JPH0217480Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔考案の目的〕 「産業上の利用分野」 この考案は、ダイボンデイングにおける半導体
チツプ（以下チツプという）を保持する展延性シ
ートからピツクアツプするために、該シートを載
置するプランジアツプヘツドに関する。

「従来の技術」 従来の展延性シートとプランジアツプヘツドと
しては、例えば第１図に示すようなものがある。
プランジアツプヘツド３上面に送られて位置決め
し、真空吸引された粘着力ある展延性シート７上
に例えば碁盤目状に相互に間隔をおいて設置され
た半導体チツプ２をコレツト１でピツクアツプ
し、リードフレーム等にボンデイングする方法に
おいて、展延性シート７上のチツプ２は相互の間
隔を十分に取りチツプ２の吸着時コレツト１の周
辺のチツプ２′に触れない程度にシートを拡張し
たものがある。

「考案が解決しようとする問題点」 このシート７の拡張率は小さい程チツプ２の列
が乱れず、チツプ２が傾かないのであるが第２図
に示すようにピツクアツプしようとするチツプ２
と、これに隣接するチツプ２′との間隔が小さい
とコレツト１とチツプ２′とが干渉し、チツプ
２′に割れ、欠損を生じてしまう。そこで吸着時
コレツト１の周辺にあるチツプ２′の干渉をさけ
るためシート７を拡張してチツプ相互の間隔を広
くしてコレツト１が周囲のチツプ２′に干渉する
ことがないようにするため、シート７の拡張率を
大きくするとチツプ２相互の配列の規則性が悪く
なり配列が湾曲した状態になりチツプ２に傾きが
生じる。このようなチツプ２はコレツト１との吸
着時の位置不良となりピツクアツプ不良の発生と
なる。又１シート当りの拡張率を必要以上大きく
しなければならない。

シート７上からリードフレームへチツプ２を搬
送してボンデイングする場合に直接シート７上か
らリードフレームへチツプを移動するものとシー
ト７とリードフレームの中間に位置決め装置をお
いて位置決め装置でチツプの姿勢を矯正すると共
に位置を修正してからリードフレームへ該チツプ
を搬送するものとがある。この中でもシート７上
からリードフレームへ直接チツプ２を搬送するも
のでは特にシート７上のチツプ２の姿勢が正確で
ないとパターン認識に際して正しいとされる認識
率が低下しスキツプしなければならないチツプが
多くなり収率の低下、前記ピツクアツプミスの発
生等の問題点があつた。

この考案は、このような従来の問題点に着目し
てなされたもので、プランジアツプヘツド上のピ
ツクアツプする位置のシートの吸引は、チツプを
ピツクアツプする場所の周囲で行い、且つピツク
アツプされるチツプに隣接するチツプが傾いて落
ち込む溝を設けてプランジアツプへツドの頂面に
はピツクアツプするチツプのみが位置し、このチ
ツプに隣接するチツプは吸引時傾むいて逃げた状
態にすることにより上記問題点を解決することを
目的としている。

〔考案の構成〕

「問題点を解決するための手段」 この考案はプランジアツプヘツドの平坦面のピ
ツクアツプするチツプを吸引する位置の周囲に真
空源に通ずる環状溝を設け、ピツクアツプする位
置のチツプに隣接するチツプはチツプを保持して
いるシートと共に該環状の溝の上方にあるように
したものである。

「作用」 上記環状溝を真空とするとピツクアツプする位
置のチツプは環状溝に囲まれた頂面上にシートを
介して着座し、ピツクアツプする位置に隣接する
チツプはシートが環状溝に落ち込むことにより、
ピツクアツプするチツプに対して外方に傾き、ピ
ツクアツプするチツプとこれに隣接するチツプの
間隔は上方が開く。この状態でピツクアツプが行
われる。

「実施例」 以下、この考案を図面に基づいて説明する。第
３図はこの考案の一実施例を示す図、第４図は第
３図の一部平面図である。樹脂製の粘着性のある
展延性シート（以下シートという）７を用いて、
この上に半導体チツプ（以下チツプという）２を
貼着した後、このシートを拡張することにより、
シート上のチツプ２は相互に間隔をおいて配置さ
れる。該シート７は周囲を図示されない支持枠の
チツプリングに固定されている。シート７はプラ
ンジアツプヘツド３の上面に沿つて移動すること
ができる。

プランジアツプヘツド３は上面が平坦面となつ
ており、シート７全体を一様に真空吸引してシー
ト７をプランジアツプヘツド３に固定するための
複数個の真空吸引用穴１１が該平坦面とその背面
間を貫通している。

プランジアツプヘツド３にはプランジアツプピ
ン５が挿通できる真空吸引用穴６が設けてあり、
該穴６の真上にはコレツト１が少くとも上下動可
能に配されている。

真空吸引用穴６と同心に円環状の真空吸引用溝
８がプランジアツプヘツド３の平坦面に設けてあ
り、真空吸引用溝８の底とプランジアツプヘツド
３の下面間には真空吸引用穴４が設けられ、真空
吸引用穴４，６，１１の下端が図示されない真空
源に通ずるようになつている。

真空吸引用溝８によりプランジアツプヘツド３
には頂面１０が形成される。頂面１０の大きさ即
ち真空吸引用溝８の内径ｄはチツプ２が一個載置
される大きさであり、更に詳しくのべれば真空吸
引溝８の内径ｄは頂面１０上方のピツクアツプ位
置にあるチツプ２に隣接するチツプ２′の図示端
部にほぼ一致するかわずかに離れており、真空吸
引用溝８の外径Ｄはピツクアツプ位置のチツプ２
から一つおいて隣のチツプ２′の図示端部にほぼ
一致している。

コレツト１は先端の角錐形凹部の内壁９につづ
いて軸方向に真空吸引穴１２が貫通しており、図
示されない真空源を制御してチツプ２を着脱する
ものである。

第３図はプランジアツプヘツド３の各真空吸引
用穴４，６，１１が真空吸引されておらず、シー
ト７がプランジアツプヘツド３の平坦面に沿つて
移動し、所定位置に停止した状態を示している。
この状態で第５図に示すように真空源が真空吸引
用穴４，６，１１に連通されるとシート７は真空
吸引用穴１１から吸引される真空圧により一様に
プランジアツプヘツド３に密着する。

プランジアツプヘツド３の頂面１０のすぐ隣接
する周辺のチツプ２′はシート７が真空吸引用溝
８の真空圧に引かれるためシート７は真空吸引用
溝８内へ入り込み、頂面１０から外方へ下るよう
に傾斜し、シート７上のチツプ２′はシート７と
共に傾き、ピツクアツプ位置のチツプ２との対向
面の上端がピツクアツプ位置のチツプ２から遠ざ
かり、コレツト１の先端はピツクアツプしようと
するチツプ２に隣接するチツプ２′に接触しない
ようになる。尚、この際真空吸引用溝８の外周辺
では符号１３で示されるようにシート７が持上る
現象が見られる。チツプ２上方よりコレツト１が
下降し頂面１０上のチツプ２をコレツト１の内壁
９に吸着する。その後シート７から該チツプ２を
剥離させるため、プランジアツプピン５が上昇す
る。この時にシート７上のチツプ２とコレツト１
は上方に押し上げられる。そして第６図に示すよ
うにシート７はプランジアツプピン５によつて突
き破られ、チツプ２はシート７から完全に剥離さ
れ、コレツト内壁９に吸着される。

プランジアツプピン５は上限到着後は下降を開
始する。一方コレツト１はボンデイング位置に移
動し、図外のワーク上にチツプ２をボンデイング
する。プランジアツプピン５により突き破られた
シート７はプランジアツプピン５が抜けると急速
に平坦な形に戻る。

そして次にシート７が送られるときはシート７
はシートリングに張設せられている状態で真空吸
引用溝８の縁を摺擦してとおるのでならされて平
坦度はよくなり、第７図のような状態となる。こ
のようにチツプ２がないシート７の部分が真空吸
引用溝８の上に来ても、このシート７の部分は真
空吸引用溝８に真空吸着時落ちこむだけで真空吸
引用溝８上にチツプ２′がある部分は前記したと
同様の作用によりピツクアツプすべきチツプ２と
は間隔が開く。

〔考案の効果〕

以上説明してきたように、この考案によれば、
その構成をプランジアツプヘツド頂面と一致する
位置にはコレツトによるピツクアツプしようとす
るチツプが位置し、隣接するシート上のチツプは
該頂面回りの真空吸引用溝上方に位置するように
したため、真空吸引によりプランジアツプヘツド
の頂面の周りの真空吸引用溝に該頂面から見て外
方に落ち込むようにチツプがコレツトに対して開
くように傾きコレツト周辺のチツプが干渉するこ
となく、頂面のチツプのみが吸着できる。従来の
ように、チツプの間隔が狭くてコレツトが他の囲
りのチツプに干渉してしまうようなシートの拡張
度合であつても本考案は周辺のチツプに干渉する
ことなく吸着工具先端のピツクアツプ動作を容易
にできる。

従来のシート拡張率を大幅に縮少できることに
なり、拡張されたチツプの相互の位置間隔が精度
良く並び、又同一チツプリング上に、これまでに
ないチツプ数が収納が可能となり自動機において
XYテーブルの動作範囲の縮小又はヘツドのスピ
ード化が効率が大となるという効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、従来のピツクアツプ時のプランジア
ツプヘツド部の縦断面図、第２図はシートの拡張
度合によるコレツトに隣接するチツプの状態を示
す縦断面図、第３図はこの考案の実施例の縦断面
図、第４図は第３図の平面図、第５図はシートの
吸引により隣接するチツプが真空吸引用溝に落ち
込み傾きが生じた状態を示す縦断面図、第６図は
第３図においてシートよりチツプが剥離されチツ
プがプランジアツプピンにより持ち上がつた状態
を示す縦断面図、第７図は第６図におけるチツプ
のピツクアツプ終了後シートが送られた状態を示
す縦断面図である。 １……コレツト、２，２′……チツプ、３……
プランジアツプヘツド、４……真空吸引用穴、５
……プランジアツプピン、６……真空吸引用穴、
７……展延性シート、８……真空吸引用溝、９…
…コレツト内壁、１０……頂面、１１，１２……
真空吸引用穴。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 展延性シート７上に相互に間隔をおいて配置さ
   れたチツプ２を１個づつ、コレツト１による真空
   吸引により、順次該シートから剥離して、これを
   ボンデイング位置まで運ぶようにしたボンデイン
   グ装置において、前記シート７を支持するプラン
   ジアツプヘツド３に、コレツトに吸引すべきチツ
   プの底面を支持するに足る平坦な頂面１０および
   その頂面に開口するプランジアツプピン用の孔６
   を設け、該頂面１０の周囲には、前記吸引すべき
   チツプに隣るチツプが傾き得る真空吸引用溝８を
   設けたことを特徴とするプランジアツプヘツド。