JPH07201148A - 磁気ディスク装置 - Google Patents

磁気ディスク装置

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JPH07201148A
JPH07201148A JP35128393A JP35128393A JPH07201148A JP H07201148 A JPH07201148 A JP H07201148A JP 35128393 A JP35128393 A JP 35128393A JP 35128393 A JP35128393 A JP 35128393A JP H07201148 A JPH07201148 A JP H07201148A
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JP
Japan
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head
magnetic disk
magnetic
supporting member
radial direction
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Application number
JP35128393A
Other languages
English (en)
Inventor
Takehito Yamada
健仁 山田
Katsuki Kitagawa
勝喜 北川
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
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Publication of JPH07201148A publication Critical patent/JPH07201148A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/54—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head into or out of its operative position or across tracks
    • G11B5/55—Track change, selection or acquisition by displacement of the head
    • G11B5/5521—Track change, selection or acquisition by displacement of the head across disk tracks
    • G11B5/5552—Track change, selection or acquisition by displacement of the head across disk tracks using fine positioning means for track acquisition separate from the coarse (e.g. track changing) positioning means

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  • Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】ヘッド位置決め精度を大幅に向上させることが
できる磁気ディスク装置を提供する。 【構成】ヘッド移動機構を位置誤差信号18に応じて制
御する第1のヘッド位置決めサーボ系11,12,19
と、磁気ヘッド6を一端で支持し、磁気ディスクの径方
向に弾性変形可能に構成されたヘッド支持部材7と、こ
のヘッド支持部材7の磁気ディスクの径方向の両側面に
対向して設けられた一対の固定部材8と、ヘッド支持部
材7の他端を固定するサスペンション部3と、このサス
ペンション部3に対してヘッド支持部材7を磁気ディス
クの径方向に弾性変形させつつ変位駆動するヘッド微動
機構駆動回路22と、この駆動回路22を位置誤差信号
に応じて制御する第2のヘッド位置決め制御系20〜2
1とを有する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は磁気ディスク装置に係
り、特に磁気ヘッドを目標とする所望トラック上に位置
決めするヘッド位置決め装置に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、磁気ディスク装置、例えばハー
ドディスク装置においては、トラック密度を上げるため
に、磁気ディスク上に磁気ヘッドの位置決めのための位
置情報(サーボ情報という)を予め記録しておき、この
サーボ情報を用いて磁気ヘッドを磁気ディスクの径方向
に移動させて所望トラックに位置決めする方式がとられ
ている。
【0003】図1は、従来の磁気ディスク装置における
磁気ヘッド機構101を示したものであり、取付け部1
02に基端が支持されたサスペンション部103、サス
ペンション部103の先端部に支持されたジンバル部1
04、およびスライダ部に磁気ヘッドを備えてなる磁気
ヘッド105から構成され、磁気ヘッド105はジンバ
ル部104に支持されている。この磁気ヘッド機構10
1は、取付け部102を介して図示しないヘッド移動機
構(アクチュエータ)のキャリッジに固定される。この
ヘッド移動機構は、例えばボイスコイルモータにより実
現される。そして、磁気ヘッド機構101により図示し
ない磁気ディスク上から読み取ったサーボ情報を基に制
御信号を生成し、これをヘッド移動機構にフィードバッ
クするヘッド位置決め制御系を構成して、このヘッド位
置決め制御系により磁気ヘッド機構101を磁気ディス
クの径方向に移動させてトラックアクセスを行うと共
に、磁気ヘッド105の位置決めを行う。
【0004】ところで、上述した磁気ヘッド機構101
は共振周波数が2〜3kHzであるため、ヘッド位置決
め制御系のサーボ帯域は高々400Hz程度しかとれな
い。この場合のヘッド位置決め精度は、サブミクロン程
度である。最近では、磁気ディスク装置の一層の高記録
密度化のために、より高いヘッド位置決め精度が要求さ
れているが、上述した従来の磁気ディスク装置の構成で
は、現状以上にヘッド位置決め精度を上げることは難し
い。
【0005】また、最近の小型磁気ディスク装置では、
振動・衝撃に対するヘッド位置決め性能の向上も要求さ
れるようなって来ているが、従来の磁気ディスク装置は
耐振動・衝撃特性の点でも満足のゆくものではなかっ
た。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
の磁気ディスク装置ではヘッド位置決め精度の向上に限
界があり、また振動・衝撃に対するヘッド位置決め性能
の向上が期待できないという欠点があった。
【0007】従って、本発明の目的はヘッド位置決め精
度を大幅に向上させることができる磁気ディスク装置を
提供することにある。
【0008】また、本発明の他の目的は振動・衝撃など
の外乱に対するヘッド位置決め性能を向上させることが
できる磁気ディスク装置を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の課題を解
決するため、磁気ディスクと、この磁気ディスクの径方
向に磁気ヘッドを移動させるヘッドヘッド移動機構とを
有する磁気ディスク装置において、ヘッド移動機構を磁
気ディスク上の所望トラックに対する磁気ヘッドの位置
誤差を示す位置誤差信号に応じて制御する第1の制御手
段と、磁気ヘッドを一端で支持し、磁気ディスクの径方
向に弾性変形可能に構成されたヘッド支持部材と、この
ヘッド支持部材の磁気ディスクの径方向の両側面に対向
して設けられた一対の固定部材と、ヘッド支持部材の他
端を固定するサスペンション部と、このサスペンション
部に対してヘッド支持部材を磁気ディスクの径方向に弾
性変形させつつ変位駆動する変位駆動手段と、この変位
駆動手段を位置誤差信号に応じて制御する第2の制御手
段とを具備することを特徴とする。
【0010】また、本発明は上記構成に加えて、ヘッド
支持部材と一対の固定部材との間の静電容量が等しくな
るように変位駆動手段を制御する第3の制御手段と、こ
の第3の制御手段による制御量から外乱加速度を示す加
速度信号を第1の制御手段に加える加速度信号生成手段
を具備することを特徴とする。
【0011】さらに、本発明ではヘッド支持部材および
一対の固定部材は、少なくとも相対向する面が導電性を
有し、変位駆動手段はこれらヘッド支持部材と固定部材
との間に電圧を印加することによりヘッド支持部材を弾
性変形させつつ変位駆動するようにしたことを特徴とす
る。
【0012】
【作用】第1の発明においては、ヘッド移動機構をヘッ
ド粗動機構として用い、これと位置誤差信号に応じてヘ
ッド移動機構を制御する第1の制御手段により第1のヘ
ッド位置決め制御系を構成する。さらに、弾性変形可能
に構成されたヘッド支持部材とこれを変位駆動する変位
駆動手段をヘッド微動機構とし、このヘッド微動機構と
変位駆動手段を位置誤差信号に応じて制御する第2の制
御手段により第2のヘッド位置決め制御系を構成する。
【0013】ここで、ヘッド微動機構における弾性変形
可能なヘッド支持部材は、ヘッド部分を直接変位駆動す
るものであるため、その共振周波数は従来から設けられ
ているヘッド移動機構のそれに比較して高い。従って、
第2のヘッド位置決め制御系のサーボ帯域は、ヘッド移
動機構を含む第1のヘッド位置決め制御系のサーボ帯域
より高くでき、それだけヘッド位置決め精度を高くとる
ことができる。従って、これら二つのヘッド位置決め制
御系を併用することにより、従来に比較してより高速・
高精度なヘッド位置決め制御が可能となる。
【0014】第2の発明においては、ヘッド支持部材と
一対の固定部材との間の静電容量が等しくなるように変
位駆動手段を制御する第3の制御手段を設け、この第3
の制御手段における制御量から、磁気ヘッド近傍に加わ
る振動・衝撃などの外乱の加速度を直接検出し、その検
出された外乱加速度の加速度信号をフィードバックもし
くはフィードフォワードにより第1のヘッド位置決め制
御系に加えることによって、外乱の影響を大幅に軽減す
ることが可能となる。
【0015】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を用いて説明す
る。
【0016】図1は、本発明に係る磁気ディスク装置に
おける磁気ヘッド機構1の概略構成を示したものであ
る。この磁気ヘッド機構1は、大きく分けて取付け部2
に基端が支持されたサスペンション部3と、このサスペ
ンション部3の先端部に例えばスポット溶接により固定
されたジンバル部4と、このジンバル部4に支持され、
図示しないヘッドスライダ部に備えられたヘッド部5と
からなる。なお、サスペンション部3は薄板により形成
され、剛性を高めるため側部3aは上方に折り曲げられ
ている。ジンバル部4も同様に薄板からなり、図示のよ
うにサスペンション部3に固定された部分から取付け部
側に向かってサスペンション部3とほぼ平行に折り曲げ
られている。
【0017】ヘッド部5は、図2に拡大して示すよう
に、磁気ヘッド6と、この磁気ヘッド6を先端で支持す
る板状のヘッド支持部材7と、このヘッド支持部材7の
磁気ディスク径方向の両側に設けられた一対の固定部材
8とからなっている。ここで、ヘッド支持部材7のジン
バル部4に固定される部分は、幅が狭く形成されてカン
チレバー7aとなっている。この構成により、ヘッド支
持部材7はカンチレバー7aを支点として磁気ディスク
の径方向に弾性変形可能となっている。
【0018】ヘッド支持部材7の両側部は導電膜7bが
コーティングされており、これに対向する固定部材8の
内側面にも電極9が被着されている。従って、ヘッド支
持部材7と固定部材8との間に適当な電界を印加する
と、ヘッド支持部材7は静電気力により磁気ディスクの
径方向に弾性変形し、これによって磁気ヘッド6を微動
させることになる。すなわち、ヘッド支持部材7と固定
部材8とにより、磁気ヘッド6を高精度に位置決めする
ためのヘッド微動機構が構成されている。
【0019】また、この構成においては、ヘッド支持部
材7と固定部材8との間にそれぞれコンデンサが形成さ
れる。これらのコンデンサの静電容量をそれぞれC1 ,
C2とする。
【0020】そして、本実施例においては、さらに第3
の制御手段によりヘッド部5の姿勢、つまり固定部材8
に対するヘッド支持部材7の相対位置がヘッド部5に加
わる振動・衝撃などの外乱の加速度によらず一定となる
ように制御され、その時の制御量から加速度が検出され
る。すなわち、ヘッド部5の姿勢を上記二つのコンデン
サの静電容量C1 ,C2 から検出して、それを第3の制
御手段における制御量を第1のヘッド位置決め制御系に
フィードバックし、加速度による慣性力と釣り合うだけ
の静電気力をヘッド支持部材7と固定部材8との間に発
生させてヘッド部5の姿勢が一定となるように制御す
る。これにより、ヘッド部5はC1 ,C2となるように
その姿勢が制御される。
【0021】この時の静電気力とヘッド部5に働く加速
度による慣性力は、次式(1)を満たす。 ε0 εSV2 /2d2 =mα (1) ここで、Sはヘッド支持部材7と固定部材8との間に形
成されるコンデンサの電極面積、Vはヘッド支持部材7
と固定部材8との間の印加電圧、dはコンデンサを形成
する2つの空隙の距離、mはヘッド部5の質量、αは加
速度、ε0 は真空の誘電率、εはコンデンサの両電極間
に存在する媒体(例えば空気)の比誘電率である。従っ
て、加速度αはフィードバック制御でヘッド部5が釣り
合っているとき、印加電圧Vに比例することになる。
【0022】図3は、本実施例におけるヘッド位置決め
制御装置の構成を示す図である。同図において、VCM
(ボイスコイルモータ)11は図1の取付け部2を介し
てサスペンション部3に連結され、VCM駆動回路12
により駆動されて磁気ヘッド機構1を磁気ディスクの半
径方向に移動させるものである。一方、磁気ヘッド6に
より再生される信号はプリアンプ13により増幅された
後、サーボ情報抽出回路14に入力され、ここで磁気デ
ィスク上に記録されているサーボ情報が抽出される。こ
うして抽出されたサーボ情報信号15と基準信号16と
の差が減算器17でとられて、磁気ヘッド6の位置誤差
を示す位置誤差信号18が求められ、この位置誤差信号
18が第1の制御手段であるPID補償器19を介して
VCM駆動回路12に入力される。このようなヘッド位
置決めの主制御ループである第1ヘッド位置決め制御系
により、磁気ヘッド機構1は磁気ヘッド6が磁気ディス
クの所望トラック上に位置決めされるようにVCM11
により移動制御される。この第1のヘッド位置決め制御
系は、本実施例ではヘッド位置決めを大まかに行うため
のヘッド粗動機構を構成している。
【0023】さらに、第2のヘッド位置決め制御系にお
いては、位置誤差信号18が第2の制御手段であるフィ
ードフォワード制御器20および加算器21を介してヘ
ッド微動機構駆動回路22に供給される。これにより、
ヘッド微動機構を構成するヘッド支持部材7の導電膜7
aと固定部材8の電極9との間に、位置誤差信号18に
応じた直流電圧が印加されることによって、ヘッド支持
部材7は微小に弾性変形して磁気ヘッド6を磁気ディス
クの半径方向に変位させる。この結果、磁気ヘッド6は
第1のヘッド位置決め制御系よりも高精度に位置決め制
御される。フィードフォワード制御器20は、例えばロ
ーパスフィルタとゲイン回路により構成される公知のも
のである。
【0024】すなわち、ヘッド微動機構における弾性変
形可能なヘッド支持部材7は磁気ヘッド6の部分を直接
変位駆動するものであるため、その共振周波数は例えば
10kHz程度と、図1のヘッド機構におけるサスペン
ション部4およびVCM11等を含む従来からのヘッド
移動機構の共振周波数(2〜3kHz程度)に比較して
かなり高い。従って、第2のヘッド位置決め制御系のサ
ーボ帯域は1kHz程度となり、従来からのヘッド移動
機構を含む第1のヘッド位置決め制御系のサーボ帯域
(400Hz程度)よりも高くなるため、それだけヘッ
ド位置決め精度を高くとることができる。従って、これ
ら第1および第2のヘッド位置決め制御系を併用するこ
とにより、高速・高精度なヘッド位置決め制御が可能と
なる。
【0025】容量検出回路23は、ヘッド支持部材7の
導電膜7bと固定部材8上の電極9との間の静電容量C
1 ,C2 を検出し、その検出出力を変位検出回路24に
供給する。変位検出回路24は、検出された静電容量C
1 ,C2 からヘッド部5の姿勢、すなわち固定部材8に
対するヘッド支持部材7の相対位置状態を検出し、その
検出出力を第3の制御手段であるPID補償器25に与
える。このPID補償器25は、ヘッド支持部材7と固
定部材8とで構成されるヘッド微動機構を制御するため
の制御信号を生成し、それを加算器21を介してヘッド
微動機構駆動回路22に供給する。このような第3の制
御系により、静電容量C1 ,C2 が等しくなるようにヘ
ッド支持部材7が弾性変形して変位駆動される。
【0026】そして、この第3の制御系における制御
量、すなわちPID補償器25の出力から、加速度信号
生成器26によりヘッド部5に加わる振動・衝撃などに
よる外乱加速度を示す加速度信号27が生成される。こ
の加速度信号27は、第1のヘッド位置決め制御系のP
ID制御器19に入力され、位置誤差信号18と加算さ
れてフィードバック制御に用いられる。なお、加速度信
号27をフィードフォワード信号として第3のヘッド位
置決め制御系に加えることも可能である。このようにす
ることにより、ヘッド部5に加わる振動・衝撃などの外
乱の影響を受けない安定したヘッド位置決め制御を行う
ことができる。
【0027】なお、上記実施例では浮動型ヘッドの場合
について説明したが、他の実施例として磁気ヘッド機構
を接触型ヘッドで実現することも容易に可能である。
【0028】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によればヘ
ッド移動機構をヘッド粗動機構として用い、これと位置
誤差信号に応じてヘッド移動機構を制御する第1の制御
手段により第1のヘッド位置決め制御系を構成する一
方、弾性変形可能に構成されたヘッド支持部材とこれを
変位駆動する変位駆動手段をヘッド微動機構とし、この
ヘッド微動機構と変位駆動手段を位置誤差信号に応じて
制御する第2の制御手段により第2のヘッド位置決め制
御系を構成することにより、従来に比較して高速・高精
度なヘッド位置決め制御が可能となる。従って、磁気デ
ィスク装置の記録密度を飛躍的に高めることができる。
【0029】さらに、本発明ではヘッド支持部材と一対
の固定部材との間の静電容量が等しくなるように変位駆
動手段を制御する第3の制御手段の制御量から、磁気ヘ
ッド近傍に加わる振動・衝撃などの外乱の加速度を直接
検出し、その検出された外乱加速度の加速度信号を第1
のヘッド位置決め制御系に加えることによって、外乱の
影響を受けにくい安定したヘッド位置決め制御を実現す
ることができ、特に耐振動・衝撃特性が要求される小型
磁気ディスク装置に効果的である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例における磁気ヘッド機構部の
概略構成を示す平面図および側面図
【図2】同実施例におけるヘッド部の平面図および側面
図
【図3】同実施例におけるヘッド位置決め制御系の構成
を示すブロック図
【図4】従来の磁気ディスク装置における磁気ヘッド機
構部の平面図および側面図
【符号の説明】
1…磁気ヘッド機構 2…取付け部 3…サスペンション部 4…ジンバル部 5…ヘッド部 6…磁気ヘッド 7…ヘッド支持部材 7a…カンチレバー 7b…導電膜 8…固定部材 9…電極 11…ボイスコイルモータ 12…VCM駆動回路 13…プリアンプ 14…サーボ情報抽出回路 15…サーボ情報信号 16…基準信号 17…減算器 18…位置誤差信号 19…PID補償器(第1の制御手段) 20…フィードフォワード制御器(第2の制御手段) 21…加算器 22…ヘッド微動機構駆動回路(変位駆動手段) 23…容量検出回路 24…変位検出回路 25…PID補償器(第3の制御手段) 26…加速度信号生成器 27…加速度信号

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】磁気ディスクと、この磁気ディスクの径方
    向に磁気ヘッドを移動させるヘッドヘッド移動機構とを
    有する磁気ディスク装置において、 前記ヘッド移動機構を前記磁気ディスク上の所望トラッ
    クに対する前記磁気ヘッドの位置誤差を示す位置誤差信
    号に応じて制御する第1の制御手段と、 前記磁気ヘッドを一端で支持し、前記磁気ディスクの径
    方向に弾性変形可能に構成されたヘッド支持部材と、 このヘッド支持部材の前記磁気ディスクの径方向の両側
    面に対向して設けられた一対の固定部材と、 前記ヘッド支持部材の他端を固定するサスペンション部
    と、 このサスペンション部に対して前記ヘッド支持部材を前
    記磁気ディスクの径方向に弾性変形させつつ変位駆動す
    る変位駆動手段と、 この変位駆動手段を前記位置誤差信号に応じて制御する
    第2の制御手段とを具備することを特徴とする磁気ディ
    スク装置。
  2. 【請求項2】磁気ディスクと、この磁気ディスクの径方
    向に磁気ヘッドを移動させるヘッド移動機構とを有する
    磁気ディスク装置において、 前記ヘッド移動機構を前記磁気ディスク上の所望トラッ
    クに対する前記磁気ヘッドの位置誤差を示す位置誤差信
    号に応じて制御する第1の制御手段と、 前記磁気ヘッドを一端で支持し、前記磁気ディスクの径
    方向に弾性変形可能に構成されたヘッド支持部材と、 このヘッド支持部材の前記磁気ディスクの径方向の両側
    面に対向して設けられた一対の固定部材と、 前記ヘッド支持部材の他端を固定するサスペンション部
    と、 このサスペンション部に対して前記ヘッド支持部材を前
    記磁気ディスクの径方向に弾性変形させつつ変位駆動す
    る変位駆動手段と、 この変位駆動手段を前記位置誤差信号に応じて制御する
    第2の制御手段と、 前記ヘッド支持部材と前記一対の固定部材との間の静電
    容量が等しくなるように前記変位駆動手段を制御する第
    3の制御手段と、 この第3の制御手段による制御量から外乱加速度を示す
    加速度信号を前記第1の制御手段に加える加速度信号生
    成手段とを具備することを特徴とする磁気ディスク装
    置。
  3. 【請求項3】前記ヘッド支持部材および前記一対の固定
    部材は、少なくとも相対向する面が導電性を有し、前記
    変位駆動手段はこれらヘッド支持部材と固定部材との間
    に電圧を印加することによりヘッド支持部材を弾性変形
    させつつ変位駆動することを特徴とする請求項1または
    2に記載の磁気ディスク装置。
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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5657188A (en) * 1995-06-01 1997-08-12 Hutchinson Technology Incorporated Head suspension with tracking microactuator
US5867347A (en) * 1997-06-13 1999-02-02 Hutchinson Technology Incorporated Head suspension with stacked coil microactuator for tracking axis adjustment of a read/write head
US5898544A (en) * 1997-06-13 1999-04-27 Hutchinson Technology Incorporated Base plate-mounted microactuator for a suspension
US5936805A (en) * 1997-12-12 1999-08-10 International Business Machines Corporation Disk drive with secondary VCM actuator
US6088181A (en) * 1996-05-30 2000-07-11 Kabushiki Kaisha Toshiba Magnetic recording/reproducing device using composite head
US6392848B1 (en) 1998-03-20 2002-05-21 Fujitsu Limited Head carriage assembly and disk device incorporating thereof
US6636388B2 (en) 1998-04-07 2003-10-21 Seagate Technology Llc Disc drive suspension having a moving coil or moving magnet microactuator
CN1306509C (zh) * 1996-04-19 2007-03-21 松下电器产业株式会社 叠层式光盘制造方法及其装置

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5657188A (en) * 1995-06-01 1997-08-12 Hutchinson Technology Incorporated Head suspension with tracking microactuator
US5793571A (en) * 1995-06-01 1998-08-11 Hutchinson Technology Incorporated Method for manufacturing a head suspension with a microactuator
CN1306509C (zh) * 1996-04-19 2007-03-21 松下电器产业株式会社 叠层式光盘制造方法及其装置
US6088181A (en) * 1996-05-30 2000-07-11 Kabushiki Kaisha Toshiba Magnetic recording/reproducing device using composite head
US6496321B1 (en) 1996-05-30 2002-12-17 Kabushiki Kaisha Toshiba Magnetic recording/reproducing device using composite head
US5867347A (en) * 1997-06-13 1999-02-02 Hutchinson Technology Incorporated Head suspension with stacked coil microactuator for tracking axis adjustment of a read/write head
US5898544A (en) * 1997-06-13 1999-04-27 Hutchinson Technology Incorporated Base plate-mounted microactuator for a suspension
US5936805A (en) * 1997-12-12 1999-08-10 International Business Machines Corporation Disk drive with secondary VCM actuator
US6392848B1 (en) 1998-03-20 2002-05-21 Fujitsu Limited Head carriage assembly and disk device incorporating thereof
US6636388B2 (en) 1998-04-07 2003-10-21 Seagate Technology Llc Disc drive suspension having a moving coil or moving magnet microactuator

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