JPH07187775A - 圧電磁器組成物 - Google Patents
圧電磁器組成物Info
- Publication number
- JPH07187775A JPH07187775A JP5330791A JP33079193A JPH07187775A JP H07187775 A JPH07187775 A JP H07187775A JP 5330791 A JP5330791 A JP 5330791A JP 33079193 A JP33079193 A JP 33079193A JP H07187775 A JPH07187775 A JP H07187775A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- heat resistance
- electromechanical coupling
- composition
- coupling coefficient
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】高い電気機械結合係数と機械的品質係数及び低
い誘電率を示し、耐熱性を向上することができる圧電磁
器組成物を提供する。 【構成】金属成分として少なくともＰｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、
Ｎｂ、Ｍｎ、Ｆｅを含む複合ペロブスカイト型化合物で
あって、これらの金属元素のモル比による組成式をＰｂ
a 〔（Ｎｂb Ｍｎc Ｆｅd ）e Ｔｉf Ｚｒ1-e-f 〕Ｏ3
と表わした時、ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ，ｆが、０．９５≦
ａ≦１．０５、０．５０≦ｂ≦０．６７、０．１０≦ｃ
≦０．３５、０．０５≦ｄ≦０．３５、０．０４≦ｅ≦
０．１２、０．２０≦ｆ≦０．３５、ｂ＋ｃ＋ｄ＝１．
００を満足する。
い誘電率を示し、耐熱性を向上することができる圧電磁
器組成物を提供する。 【構成】金属成分として少なくともＰｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、
Ｎｂ、Ｍｎ、Ｆｅを含む複合ペロブスカイト型化合物で
あって、これらの金属元素のモル比による組成式をＰｂ
a 〔（Ｎｂb Ｍｎc Ｆｅd ）e Ｔｉf Ｚｒ1-e-f 〕Ｏ3
と表わした時、ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ，ｆが、０．９５≦
ａ≦１．０５、０．５０≦ｂ≦０．６７、０．１０≦ｃ
≦０．３５、０．０５≦ｄ≦０．３５、０．０４≦ｅ≦
０．１２、０．２０≦ｆ≦０．３５、ｂ＋ｃ＋ｄ＝１．
００を満足する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、圧電磁器組成物に係わ
り、例えばセラミックフィルタ，セラミックレゾネー
タ，超音波応用振動子，圧電ブザー，圧電点火ユニッ
ト，超音波モータ，圧電ファン，圧電センサ，圧電アク
チュエータ等、特に表面弾性波（Ｓｕｒｆａｃｅ Ａｃ
ｏｕｓｔｉｃ Ｗａｖｅ）フィルタに最適な圧電磁器組
成物に関する。
り、例えばセラミックフィルタ，セラミックレゾネー
タ，超音波応用振動子，圧電ブザー，圧電点火ユニッ
ト，超音波モータ，圧電ファン，圧電センサ，圧電アク
チュエータ等、特に表面弾性波（Ｓｕｒｆａｃｅ Ａｃ
ｏｕｓｔｉｃ Ｗａｖｅ）フィルタに最適な圧電磁器組
成物に関する。
【０００２】
【従来技術】従来から、圧電磁器組成物を利用した製品
としては、例えばセラミックフィルタ，セラミックレゾ
ネータ，超音波応用振動子，圧電ブザー，圧電点火ユニ
ット，超音波モータ，圧電ファン，圧電センサ，圧電ア
クチュエータ等がある。
としては、例えばセラミックフィルタ，セラミックレゾ
ネータ，超音波応用振動子，圧電ブザー，圧電点火ユニ
ット，超音波モータ，圧電ファン，圧電センサ，圧電ア
クチュエータ等がある。
【０００３】ここで、セラミックフィルタ，セラミック
レゾネータ等の素子としては、ＰｂＺｒＯ3 −ＰｂＴｉ
Ｏ3 を主成分とした磁器組成物が利用されており、これ
によりＮｂ2 Ｏ5 やＭｎＯ2 等の金属酸化物、Ｐｂ（Ｎ
ｂ2/3 Ｍｇ1/3 ）Ｏ3 やＰｂ（Ｎｂ2/3 Ｃｏ1/3 ）Ｏ3
等の複合ペロブスカイト酸化物を添加したり置換するこ
とにより圧電特性の向上が図られている。
レゾネータ等の素子としては、ＰｂＺｒＯ3 −ＰｂＴｉ
Ｏ3 を主成分とした磁器組成物が利用されており、これ
によりＮｂ2 Ｏ5 やＭｎＯ2 等の金属酸化物、Ｐｂ（Ｎ
ｂ2/3 Ｍｇ1/3 ）Ｏ3 やＰｂ（Ｎｂ2/3 Ｃｏ1/3 ）Ｏ3
等の複合ペロブスカイト酸化物を添加したり置換するこ
とにより圧電特性の向上が図られている。
【０００４】そして、機械的品質係数Ｑｍ、電気機械結
合係数Ｋｐが大きく誘電率が小さく、最適焼成温度が広
い性質を有する圧電磁器組成物としては、Ｐｂ（Ｎｂ
2/3 Ｍｎ1/3 ）Ｏ3 −ＰｂＺｒＯ3 −ＰｂＴｉＯ3 の三
成分固溶体からなる圧電磁気組成物が開示されている
（特公昭４６−１６６３２号公報参照）。また、電気機
械結合係数Ｋｐが大きく圧電性に優れた材料として、例
えば、Ｐｂ（Ｍｎ2/3 Ｗ1/ 3 ）Ｏ3 −ＰｂＺｒＯ3 −Ｐ
ｂＴｉＯ3 系の磁器組成物が知られている。
合係数Ｋｐが大きく誘電率が小さく、最適焼成温度が広
い性質を有する圧電磁器組成物としては、Ｐｂ（Ｎｂ
2/3 Ｍｎ1/3 ）Ｏ3 −ＰｂＺｒＯ3 −ＰｂＴｉＯ3 の三
成分固溶体からなる圧電磁気組成物が開示されている
（特公昭４６−１６６３２号公報参照）。また、電気機
械結合係数Ｋｐが大きく圧電性に優れた材料として、例
えば、Ｐｂ（Ｍｎ2/3 Ｗ1/ 3 ）Ｏ3 −ＰｂＺｒＯ3 −Ｐ
ｂＴｉＯ3 系の磁器組成物が知られている。
【０００５】一方、近年では、数十メガヘルツ帯のＳＡ
Ｗフィルター材料として圧電セラミックスの表面弾性波
を利用した材料が使用されており、このような圧電セラ
ミックスとして、Ｐｒ6 Ｏ11を含有したＰｂ（Ｎｂ2/3
Ｍｎ1/3 ）Ｏ3 −ＰｂＺｒＯ3 −ＰｂＴｉＯ3 が知られ
ている（特公昭５６ー５０４３４号公報）。ＳＡＷフィ
ルター材料の圧電セラミックスとしては、比較的高い周
波数領域で使用されることから誘電率が低く、電気機械
結合係数が高く、特性の温度変化率が小さい材料が望ま
れている。従って従来のＰｂＺｒＯ3 −ＰｂＴｉＯ3 組
成系の組成相境界（ＭＰＢ）近傍の組成は利用されてお
らず、菱面体晶が主結晶相となる組成領域の材料が利用
されている。
Ｗフィルター材料として圧電セラミックスの表面弾性波
を利用した材料が使用されており、このような圧電セラ
ミックスとして、Ｐｒ6 Ｏ11を含有したＰｂ（Ｎｂ2/3
Ｍｎ1/3 ）Ｏ3 −ＰｂＺｒＯ3 −ＰｂＴｉＯ3 が知られ
ている（特公昭５６ー５０４３４号公報）。ＳＡＷフィ
ルター材料の圧電セラミックスとしては、比較的高い周
波数領域で使用されることから誘電率が低く、電気機械
結合係数が高く、特性の温度変化率が小さい材料が望ま
れている。従って従来のＰｂＺｒＯ3 −ＰｂＴｉＯ3 組
成系の組成相境界（ＭＰＢ）近傍の組成は利用されてお
らず、菱面体晶が主結晶相となる組成領域の材料が利用
されている。
【０００６】また、ＳＡＷフィルタ用圧電部品において
も基板等の表面に実装可能なように種々の条件に対応で
きることが要求されており、このような圧電部品におい
ては、部品を基板にリフロー半田付けする際、基板に実
装された部品が３００℃程度の高温に曝されるために部
品が組み込まれる圧電素子にも耐熱性が要求されてい
る。
も基板等の表面に実装可能なように種々の条件に対応で
きることが要求されており、このような圧電部品におい
ては、部品を基板にリフロー半田付けする際、基板に実
装された部品が３００℃程度の高温に曝されるために部
品が組み込まれる圧電素子にも耐熱性が要求されてい
る。
【０００７】
【発明が解決しようとする問題点】しかしながら、従来
の例えば上記したＰｂ（Ｎｂ2/3 Ｍｎ1/3 ）Ｏ3 −Ｐｂ
ＺｒＯ3 −ＰｂＴｉＯ3 系の磁器組成物は、耐熱性が低
くリフロー半田付け前後の圧電特性や共振周波数の変化
が大きく、実用上の問題となっていた。
の例えば上記したＰｂ（Ｎｂ2/3 Ｍｎ1/3 ）Ｏ3 −Ｐｂ
ＺｒＯ3 −ＰｂＴｉＯ3 系の磁器組成物は、耐熱性が低
くリフロー半田付け前後の圧電特性や共振周波数の変化
が大きく、実用上の問題となっていた。
【０００８】本発明の圧電磁器組成物は、電気機械結合
係数Ｋｐならびに機械的品質係数Ｑｍが大きく、高周波
用途に適した比誘電率の小さい材料であり、かつ耐熱性
に優れた圧電磁器組成物を提供することを目的とする。
係数Ｋｐならびに機械的品質係数Ｑｍが大きく、高周波
用途に適した比誘電率の小さい材料であり、かつ耐熱性
に優れた圧電磁器組成物を提供することを目的とする。
【０００９】
【問題点を解決するための手段】本発明者等は、Ｐｂ、
Ｚｒ、Ｔｉ、Ｎｂ、Ｍｎ、Ｆｅを含む複合ペロブスカイ
ト型化合物であって、一定の組成を有するものは、高い
電気機械結合係数と高い機械的品質係数であり、比誘電
率が小さく、かつ、耐熱性に優れた圧電磁器組成物を得
ることができることを知見し、本発明に至った。
Ｚｒ、Ｔｉ、Ｎｂ、Ｍｎ、Ｆｅを含む複合ペロブスカイ
ト型化合物であって、一定の組成を有するものは、高い
電気機械結合係数と高い機械的品質係数であり、比誘電
率が小さく、かつ、耐熱性に優れた圧電磁器組成物を得
ることができることを知見し、本発明に至った。
【００１０】即ち、本発明の圧電磁器組成物は、金属成
分として少なくともＰｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｎｂ、Ｍｎ、Ｆ
ｅを含む複合ペロブスカイト型化合物であって、これら
の金属元素のモル比による組成式をＰｂa 〔（Ｎｂb Ｍ
ｎc Ｆｅd ）e Ｔｉf Ｚｒ1- e-f 〕Ｏ3 と表わした時、
ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ，ｆが、０．９５≦ａ≦１．０５、
０．５０≦ｂ≦０．６７、０．１０≦ｃ≦０．３５、
０．０５≦ｄ≦０．３５、０．０４≦ｅ≦０．１２、
０．２０≦ｆ≦０．３５、ｂ＋ｃ＋ｄ＝１．００を満足
するものである。
分として少なくともＰｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｎｂ、Ｍｎ、Ｆ
ｅを含む複合ペロブスカイト型化合物であって、これら
の金属元素のモル比による組成式をＰｂa 〔（Ｎｂb Ｍ
ｎc Ｆｅd ）e Ｔｉf Ｚｒ1- e-f 〕Ｏ3 と表わした時、
ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ，ｆが、０．９５≦ａ≦１．０５、
０．５０≦ｂ≦０．６７、０．１０≦ｃ≦０．３５、
０．０５≦ｄ≦０．３５、０．０４≦ｅ≦０．１２、
０．２０≦ｆ≦０．３５、ｂ＋ｃ＋ｄ＝１．００を満足
するものである。
【００１１】ここで、ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ，ｆを上記の
範囲に設定した理由について説明する。Ｐｂ量のａを
０．９５≦ａ≦１．０５としたのは、ａが０．９５未満
の場合や１．０５よりも大きい場合には電気機械結合係
数Ｋｐが低下するからである。
範囲に設定した理由について説明する。Ｐｂ量のａを
０．９５≦ａ≦１．０５としたのは、ａが０．９５未満
の場合や１．０５よりも大きい場合には電気機械結合係
数Ｋｐが低下するからである。
【００１２】また、Ｎｂ量のｂを０．５０≦ｂ≦０．６
７としたのは、ｂが０．５０未満では電気機械結合係数
Ｋｐが低下し、ｂが０．６７よりも大きい場合には耐熱
性が低下するからである。
７としたのは、ｂが０．５０未満では電気機械結合係数
Ｋｐが低下し、ｂが０．６７よりも大きい場合には耐熱
性が低下するからである。
【００１３】さらに、Ｍｎ量のｃを０．１０≦ｃ≦０．
３５としたのは、ｃが０．１０未満の場合には耐熱性が
低下し、０．３５よりも大きい場合には電気機械結合係
数Ｋｐが低下し、耐熱性が低下するからである。
３５としたのは、ｃが０．１０未満の場合には耐熱性が
低下し、０．３５よりも大きい場合には電気機械結合係
数Ｋｐが低下し、耐熱性が低下するからである。
【００１４】Ｆｅ量のｄを０．０５≦ｄ≦０．３５とし
たのは、ｄが０．０５未満ではキュリー温度が低下する
ため耐熱性が低下し、０．３５よりも大きいと機械的品
質係数Ｑｍが低下するからである。（Ｎｂb Ｍｎc Ｆｅ
d ）のＺｒへの置換量ｅを０．０４≦ｅ≦０．１２とし
たのは、ｅが０．０４未満では耐熱性の効果が認められ
ず電気機械結合係数Ｋｐが低く、また０．１２よりも大
きいと電気機械結合係数Ｋｐが急激に低下するからであ
る。
たのは、ｄが０．０５未満ではキュリー温度が低下する
ため耐熱性が低下し、０．３５よりも大きいと機械的品
質係数Ｑｍが低下するからである。（Ｎｂb Ｍｎc Ｆｅ
d ）のＺｒへの置換量ｅを０．０４≦ｅ≦０．１２とし
たのは、ｅが０．０４未満では耐熱性の効果が認められ
ず電気機械結合係数Ｋｐが低く、また０．１２よりも大
きいと電気機械結合係数Ｋｐが急激に低下するからであ
る。
【００１５】ＴｉのＺｒへの置換量ｆを０．２０≦ｆ≦
０．３５としたのは、ｆが０．２０未満の場合は電気機
械結合定数Ｋｐが低下し耐熱性が低下し、０．３５より
も大きい場合には比誘電率が高くなり過ぎるためであ
る。また、本発明では、共振周波数の温度係数を改善す
るために、Ｐｂの一部をBa、Ca、Sr、Pr、Ndで置換して
もよい。
０．３５としたのは、ｆが０．２０未満の場合は電気機
械結合定数Ｋｐが低下し耐熱性が低下し、０．３５より
も大きい場合には比誘電率が高くなり過ぎるためであ
る。また、本発明では、共振周波数の温度係数を改善す
るために、Ｐｂの一部をBa、Ca、Sr、Pr、Ndで置換して
もよい。
【００１６】そして、本発明の圧電磁器は、例えば、原
料としてＰｂＯ、ＺｒＯ2 、ＴｉＯ2 、Ｎｂ2 Ｏ5 、Ｍ
ｎ2 Ｏ3 およびＦｅ2 Ｏ3 の各原料粉末を所定量秤量
し、ボールミル等で１０〜２４時間湿式混合し、次い
で、この混合物を脱水、乾燥した後、５００〜１０００
℃で１〜３時間仮焼し、当該仮焼物を再びボールミル等
で粉砕する。その後、この粉砕物に有機バインダーを混
合し、造粒後、所定圧力で成形して成形体を作製し、こ
れらを大気中において１２００〜１３５０℃で０．５〜
４時間焼成することにより得られる。
料としてＰｂＯ、ＺｒＯ2 、ＴｉＯ2 、Ｎｂ2 Ｏ5 、Ｍ
ｎ2 Ｏ3 およびＦｅ2 Ｏ3 の各原料粉末を所定量秤量
し、ボールミル等で１０〜２４時間湿式混合し、次い
で、この混合物を脱水、乾燥した後、５００〜１０００
℃で１〜３時間仮焼し、当該仮焼物を再びボールミル等
で粉砕する。その後、この粉砕物に有機バインダーを混
合し、造粒後、所定圧力で成形して成形体を作製し、こ
れらを大気中において１２００〜１３５０℃で０．５〜
４時間焼成することにより得られる。
【００１７】
【作用】本発明の圧電磁器組成物では、ＰｂＺｒＯ3 −
ＰｂＴｉＯ3 系の磁器組成物のＺｒおよびＴｉの一部を
Ｎｂ，Ｍｎ，Ｆｅで置換することにより、高い電気機械
結合係数、高い機械的品質係数Ｑｍ、低い誘電率を示す
とともに、耐熱性を向上することが可能となる。
ＰｂＴｉＯ3 系の磁器組成物のＺｒおよびＴｉの一部を
Ｎｂ，Ｍｎ，Ｆｅで置換することにより、高い電気機械
結合係数、高い機械的品質係数Ｑｍ、低い誘電率を示す
とともに、耐熱性を向上することが可能となる。
【００１８】
【実施例】以下、本発明を次の実施例で説明する。原料
粉末としてＰｂＯ、ＺｒＯ2 、ＴｉＯ2 、Ｎｂ2 Ｏ5 、
ＭｎＯ3 およびＦｅ2 Ｏ3 の各原料粉末を表１に示すよ
うに所定量秤量し、ボールミルで１２時間湿式混合し、
次いで、この混合物を脱水、乾燥した後、９５０℃で３
時間仮焼し、当該仮焼物を再びボールミルで粉砕する。
粉末としてＰｂＯ、ＺｒＯ2 、ＴｉＯ2 、Ｎｂ2 Ｏ5 、
ＭｎＯ3 およびＦｅ2 Ｏ3 の各原料粉末を表１に示すよ
うに所定量秤量し、ボールミルで１２時間湿式混合し、
次いで、この混合物を脱水、乾燥した後、９５０℃で３
時間仮焼し、当該仮焼物を再びボールミルで粉砕する。
【００１９】その後、この粉砕物に有機バインダー（Ｐ
ＶＡ）を混合し、造粒した。得られた粉末を１．５ｔ／
ｃｍ2 の圧力で直径２３ｍｍ、厚さ２ｍｍの寸法からな
る円板にプレス成形した。更に、これらの成形体をＭｇ
Ｏ等からなる容器内に密閉し、大気中１３００℃で２時
間の条件で焼成した。
ＶＡ）を混合し、造粒した。得られた粉末を１．５ｔ／
ｃｍ2 の圧力で直径２３ｍｍ、厚さ２ｍｍの寸法からな
る円板にプレス成形した。更に、これらの成形体をＭｇ
Ｏ等からなる容器内に密閉し、大気中１３００℃で２時
間の条件で焼成した。
【００２０】得られた焼結体を研磨して厚み０．５ｍｍ
の円板を形成した。この円板の両面にＡｇペーストを焼
付けることにより電極を形成し、８０℃のシリコンオイ
ル中で３ｋＶ／ｍｍの直流電圧を３０分間印加して分極
処理した後、電気機械結合係数，耐熱性を評価した。ま
た、比誘電率εｒをインピーダンスメータで求められた
容量から計算して求めた。電気機械結合係数Ｋｐはイン
ピーダンスメータで測定した共振周波数と反共振周波数
の値から計算により求めた。耐熱性は、２６０℃をピー
クとするリフロー炉に３回連続して通過させる試験を行
なった際の試験前の電気機械結合係数Ｋｐ1 と試験後の
Ｋｐ2 の値から、△Ｋｐ= （Ｋｐ2-Ｋｐ1 ）／Ｋｐ1 ×
１００の式を用いて算出した変化率△Ｋｐで評価した。
また、機械的品質係数Ｑｍをインピーダンスメータで測
定した共振周波数，反共振周波数，共振抵抗，容量から
計算により求めた。結果を表１に示す。
の円板を形成した。この円板の両面にＡｇペーストを焼
付けることにより電極を形成し、８０℃のシリコンオイ
ル中で３ｋＶ／ｍｍの直流電圧を３０分間印加して分極
処理した後、電気機械結合係数，耐熱性を評価した。ま
た、比誘電率εｒをインピーダンスメータで求められた
容量から計算して求めた。電気機械結合係数Ｋｐはイン
ピーダンスメータで測定した共振周波数と反共振周波数
の値から計算により求めた。耐熱性は、２６０℃をピー
クとするリフロー炉に３回連続して通過させる試験を行
なった際の試験前の電気機械結合係数Ｋｐ1 と試験後の
Ｋｐ2 の値から、△Ｋｐ= （Ｋｐ2-Ｋｐ1 ）／Ｋｐ1 ×
１００の式を用いて算出した変化率△Ｋｐで評価した。
また、機械的品質係数Ｑｍをインピーダンスメータで測
定した共振周波数，反共振周波数，共振抵抗，容量から
計算により求めた。結果を表１に示す。
【００２１】
【表１】
【００２２】この表１から、本発明の磁器組成物は電気
機械結合係数Ｋｐが１５％以上と大きく、機械的品質係
数Ｑｍが１３００以上と高く、また、比誘電率は３５０
以下と低く、また、耐熱試験によるΔＫｐの変化が±１
％以下と小さく、耐熱性に優れていることが判る。
機械結合係数Ｋｐが１５％以上と大きく、機械的品質係
数Ｑｍが１３００以上と高く、また、比誘電率は３５０
以下と低く、また、耐熱試験によるΔＫｐの変化が±１
％以下と小さく、耐熱性に優れていることが判る。
【００２３】
【発明の効果】本発明によれば、ＰｂＺｒＯ3 −ＰｂＴ
ｉＯ3 系の磁器組成物のＺｒとＴｉの一部をＮｂ，Ｍ
ｎ，Ｆｅで置換することにより、高い電気機械結合係数
と機械的品質係数及び低い誘電率を示し、耐熱性を向上
し、特に表面実装用ＳＡＷフィルター素子として最適な
圧電磁器組成物を得ることができる。
ｉＯ3 系の磁器組成物のＺｒとＴｉの一部をＮｂ，Ｍ
ｎ，Ｆｅで置換することにより、高い電気機械結合係数
と機械的品質係数及び低い誘電率を示し、耐熱性を向上
し、特に表面実装用ＳＡＷフィルター素子として最適な
圧電磁器組成物を得ることができる。
Claims (1)
- 【請求項１】金属成分として少なくともＰｂ、Ｚｒ、Ｔ
ｉ、Ｎｂ、Ｍｎ、Ｆｅを含む複合ペロブスカイト型化合
物であって、これらの金属元素のモル比による組成式を
Ｐｂa 〔（Ｎｂb Ｍｎc Ｆｅd ）e Ｔｉf Ｚｒ1-e-f 〕
Ｏ3 と表わした時、ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ，ｆが ０．９５≦ａ≦１．０５ ０．５０≦ｂ≦０．６７ ０．１０≦ｃ≦０．３５ ０．０５≦ｄ≦０．３５ ０．０４≦ｅ≦０．１２ ０．２０≦ｆ≦０．３５ ｂ＋ｃ＋ｄ＝１．００ を満足することを特徴とする圧電磁器組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5330791A JPH07187775A (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | 圧電磁器組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5330791A JPH07187775A (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | 圧電磁器組成物 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07187775A true JPH07187775A (ja) | 1995-07-25 |
Family
ID=18236590
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5330791A Pending JPH07187775A (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | 圧電磁器組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07187775A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2813075A1 (fr) * | 2000-08-18 | 2002-02-22 | Murata Manufacturing Co | Materiau en ceramique piezoelectrique, compact en ceramique piezoelectrique fritte et dispositif en ceramique piezoelectrique |
-
1993
- 1993-12-27 JP JP5330791A patent/JPH07187775A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2813075A1 (fr) * | 2000-08-18 | 2002-02-22 | Murata Manufacturing Co | Materiau en ceramique piezoelectrique, compact en ceramique piezoelectrique fritte et dispositif en ceramique piezoelectrique |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100282598B1 (ko) | 압전 세라믹 조성물 | |
| JP3654408B2 (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JP4020454B2 (ja) | 圧電セラミックスの製造方法 | |
| JP2884635B2 (ja) | 圧電セラミックスおよびその製造方法 | |
| JPH07187775A (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JPH0891927A (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JP3228648B2 (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JP3215013B2 (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JPS6358782B2 (ja) | ||
| JP3981221B2 (ja) | 圧電磁器 | |
| JP3164721B2 (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JP3266483B2 (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JPH07172913A (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JP3404212B2 (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JPH09124367A (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JPH0745882A (ja) | 圧電素子 | |
| JPH09142931A (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JP3761970B2 (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JP2737451B2 (ja) | 圧電磁器材料 | |
| JP3318480B2 (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JPH08231270A (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JP2892268B2 (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JPH10338572A (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JP2000159574A (ja) | 圧電磁器 | |
| JPH1017364A (ja) | 圧電磁器組成物 |