JPH02307843A - 帯電防止ガラス - Google Patents
帯電防止ガラスInfo
- Publication number
- JPH02307843A JPH02307843A JP1127871A JP12787189A JPH02307843A JP H02307843 A JPH02307843 A JP H02307843A JP 1127871 A JP1127871 A JP 1127871A JP 12787189 A JP12787189 A JP 12787189A JP H02307843 A JPH02307843 A JP H02307843A
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- JP
- Japan
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- film
- antistatic
- glass
- resistance
- tin
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は帯電防止ガラスに関し、特にクリーンルーム等
の窓や間仕切に好適な帯電防止ガラスに関する。・ ［従来の技術］ 静電気が帯電すると塵埃等が付着し、この塵埃等が静電
気の減衰後に浮遊するようになるため、クリーンルーム
等では静電気が帯電することは好ましいことではない。
の窓や間仕切に好適な帯電防止ガラスに関する。・ ［従来の技術］ 静電気が帯電すると塵埃等が付着し、この塵埃等が静電
気の減衰後に浮遊するようになるため、クリーンルーム
等では静電気が帯電することは好ましいことではない。
又、ＬＳＩ、ＩＣ等の静電気に弱いものが扱われる場所
においても同様である。そこで、クリーンルーム、クリ
ーンブース、局所排気用囲い及び半導体を扱う場所等の
窓、壁、間仕切、天井、垂れ壁等には、導電性を有する
材質のものが使われており、特に透明性を有するものと
しては、プラスチック製の帯電防止板が使われている。
においても同様である。そこで、クリーンルーム、クリ
ーンブース、局所排気用囲い及び半導体を扱う場所等の
窓、壁、間仕切、天井、垂れ壁等には、導電性を有する
材質のものが使われており、特に透明性を有するものと
しては、プラスチック製の帯電防止板が使われている。
［発明の解決しようとする課題］
しかしながら、プラスチック製の帯電防止板は、表面が
軟らかいため、擦傷キズができやすく、キズにより光が
散乱され、透視性が悪くなったり、経時変化により劣化
し、白色化し、透明性が低下するという問題点があった
。
軟らかいため、擦傷キズができやすく、キズにより光が
散乱され、透視性が悪くなったり、経時変化により劣化
し、白色化し、透明性が低下するという問題点があった
。
また、プラスチックは耐火性、強度、耐薬品性、特に有
機溶剤に対する耐久性が十分でなく、建築用の窓や室内
の間仕切として用いるには難点があった。
機溶剤に対する耐久性が十分でなく、建築用の窓や室内
の間仕切として用いるには難点があった。
本発明は、かかる問題を解決するためになされたもので
あり、光透過性、耐薬品性、耐擦傷性、強度、耐火性等
に優れた帯電防止板を提供することを目的とする。
あり、光透過性、耐薬品性、耐擦傷性、強度、耐火性等
に優れた帯電防止板を提供することを目的とする。
［課題を解決するための手段］
本発明者は表１に挙げた何種類かの帯電防止用の導電性
薄膜を作製し、表１のような各種試験を行なった結果、
ガラス／窒化チタン／保護膜の構成が本発明の目的を達
成できるものであることを見出した。
薄膜を作製し、表１のような各種試験を行なった結果、
ガラス／窒化チタン／保護膜の構成が本発明の目的を達
成できるものであることを見出した。
即ち１本発明は、ガラス基板上にガラス側から、窒化チ
タンを主成分とする膜、耐久性の優れた保護膜の少なく
とも２層が順次積層された帯電防止膜を有することを特
徴とする帯電防止ガラスを提供するものである。
タンを主成分とする膜、耐久性の優れた保護膜の少なく
とも２層が順次積層された帯電防止膜を有することを特
徴とする帯電防止ガラスを提供するものである。
第１図は本発明の帯電防止ガラスの一例の断面図を示し
たものであり、１はガラス基板であり、その上に窒化チ
タン膜２、保護膜３からなる帯電防止膜４が形成されて
いる。
たものであり、１はガラス基板であり、その上に窒化チ
タン膜２、保護膜３からなる帯電防止膜４が形成されて
いる。
１のガラス基板は特に限定されず、ソーダライムシリケ
ートガラス等のフロートガラス等各種ガラス板が使用で
きる。
ートガラス等のフロートガラス等各種ガラス板が使用で
きる。
２の窒化チタン膜は、透過率、抵抗値調整等のために窒
化チタン以外の成分を含んでいてもよい。かかる窒化チ
タン膜の製法は特に限定されず、蒸着法、反応性及び非
反応性スパッタリング法等各種の方法で形成できる。反
応性スパタリング法で成膜する場合、雰囲気ガスとして
ＡｒとＮ２の混合ガスを用いればよく、例えばＡｒ：Ｎ
１＝７：３程度にすれば、スパッタリングの安定性、成
膜速度等の点で最も好ましく ＴｉＮ膜を成膜できる。
化チタン以外の成分を含んでいてもよい。かかる窒化チ
タン膜の製法は特に限定されず、蒸着法、反応性及び非
反応性スパッタリング法等各種の方法で形成できる。反
応性スパタリング法で成膜する場合、雰囲気ガスとして
ＡｒとＮ２の混合ガスを用いればよく、例えばＡｒ：Ｎ
１＝７：３程度にすれば、スパッタリングの安定性、成
膜速度等の点で最も好ましく ＴｉＮ膜を成膜できる。
また、雰囲気ガスをＮ、 １００％とすると、窒素過剰
のＴｉＮｘ （Ｘ≧１）ができるが、ＴｉＮに比べ非抵
抗が高（、耐久性がやや劣るが本発明の帯電防止ガラス
の許容範囲内である。
のＴｉＮｘ （Ｘ≧１）ができるが、ＴｉＮに比べ非抵
抗が高（、耐久性がやや劣るが本発明の帯電防止ガラス
の許容範囲内である。
３の保護膜としては耐薬品性、耐久性が良好 。
であれば特に限定せず、各種金属酸化物が使用できるが
、耐擦傷性、耐薬品性、耐湿性等の点で酸化チタン膜は
最適である。
、耐擦傷性、耐薬品性、耐湿性等の点で酸化チタン膜は
最適である。
本発明のガラス／窒化チタン膜／酸化チタン膜の構成の
帯電防止ガラスの各種膜厚組合せの例における膜性能を
表２、表３に示す。ガラス板は２ｍｍ厚のフロートガラ
ス板を用いた。
帯電防止ガラスの各種膜厚組合せの例における膜性能を
表２、表３に示す。ガラス板は２ｍｍ厚のフロートガラ
ス板を用いた。
表２＝ガラス／ＴｉＮ／Ｔｉ０ａの諸物性表３ニガラス
／ＴｉＮｘ （ｘ≧１）／Ｔｉｏ□の諸物付表２、表３
において 以上より、窒化チタン膜３は３０Å以上６０Å以下であ
ることが好ましい、３０人より薄いと、膜、が島状にな
り一様性のある均一な膜が成膜しに（いａＴｉＮの場合
は３０人あれば、十分低いシート抵抗が得られるが、Ｔ
ｉＮｘ （ｘ≧１）の場合にはシート抵、抗がＴｉＮに
比べて高いので、より厚くすることが望ましい。また、
窒化チタン膜は吸収膜であるので膜厚が厚いとＴｖが低
（なるが、６０Å以下であれば帯電防止ガラス全体のＴ
Ｖ（可視光線透過率）６０％以上のものが得られやすい
ので好ましい。
／ＴｉＮｘ （ｘ≧１）／Ｔｉｏ□の諸物付表２、表３
において 以上より、窒化チタン膜３は３０Å以上６０Å以下であ
ることが好ましい、３０人より薄いと、膜、が島状にな
り一様性のある均一な膜が成膜しに（いａＴｉＮの場合
は３０人あれば、十分低いシート抵抗が得られるが、Ｔ
ｉＮｘ （ｘ≧１）の場合にはシート抵、抗がＴｉＮに
比べて高いので、より厚くすることが望ましい。また、
窒化チタン膜は吸収膜であるので膜厚が厚いとＴｖが低
（なるが、６０Å以下であれば帯電防止ガラス全体のＴ
Ｖ（可視光線透過率）６０％以上のものが得られやすい
ので好ましい。
また、保護膜３としてＴｉ０ａの膜厚としては、１００
〜２００人程度が好ましい。これより薄いと十分な耐擦
傷性、耐薬品性が得られにくくなり、また、 ２００人
より厚いとＴｖ≧６０％となりにくくなる。
〜２００人程度が好ましい。これより薄いと十分な耐擦
傷性、耐薬品性が得られにくくなり、また、 ２００人
より厚いとＴｖ≧６０％となりにくくなる。
又、ガラス基板１と窒化チタン膜２の間や、窒化チタン
膜２と保護膜３との間に、膜の密着性向上等の目的で他
の膜を介在させてもよい。
膜２と保護膜３との間に、膜の密着性向上等の目的で他
の膜を介在させてもよい。
又、窒化チタン膜と保護膜とからなる帯電防ＴｉＮ ／
ガラス／ＴｉＮ ／ ＴｉＯ□のように本発明の３０人
３０人 １００ 人帯電防止ガラスを構
成することができる。この場合、ＴＶが少し低下し６５
％程度になるが、より高い帯電防止性能が得られ、又、
間仕切等の用途に好適である。
ガラス／ＴｉＮ ／ ＴｉＯ□のように本発明の３０人
３０人 １００ 人帯電防止ガラスを構
成することができる。この場合、ＴＶが少し低下し６５
％程度になるが、より高い帯電防止性能が得られ、又、
間仕切等の用途に好適である。
［作用］
本発明において、窒化チタン膜２は低比抵抗の導電性膜
であり、主に帯電防止機能を司る。
であり、主に帯電防止機能を司る。
又、保護膜３は、耐擦傷性、耐薬品性、耐湿性等の向上
に寄与する。保護膜３は導電性がなくても１００〜２０
０人程度であれば、帯電防止膜全体として十分な帯電防
止性能を発揮できる。
に寄与する。保護膜３は導電性がなくても１００〜２０
０人程度であれば、帯電防止膜全体として十分な帯電防
止性能を発揮できる。
［実施例］
ソーダライムシリケートガラス板（２ｍｍ厚）上に、２
Ｘ １０−”Ｔｏｒｒにおいて、Ｔｉターゲットに３
．０ ＫＷを印加し、Ａｒを７０３ＣＣＭ、反応性ガス
としてＮ２を３０ＳＣＣＭを導入し、反応性スパッタリ
ングを行ない、ＴｉＮ膜を３０人成膜した。その後、Ａ
ｒを１０３００Ｍ１０□を１００ ＳＣＣＭとして反応
性スパッタリングを行ない、上記ＴｉＮ膜上にＴｉＯ□
膜１００人を成膜し、本発明の帯電防止ガラスのサンプ
ルを形成した。この帯電防止ガラスはＴＶ７８％、ＲＶ
（腹側） １５％、Ｒｖ（ガラス側） １４％、帯電防
止膜のシート抵抗は２．４８１０’Ω／口であったこの
ようにして得られたサンプルについて、静電気の帯電性
をＪＩＳ−Ｌ−１０９４に規定の方法により測定した。
Ｘ １０−”Ｔｏｒｒにおいて、Ｔｉターゲットに３
．０ ＫＷを印加し、Ａｒを７０３ＣＣＭ、反応性ガス
としてＮ２を３０ＳＣＣＭを導入し、反応性スパッタリ
ングを行ない、ＴｉＮ膜を３０人成膜した。その後、Ａ
ｒを１０３００Ｍ１０□を１００ ＳＣＣＭとして反応
性スパッタリングを行ない、上記ＴｉＮ膜上にＴｉＯ□
膜１００人を成膜し、本発明の帯電防止ガラスのサンプ
ルを形成した。この帯電防止ガラスはＴＶ７８％、ＲＶ
（腹側） １５％、Ｒｖ（ガラス側） １４％、帯電防
止膜のシート抵抗は２．４８１０’Ω／口であったこの
ようにして得られたサンプルについて、静電気の帯電性
をＪＩＳ−Ｌ−１０９４に規定の方法により測定した。
この測定は、スタテックオネストメータを用い、接地状
態゛でｌ０ＫＶのコロナ放電を１０秒間印加後、帯電電
位と減衰時間とを、温度２０℃、湿度６５％Ｒ，Ｈ，の
条件で測定した。この測定結果によると、帯電防止膜４
のコーティングさＷた面は測定値がｌＯｖ以下のノイズ
の領域の範囲であり、全（帯電していないことが判った
。
態゛でｌ０ＫＶのコロナ放電を１０秒間印加後、帯電電
位と減衰時間とを、温度２０℃、湿度６５％Ｒ，Ｈ，の
条件で測定した。この測定結果によると、帯電防止膜４
のコーティングさＷた面は測定値がｌＯｖ以下のノイズ
の領域の範囲であり、全（帯電していないことが判った
。
次に、３０ｃｍ角の資料面を綿軍手で１０往復擦った後
の帯電電位と減衰時間とを、温度゛２３℃、湿度４０％
Ｒ，Ｈ，の条件で測定した。帯電防止膜４のコーテイン
グ面では測定値がｌＯＶ以下のノイズの影響範囲内であ
り、帯電していないことが判った。
の帯電電位と減衰時間とを、温度゛２３℃、湿度４０％
Ｒ，Ｈ，の条件で測定した。帯電防止膜４のコーテイン
グ面では測定値がｌＯＶ以下のノイズの影響範囲内であ
り、帯電していないことが判った。
［発明の効果］
本発明によれば、可視光透過率が高（、耐擦傷性、耐薬
品性、耐湿性などが高く、十分な帯電防止能を有する帯
電防止ガラスを提供することができる。
品性、耐湿性などが高く、十分な帯電防止能を有する帯
電防止ガラスを提供することができる。
第１図は本発明の帯電防止ガラスの一例の断面図である
。 １ニガラス板 ２：窒化チタン膜 ３：酸化チタン膜 ４：帯電防止膜 ！ 第１図
。 １ニガラス板 ２：窒化チタン膜 ３：酸化チタン膜 ４：帯電防止膜 ！ 第１図
Claims (8)
- （１）ガラス基板上にガラス側から、窒化チタンを主成
分とする膜、耐久性の優れた保護膜の少なくとも２層が
順次積層された帯電防止膜を有することを特徴とする帯
電防止ガラス。 - （２）可視光透過率が６０％以上であることを特徴とす
る請求項１記載の帯電防止ガラス。 - （３）ガラス基板の両面に、それぞれガラス側から、窒
化チタンを主成分とする膜、耐久性の優れた保護膜の少
なくとも２層が順次積層された帯電防止膜を有すること
を特徴とする請求項１記載の帯電防止ガラス。 - （４）可視光透過率が５０％以上であることを特徴とす
る請求項３記載の帯電防止ガラス。 - （５）帯電防止膜のシート抵抗が１０＾７Ω／□以下で
あることを特徴とする請求項１〜４いずれか１項記載の
帯電防止ガラス。 - （６）保護膜が酸化チタンを主成分とする膜であること
を特徴とする請求項１〜５いずれか１項記載の帯電防止
ガラス。 - （７）窒化チタンを主成分とする膜が３０Å以上６０Å
以下であることを特徴とする請求項１〜６いずれか１項
記載の帯電防止ガラス。 - （８）保護膜が１００Å以上２００Å以下であることを
特徴とする請求項１〜７いずれか１項記載の帯電防止ガ
ラス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1127871A JPH02307843A (ja) | 1989-05-23 | 1989-05-23 | 帯電防止ガラス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1127871A JPH02307843A (ja) | 1989-05-23 | 1989-05-23 | 帯電防止ガラス |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02307843A true JPH02307843A (ja) | 1990-12-21 |
Family
ID=14970710
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1127871A Pending JPH02307843A (ja) | 1989-05-23 | 1989-05-23 | 帯電防止ガラス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02307843A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0586780A (ja) * | 1991-08-26 | 1993-04-06 | Misawa Homes Co Ltd | 窓ユニツト |
| WO1994028278A1 (fr) * | 1993-05-25 | 1994-12-08 | Kazuo Kuroiwa | Unite thermo-isolante translucide et legere et procede de production |
| EP0650938A1 (fr) * | 1993-11-02 | 1995-05-03 | Saint-Gobain Vitrage | Substrat transparent muni d'une couche de nitrure métallique |
| GB2291653A (en) * | 1994-07-25 | 1996-01-31 | Glaverbel | A pyrolytically coated glazing panel |
-
1989
- 1989-05-23 JP JP1127871A patent/JPH02307843A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0586780A (ja) * | 1991-08-26 | 1993-04-06 | Misawa Homes Co Ltd | 窓ユニツト |
| WO1994028278A1 (fr) * | 1993-05-25 | 1994-12-08 | Kazuo Kuroiwa | Unite thermo-isolante translucide et legere et procede de production |
| EP0650938A1 (fr) * | 1993-11-02 | 1995-05-03 | Saint-Gobain Vitrage | Substrat transparent muni d'une couche de nitrure métallique |
| FR2711983A1 (fr) * | 1993-11-02 | 1995-05-12 | Saint Gobain Vitrage | Substrat transparent muni d'une couche de nitrure métallique. |
| GB2291653A (en) * | 1994-07-25 | 1996-01-31 | Glaverbel | A pyrolytically coated glazing panel |
| GB2291653B (en) * | 1994-07-25 | 1997-04-30 | Glaverbel | A pyrolytically coated glazing panel |
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