JPH07198415A - 磁気センサおよびそれを用いた磁気式エンコーダ - Google Patents
磁気センサおよびそれを用いた磁気式エンコーダInfo
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- JPH07198415A JPH07198415A JP5334343A JP33434393A JPH07198415A JP H07198415 A JPH07198415 A JP H07198415A JP 5334343 A JP5334343 A JP 5334343A JP 33434393 A JP33434393 A JP 33434393A JP H07198415 A JPH07198415 A JP H07198415A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 電磁波シールドが十分で、かつ検出感度の高
い磁気式エンコーダ用の磁気センサを提供することを目
的としている。 【構成】 絶縁基板１０上に形成した感磁部１１の上
に、絶縁薄膜層１２を形成して、磁気センサの感磁部１
１を設けた面を含む。少なくとも一つの面に非磁性の電
磁波シールド薄膜１３を形成し、この電磁波シールド薄
膜１３上には、耐摩耗性に優れた絶縁薄膜１４を形成し
て磁気センサ１を構成する。
い磁気式エンコーダ用の磁気センサを提供することを目
的としている。 【構成】 絶縁基板１０上に形成した感磁部１１の上
に、絶縁薄膜層１２を形成して、磁気センサの感磁部１
１を設けた面を含む。少なくとも一つの面に非磁性の電
磁波シールド薄膜１３を形成し、この電磁波シールド薄
膜１３上には、耐摩耗性に優れた絶縁薄膜１４を形成し
て磁気センサ１を構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、外界から受ける電磁波
ノイズのシールド手段を持つ磁気センサおよびそれを用
いた磁気式エンコーダに関する。
ノイズのシールド手段を持つ磁気センサおよびそれを用
いた磁気式エンコーダに関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に回転体に磁気記録媒体面を有する
ドラムやディスクを取り付け、その表面に着磁された磁
気パターンからの磁界により、これに対向する位置に固
定配置した磁気抵抗素子の電気抵抗が変化し、この電気
抵抗の変化による電圧変化を検出し、この検出信号を信
号処理部で波形整形して、回転体の回転位置や回転速度
などを計測する構成の磁気式エンコーダが用いられてい
る。
ドラムやディスクを取り付け、その表面に着磁された磁
気パターンからの磁界により、これに対向する位置に固
定配置した磁気抵抗素子の電気抵抗が変化し、この電気
抵抗の変化による電圧変化を検出し、この検出信号を信
号処理部で波形整形して、回転体の回転位置や回転速度
などを計測する構成の磁気式エンコーダが用いられてい
る。
【０００３】ところで、磁気式エンコーダで用いられて
いる磁気抵抗素子の抵抗変化率は数パーセントであり、
これによってもたらされる電圧変化、すなわち検出信号
の変化は高々数十ｍＶという微弱なものである。このた
め、高いノイズレベルの使用環境下では、磁気センサ自
体や、磁気センサと信号処理部間の接続ケーブル部にお
いて、電磁波ノイズの影響を受けて検出信号のＳ／Ｎ比
が著しく悪化し、エンコーダとして回転体の回転位置や
回転速度を正確に検出することができなくなるため、電
磁波ノイズのシールド対策が磁気式エンコーダの検出部
においても要求されている。
いる磁気抵抗素子の抵抗変化率は数パーセントであり、
これによってもたらされる電圧変化、すなわち検出信号
の変化は高々数十ｍＶという微弱なものである。このた
め、高いノイズレベルの使用環境下では、磁気センサ自
体や、磁気センサと信号処理部間の接続ケーブル部にお
いて、電磁波ノイズの影響を受けて検出信号のＳ／Ｎ比
が著しく悪化し、エンコーダとして回転体の回転位置や
回転速度を正確に検出することができなくなるため、電
磁波ノイズのシールド対策が磁気式エンコーダの検出部
においても要求されている。
【０００４】従来の磁気式エンコーダに用いられている
磁気センサは、ガラスなどの絶縁基板の上に、パーマロ
イなどの軟強磁性体を蒸着した薄膜よりなる磁気抵抗素
子を形成し、この磁気抵抗素子は、全面にわたって耐湿
性、耐候性に優れたポリイミド樹脂膜などにより被覆さ
れている。また、磁気センサに付帯し磁気センサと信号
処理回路とを電気的に接続するケーブルは、厚さ数十数
μｍの圧延銅などで形成された信号線と電源線が並列に
並べられ、この上下面がポリイミドなどでできたカバー
フィルムで覆われる構成をとっている。
磁気センサは、ガラスなどの絶縁基板の上に、パーマロ
イなどの軟強磁性体を蒸着した薄膜よりなる磁気抵抗素
子を形成し、この磁気抵抗素子は、全面にわたって耐湿
性、耐候性に優れたポリイミド樹脂膜などにより被覆さ
れている。また、磁気センサに付帯し磁気センサと信号
処理回路とを電気的に接続するケーブルは、厚さ数十数
μｍの圧延銅などで形成された信号線と電源線が並列に
並べられ、この上下面がポリイミドなどでできたカバー
フィルムで覆われる構成をとっている。
【０００５】これらの磁気センサのシールド対策とし
て、特開平３−１４６８８８号公報には、絶縁基板上に
形成された感磁部の表面を絶縁層で被覆し、前記基板の
少なくとも一つの面に電磁波シールド部材を設け、感磁
部より侵入する不要電磁波ノイズをシールドし、基板の
感磁部形成面の反対側の面に接地用端子と一体形成され
たリードフレームを設け、センサの小型化を実現する方
法が提案されている。
て、特開平３−１４６８８８号公報には、絶縁基板上に
形成された感磁部の表面を絶縁層で被覆し、前記基板の
少なくとも一つの面に電磁波シールド部材を設け、感磁
部より侵入する不要電磁波ノイズをシールドし、基板の
感磁部形成面の反対側の面に接地用端子と一体形成され
たリードフレームを設け、センサの小型化を実現する方
法が提案されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た磁気センサを高パルスの磁気式エンコーダに用いた場
合、磁気記録媒体と磁気センサの感磁部との間隔を極め
て小さくとらなくてはならない。そしてこのような構成
とすると磁気式エンコーダの組立時などに、磁気センサ
の感磁部側の電磁波シールド部材と磁気記録媒体とが直
接接触したり、磁気記録媒体に付着した異物が磁気セン
サの電磁波シールド部材と接触したりして、電磁波シー
ルド部材が損傷し、電磁波シールドの機能を損なうおそ
れがある。
た磁気センサを高パルスの磁気式エンコーダに用いた場
合、磁気記録媒体と磁気センサの感磁部との間隔を極め
て小さくとらなくてはならない。そしてこのような構成
とすると磁気式エンコーダの組立時などに、磁気センサ
の感磁部側の電磁波シールド部材と磁気記録媒体とが直
接接触したり、磁気記録媒体に付着した異物が磁気セン
サの電磁波シールド部材と接触したりして、電磁波シー
ルド部材が損傷し、電磁波シールドの機能を損なうおそ
れがある。
【０００７】さらに、従来の電磁波シールド付磁気セン
サでは、磁気センサと信号処理部を結ぶ接続ケーブル、
および信号処理部には電磁波シールドが施されておら
ず、この箇所からの不要電磁波ノイズの侵入を防ぐこと
ができない。
サでは、磁気センサと信号処理部を結ぶ接続ケーブル、
および信号処理部には電磁波シールドが施されておら
ず、この箇所からの不要電磁波ノイズの侵入を防ぐこと
ができない。
【０００８】本発明は上記課題を解決するもので、電磁
波シールド機能が十分な磁気センサおよびそれを用いた
磁気式エンコーダを提供することを目的としている。
波シールド機能が十分な磁気センサおよびそれを用いた
磁気式エンコーダを提供することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の目的を達
成するため、絶縁基板上に形成した感磁部に絶縁薄膜層
を形成して前記感磁部が形成された面を含む少なくとも
一つの面に非磁性の電磁波シールド薄膜を形成し、さら
に電磁波シールド薄膜上に耐摩耗性に優れた絶縁薄膜よ
りなる保護膜を形成した磁気センサの構成とする。
成するため、絶縁基板上に形成した感磁部に絶縁薄膜層
を形成して前記感磁部が形成された面を含む少なくとも
一つの面に非磁性の電磁波シールド薄膜を形成し、さら
に電磁波シールド薄膜上に耐摩耗性に優れた絶縁薄膜よ
りなる保護膜を形成した磁気センサの構成とする。
【００１０】また前記磁気センサに付帯した接続ケーブ
ルを、その信号線を絶縁体を介して電磁波シールド部材
で被覆した構成とする。また、前記接続ケーブルのシー
ルド部材と感磁部に設けた電磁波シールド薄膜を磁気セ
ンサ基板上で電気的に接続した構成とする。
ルを、その信号線を絶縁体を介して電磁波シールド部材
で被覆した構成とする。また、前記接続ケーブルのシー
ルド部材と感磁部に設けた電磁波シールド薄膜を磁気セ
ンサ基板上で電気的に接続した構成とする。
【００１１】また前記感磁部の薄膜を形成した基板の他
面を非磁性導電体製の磁気センサホルダーで覆い、前記
磁気センサホルダーを感磁部の電磁波シールド薄膜およ
び接続ケーブルの電磁波シールド部材に電気的に接続さ
れた構成とする。
面を非磁性導電体製の磁気センサホルダーで覆い、前記
磁気センサホルダーを感磁部の電磁波シールド薄膜およ
び接続ケーブルの電磁波シールド部材に電気的に接続さ
れた構成とする。
【００１２】さらに前記磁気センサと、この磁気センサ
と電気的に接続して磁気センサによる検出信号を波形整
形する信号処理回路部を備え、前記信号処理回路部を電
磁波シールド部材でシールドした磁気式エンコーダの構
成とする。
と電気的に接続して磁気センサによる検出信号を波形整
形する信号処理回路部を備え、前記信号処理回路部を電
磁波シールド部材でシールドした磁気式エンコーダの構
成とする。
【００１３】
【作用】本発明は上記の構成により、磁気センサおよび
磁気センサの検出信号伝送部、さらには信号処理回路部
の耐ノイズ性を向上させ、磁気センサならびに磁気式エ
ンコーダとしての高信頼性を確保することができる。ま
た、磁気センサの電磁波シールド部材は、磁気センサ基
板上において、接続ケーブルの電磁波シールド部材と接
続しているため、接続ケーブルのリード線の本数を増や
すことなく目的を達成することができる。
磁気センサの検出信号伝送部、さらには信号処理回路部
の耐ノイズ性を向上させ、磁気センサならびに磁気式エ
ンコーダとしての高信頼性を確保することができる。ま
た、磁気センサの電磁波シールド部材は、磁気センサ基
板上において、接続ケーブルの電磁波シールド部材と接
続しているため、接続ケーブルのリード線の本数を増や
すことなく目的を達成することができる。
【００１４】
【実施例】以下本発明の一実施例を図１〜図６に基づい
て説明する。図１は本発明の一実施例の磁気式エンコー
ダの断面図、図２はその平面図である。図示のように磁
気センサ１は磁気センサホルダー３によって保持され、
磁気センサホルダー３は、前記磁気センサ１が磁気記録
媒体４に対向するようにエンコーダ基底部７に固定され
る。前記磁気センサ１の検出信号は、接続ケーブル２を
介して上方の絶縁基板６に設けられた信号処理部５に伝
送され、この信号処理部５で波形整形される。なお、前
記信号処理部５は電磁波シールド部材８で覆われてい
る。
て説明する。図１は本発明の一実施例の磁気式エンコー
ダの断面図、図２はその平面図である。図示のように磁
気センサ１は磁気センサホルダー３によって保持され、
磁気センサホルダー３は、前記磁気センサ１が磁気記録
媒体４に対向するようにエンコーダ基底部７に固定され
る。前記磁気センサ１の検出信号は、接続ケーブル２を
介して上方の絶縁基板６に設けられた信号処理部５に伝
送され、この信号処理部５で波形整形される。なお、前
記信号処理部５は電磁波シールド部材８で覆われてい
る。
【００１５】図３は前述の磁気センサ１の外観斜視図、
図４は図３のＡ−Ａ断面図である。図示のように磁気セ
ンサ１は、ガラス製の絶縁基板１０上に所定のパターン
に形成されたパーマロイなどの磁性薄膜を蒸着してなる
感磁部１１と、この感磁部１１の表面を覆う絶縁薄膜層
１２と、この絶縁薄膜層１２上に形成された非磁性の電
磁波シールド薄膜１３、および電磁波シールド薄膜１３
の表面を覆う耐摩耗性に優れた絶縁薄膜層１４からな
る。そして磁気センサ１における電磁波シールド薄膜１
３は、絶縁薄膜層１４により外的損傷から保護されてい
る。
図４は図３のＡ−Ａ断面図である。図示のように磁気セ
ンサ１は、ガラス製の絶縁基板１０上に所定のパターン
に形成されたパーマロイなどの磁性薄膜を蒸着してなる
感磁部１１と、この感磁部１１の表面を覆う絶縁薄膜層
１２と、この絶縁薄膜層１２上に形成された非磁性の電
磁波シールド薄膜１３、および電磁波シールド薄膜１３
の表面を覆う耐摩耗性に優れた絶縁薄膜層１４からな
る。そして磁気センサ１における電磁波シールド薄膜１
３は、絶縁薄膜層１４により外的損傷から保護されてい
る。
【００１６】磁気センサ１に付帯する接続ケーブル２
は、電源供給線２０ａ、信号線２０ｂ、およびグランド
線２０ｃと、これらの上下面を覆う絶縁層２１ａ、絶縁
層２１ｂと、さらにこれらを覆う筒状の電磁波シールド
部材２２と、その外側を覆うカバーフィルム２３よりな
っている。磁気センサ１の感磁部には接続端子１００
ａ，１００ｂ，１００ｃがあり、これに各々接続ケーブ
ル２の接続線２０ａ，２０ｂ，２０ｃが電気的に接続さ
れている。また、接続ケーブル２における電磁波シール
ド部材２２は、磁気センサ１の基板１０上において磁気
センサ１を被覆する電磁波シールド薄膜１３と電気的に
接続されている。
は、電源供給線２０ａ、信号線２０ｂ、およびグランド
線２０ｃと、これらの上下面を覆う絶縁層２１ａ、絶縁
層２１ｂと、さらにこれらを覆う筒状の電磁波シールド
部材２２と、その外側を覆うカバーフィルム２３よりな
っている。磁気センサ１の感磁部には接続端子１００
ａ，１００ｂ，１００ｃがあり、これに各々接続ケーブ
ル２の接続線２０ａ，２０ｂ，２０ｃが電気的に接続さ
れている。また、接続ケーブル２における電磁波シール
ド部材２２は、磁気センサ１の基板１０上において磁気
センサ１を被覆する電磁波シールド薄膜１３と電気的に
接続されている。
【００１７】図５は磁気センサ１を磁気センサホルダー
３に装着した外観斜視図であり、図６は図５のＢ−Ｂ断
面図である。磁気センサホルダー３は非磁性の電気良導
体である金属でできている。磁気センサホルダー３は、
磁気センサ１が磁気記録媒体４に対し所定のギャップを
もつようにエンコーダ基底部７に固定され、磁気センサ
１の電磁波シールド薄膜１３を形成した面を除いた面を
電磁波シールドする役割を果たしている。また、磁気セ
ンサホルダー３は、磁気センサ１の電磁波シールド薄膜
１３と接続ケーブル２を被覆する電磁波シールド部材２
２は電気的に接続されている。
３に装着した外観斜視図であり、図６は図５のＢ−Ｂ断
面図である。磁気センサホルダー３は非磁性の電気良導
体である金属でできている。磁気センサホルダー３は、
磁気センサ１が磁気記録媒体４に対し所定のギャップを
もつようにエンコーダ基底部７に固定され、磁気センサ
１の電磁波シールド薄膜１３を形成した面を除いた面を
電磁波シールドする役割を果たしている。また、磁気セ
ンサホルダー３は、磁気センサ１の電磁波シールド薄膜
１３と接続ケーブル２を被覆する電磁波シールド部材２
２は電気的に接続されている。
【００１８】以上の構成により、磁気センサ１における
磁気センサの感磁部１１を形成した面は電磁波シールド
薄膜１３により、またこれを除いた面は磁気センサホル
ダー３によりシールドされることになり、磁気センサ１
のすべての面から侵入する電磁波からシールドすること
ができる。また、電磁波シールド薄膜１３および磁気セ
ンサホルダー３は、接続ケーブル２の電磁波シールド部
材２２と電気的に接続されているため、磁気センサ１の
電磁波シールド薄膜１３と信号処理部５とを接続する接
続線を設ける必要がない。
磁気センサの感磁部１１を形成した面は電磁波シールド
薄膜１３により、またこれを除いた面は磁気センサホル
ダー３によりシールドされることになり、磁気センサ１
のすべての面から侵入する電磁波からシールドすること
ができる。また、電磁波シールド薄膜１３および磁気セ
ンサホルダー３は、接続ケーブル２の電磁波シールド部
材２２と電気的に接続されているため、磁気センサ１の
電磁波シールド薄膜１３と信号処理部５とを接続する接
続線を設ける必要がない。
【００１９】また、図１および図２に示すように絶縁基
板６上には、磁気センサ１で検出される信号を処理する
信号処理部５が形成されており、この信号処理部５には
電磁波シールド部材８によりシールドが施されており、
信号処理部５においても不要電磁波の侵入を防ぐことが
できる。
板６上には、磁気センサ１で検出される信号を処理する
信号処理部５が形成されており、この信号処理部５には
電磁波シールド部材８によりシールドが施されており、
信号処理部５においても不要電磁波の侵入を防ぐことが
できる。
【００２０】
【発明の効果】上述の実施例の説明から明らかなよう
に、本発明は磁気センサおよび磁気センサの検出信号伝
送部、さらには信号処理回路部の耐ノイズ性を向上さ
せ、磁気センサならびに磁気式エンコーダとしての高信
頼性を確保することができる。また、磁気センサのシー
ルド部材は磁気センサ基板上において、接続ケーブルの
シールド部材と電気的に接続しているため、接続ケーブ
ルには磁気センサの電磁波シールドと接続する接続線を
設けることなく目的を達成することができる。
に、本発明は磁気センサおよび磁気センサの検出信号伝
送部、さらには信号処理回路部の耐ノイズ性を向上さ
せ、磁気センサならびに磁気式エンコーダとしての高信
頼性を確保することができる。また、磁気センサのシー
ルド部材は磁気センサ基板上において、接続ケーブルの
シールド部材と電気的に接続しているため、接続ケーブ
ルには磁気センサの電磁波シールドと接続する接続線を
設けることなく目的を達成することができる。
【図１】本発明の一実施例の磁気式エンコーダの断面図
【図２】同磁気式エンコーダの平面図
【図３】同磁気式エンコーダにおける磁気センサの外観
斜視図
斜視図
【図４】図３のＡ−Ａ断面図
【図５】同磁気式エンコーダにおける磁気センサと磁気
センサホルダーの組立構成体の外観斜視図
センサホルダーの組立構成体の外観斜視図
【図６】図５のＢ−Ｂ断面図
１ 磁気センサ ２ 接続ケーブル ３ 磁気センサホルダー ４ 磁気記録媒体 ５ 信号処理部 ６ 絶縁基板 ７ エンコーダ基底部 ８ 電磁波シールド部材 １０ 絶縁基板 １１ 感磁部 １２ 絶縁薄膜層 １３ 電磁波シールド薄膜 １４ 絶縁薄膜層 ２０ａ 電源供給線 ２０ｂ 信号線 ２０ｃ グランド線 ２１ａ，２１ｂ 絶縁層 ２２ 電磁波シールド部材 ２３ カバーフィルム
Claims (5)
- 【請求項１】 移動体に連動した磁気記録媒体上に記録
された磁気パターンによる磁界を検出して、信号処理部
において移動体の位置および移動速度として検知する磁
気式エンコーダに用いる磁気センサであって、絶縁基板
上に感磁部を形成するとともにその表面を絶縁薄膜層で
被覆し、前記感磁部を形成した面を含む少なくとも一つ
の面に、非磁性導電体の電磁波シールド薄膜を形成し、
かつ前記電磁波シールド薄膜上に耐摩耗性の絶縁薄膜に
よる保護膜を形成したことを特徴とする磁気センサ。 - 【請求項２】 信号線を絶縁体を介して電磁波シールド
部材で被覆してなる接続ケーブルを有することを特徴と
する請求項１記載の磁気センサ。 - 【請求項３】 接続ケーブルを被覆する電磁波シールド
部材と、感磁部を形成した面の電磁波シールド薄膜を電
気的に接続したことを特徴とする請求項２記載の磁気セ
ンサ。 - 【請求項４】 感磁部が形成された基板の他面を非磁性
導電体製の磁気センサホルダーで覆い、前記磁気センサ
ホルダーを、接続ケーブルの電磁波シールド部材、およ
び感磁部表面の電磁波シールド薄膜に電気的に接続した
ことを特徴とする請求項２記載の磁気センサ。 - 【請求項５】 請求項１記載の磁気センサと電気的に接
続し前記磁気センサによる検出信号を処理する信号処理
回路部を備え、前記信号処理回路部を電磁波シールド部
材でシールドしたことを特徴とする磁気式エンコーダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5334343A JPH07198415A (ja) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | 磁気センサおよびそれを用いた磁気式エンコーダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5334343A JPH07198415A (ja) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | 磁気センサおよびそれを用いた磁気式エンコーダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07198415A true JPH07198415A (ja) | 1995-08-01 |
Family
ID=18276307
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5334343A Pending JPH07198415A (ja) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | 磁気センサおよびそれを用いた磁気式エンコーダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07198415A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007232616A (ja) * | 2006-03-02 | 2007-09-13 | Nidec Sankyo Corp | 磁気センサ装置 |
| WO2011001886A1 (ja) * | 2009-06-30 | 2011-01-06 | Ntn株式会社 | 自動車駆動用モータの回転角度検出装置およびこの回転角度検出装置を取付けた軸受 |
| JP2012163369A (ja) * | 2011-02-03 | 2012-08-30 | Sony Chemical & Information Device Corp | 磁気センサ、磁気センサモジュール、磁気センサの製造方法 |
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-
1993
- 1993-12-28 JP JP5334343A patent/JPH07198415A/ja active Pending
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