JPH07201957A

JPH07201957A - ウェーハ・テープ・マウンタ

Info

Publication number: JPH07201957A
Application number: JP35316893A
Authority: JP
Inventors: Hiroyuki Kojima; 宏之小島; Satoshi Sakauchi; 敏坂内
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1993-12-29
Filing date: 1993-12-29
Publication date: 1995-08-04

Abstract

(57)【要約】【目的】ウェーハ支持テーブルを交換することなく、
異なる寸法のウェーハにテープを密着させることのでき
るウェーハ・テープ・マウンタを提供する。【構成】ウェーハ・テープ・マウンタ１０は、８イン
チウェーハにテープを貼着するときに使用される外側テ
ーブル１２と、外側テーブルの内側に同心状に配置さ
れ、６インチウェーハにテープを貼着するときに使用さ
れる内側テーブル１４とを備えている。外側テーブルは
外側テーブル基板１６とその外縁から直立する円筒状の
外側支持部１８とから、内側テーブルは内側テーブル基
板２０とその外縁から直立する円筒状の内側支持部２２
とから構成され、内側支持部は、外側テーブルの外側テ
ーブル基板を貫通して上下に摺動する。外側支持部及び
内側支持部の壁体には吸引通路が貫通し、負圧源に接続
され、外側テーブル基板２０には、加圧空気源に接続さ
れたエア通路が設けてある。８インチウェーハにテープ
を貼着する場合には、内側テーブルを退避位置に下降さ
せ、６インチウェーハにテープを貼着する場合には、内
側テーブルを吸着位置に上昇させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置製造工程に
おいて、ウェーハのダイシング前にウェーハにテープを
貼着するために使用するウェーハ・テープ・マウンタに
関し、より詳細には、ウェーハ支持テーブルを取り替え
ることなく、一台のウェーハ・テープ・マウンタで寸法
の異なるウェーハにテープを貼着できるように改良した
ウェーハ・テープ・マウンタに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体の製造工程において、ウェーハを
個々のダイに分割すべく、ウェーハに切溝を生成するダ
イシング工程が知られている。かかるダイシング工程に
用いられる半導体組立装置として、テープをウェーハ上
に貼着するためのウェーハ・テープ・マウンタと、高速
回転するブレードにてウェーハを切断するダイシング装
置又はダイサーとを備えた構成のものが知られている。

【０００３】ウェーハ・テープ・マウンタは、テープと
ウェーハとの間に気泡を発生させることなく、ウェーハ
の全面にテープを密着して貼着させるために使用される
装置であって、筒状の支持部を備え、その上面に備えた
ウェーハ吸着手段によりウェーハを吸着保持すると共に
支持部内側に加圧空気を導入してウェーハを外方に押圧
するようにしたウェーハ支持テーブルと、ウェーハ支持
テーブルに保持されたウェーハにシート状のテープを貼
着するテープ貼着手段とを有する。以下に、図４、図５
及び図６を参照して、従来のウェーハ・テープ・マウン
タを説明する。

【０００４】図４は、半導体組立装置における従来のウ
ェーハ・テープ・マウンタのウェーハ支持テーブル及び
テープ貼着手段を示す斜視図であり、図５は、図４に示
すウェーハ支持テーブルの縦断面図である。また、図６
は、テープを貼着したウェーハを回転ブレードで切断す
る工程を示す斜視図である。図４（ａ）に示す如く、ウ
ェーハ支持テーブル１は、全体的に円形の外周輪郭を有
する板状部材からなるテーブル基板３と、テーブル基板
３上に周方向に延在する略円筒状の支持部２とを備えて
いる。ウェーハＷ及びテープＴは、支持部２の上端面に
載置される。テープ貼着手段を構成するローラ４が、図
４（ｂ）及び図５（ａ）に示すように、テープＴ上を転
動しながらウェーハＷの直径方向に移動し、テープＴを
ウェーハＷの上面に貼着する。

【０００５】ウェーハ支持テーブル１は、ウェーハＷを
支持部２上に保持するための真空チャック手段を備える
とともに、テープＴとウェーハＷの上面との密着を確保
するためのエア加圧手段を備えている。図５（ａ）に示
すように、真空チャック手段は、支持部２の上端面の開
口（図示せず）と、開口からテーブル基板の下面まで支
持部２の壁体を貫通する吸引通路５と、吸引通路５に接
続された負圧源（図示せず）とから略構成されている。
負圧が吸引通路５を介してウェーハＷの外周部分に作用
することにより、ウェーハＷは、支持部２の上端面に吸
着され、ウェーハ支持テーブル１上に保持される。

【０００６】一方、エア押圧手段は、ウェーハ支持テー
ブル１を貫通するエア通路７と、エア通路７に接続され
た加圧源（図示せず）とから略構成され、エア通路７
は、ウェーハ支持テーブル１の中心部に配置されたボス
部６を介して支持部２内の加圧室８に連通している。ウ
ェーハＷの下側には形成された支持部２内の加圧室８
は、エア通路７に接続された加圧源によって昇圧され
る。それにより、図５（ｂ）に示す如く、ウェーハＷの
中央領域は、加圧室８の昇圧によって上方に僅かに膨れ
る。かかる状態で、ローラ４をウェーハＷ上に転動させ
ると、テープＴは、ローラ４に押圧されてウェーハＷと
の間に気泡を形成することなく、ウェーハＷの全面に密
着する。

【０００７】テープＴに貼着されたウェーハＷは、図６
に示す如く、ダイサーのリングＲ上に固定され、極薄の
外周切断刃を備えたダイサーの回転ブレード９によって
切断（フルカット）される。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
ような構造をした従来のウェーハ・テープ・マウンタで
は、支持部の直径より大きい寸法のウェーハに対しての
みテープを貼着し得るのであって、支持部の直径より小
さい寸法のウェーハにテープを貼着することは出来な
い。このため、６インチのウェーハ或いは８インチのウ
ェーハ等、大小様々のウェーハをダイシングする場合に
は、ウェーハの寸法に適応可能なウェーハ支持テーブル
を予め複数台用意し、ウェーハの寸法を変更する都度、
ウェーハ支持テーブルを交換しなければならなかった。
そのため、ダイシング工程が煩雑化し、ダイシング工程
の作業性又は生産性が低下していた。

【０００９】本発明はかかる点に鑑みてなされたもので
あり、その目的とするところは、ウェーハ支持テーブル
を交換することなく、異なる寸法のウェーハにテープを
貼着できるようにしたウェーハ・テープ・マウンタを提
供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係るウェーハ・テープ・マウンタは、筒状
の支持部を備え、その上面に備えたウェーハ吸着手段に
よりウェーハを吸着保持すると共に支持部内側に加圧空
気を導入してウェーハを外方に押圧するようにしたウェ
ーハ支持テーブルと、ウェーハ支持テーブルに保持され
たウェーハにシート状のテープを貼着するテープ貼着手
段とを有するウェーハ・テープ・マウンタにおいて、ウ
ェーハの大小に合わせて互いに異なる径寸法を有し、か
つ多重同心状に配置され、上下に相対的に変位可能なよ
うに形成された複数のウェーハ支持テーブルと、各ウェ
ーハ支持テーブルを個別に昇降させるテーブル昇降手段
とを備え、各ウェーハ支持テーブルは、そのウェーハ支
持テーブルの径寸法に対応する大きさの支持部を有し、
ウェーハを吸着可能な作動位置とウェーハから離間する
退避位置との間をテーブル昇降手段により選択的に昇降
することを特徴としている。

【００１１】本発明で使用するウェーハ支持テーブル
は、従来のウェーハ支持テーブルとほぼ同様な構造を有
し、同心状のウェーハ支持テーブル間で相互に摺動しつ
つ昇降する。ウェーハ吸着手段は、ウェーハを吸着する
ために支持部のウェーハ支持面に設けられた常用の真空
吸引手段であって、例えばウェーハ支持面に開口を設
け、その開口を介してウェーハに負圧を作用させること
により、ウェーハを吸着できる。テーブル昇降手段は、
油圧アクチュエータ或いはピニオンとラックとの組み合
わせを用いたような常用の昇降機構であって、テーブル
の下側に設けられている。加圧空気を導入してウェーハ
を外方に押圧する手段は、従来の空気導入手段と同様で
あって、かかる空気導入手段を最も内側のウェーハ支持
テーブルに設けることにより、各ウェーハ支持テーブル
で共用できる。

【００１２】６インチウェーハと８インチウェーハとの
ように寸法が２種類の場合に好適に適用できるウェーハ
・テープ・マウンタは、上述のウェーハ・テープ・マウ
ンタにおいて、ウェーハ支持テーブルが、大小２個のウ
ェーハ支持テーブルから構成され、小さい方のウェーハ
支持テーブルが、ウェーハを吸着可能な作動位置とウェ
ーハから離間する退避位置との間をテーブル昇降手段に
より選択的に昇降することを特徴としている。

【００１３】

【作用】請求項１の発明では、各ウェーハ支持テーブル
が、ウェーハの大小に合わせて互いに異なる径寸法を有
し、かつ多重同心状に配置され、上下に相対的に変位可
能なように形成され、更にウェーハの大きさに対応した
支持部を有し、しかもウェーハ昇降手段によりウェーハ
吸着に不要のウェーハ支持テーブルを退避位置に下降さ
せて、所要のウェーハ支持テーブルのみをウェーハ吸着
位置に位置づけることにより、ウェーハの寸法に合致し
たウェーハ支持テーブルでウェーハを吸着保持できる。
請求項２の発明では、大小２個のウェーハにテープを貼
着するために、ウェーハ・テープ・マウンタが、大小２
個のウェーハ支持テーブルから構成されている。

【００１４】

【実施例】以下、添付図面を参照して、本発明の好まし
い実施例について詳細に説明する。図１は本発明の実施
例に係るウェーハ・テープ・マウンタのウェーハ支持テ
ーブルの斜視図、及び図２（ａ）と（ｂ）はウェーハ・
テープ・マウンタとローラとを示す縦断面図と斜視図で
ある。ウェーハ・テープ・マウンタ１０は、１台のウェ
ーハ・テープ・マウンタによって、大小２種類のウェー
ハ、即ち８インチウェーハＷ１と６インチウェーハＷ２
の双方ににテープを貼着できるように考案された装置で
ある。ウェーハ・テープ・マウンタ１０は、図１に示す
如く、寸法の大きい８インチウェーハＷ１にテープを貼
着する場合に使用する外径の大きい外側ウェーハ支持テ
ーブル（以下、外側テーブルと称する）１２と、外側テ
ーブル１２の内側に同心状に配置されて、寸法の小さい
６インチウェーハＷ２にテープを貼着する場合に使用さ
れる、外径の小さい内側ウェーハ支持テーブル（以下、
内側テーブル）１４とを備えた、２段式のテーブルを形
成している。

【００１５】外側テーブル１２は、円形の平坦な外側テ
ーブル基板１６と、テーブル基板上に同心状に配置され
た略円筒状の外側支持部１８とを備えている。内側テー
ブル１４は、外側テーブル１２と同様に、円形の平坦な
内側テーブル基板２０（図１では外側テーブル基板１６
の下方に隠れているので（２０）と符号を付してある）
と、内側テーブル基板１４上にそれと同心状に配置され
た略円筒状の内側支持部２２とを備えている。

【００１６】外側テーブル１２に設けられた外側支持部
１８は、外側テーブル基板１６の直径よりは小さい直径
を有する略円筒状の中空体であって、その内径は８イン
チウェーハＷ１の外形寸法より僅かに小さい寸法に形成
されている。外側支持部１８の上端面は、外側ウェーハ
吸着面２４を構成していて、ウェーハ吸着面としてウェ
ーハに馴染むように平坦な円環状の面に形成されてい
る。外側ウェーハ吸着面２４には、その周方向に沿って
多数の小径の開口２６が設けてある。ウェーハを吸着す
るために、吸引通路２８が、それぞれ、各開口２６から
外側テーブル基板１６の下面まで外側支持部１８の壁体
を上下に貫通して設けてあって、その下端で管路（図示
せず）を介して負圧源（図示せず）に接続されている。

【００１７】外側テーブル基板１６の底部は、図２
（ａ）に示す如く、外周部に配置された比較的厚肉の円
環状の外側底壁３０と、底壁の内側に配置された比較的
薄肉の内側底壁３２とから形成されていて、外側底壁３
０の上面と内側底壁３２の上面とは、同一の平面レベル
に整列している。外側支持部１８は、外側底壁３０から
直立しており、また、外側底壁３０と内側底壁３２との
間には、内側支持部２２の壁体の横断面と同じ形状、寸
法の開口形状を備えた環状開口３４が形成されている。
内側支持部２２は、この環状開口３４を上下に摺動自在
にかつ比較的気密に貫通している。

【００１８】外側底壁３０と内側底壁３２との間に環状
開口３４を形成すると共に外側底壁３０と内側底壁３２
とを連結しておくために、両者は、簡単な連結手段、例
えばスポーク状の棒部材等（図示せず）により連結され
ていて、連結手段が、内側支持部１８に設けられた上下
に長孔状の貫通孔（図示せず）を貫通するようになって
いる。内側底壁３２の中心には、上下方向に隆起するボ
ス部３６が形成されている。また、空気加圧手段を構成
するエア通路３８が、ボス部３６を上下方向に貫通して
いて、下端で管路（図示せず）を介して加圧源（図示せ
ず）に接続される。エア通路３８を介して加圧空気を導
入すると、外側支持部１８の内側及び内側支持部２２の
内側には、空気による加圧室４０が形成される。

【００１９】内側テーブル１４に設けられた内側支持部
２２は、外側支持部１８のほぼ同じ構造で構成されてお
り、内側テーブル基板２０と同じ外径を有する略円筒状
の中空体であって、その内径は６インチウェーハＷ２の
外形寸法より僅かに小さい寸法に形成されている。内側
支持部２２の上端面は、内側ウェーハ吸着面４２を構成
していて、ウェーハ吸着面としてウェーハに馴染むよう
に平坦な円環状の面に形成されている。内側ウェーハ吸
着面４２には、その周方向に沿って多数の小径の開口４
４が設けてある。ウェーハを吸着するために、吸引通路
４６が、それぞれ、各開口から内側テーブル基板２０の
下面まで内側支持部２２の壁体を上下に貫通して設けて
あって、その下端で管路（図示せず）を介して負圧源
（図示せず）に接続されている。

【００２０】内側支持部２２は、その下端で内側テーブ
ル基板２０の外周部に連接している。内側テーブル基板
２０は、外側テーブル１２の外側テーブル基板１６の下
方に位置し、外側テーブル基板１６のボス部３６の外周
面と摺接する貫通孔４８を備えている。内側テーブル基
板２０は、昇降機構（図示せず）により昇降する。内側
テーブル基板２０が昇降すると、内側支持部２２は、外
側テーブル基板１６の環状開口３４を通って内側テーブ
ル基板２０と共に昇降する。外側テーブル基板１６に環
状開口３４を、内側テーブル基板２０に貫通孔４８を設
けたことにより、昇降装置（図示せず）により上下駆動
されると、内側テーブル基板２０及び内側支持部２２
は、自在に上下できる。

【００２１】更に、ウェーハ・テープ・マウンタ１０
は、従来からテープ貼着手段として使用されてきた円筒
形のローラ５０を備えている。

【００２２】図２及び図３を参照しながら、以下に、本
実施例のウェーハ・テープ・マウンタ１０の使用方法を
説明する。図２（ａ）に示すように、内側テーブル１４
を下降させて、下方位置、即ち、退避位置に位置させ
る。この状態では、内側支持部２２のウェーハ吸着面４
２は、外側支持部１８のウェーハ吸着面２４よりも下方
に位置する。次いで、８インチのウェーハＷ１を外側支
持部１８のウェーハ吸着面２４上に位置決めし、ウェー
ハＷ１の上面にテープＴを載置する。吸引通路２８を介
して負圧をウェーハ吸着面２４に作用させると、ウェー
ハＷ１は、ウェーハ吸着面２４に吸着される。ウェーハ
Ｗ１の下側に形成された加圧室４０に、エア通路３８を
介して加圧源の気体圧力を作用させ、加圧室４０内を昇
圧する。この結果、ウェーハＷの中央領域は、加圧室４
０の昇圧によって上方に僅かに膨れて湾曲する（図５
（ｂ）参照）。

【００２３】次いで、図２（ａ）及び図２（ｂ）に示す
如く、テープＴ上にローラ５０を転動させながらウェー
ハＷ１の直径方向に移動し、テープＴをウェーハＷ１の
上面に貼着する。本実施例において、８インチウェーハ
Ｗ１のテープ貼着の時には、内側テーブル１２を退避位
置に後退させているので、内側支持部２２の存在にもか
かわらず、加圧室４０が外側支持部１８の内側全体に形
成される。よって、加圧空気の圧力をウェーハＷ１のほ
ぼ全面に作用させることができるので、ウェーハＷ１の
ほぼ全面が上方に僅かに膨れて反っているので、ローラ
５０を転動させると、ウェーハＷ１との間に気泡を形成
することなく、ウェーハＷ１の全面にテープＴを密着し
て、確実に貼着することができる。

【００２４】図３は、６インチのウェーハＷ２にテープ
Ｔを貼着する工程を示す縦断面図及び斜視図である。図
３（ａ）に示す如く、内側テーブル１４を昇降機構の作
動により上方位置、即ち、作動位置まで上昇させる。作
動位置において、内側支持部２２のウェーハ吸着面４２
は、外側支持部１８のウェーハ吸着面２４と同一か僅か
に高い平面レベルまで上昇する。６インチのウェーハＷ
２を内側支持部２２のウェーハ吸着面４２上に位置決
し、ウェーハＷ２の上面にテープＴを載置する。吸引通
路４６を介して負圧をウェーハ吸着面４２に作用させる
と、ウェーハＷ２は、ウェーハ吸着面に吸着される。エ
ア通路３８を介して加圧室４０に加圧空気を導入する。
加圧室４０の圧力が昇圧すると、ウェーハＷ２は、膨れ
て僅かに上方に反る。

【００２５】次いで、図３（ｂ）に示す如く、テープＴ
上にローラ５０を転動しながらウェーハＷの直径方向に
移動し、テープＴをウェーハＷの上面に貼着する。この
際、内側支持部２２のウェーハ吸着面４２が、外側支持
部１８のウェーハ吸着面２４と同じ位置がまたは僅かに
高い位置にあるので、テープＴを貼着し、ローラ５０を
転動させる時に、外側支持部１８が障害とならない。以
上のようにして、ウェーハＷ１、Ｗ２にテープＴを貼着
した後、ウェーハを、図６に示す如く、ダイサーのリン
グＲ上に固定し、極薄の外周切断刃を備えたダイサーの
回転ブレード９によって切断（フルカット）する。

【００２６】以上説明したように、ウェーハ・テープ・
マウンタ１０は、８インチウェーハＷ１にテープＴを貼
着する場合、内側テーブル１４を退避位置に降下させ
て、外側テーブル１２の支持部１６の内側全体に空気に
よる押圧を作用させると共に内側テーブル１４がローラ
５０の転動の邪魔にならないようにすることにより、ウ
ェーハＷ１にテープＴを完全密着させることができる。
一方、ウェーハ・テープ・マウンタ１０は、６インチウ
ェーハＷ２にテープＴを貼着する場合、内側テーブル１
４を作動位置に上昇させることにより、外側テーブル１
２に邪魔されることなく、ローラ５０を動かすことがで
きる。以上のように、ウェーハ・テープ・マウンタ１０
は、テーブル交換を行うことなく、８インチウェーハＷ
１及び６インチウェーハＷ２の双方にテープＴを貼着す
ることができる。

【００２７】以上、本発明の好ましい実施例について詳
細に説明したが、本発明は、上記実施例に限定されるこ
となく特許請求の範囲に記載された本発明の範囲内で種
々の変更又は変形が可能であり、それらも本発明の範囲
内に含まれるものであることはいうまでもない。例え
ば、上記実施例では、ウェーハ・テープ・マウンタは、
２つのウェーハ支持テーブル１２、１４を備えている
が、ウェーハ・テープ・マウンタに更に多数のウェーハ
支持テーブルを設けても良い。

【００２８】

【発明の効果】本発明の上記構成によれば、ウェーハ・
テープ・マウンタは、テープ貼着手段を機能させるため
に、不要のウェーハ支持テーブルを退避位置に下降させ
ると共に必要なウェーハ支持テーブルのみをウェーハ吸
着作動位置に位置づけ、その位置でウェーハを吸着し、
加圧空気を作用させることができる。よって、本発明に
係るウェーハ・テープ・マウンタでは、ウェーハ支持テ
ーブルを交換することなく、大小様々な寸法のウェーハ
にテープを密着した状態で貼着することができる。本発
明のウェーハ・テープ・マウンタを使用すれば、従来の
ように、ウェーハの寸法に合わせてウェーハ支持テープ
を取り替える必要がないので、ウェーハのダイシング作
業の作業能率を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例に係るウェーハ・テープ・マウ
ンタのウェーハ支持テーブルを示す斜視図である。

【図２】図２（ａ）及び（ｂ）は、それぞれウェーハ支
持テーブルの縦断面図及びウェーハ支持テーブルとテー
プ貼着手段を示す斜視図である。

【図３】図３（ａ）及び（ｂ）は、それぞれ６インチの
ウェーハにテープを貼着する工程を示す縦断面図及びウ
ェーハ支持テーブルとテープ貼着手段を示す斜視図であ
る。

【図４】図４（ａ）及び（ｂ）は、それぞれ従来のウェ
ーハ・テープ・マウンタのウェーハ支持テーブル及びテ
ープ貼着手段を示す斜視図である。

【図５】図５（ａ）及び（ｂ）は、それぞれ図４に示す
ウェーハ支持テーブルの縦断面図である。

【図６】テープを貼着したウェーハを回転ブレードで切
断する工程を示す斜視図である。

【符号の説明】

Ｗ１８インチウェーハＷ２６インチウェーハＴテープ１０ウェーハ・テープ・マウンタ１２外側ウェーハ支持テーブル１４内側ウェーハ支持テーブル１６外側テーブル基板１８外側支持部２０内側テーブル基板２２内側支持部２４外側ウェーハ吸着面２６開口２８吸引通路３０外側底壁３２内側底壁３４環状開口３６ボス部３８エア通路４０加圧室４２内側ウェーハ吸着面４４開口４６吸引通路４８貫通孔５０ローラ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】筒状の支持部を備え、その上面に備えた
ウェーハ吸着手段によりウェーハを吸着保持すると共に
支持部内側に加圧空気を導入してウェーハを外方に押圧
するようにしたウェーハ支持テーブルと、ウェーハ支持
テーブルに保持されたウェーハにシート状のテープを貼
着するテープ貼着手段とを有するウェーハ・テープ・マ
ウンタにおいて、ウェーハの大小に合わせて互いに異なる径寸法を有し、
かつ多重同心状に配置され、上下に相対的に変位可能な
ように形成された複数のウェーハ支持テーブルと、各ウ
ェーハ支持テーブルを個別に昇降させるテーブル昇降手
段とを備え、各ウェーハ支持テーブルは、そのウェーハ支持テーブル
の径寸法に対応する大きさの支持部を有し、ウェーハを
吸着可能な作動位置とウェーハから離間する退避位置と
の間をテーブル昇降手段により選択的に昇降することを
特徴とするウェーハ・テープ・マウンタ。
【請求項２】ウェーハ支持テーブルが、大小２個のウ
ェーハ支持テーブルから構成され、小さい方のウェーハ支持テーブルが、ウェーハを吸着可
能な作動位置とウェーハから離間する退避位置との間を
テーブル昇降手段により選択的に昇降することを特徴と
する請求項１に記載のウェーハ・テープ・マウンタ。