JPH0720298A - 電子線照射装置 - Google Patents

電子線照射装置

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JPH0720298A
JPH0720298A JP18673093A JP18673093A JPH0720298A JP H0720298 A JPH0720298 A JP H0720298A JP 18673093 A JP18673093 A JP 18673093A JP 18673093 A JP18673093 A JP 18673093A JP H0720298 A JPH0720298 A JP H0720298A
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JP
Japan
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transfer chamber
electron beam
processed
lower transfer
beam irradiation
Prior art date
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Application number
JP18673093A
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English (en)
Inventor
Shinji Oyama
信次 大山
Suetoshi Ooizumi
末年 大泉
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Iwasaki Electric Co Ltd
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Iwasaki Electric Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 簡易な構成により上部搬送室と下部搬送室と
の間隔を常に一定とすることができる電子線照射装置を
提供する。 【構成】 搬送室30は、上部搬送室32及び下部搬送
室34と、蝶番36と、パッチン錠38とを有する。蝶
番36は、被処理物の搬送方向に直角な方向における搬
送室30の左端に下部搬送室34を回動自在に枢着す
る。パッチン錠38は、可動係止部材42a及びレバー
42bを有する本体42と、係止片44とを備え、被処
理物の搬送方向に直角な方向における搬送室30の右端
に上部搬送室32と下部搬送室34とを開閉自在に係着
する。可動係止部材42aを係止片44に係止させた
後、レバー42bを下方に倒すことにより、上部搬送室
32と下部搬送室34とを係着する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、被処理物にカーテン状
の電子線を照射する電子線照射装置に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】図4は従来の電子線照射装置の概略構成
図、図5は被処理物の搬送方向に直角な方向における従
来の電子線照射装置の搬送室の概略断面図である。電子
線照射装置は、図4に示すように、電子線発生部110
と、照射窓部(不図示)と、被処理物が搬送される搬送
室130と、油圧シリンダ140とを備えるものであ
る。
【0003】電子線発生部110は、線状陰極(不図
示)に電流を通じて加熱することにより線状陰極から放
出された熱電子を加速し、カーテン状の電子線を発生さ
せるものである。この電子線発生部110は搬送室13
0の略中央上部に設けられている。尚、電子線発生部1
10の内部は、電子が気体分子と衝突してエネルギーを
失うことを防ぐため、拡散ポンプ等により真空に保たれ
ている。
【0004】照射窓部は電子線発生部110と搬送室1
30との境界に設けられたもので、金属箔からなる窓箔
を有する。窓箔により、電子線発生部110内の真空雰
囲気と搬送室130内の照射雰囲気とが仕切られ、窓箔
を突き抜けた電子線が搬送室130内に取り出される。
【0005】搬送室130は、図4及び図5に示すよう
に、上部搬送室132と、下部搬送室134とを有す
る。たとえばシート状の被処理物に電子線を照射する場
合には、被処理物は下部搬送室134に設けられたロー
ラ150等の搬送機構により、搬送室130内を図4に
おいて左側から右側に搬送される。また、図5に示すよ
うに下部搬送室134の両端で上方に折曲された折曲部
134a,134bの先端と上部搬送室132との間に
はパッキン134c,134cが設けられ、このパッキ
ン134c,134cにより上部搬送室132と下部搬
送室134とを密閉している。
【0006】電子線発生部110及び搬送室130に
は、電子線照射時に二次的に発生するX線が外部へ漏出
しないように、鉛遮蔽が施されている。たとえば、搬送
室130の上部搬送室132及び下部搬送室134は、
内側が鉛Pで、外側がステンレス鋼Sである二層構造と
されている。また、下部搬送室134の両端の折曲部1
34a,134bが上部搬送室132の両端で下方に折
曲された折曲部132a,132bと上部搬送室132
に設けた突起部132c,132cとの間に差し込める
ように搬送室130を形成することにより、搬送室13
0をX線が外部に漏出しにくい構造としている。
【0007】油圧シリンダ140は下部搬送室134を
昇降することにより、搬送室130を開閉するものであ
る。窓箔、ローラ150又は搬送室130等の保守点検
を行う場合には、油圧シリンダ140により下部搬送室
134を図4の点線で示す位置に降下させる。また、搬
送室130の開閉機構としては、油圧シリンダ140を
用いる機構のほか、たとえばモータも利用されている。
従来、このような搬送室130の開閉機構を用いる場合
には、下部搬送室134の停止位置の制御は、リミット
スイッチを用いて行われている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】ところで、たとえば9
0〜300kVの加速電圧で電子線を加速する低エネル
ギータイプの電子線照射装置では、制動X線の発生が少
なく、自己遮蔽を簡素化することができる。このため、
かかる低エネルギータイプの電子線照射装置では、高エ
ネルギータイプの電子線照射装置に比べて、搬送室13
0に使用する鉛の厚さを薄くしたりして搬送室130等
のX線遮蔽構造を簡単にすることができる。しかしなが
ら、従来は、低エネルギータイプの電子線照射装置であ
っても、搬送室130の開閉機構として、依然として高
価な油圧シリンダ140等を用いていたため、低コスト
化を図ることができないという問題があった。しかも、
油圧シリンダ140等を用いて下部搬送室134を上昇
させる場合、下部搬送室134の停止位置の制御をリミ
ットスイッチで行っているので、下部搬送室134を上
部搬送室132に対して毎回同じ位置に正確に停止させ
ることは困難であり、したがって下部搬送室134をパ
ッキン134c,134cを介して隙間なく上部搬送室
132に当接することが難しいという問題があった。
【0009】本発明は上記事情に基づいてなされたもの
であり、簡易な構成により上部搬送室と下部搬送室との
間隔を常に一定とすることができる電子線照射装置を提
供することを目的とするものである。
【0010】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの本発明は、電子線を発生する電子線発生部と、上部
搬送室及び下部搬送室を有し被処理物が搬送される搬送
室と、前記電子線発生部で発生した電子線を前記搬送室
内に取り出す窓部とを備え、前記搬送室内を移動する被
処理物に電子線を照射する電子線照射装置において、被
処理物の搬送方向に直角な方向における前記搬送室の一
方の端部に前記下部搬送室を回動自在に枢着する枢着手
段を設けると共に、被処理物の搬送方向に直角な方向に
おける前記搬送室の他方の端部に前記上部搬送室と前記
下部搬送室とを開閉自在に係着する係着手段を設けたこ
とを特徴とするものである。
【0011】また、前記上部搬送室及び前記下部搬送室
は、ステンレス鋼の間に鉛が挟まれた構造を有するもの
であることが望ましい。
【0012】更に、前記下部搬送室に衝撃軽減手段を設
けることが望ましい。
【0013】
【作用】本発明は前記の構成によって、被処理物の搬送
方向に直角な方向における搬送室の一方の端部に下部搬
送室を回動自在に枢着する枢着手段を設けると共に、被
処理物の搬送方向に直角な方向における搬送室の他方の
端部に上部搬送室と下部搬送室とを開閉自在に係着する
係着手段を設けたことにより、搬送室を開閉する機構が
極めて簡易になるので、従来の油圧シリンダを用いる開
閉機構に比べて低コスト化を図ることができる。しか
も、枢着手段及び係着手段を用いることにより、搬送室
を閉じるときに上部搬送室と下部搬送室との間隔を常に
一定にすることができる。また、枢着手段及び係着手段
が取り着けられる位置を調整することにより、上部搬送
室と下部搬送室との間隔を調整することも可能である。
【0014】また、上部搬送室及び下部搬送室をステン
レス鋼の間に鉛が挟まれた構造とすることにより、上部
搬送室や下部搬送室の表面に鉛が露出していないので、
たとえば搬送室を開けて保守点検を行う場合、鉛が作業
者の手に直接触れることがなくなり、したがって作業者
にとって保健・衛生上の改善を図ることができる。
【0015】更に、下部搬送室に衝撃軽減手段を設ける
ことにより、たとえば係着手段を外したときに下部搬送
室が下方に急激に回動するのを防止することができる。
【0016】
【実施例】以下に、本発明の一実施例について図面を参
照して説明する。図1は本発明の一実施例である電子線
照射装置の概略断面図、図2は被処理物の搬送方向に直
角な方向における本実施例の電子線照射装置の搬送室の
概略側面図、図3はその電子線照射装置の搬送室の概略
断面図である。
【0017】図1及び図2に示す電子線照射装置は、電
子線発生部10と、照射窓部20と、被処理物が搬送さ
れる搬送室30と、衝撃軽減手段としてのダンパ(damp
er)60と、搬送室30等を支持する脚部70とを備え
るものである。
【0018】電子線発生部10は搬送室30の略中央上
部に設けられ、図1に示すように、電子線を発生するタ
ーミナル12と、ターミナル12で発生した電子線を加
速空間(真空空間)で加速する加速管14とを有するも
のである。また、電子線発生部10の内部は、電子が気
体分子と衝突してエネルギーを失うことを防ぐため、図
示しない拡散ポンプ等により10-6〜10-7Torrの真空
に保たれている。ターミナル12は、熱電子を放出する
線状陰極としてのフィラメント12aと、フィラメント
12aを支持するガン構造体12bと、フィラメント1
2aで発生した熱電子をコントロールするグリッド12
cとを有する。
【0019】照射窓部20は、金属箔からなる窓箔22
と、窓箔22を冷却すると共に窓箔22を支持する窓枠
構造体24とを有するものである。窓箔22は、電子線
発生部10内の真空雰囲気と搬送室30内の照射雰囲気
とを仕切るものであり、また窓箔22を介して搬送室3
0内に電子線を取り出すものである。この窓箔22に
は、電子線発生部10内の真空雰囲気を十分維持できる
機械的強度があり、しかも耐熱性に優れたチタン箔が主
に使用されている。
【0020】搬送室30は、上部搬送室32及び下部搬
送室34と、枢着手段としての蝶番36と、係着手段と
してのパッチン錠38とを有し、下部搬送室34と上部
搬送室32とで囲まれた空間を被処理物が搬送される。
搬送室30内を移動する被処理物には、照射窓部20の
形成された部分に対応する搬送室30内の空間(照射空
間)Xにおいて、電子線が照射される。また、被処理物
は搬送室30内を、図示しない搬送機構により、図1に
おいては左側から右側に、また図2においては紙面に垂
直な方向に搬送される。かかる搬送機構には、被処理物
の種類に応じて主として二種類ある。被処理物が小さな
試料である場合には、被処理物をトレイ内に載置し、こ
のトレイを搬送用チェーン等により搬送する機構が用い
られる。また、被処理物がシート状のものである場合に
は、被処理物をローラ等により搬送する機構が用いられ
る。
【0021】蝶番36は、図3に示すように、被処理物
の搬送方向に直角な方向における搬送室30の左端に下
部搬送室34を回動自在に枢着するものである。蝶番3
6は、上部搬送室32の左側の下方折曲部32aの内側
に取り付けられたプレート52と、下部搬送室34の左
端底部とに取り着けられている。
【0022】パッチン錠38は、図3に示すように、被
処理物の搬送方向に直角な方向における搬送室30の右
端に上部搬送室32と下部搬送室34とを開閉自在に係
着するものである。パッチン錠38は、本体42と、係
止片44とを備えるものである。本体42は、可動係止
部材42aと、レバー42bとを有する。本体42は、
下部搬送室34の右側の下方折曲部34bに取り着けら
れ、係止片44は、上部搬送室32の右側の下方折曲部
32bの外側に取り着けられる。可動係止部材42aを
係止片44に係止させた後、レバー42bを下方に倒す
ことにより、上部搬送室32と下部搬送室34とを係着
する。
【0023】尚、蝶番36(又はプレート52)及びパ
ッチン錠38の搬送室30に取り着ける位置を調整する
ことにより、上部搬送室32と下部搬送室34との間隔
dを調整することが可能である。
【0024】また、図3に示すように、下部搬送室34
の右端には、断面が左右逆のL字形で、長さが下部搬送
室34の紙面に垂直な方向の長さと略同じである起立端
部34cが取り付けられている。そして、下部搬送室3
4の左端の上方折曲部34aの内側及び右端の起立端部
34cの内側にはパッキン54,54が取り付けられ、
このパッキン54,54により上部搬送室32と下部搬
送室34とを密閉している。また、図2に示すように、
下部搬送室34の底面には補強部材56が設けられてい
る。ダンパ60の一端は補強部材56の略中央部に取り
付けられ、ダンパ60の他端は脚部70に取り付けられ
ている。このようにダンパ60を設けたことにより、た
とえばパッチン錠38を外したときに下部搬送室34が
下方に急激に回動するのを防止することができるので、
搬送室30を開閉する際の作業の安全を図ることができ
る。
【0025】また、電子線発生部10及び搬送室30に
は、電子線照射時に二次的に発生するX線が外部へ漏出
しないように、鉛遮蔽が施されている。特に、搬送室3
0の上部搬送室32と下部搬送室34は、図3に示すよ
うに、ステンレス鋼Sの間に鉛Pが挟まれたサンドイッ
チ構造とされている。また、上部搬送室32の両端の下
方折曲部32a,32bと、下部搬送室34の左端の上
方折曲部34a及び右端の起立端部34cとにより、搬
送室30の両端部のX線シールを二重構造にして、搬送
室30をX線が外部に漏出しにくい構造としている。
【0026】このように構成された電子線照射装置で
は、フィラメント12aに電流を通じて加熱するとフィ
ラメント12aは熱電子を放出し、この熱電子は、フィ
ラメント12aとグリッド12cとの間に印加された制
御電圧により四方八方に引き寄せられる。このうち、グ
リッド12cを通過したものだけが電子線として有効に
取り出される。そして、このグリッド12cから取り出
された電子線は、グリッド12cと窓箔32との間に印
加された加速電圧により加速管14内の加速空間で加速
された後、窓箔32を突き抜け、照射窓部30の下方の
照射室20内を搬送される被処理物に照射される。
【0027】今、たとえば、電子線を照射する処理が終
了した後、窓箔22、搬送機構又は搬送室30等の保守
点検を行うために搬送室30を開ける場合には、まずパ
ッチン錠38のレバー42bを上方に上げ、可動係止部
材42aを係止片44から外す。そして、下部搬送室3
4を図2の点線で示す位置までゆっくり回動する。この
ように、作業者は、搬送室30を簡単に開けることがで
きるので、直ちに保守点検を行うことができる。また、
上部搬送室32と下部搬送室34とはステンレス鋼Sの
間に鉛Pを挟んだ構造を有し、上部搬送室32と下部搬
送室34の表面には有害な鉛Pが露出していないので、
鉛が作業者の手に直接触れることがなくなり、作業者に
とって保健・衛生上も好ましいものとなる。
【0028】本実施例の電子線照射装置では、被処理物
の搬送方向に直角な方向における搬送室の一方の端部に
下部搬送室を回動自在に枢着する蝶番を設けると共に、
被処理物の搬送方向に直角な方向における搬送室の他方
の端部に上部搬送室と下部搬送室とを開閉自在に係着す
るパッチン錠を設けたことより、搬送室を開閉する機構
が極めて簡易になるので、搬送室を容易に開閉すること
ができると共に、従来の油圧シリンダを用いる開閉機構
に比べて低コスト化を図ることができる。また、潤滑油
等の油は必要なく、衛生的である。更に、搬送室を閉じ
るときには機械的な蝶番及びパッチン錠を用いることに
より、上部搬送室と下部搬送室との間隔を常に一定にで
き、したがって下部搬送室をパッキンを介して隙間なく
上部搬送室に確実に当接することができる。また、蝶番
及びパッチン錠が取り着けられる位置を調整することに
よって上部搬送室と下部搬送室との間隔を調整すること
も可能である。したがって、本実施例の電子線照射装置
は、特に、制動X線の発生が少なく、自己遮蔽を簡素化
できる低エネルギータイプのものに好適である。
【0029】尚、本発明は、上記の実施例に限定される
ものではなく、その要旨の範囲内において種々の変形が
可能である。
【0030】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、被
処理物の搬送方向に直角な方向における搬送室の一方の
端部に下部搬送室を回動自在に枢着する枢着手段を設け
ると共に、被処理物の搬送方向に直角な方向における搬
送室の他方の端部に上部搬送室と下部搬送室とを開閉自
在に係着する係着手段を設けたことにより、搬送室を開
閉する機構が極めて簡易になるので、従来の油圧シリン
ダを用いる開閉機構に比べて低コスト化を図ることがで
きると共に、搬送室を閉じるときに上部搬送室と下部搬
送室との間隔を常に一定にすることができる電子線照射
装置を提供することができる。
【0031】また、上部搬送室及び下部搬送室をステン
レス鋼の間に鉛が挟まれた構造とすることにより、上部
搬送室や下部搬送室の表面に鉛が露出していないので、
たとえば搬送室を開けて保守点検を行う場合、鉛が作業
者の手に直接触れることがなくなり、作業者にとって保
健・衛生上の改善を図ることができる電子線照射装置を
提供することができる。
【0032】更に、下部搬送室に衝撃軽減手段を設ける
ことにより、たとえば係着手段を外したときに下部搬送
室が下方に急激に回動するのを防止することができるの
で、搬送室を開閉する際の作業の安全を図ることができ
る電子線照射装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例である電子線照射装置の概略
断面図である。
【図2】被処理物の搬送方向に直角な方向における本実
施例の電子線照射装置の搬送室の概略側面図である。
【図3】その電子線照射装置の搬送室の概略断面図であ
る。
【図4】従来の電子線照射装置の概略構成図である。
【図5】被処理物の搬送方向に直角な方向における従来
の電子線照射装置の搬送室の概略断面図である。
【符号の説明】
10 電子線発生部 12 ターミナル 12a フィラメント 12b ガン構造体 12c グリッド 14 加速管 20 照射窓部 22 窓箔 24 窓枠構造体 30 搬送室 32 上部搬送室 34 下部搬送室 36 蝶番 38 パッチン錠 42 本体 42a 可動係止部材 42b レバー 44 係止片 52 プレート 54 パッキン 56 補強部材 60 ダンパ 70 脚部

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 電子線を発生する電子線発生部と、上部
    搬送室及び下部搬送室を有し被処理物が搬送される搬送
    室と、前記電子線発生部で発生した電子線を前記搬送室
    内に取り出す窓部とを備え、前記搬送室内を移動する被
    処理物に電子線を照射する電子線照射装置において、 被処理物の搬送方向に直角な方向における前記搬送室の
    一方の端部に前記下部搬送室を回動自在に枢着する枢着
    手段を設けると共に、被処理物の搬送方向に直角な方向
    における前記搬送室の他方の端部に前記上部搬送室と前
    記下部搬送室とを開閉自在に係着する係着手段を設けた
    ことを特徴とする電子線照射装置。
  2. 【請求項2】 前記上部搬送室及び前記下部搬送室は、
    ステンレス鋼の間に鉛が挟まれた構造を有するものであ
    る請求項1記載の電子線照射装置。
  3. 【請求項3】 前記下部搬送室に衝撃軽減手段を設けた
    請求項1又は2記載の電子線照射装置。
JP18673093A 1993-06-30 1993-06-30 電子線照射装置 Pending JPH0720298A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007532899A (ja) * 2004-04-13 2007-11-15 テレダイン・テクノロジーズ・インコーポレイテッド 高エネルギー電子用の改良型ソース
JP2009068973A (ja) * 2007-09-12 2009-04-02 Hamamatsu Photonics Kk 電子線照射装置

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