JPH07201901A - Molding device for resin-sealing use - Google Patents
Molding device for resin-sealing useInfo
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- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、半導体素子を搭載した
リードフレームを樹脂封止する樹脂封止用金型装置に係
る、詳細には、気泡排出用エァーベントを設けた樹脂封
止用金型装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a resin-sealing die device for resin-sealing a lead frame on which a semiconductor element is mounted, and more specifically, a resin-sealing die having an air vent for air bubble discharge. Regarding the device.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来の一例であるこの種の樹脂封止用金
型装置は、図3に示すように、複数の上型キャビティ2
1aを埋設した上型チェイスブロック22を設け、半導
体素子23を搭載したリードフレーム24の外枠24a
の上面に圧接する上型25と、複数の下型キャビティ2
1bを埋設した下型チェイスブロック22aと該ブロッ
ク22a面に溶融樹脂を圧流するランナー26及び樹脂
注入ゲート27とを設け、前記リードフレーム24の外
枠24aの下面に圧接する下型25aとを備え前記リー
ドフレーム24に樹脂封止部を形成するように構成され
ていた。2. Description of the Related Art As shown in FIG. 3, a conventional resin sealing mold device of this type is a plurality of upper mold cavities 2.
An outer frame 24a of a lead frame 24 provided with an upper die chase block 22 in which 1a is embedded and a semiconductor element 23 is mounted.
Upper mold 25 pressed against the upper surface of the mold and a plurality of lower mold cavities 2
A lower die chase block 22a in which 1b is embedded, a runner 26 and a resin injection gate 27 that pressurize molten resin on the surface of the block 22a, and a lower die 25a that presses against the lower surface of the outer frame 24a of the lead frame 24 The lead frame 24 is configured to form a resin sealing portion.
【0003】上記のような樹脂封止用金型装置20を用
いて樹脂封止を行う場合には、前記上型25と下型25
aとの間に、半導体素子23を搭載し、前記素子23の
図示しない電極端子と前記リードフレーム24の端子リ
ード24bとをワイヤ24cでワイヤボンデングして電
気導通回路を形成した前記リードフレーム24を位置決
め圧接挟持する。そうして、前記上型25のキャビティ
21a及び下型25aのキャビティ21bで形成された
キャビティ21内に、前記下型25aに設けた前記樹脂
注入ゲート27から所定圧の溶融樹脂を注入し、前記キ
ャビティ21内の空気(エァー)を前記ゲートの反対側
に設けた空気排出用エァーベント28から徐々に排出し
つつ溶融樹脂が充填される。その後、注入樹脂の硬化後
に離型し、樹脂封止部が形成されたリードフレーム24
を回収する。When resin molding is performed using the resin molding die device 20 as described above, the upper mold 25 and the lower mold 25 are used.
A semiconductor element 23 is mounted between the lead frame 24 and the semiconductor device 23, and an electrode terminal (not shown) of the element 23 and a terminal lead 24b of the lead frame 24 are wire-bonded with a wire 24c to form an electric conduction circuit. Positioning pressure contact is clamped. Then, a molten resin having a predetermined pressure is injected into the cavity 21 formed by the cavity 21a of the upper mold 25 and the cavity 21b of the lower mold 25a from the resin injection gate 27 provided in the lower mold 25a, The molten resin is filled while the air (air) in the cavity 21 is gradually discharged from the air discharge air vent 28 provided on the opposite side of the gate. Then, the lead frame 24 having the resin sealing portion formed thereon is released after the injected resin is cured.
Collect.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記注
入ゲート27は、上型25または下型25aのパッティ
ング面に設けられ、リードフレーム24の外枠24aの
一面(図3の実施例では下面側)に重なるように位置す
ることになる。したがって、前記ゲート27上面が塞が
れた状態となる、この状態の前記ゲート27からキャビ
ティ21内に注入される樹脂は図中の矢印に示すように
流れてリードフレーム24に斜方向に衝突し渦巻きが発
生して空気(エァー)を包み込む現象が生じて気泡が発
生していた。その結果として、前記リードフレーム24
の一面側及びゲート27の位置する側の前記キャビティ
21の樹脂封止部24c中に気泡Qが残留することにな
る。この気泡Qが樹脂封止部24c中に残留すると該封
止部24cの耐湿性が低下して水分の侵入の要因となる
と共に、樹脂封止部24cの長期信頼性を低下させると
いう問題があった。However, the injection gate 27 is provided on the putting surface of the upper mold 25 or the lower mold 25a, and one surface of the outer frame 24a of the lead frame 24 (the lower surface side in the embodiment of FIG. 3). It will be located so as to overlap. Therefore, the upper surface of the gate 27 is closed, and the resin injected from the gate 27 into the cavity 21 in this state flows as shown by the arrow in the figure and collides with the lead frame 24 in an oblique direction. Bubbles were generated due to the phenomenon that swirls occurred and the air (air) was wrapped up. As a result, the lead frame 24
The bubbles Q remain in the resin sealing portion 24c of the cavity 21 on the one surface side and the side where the gate 27 is located. If the air bubbles Q remain in the resin sealing portion 24c, the moisture resistance of the sealing portion 24c is reduced, which causes the intrusion of moisture, and there is a problem that the long-term reliability of the resin sealing portion 24c is reduced. It was
【0005】[0005]
【発明の目的】本発明は、上記の実情に鑑みてなされた
もので、前記ゲート27側の前記キャビティ21内に生
じる気泡Qの残留を防止し、耐湿性に優れた長期信頼性
の高い樹脂封止部24cを生産効率よく形成させること
にある。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned circumstances, and prevents a bubble Q generated in the cavity 21 on the gate 27 side from remaining and is a resin having excellent moisture resistance and long-term reliability. This is to form the sealing portion 24c with high production efficiency.
【0006】[0006]
【問題を解決するための手段】上記の目的に沿う請求項
1記載の樹脂封止用金型装置は、上型及び下型で半導体
素子を搭載したリードフレームを位置決め圧接挟持し、
前記上型及び下型で形成されたキャビティ内に、溶融樹
脂をランナー及び樹脂注入ゲートを経て注入充填し、前
記素子及びリードフレームの一端部を樹脂封止する樹脂
封止用金型装置において、少なくとも、前記上型または
下型に設けた前記樹脂注入ゲートの位置に対向した前記
下型または上型のパッティングエリア面に気泡排出用の
エァーベントを設けた構成としている。According to a first aspect of the present invention, there is provided a resin molding die apparatus, wherein a lead frame on which a semiconductor element is mounted is clamped by an upper die and a lower die.
In the cavity formed by the upper mold and the lower mold, a molten resin is injected and filled through a runner and a resin injection gate, and a resin-sealing mold device for resin-sealing one end of the element and the lead frame, At least an air vent for discharging bubbles is provided on the surface of the putting area of the lower mold or the upper mold facing the position of the resin injection gate provided in the upper mold or the lower mold.
【0007】[0007]
【作用】請求項1、2記載の樹脂封止用金型装置にあっ
ては、前記上型及び下型で形成されるキャビティ内のゲ
ート側の壁面に生じた気泡を排出するエァーベントをゲ
ートに対向する上型または下型のパッティングPL面に
設けた構成としているので、前記ゲート付近のキャビテ
ィ内に生じた気泡を前記エァーベントから速やかに排出
し気泡の残留を防ぐことができる。In the resin sealing mold device according to the present invention, the air vent for discharging bubbles generated on the gate side wall surface in the cavity formed by the upper mold and the lower mold is used as the gate. Since the structure is provided on the facing PL surface of the upper mold or the lower mold, the bubbles generated in the cavity near the gate can be quickly discharged from the air vent to prevent the bubbles from remaining.
【0008】さらに、前記キャビティ内に発生した気泡
を前記エァーベントから速やかに排出するように構成さ
れているので、従来の技術に比較して樹脂の注入速度を
速くすることができる。その結果として、樹脂封止の生
産効率が著しく向上すると共に、キャビテイ内の注入樹
脂の硬化速度を均一化することができる。Furthermore, since the bubbles generated in the cavity are quickly discharged from the air vent, the injection speed of the resin can be increased as compared with the prior art. As a result, the production efficiency of resin encapsulation is significantly improved, and the curing speed of the injected resin in the cavity can be made uniform.
【0009】[0009]
【実施例】以下、本発明の実施の一例について添付図面
に基づき具体的に説明する、図1は本発明の実施例に係
る樹脂封止用金型装置の型締め状態を示す要部断面図、
図2は本発明の実施例に係る封止樹脂注入状態の概要を
示す要部断面図である。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a sectional view of an essential part showing a mold clamping state of a resin sealing mold device according to the embodiment of the present invention. ,
FIG. 2 is a cross-sectional view of an essential part showing an outline of a sealing resin injection state according to the embodiment of the present invention.
【0010】本発明の実施例の一例である樹脂封止用金
型装置は、図1、図2(従来例と同一構成要素は同一符
号を用いる)に示すように、複数の上型キャビティ21
aを埋設したチェイスブロック22を設け、半導体素子
23を搭載したリードフレーム24の外枠24aの上面
に圧接する上型25と、複数の上型キャビティ21bを
埋設したチェイスブロック22aと該ブロック面に溶融
樹脂を圧流するランナー26及びゲート27とを設けた
前記リードフレーム24の外枠24aの下面に圧接する
下型25aとを備えており、前記外枠24aの上面に圧
接する上型25のパッティングPL面には発生した気泡
Qを排出するエァーベント29を設けた図1にその主要
部分を示す樹脂封止用金型装置20の構成としている。As shown in FIGS. 1 and 2 (the same components as those in the conventional example are designated by the same reference numerals), a plurality of upper mold cavities 21 are provided in a resin sealing mold apparatus according to an embodiment of the present invention.
The chase block 22 having the embedded a is provided, and the upper die 25 is pressed against the upper surface of the outer frame 24a of the lead frame 24 on which the semiconductor element 23 is mounted, the chase block 22a having the plurality of upper die cavities 21b embedded therein, and The lower die 25a is in pressure contact with the lower surface of the outer frame 24a of the lead frame 24 provided with the runner 26 and the gate 27 for flowing the molten resin, and the upper die 25 is put in pressure contact with the upper surface of the outer frame 24a. An air vent 29 for discharging the generated bubbles Q is provided on the PL surface, and the resin sealing mold device 20 is shown in FIG.
【0011】上記樹脂封止用金型装置を用いて、前記リ
ードフレーム24の樹脂封止を行う際には、前記上型2
5と下型25aとの間に、前記リードフレーム24を位
置決め圧接挟持し、前記上型25と下型25aで形成さ
れた前記キャビティ21内に、前記リードフレーム24
の外枠24aの下面に圧接した前記下型25aに設けた
前記ランナー26を経て前記ゲート27から溶融樹脂が
所定の圧力で流入し、前記キャビティ21内の空気を前
記ゲート27の反対側に設けた空気排出用エァーベント
28及び前記ゲート27側のキャビティ21付近に残留
した気泡Qを前記上型25に設けた気泡Qの排出用エァ
ーベント29から図示しないパッティング逃げ部に徐々
に排出しながら前記溶融樹脂が前記キャビテイ21内に
充填され、封止樹脂部24cを形成する。その後、注入
樹脂の硬化後に離型し、その一部が樹脂封止された前記
リードフレーム24を回収する。When the lead frame 24 is resin-sealed using the resin-sealing die device, the upper mold 2 is used.
5 and the lower die 25a, the lead frame 24 is sandwiched by pressure contact, and the lead frame 24 is inserted into the cavity 21 formed by the upper die 25 and the lower die 25a.
The molten resin flows from the gate 27 at a predetermined pressure through the runner 26 provided on the lower mold 25a, which is pressed against the lower surface of the outer frame 24a, and the air in the cavity 21 is provided on the opposite side of the gate 27. The air-exhausting air vent 28 and the air bubbles Q remaining in the vicinity of the cavity 21 on the side of the gate 27 are gradually discharged from the air-venting air vent 29 of the air bubbles Q provided in the upper mold 25 to a putting escape portion (not shown). Are filled in the cavity 21 to form a sealing resin portion 24c. After that, the injected resin is cured and then released from the mold, and the lead frame 24, part of which is resin-sealed, is collected.
【0012】上記実施例によれば、キャビティ21内の
空気及び気泡Qをエァーベント28、29から効率よく
完全に排出することができるから、樹脂封止部24cの
内部に気泡Qが残留することがなくなると共に、外面に
気泡Qの後が残ることがなくなり外観品質を向上させる
ことができる。According to the above embodiment, the air and the air bubbles Q in the cavity 21 can be efficiently and completely discharged from the air vents 28, 29, so that the air bubbles Q may remain inside the resin sealing portion 24c. At the same time, after the bubbles Q are not left on the outer surface, the appearance quality can be improved.
【0013】さらに、従来技術では気泡Qの発生を防ぐ
ために樹脂充填速度を遅くしたのに比べて、実施例では
気泡Qを排出するエァーベント29を設けることによっ
て、樹脂充填速度を速くすることができる。ここで、前
記上型25に設けたエァーベントは、前記ゲート27の
位置に対向する実施例の位置に限るものでなく前記キャ
ビティ21の内容積によって前記上型25、下型25a
の一方またはその両方のパッティングPL面に複数設け
る構成とすればより効率よく気泡Qを排出することがで
きる。Further, in the prior art, the resin filling speed is slowed down in order to prevent the generation of bubbles Q, but in the embodiment, the resin filling speed can be increased by providing the air vent 29 for discharging the bubbles Q. . Here, the air vent provided in the upper mold 25 is not limited to the position of the embodiment facing the position of the gate 27, but the upper mold 25 and the lower mold 25a may be formed depending on the inner volume of the cavity 21.
If a plurality of one or both putting PL surfaces are provided, the bubbles Q can be discharged more efficiently.
【0014】[0014]
【発明の効果】上記記載の構成を有する本発明の樹脂封
止金型装置によれば、溶融樹脂注入の際に生じる気泡を
迅速に排除することができるので、樹脂封止部に気泡の
残留がなくなり耐湿性の優れた樹脂封止部を生産効率よ
く形成することができる。According to the resin-sealing mold device of the present invention having the above-described structure, the bubbles generated during the injection of the molten resin can be quickly eliminated, so that the bubbles remain in the resin-sealing portion. It is possible to form a resin-sealed portion having excellent moisture resistance with high production efficiency.
【0015】さらに、充填速度が向上するので、キャビ
ティ内に充填された封止樹脂の硬化速度が均一となに樹
脂封止部の反り等の発生を防止することができる。Further, since the filling speed is improved, it is possible to prevent the occurrence of warpage of the resin-sealed portion even when the hardening speed of the sealing resin filled in the cavity is uniform.
【図1】本発明の実施例に係る樹脂封止用金型装置の型
締め状態を示す要部断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view of essential parts showing a mold clamped state of a resin sealing mold device according to an embodiment of the present invention.
【図2】本発明の実施例に係る封止樹脂注入状態の概要
を示す要部断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of an essential part showing an outline of a sealing resin injection state according to the embodiment of the present invention.
【図3】従来の実施例に係る樹脂封止用金型装置の型締
め状態を示す要部断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of essential parts showing a mold clamping state of a resin sealing mold device according to a conventional example.
20 樹脂封止用金型装置 21 キャビティ 21a 上型キャビティ 21b 下型キャビティ 22 上型チェイスブロック 22a 下型チェイスブロック 23 半導体素子 24 リードフレーム 24a 外枠 24b 端子リード 24c ワイヤ 25 上型 25a 下型 26 樹脂圧流ランナー 27 樹脂注入ゲート 28 空気排出用エァーベント 29 気泡排出用エァーベント PL パッティング面 Q 気泡 S 溶融樹脂 20 Mold Equipment for Resin Encapsulation 21 Cavity 21a Upper Mold Cavity 21b Lower Mold Cavity 22 Upper Mold Chase Block 22a Lower Mold Chase Block 23 Semiconductor Element 24 Lead Frame 24a Outer Frame 24b Terminal Lead 24c Wire 25 Upper Mold 25a Lower Mold 26 Resin Pressure flow runner 27 Resin injection gate 28 Air vent for air discharge 29 Air vent for air vent PL Putting surface Q Air bubble S Molten resin
Claims (1)
ードフレームを位置決め圧接挟持し、前記上型及び下型
で形成されたキャビティ内に、溶融樹脂をランナー及び
樹脂注入ゲートを経て注入充填し、前記素子及びリード
フレームの一端部を樹脂封止する樹脂封止用金型装置に
おいて、少なくとも、前記上型または下型に設けた前記
樹脂注入ゲートの位置に対向した前記下型または上型の
パッティングエリア面に気泡排出用のエァーベントを設
けた構成としたことを特徴とする樹脂封止用金型装置。1. A lead frame on which a semiconductor element is mounted is clamped by an upper die and a lower die, and a molten resin is injected and filled into a cavity formed by the upper die and the lower die through a runner and a resin injection gate. In the resin-sealing die device for resin-sealing one end of the element and the lead frame, at least the lower mold or the upper mold facing the position of the resin injection gate provided in the upper mold or the lower mold. A mold device for resin encapsulation, wherein an air vent for discharging bubbles is provided on the putting area surface.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1211794A JPH07201901A (en) | 1994-01-06 | 1994-01-06 | Molding device for resin-sealing use |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1211794A JPH07201901A (en) | 1994-01-06 | 1994-01-06 | Molding device for resin-sealing use |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07201901A true JPH07201901A (en) | 1995-08-04 |
Family
ID=11796618
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1211794A Pending JPH07201901A (en) | 1994-01-06 | 1994-01-06 | Molding device for resin-sealing use |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07201901A (en) |
-
1994
- 1994-01-06 JP JP1211794A patent/JPH07201901A/en active Pending
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