JPH07205397A - クリームはんだ印刷装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明の目的はスキージ押し付け力を最適な
値に設定可能であると共に、前後助走領域、印刷領域に
応じてスキージ押し付け力を最適な値に設定可能なクリ
ームはんだ印刷装置を提供することである。 【構成】 本発明のクリームはんだ印刷装置は、クリー
ムはんだを印刷するスキージ７、このスキージ７を上下
移動するシリンダ１１と、このシリンダ１１への供給エ
アー圧を電気信号に基づき制御する電空レギュレータ３
６と、前記スキージ７下降時の前記シリンダ１１の排出
側エアー圧を制御するレギュレータ６３とを備え、この
レギュレータ６３によりスキージ７およびスキージ７と
共に上下に移動する部分の自重分を補償し、電空レギュ
レータ３６により印刷圧力を印刷領域とその前後の助走
領域とに別個に制御することで、助走領域においてはク
リームはんだ塊を移動できる必要最小限の押し付け力を
スクリーン１に与えることで、スクリーンのゆがみを抑
え、印刷精度・版抜け性を向上させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、所定パターンの細孔が
形成されたスクリーンを通して基板上にクリームはんだ
を塗布するクリームはんだ印刷装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図面を用いて従来のクリームはんだ印刷
装置について説明する。図６は印刷時のスクリーン１の
断面を示しており、図７に示すように、金属の薄板から
成るメタルマスク２をメッシュ３により張力を持たせた
状態でスクリーン枠４に固定されたものをスクリーン
１、あるいはスクリーンマスクという。

【０００３】バックアップテーブル５上に位置決め、固
定された基板６は、スクリーン１下面にわずかのギャッ
プをあけた位置まで上昇し、続いてスキージ７が下降し
た後、水平方向に移動する。

【０００４】この時スキージ７は、スクリーン１のメタ
ルマスク２を押し下げながら移動し、またスキージ７は
水平面に対し６０°前後の傾きを持っているため、同時
に移動するクリームはんだ８はスクリーン面に対して押
し付け力を生じる。そのため、スクリーン１上の細孔を
通してクリームはんだ８は基板６上に接触し、続いてス
クリーン１の張力によりメタルマスク２が基板６から離
れると、基板６上には細孔形状に応じたクリームはんだ
のパターンが印刷される。

【０００５】なお、基板６はバックアップテーブル５上
に固定されたブロック９やピン１０により支持されてお
り、また図中には示されていないサイドクランプ機構に
より基板は水平方向の動きを規制された状態で保持され
ている。

【０００６】以上の印刷方法はオフコンタクト印刷と呼
ばれるが、ギャップを設けているためスクリーンにはゆ
がみが生じ、印刷精度、パターンの抜け性等の問題があ
り、粗いパターンの印刷にしか対応できない方法であ
る。

【０００７】そのため、近年のパターンの高精細化・高
密度化に対してはコンタクト印刷が主流となりつつあ
る。コンタクト印刷というのは、バックアップテーブル
の上下移動をモータにより行い、ギャップ０にて印刷し
た後、極低速で基板を下降させる（メタルマスクから離
れた後は通常の速度で下降）ものであり、ギャップによ
るスクリーンのゆがみがほとんどなく、印刷精度、パタ
ーンの抜け性ともに良好な方法である。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながらコンタク
ト印刷においても以下のような問題点がある。第一の問
題は最適なスキージ押し付け力を設定することが難しい
という問題である。コンタクト印刷であってもスキージ
の押し付け力が大きい場合、スクリーン細孔と基板パタ
ーンとの位置が少しでもずれていると、その隙間よりス
クリーン裏面へ、クリームはんだに含まれるフラックス
や溶剤等が回り込み、印刷パターンの抜け性が極端に悪
くなる。

【０００９】また、スキージの押し付け力が大きいと印
刷時メタルマスクを水平方向へ引張ろうとする力も大き
くなるため、位置ずれの原因となるだけでなく、前述の
フラックスや溶剤等の回り込みにもつながる。

【００１０】実験による調査では、印刷圧力（スキージ
とスクリーンの接触を線接触とし、スキージ押し付け力
をスキージ接触長さで割った値）１０ｇ／mm以下が高精
細パターンの印刷に適当であり、さらに５ｇ／mm前後が
最適であることが判明している。

【００１１】しかしながら、スキージ上下移動用のシリ
ンダへの供給エアー圧をレギュレータにより低く設定し
たとしても、スキージ及びスキージと共に移動する部分
の重量があるため、１０ｇ／mm以下の印刷圧力の設定は
困難であった。

【００１２】また、設定値は人手によりレギュレータの
指示針を見ながら行わなければならず、設定精度・再現
性にも問題があった。第二の問題は、スキージ移動領域
においてスキージ押し付け力（印刷圧力）が一定である
ため、スクリーンのズレ，ゆがみ等が生じ、印刷性が悪
化するという問題である。

【００１３】クリームはんだ塊自体が大きさを持ってい
るため、図８に示すようにスキージ７は基板６の手前に
下降し、前側助走領域ａ、印刷領域ｂ、後側助走領域ｃ
と移動する。前後助走領域ａ，ｃと印刷領域ｂとでは、
各種基板形状へ対応するために基板支持手段が異なって
おり、そのため支持高さや剛性が異なり、スキージ押し
付け力によるスクリーンのズレが生じる。

【００１４】また、後側助走領域ｃの端までスキージ７
が移動すると基板６はバックアップテーブル５と共に下
降するが、このときスキージ押し付け力が働いているた
め、基板１１の下降と共にスキージ７がスクリーン１を
押し下げてしまい、オフコンタクト印刷と同様にスクリ
ーンのゆがみが生じ、印刷性は悪化する。

【００１５】なお、基板１の下降前にスキージ７が上昇
すると、クリームはんだの粘性によりスクリーンのメタ
ルマスクが持ち上げられ、印刷性はさらに悪くなる。本
発明の目的は、以上の問題点を解決するためになされた
ものであり、スキージ押し付け力を最適な値に設定可能
であると共に、前後助走領域、印刷領域に応じてスキー
ジ押し付け力を最適な値に設定可能なクリームはんだ印
刷装置を提供することである。

【００１６】

【課題を解決するための手段】以上の目的を達成するた
めに、本発明のクリームはんだ印刷装置は、所定パター
ンの細孔が形成されたスクリーンと、前記スクリーンと
接触可能なスキージと、前記スクリーンに対し前記スキ
ージを水平方向へ相対的に移動させるスキージ水平移動
手段とを備え、前記スクリーンに対し前記スキージを接
触移動することにより、前記スクリーン上のクリームは
んだを前記スクリーンの細孔を通して基板に印刷するク
リームはんだ印刷装置において、前記スクリーンに対し
て前記スキージを上下方向に相対的に移動するスキージ
上下移動手段と、前記スキージ上下移動手段を制御し、
前記スクリーンに対するスキージ押し付け力を調整する
スキージ押し付け力調整手段とを備えたことを特徴とす
る。

【００１７】さらに、本発明のクリームはんだ印刷装置
のスキージ押し付け力調整手段は、前記スクリーンの下
の基板にクリームはんだを印刷する印刷領域と、その印
刷領域の前後の助走領域とに応じて、異なったスキージ
押し付け力に調整可能なことを特徴とする。

【００１８】

【作用】本発明のクリームはんだ印刷装置においては、
スキージ押し付け力調整手段により、スキージ上下移動
手段を制御し、スクリーンに対するスキージ押し付け力
を調整することで、印刷時のスキージおよびスキージと
共に移動する部分の自重分を補償し、さらにスクリーン
に対するスキージの押し付け力を最適な値に設定する。

【００１９】また、スキージ水平移動手段によりスキー
ジを水平方向に移動させる場合に、スキージ押し付け力
調整手段により印刷領域とその前後の助走領域とに応じ
てスキージに押し付け力を与えて、助走領域においては
クリームはんだ塊を移動できる必要最小限の押し付け力
とする。

【００２０】

【実施例】本発明の実施例を図面を参照して説明する。
図１は、本発明による実施例であるクリームはんだ印刷
装置のスキージ上下駆動部の断面図であり、図２は図１
のクリームはんだ印刷装置のスキージ上下駆動部の正面
図を示ており、また、図３は本実施例のクリームはんだ
印刷装置のスキージ上下駆動用の空圧回路図を示してい
る。

【００２１】図１においてスキージ上下駆動用のシリン
ダ１１はロッド１２を鉛直方向下側に向けてベースブロ
ック１３にボルト１４により固定されている。ロッド１
２の先端にはベアリング１５がボルト１６により取り付
けられており、ベアリング１５の外輪側をフタ１７では
さみこむ形で、高さ調整ネジ１８が取り付けられてい
る。高さ調整ネジ１８のネジ部はスライドベース１９に
ねじ込まれ、ナット２０により固定されている。

【００２２】図２はスキージ上下駆動部を正面より見た
図であり、スライドベース１９はベースブロック１３に
取り付けられたリニアガイド２１にも連結しており、上
下方向以外の動きは規制されている。

【００２３】また、スライドベース１９の下側には、ブ
ロック２２が支点２３を中心に回転可能に取り付けられ
ており、同時にスプリング２４によって、スライドベー
ス１９に取り付けられたボルト２５の先端に押し付けら
れている。そのため、ボルト２５のねじ込み量を変える
ことにより、ブロック２２の傾きをＡ方向に変えること
が可能となっているが、傾き調整時以外はボルト２６に
よってブロック２２はスライドベース１９に固定されて
いる。

【００２４】ブロック２２の両端には角度調整ブロック
２７がボルト２８により取り付けられており、ボルト２
８をゆるめることにより、Ｂ方向に角度を変えることが
可能となっている。

【００２５】角度調整ブロック２７にはスキージホルダ
２９がボルト３０により取り付けられており、さらにス
キージホルダ２９は、プレート３１をボルト３２で押し
付けることによりスキージゴム３３をはさみつける状態
で保持している。

【００２６】なお、一般にスキージとは、スキージゴム
及びそれを保持する部分の総称である。一方、図３にお
いて、シリンダ１１のポート３４は配管経路３５により
電空レギュレータ３６のポート３７につながっており、
電空レギュレータ３６のポート３８は配管経路３９によ
り電磁弁４０のポート４１につながっている。

【００２７】電空レギュレータ３６の前後には分岐点４
２ａ，４２ｂがあり、チェック弁４３を持つバイパス経
路４４が形成されている。ここで電空レギュレータ３６
の動作原理を、図４を用いて説明する。

【００２８】コントローラ４５は、入力信号が入力され
ると、電空レギュレータ３６の出力圧力を検出する圧力
センサ４６からの検出信号と比較する。この検出信号の
値が設定圧力を示す入力信号の値に達していないと、圧
電素子で構成されたフラッパ４７に加える電圧を変更
し、ノズル４８が閉じる方向にフラッパ４７をたわませ
る。

【００２９】フラッパ４７を構成する圧電素子は印加電
圧の大きさに比例してたわみが大きくなり、電圧の符号
によりたわみの方向が変わる。その結果、ノズル背圧室
４９の圧力が上昇し、ダイヤフラム５０の上部に作用し
て、排気弁５１を押し下げる。そのため、排気弁５１と
連動しているインナバルブ５２が下方に動き、給気口５
３が開く。そして、供給圧力の一部は給気口５３を通っ
て出力圧となり、再び圧力センサ４６により検出され、
コントローラ４５により入力信号と比較される。

【００３０】これを繰り返すことにより、入力信号に応
じた出力圧力が得られる。図３に戻り、シリンダ１１の
ポート５４は配管経路５５によってシャトル弁５６のポ
ート５７につながっており、シャトル弁５６のポート５
８は配管経路５９によって電磁弁４０のポート６０につ
ながっている。シャトル弁５６のもう一つのポート６１
は配管経路６２によってレギュレータ６３のポート６４
につながっており、レギュレータ６３のポート６５は空
圧源６６につながっている。

【００３１】また、電磁弁４０のポート６７も空圧源６
６につながっており、電磁弁４０のポート６８はサイレ
ンサ６９を通して大気開放されている。図５は本実施例
のクリームはんだ印刷装置のスキージ水平移動部を示す
図である。

【００３２】図において、スキージ上下駆動部を配する
ベースブロック１３は２本のリニアガイド７０上に取り
付けられており、リニアガイド７０はプレート７１上に
取り付けられている。また、２本のプレート７１は２本
のサイドプレート７２に、枠を構成する形で固定されて
いる。

【００３３】ベースブロック１３の一端近くにはボール
ネジのナット部７３が取り付けられており、ボールネジ
シャフト７４が回転することによりリニアガイド７０上
を水平方向に移動する構造となっている。

【００３４】ボールネジシャフト７４は２本のサイドプ
レート７２間に、軸心回りの回転以外の動きを規制され
た状態で保持されており、その一端にはプーリー７５が
固定されている。また、２本のサイドプレート７２の一
方にはサーボモータ７６が取り付けられており、そのシ
ャフトにはプーリー７７が取り付けられていて、タイミ
ングベルト７８及びプーリー７５を介してサーボモータ
７６の回転をボールネジシャフト７４に伝える構造とな
っている。

【００３５】次に本実施例のクリームはんだ印刷装置の
印刷手順及びその作用について説明する。図８に示すよ
うに、バックアップテーブル５上に位置決めされた基板
６は、バックアップテーブル５の上昇により、基板６の
上面とスクリーン１の下面が一致する位置まで持ち上げ
られる。

【００３６】このとき電磁弁４０は、図３のシンボルで
示す左側の状態にあるため、空気源６６より供給される
圧縮エアーは、ポート６０より配管経路５９を通ってシ
ャトル弁５６のポート５８に供給される。

【００３７】シャトル弁５６はポート５８とポート６１
の圧力を比較して、圧力の高い側とポート５７をつなぐ
という働きをするが、ポート６１の圧力はレギュレータ
６３によりスキージ上下移動部の重量に相当する圧力に
絞られている。そのため、ポート５８とポート５７がつ
ながり、空圧源６６からの圧縮エアーは配管経路５５を
通ってシリンダ１１のポート５４に供給され、シリンダ
１１の発生力によりスキージ７は上側に持ち上げられて
いる。

【００３８】この状態のまま、スキージ７は水平方向へ
移動する。これを図５を参照して説明する。図５に示す
サーボモータ７６により、プーリ７７が回転し、タイミ
ングベルト７８を介してプーリー７５を回転すること
で、ボールネジシャフト７４が回転する。これによって
ベースブロック１３が水平方向に移動することで、スキ
ージ７も水平方向に移動する。スキージゴムの先端がク
リームはんだ塊の手前上方に達する位置（前側助走領域
端）まで移動する。

【００３９】次に電磁弁４０が切り換えられ、図３のシ
ンボルで示す右側の状態となり、空圧源６６より圧縮エ
アーはポート４１を通って電空レギュレータ３６のポー
ト３８に供給され（チェック弁４３の働きによりバイパ
ス経路４４は通れない）、逆に電磁弁４０のポート６０
は大気圧となる。

【００４０】このとき、シャトル弁５６のポート６１に
はレギュレータ６３からの制御エアーが供給されている
が、今度はポート５８側が大気圧となるため、レギュレ
ータ６３からの制御エアーがシリンダ１１のポート５４
へ供給される。この制御エアー圧は、スキージが上下移
動する部分の重量に相当する圧力に設定されており、言
い換えればシリンダ１１のポートに供給されるエアー圧
（ゲージ圧）が０のとき、スキージは空中で平衡を保っ
ていることになる。

【００４１】一方、電空レギュレータ３６の設定圧は、
シリンダ１１のシール抵抗やスキージ上下移動部のガイ
ド抵抗に打ち勝つことができる最も弱い状態にされてい
るため、ポート３７からの制御エアーがシリンダ１１の
ポート３４に供給され、スキージはスクリーン１面に接
触するまで下降する。

【００４２】なお、このときチェック弁４３は空圧源６
６側の圧力に押されて閉じているため、電空レギュレー
タ３６からの制御エアーがバイパス経路４４を通って逃
げることはない。

【００４３】クリームはんだ塊の手前に下降したスキー
ジ７は、印刷圧力を低く一定に保ったまま、スキージ水
平移動部はスキージゴム３３の先端が基板６の端面（印
刷領域端）に達するまでの前側助走領域ａを、予め設定
された速度にて移動する。このときの印刷圧力は、クリ
ームはんだ塊を移動できる範囲であればさらに弱くして
も良い。スキージゴム３３の先端が基板６の端面（印刷
領域端）に達すると、電空レギュレータ３６に送られて
いる電圧が変更され、シリンダ１１のポート３４に供給
されるエアー圧は、本印刷を行うための印刷圧力に相当
する制御圧に切り換えられる。

【００４４】同時に、スキージ移動速度も本印刷のため
に予め設定された速度に切り換えられ基板６上を移動し
ていき、スクリーン１の細孔を通してクリームはんだ８
は基板６上に印刷されていく。

【００４５】スキージゴム３３の先端が基板６上の印刷
領域ｂを通過して基板端面に達すると、再び電空レギュ
レータ３６に印加される電圧は変更され、クリームはん
だ塊を移動することのできる必要最小限の制御圧に切り
換えられる。

【００４６】同時に、スキージ移動速度も助走領域用の
速度に切り換えられ、予め設定された後側助走領域ｃの
後端まで移動する。後側助走領域ｃの後端までスキージ
７が移動すると、基板６を保持しているバックアップテ
ーブル５は低速で下降し、スクリーン１から基板６が完
全に離れた後は高速で下降端まで移動して印刷は終了す
る。

【００４７】なお、上述のスキージ７の水平移動におい
て、前側助走領域ａ，印刷領域ｂ，後側助走領域ｃの大
きさ、基板の大きさ、各領域でのスキージ移動速度など
のデータは、図示しない制御装置のメモリ部に予め格納
されているため、そのデータに基づきサーボモータ７６
を制御することにより、スキージ７の位置と速度を正確
に制御することができる。

【００４８】以上のように、本実施例によれば、精細な
パターンの印刷に必要な低い印刷圧力による印刷を容易
に実現することができ、また、電空レギュレータ３６へ
の印加電圧を変えるだけで、容易に印刷圧力の変更が行
えるだけでなく、再現性の精度も高いため印刷品質の向
上が期待できる。

【００４９】特に０．５ｍｍピッチ以下のＱＦＰパター
ン等の高精細印刷には極めて有効である。また、助走領
域における印刷圧力を必要最小限とすることにより、前
側助走領域においては、移動の際にメタルマスク２を引
張ることにより生じるスクリーン１の位置ずれを大幅に
減らすことが可能となる。

【００５０】後側助走領域においては、前側助走領域と
同様の位置ずれを減らすことができるだけでなく、スキ
ージ７が助走領域後端に達した後、基板がバックアップ
テーブル５と共に下降する際に、スキージ７がスクリー
ン１を押し込むことによって生じるスクリーン１のゆが
みを抑えることができ、ゆがみによる印刷パターンの位
置ずれや版抜け不良を改善することが可能となる。

【００５１】このように、前後の助走領域と印刷領域に
おける印刷圧力・スキージ移動速度を別個に制御するこ
とにより、スクリーンの引張りや押し込みによる位置ず
れ、版抜け不良などを大幅に軽減でき、高精細パターン
のクリームはんだ印刷において、顕著な効果を発揮す
る。

【００５２】

【発明の効果】以上の説明にて明らかなように、本発明
によるクリームはんだ印刷装置によれば、スキージ押し
付け力調整手段により、スクリーンに対するスキージ押
し付け力を調整することで、印刷時のスキージ等の自重
を補償すると共に、スクリーンに対するスキージ押し付
け力を最適な値に設定することで、高精細パターンの印
刷に適した低圧印刷を実現することができる。

【００５３】また、スキージ押し付け力調整手段によ
り、印刷領域とその前後の助走領域とに応じてスキージ
に押し付け力を与え、助走領域においてはクリームはん
だ塊を移動できる必要最小限の押し付け力とすること
で、スクリーンに不要な力を与えず、よってスクリーン
のゆがみを抑えることができ、印刷精度・版抜け性を向
上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による実施例であるクリームはんだ印刷
装置のスキージ上下駆動部の断面図である。

【図２】本発明による実施例であるクリームはんだ印刷
装置のスキージ上下駆動部の正面図である。

【図３】本発明による実施例であるクリームはんだ印刷
装置のスキージ上下駆動部の空圧回路図である。

【図４】本発明による実施例であるクリームはんだ印刷
装置の電空レギュレータの構造図である。

【図５】本発明による実施例であるクリームはんだ印刷
装置のスキージ水平移動部の外観図である。

【図６】従来のクリームはんだ印刷装置によるオフコン
タクト印刷方法の説明図である。

【図７】スクリーンの構成を示す外観図である。

【図８】クリームはんだ印刷装置によるコンタクト印刷
方法の説明図である。

【符号の説明】

１…スクリーン， ２…メタルマスク， ３
…メッシュ，４…スクリーン枠， ５…バックアップ
テーブル，６…基板，７…スキージ， ８…クリ
ームはんだ， ９…ブロック，１０…ピン，
１１…シリンダ， １２…ロッド，１３…
ベースブロック，１４…ボルト， １５…ベ
アリング，１６…ボルト， １７…フタ，
１８…高さ調整ネジ，１９…スライドベース，
２０…ナット， ２１…リニアガイド，２２
…ブロック， ２３…支点， ２４…
スプリング，２５…ボルト， ２６…ボルト，２
７…角度調整ブロック，２８…ボルト， ２９…
スキージホルダ， ３０…ボルト，３１…プレート，
３２…ボルト， ３３…スキージゴ
ム，３４…ポート， ３５…配管経路，３６…電
空レギュレータ，３７…ポート， ３８…ポー
ト， ３９…配管経路，４０…電磁弁，
４１…ポート， ４２…分岐点，４３…
チェック弁， ４４…バイパス経路， ５４…ポ
ート，５５…配管経路， ５６…シャトル弁，
５７…ポート，５８…ポート， ５９…
配管経路， ６０…ポート，６１…ポート，
６２…配管経路， ６３…レギュレータ，６
４…ポート， ６５…ポート， ６６
…空圧源，６７…ポート， ６８…ポート，
６９…サイレンサ，７０…リニアガイド，
７１…プレート， ７２…サイドプレート，７３
…ナット部， ７４…ボールネジシャフト，７
５…プーリー，７６…サーボモータ， ７７…プー
リー，７８…タイミングベルト。

フロントページの続き (72)発明者 中田 順二 神奈川県横浜市磯子区新磯子町33番地 株 式会社東芝生産技術研究所内 (72)発明者 加藤 正幸 神奈川県横浜市磯子区新磯子町33番地 株 式会社東芝生産技術研究所内 (72)発明者 山下 康彦 東京都府中市晴見町２丁目24番地の１ 東 芝エフエーシステムエンジニアリング株式 会社内

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 所定パターンの細孔が形成されたスクリ
   ーンと、 前記スクリーンと接触可能なスキージと、 前記スクリーンに対し前記スキージを水平方向へ相対的
   に移動させるスキージ水平移動手段とを備え、前記スク
   リーンに対し前記スキージを接触移動することにより、
   前記スクリーン上のクリームはんだを前記スクリーンの
   細孔を通して基板に印刷するクリームはんだ印刷装置に
   おいて、 前記スクリーンに対して前記スキージを上下方向に相対
   的に移動するスキージ上下移動手段と、 前記スキージ上下移動手段を制御し、前記スクリーンに
   対するスキージ押し付け力を調整するスキージ押し付け
   力調整手段とを備えたことを特徴とするクリームはんだ
   印刷装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載のクリームはんだ印刷装置
   において、 スキージ押し付け力調整手段は、前記スクリーンの下の
   基板にクリームはんだを印刷する印刷領域と、その印刷
   領域の前後の助走領域とに応じて、異なったスキージ押
   し付け力に調整可能なことを特徴とするクリームはんだ
   印刷装置。
3. 【請求項３】 所定パターンの細孔が形成されたスクリ
   ーンと、 前記スクリーンと接触可能なスキージと、 前記スクリーンに対し前記スキージを水平方向へ移動さ
   せるスキージ水平移動手段とを備え、前記スクリーンに
   対し前記スキージを接触移動することにより、前記スク
   リーン上のクリームはんだを前記スクリーンの細孔を通
   して基板に印刷するクリームはんだ印刷装置において、 前記スキージを上下移動するシリンダと、 前記シリンダへの供給エアー圧を電気信号に基づき制御
   し、前記スクリーンの下の基板にクリームはんだを印刷
   する印刷領域と、その前後の助走領域とにおいて、前記
   スクリーンに対するスキージ押し付け力をそれぞれ異な
   った値に調整する電空レギュレータと、 前記スキージの下降時、前記シリンダの排出側エアー圧
   を制御し、前記スキージ等の自重分を補償する逆圧印加
   用レギュレータとを備えたことを特徴とするクリームは
   んだ印刷装置。