| GR3032919T3 (en) | 2000-07-31 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH07187719A (ja) | 金属窒化物層を備えた透明基材とその製法 | |
| US6114043A (en) | Transparent substrate provided with at least one thin layer based on silicone nitride or oxynitride and the process for obtaining it | |
| KR100933597B1 (ko) | 태양광 제어용 반사성 코팅 유리 제품 | |
| AU669319B1 (en) | Multilayer antireflective coating with a graded base layer | |
| KR101512167B1 (ko) | 태양광 조절 저방사형 코팅 | |
| EP2303791B2 (en) | Coated article with low-e coating including zirconium oxide and/or zirconium silicon oxynitride and methods of making same | |
| US5776603A (en) | Glazing pane equipped with at least one thin film and method of manufacturing the same | |
| JP4226666B2 (ja) | 反射防止コーティングを有する透明基材 | |
| JP2888507B2 (ja) | 金属真空被覆物品とその製造方法 | |
| EP3319917B1 (fr) | Substrat muni d'un empilement a proprietes thermiques | |
| EP3319919B1 (fr) | Substrat muni d'un empilement a proprietes thermiques | |
| EP3856853B1 (en) | Articles coated with coatings containing light absorption materials | |
| MXPA02002833A (es) | Vidrio provisto con una pila de capas delgadas que actuan sobre la radiacion solar. | |
| PL204317B1 (pl) | Przezroczyste podłoże, oszklenie, sposób wytwarzania oszklenia i jego zastosowanie | |
| ZA200301893B (en) | Substrate with photocatalytic coating. | |
| CN102229471A (zh) | 用于光学涂层的保护层 | |
| KR101386709B1 (ko) | 햇빛에 작용하는 박막 스택을 구비하는 창유리 | |
| KR102232717B1 (ko) | 낮은 태양 인자 값을 갖는 녹색 착색된 열 처리 가능한 코팅된 물품 | |
| AU2018225650B2 (en) | Heat treatable coated article having zirconium nitride and ITO based IR reflecting layers |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050405 |
|
| A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20050704 |
|
| A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20050708 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20051004 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060404 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060802 |
|
| A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20060922 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20061031 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20061130 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101208 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101208 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111208 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111208 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121208 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121208 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131208 Year of fee payment: 7 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |