JPH0720724Y2 - Xyテーブル位置検出装置 - Google Patents
Xyテーブル位置検出装置Info
- Publication number
- JPH0720724Y2 JPH0720724Y2 JP12275488U JP12275488U JPH0720724Y2 JP H0720724 Y2 JPH0720724 Y2 JP H0720724Y2 JP 12275488 U JP12275488 U JP 12275488U JP 12275488 U JP12275488 U JP 12275488U JP H0720724 Y2 JPH0720724 Y2 JP H0720724Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- center
- wire
- positioning
- circular area
- slider
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 11
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、XYテーブルの位置決めの範囲を所定の円領域
内に限定する場合、該XYテーブルの位置決めの位置が上
記円領域内にあるか否かを検出するXYテーブル位置検出
装置に関する。
内に限定する場合、該XYテーブルの位置決めの位置が上
記円領域内にあるか否かを検出するXYテーブル位置検出
装置に関する。
第4図(a)、(b)は従来のこの種のXYテーブル位置
検出装置の一例を示す説明図で、図(a)は側面図、図
(b)は平面図である。
検出装置の一例を示す説明図で、図(a)は側面図、図
(b)は平面図である。
図において1はXYテーブルで、1aはX軸移動テーブル
で、1bはY軸移動テーブル、12はXYテーブル1の位置決
め範囲の円領域に対応する抜き穴13を有する感知板、14
はアーム、15はアーム14の先端に取付けた透過型センサ
である。
で、1bはY軸移動テーブル、12はXYテーブル1の位置決
め範囲の円領域に対応する抜き穴13を有する感知板、14
はアーム、15はアーム14の先端に取付けた透過型センサ
である。
感知板12はY軸移動テーブル1bに固定し、アーム14は、
XYテーブル1の位置決めの位置が所定の円領域の中心の
とき透過型センサ15と抜き穴13の中心が重なる位置に固
定した構造になっている。
XYテーブル1の位置決めの位置が所定の円領域の中心の
とき透過型センサ15と抜き穴13の中心が重なる位置に固
定した構造になっている。
XYテーブル1の位置決めの位置が所定の円領域内にある
間は、透過型センサ15が感知板12の抜き穴13を通して感
応し、XYテーブル1の位置決めの位置が所定の円領域を
外れると、透過型センサ15が感知板12に遮断されて感応
しなくなり、該XYテーブル1の位置決めの位置が所定の
円領域から外れたことを検出する。
間は、透過型センサ15が感知板12の抜き穴13を通して感
応し、XYテーブル1の位置決めの位置が所定の円領域を
外れると、透過型センサ15が感知板12に遮断されて感応
しなくなり、該XYテーブル1の位置決めの位置が所定の
円領域から外れたことを検出する。
従来の上記構造のXYテーブル位置検出装置では次のよう
な欠点があった。
な欠点があった。
(イ)感知板12が大きくなると、感知板12が移動するた
めの広いデッドスペースが必要となる。
めの広いデッドスペースが必要となる。
(ロ)位置決めの範囲を変更する場合、該範囲に対応す
る抜き穴13の感知板12に代えねばならないが、中心合せ
の調整などに手間を要する。
る抜き穴13の感知板12に代えねばならないが、中心合せ
の調整などに手間を要する。
(ハ)XYテーブルの位置決めの位置が所定の円領域内に
納まっている間は、XYテーブルの位置決めの位置は全く
認識できない。
納まっている間は、XYテーブルの位置決めの位置は全く
認識できない。
本考案は上記の欠点を解消するためになされたもので、
広いデッドスペースが必要でなく、位置決めの範囲を変
更する場合も対応が容易で、位置決めの位置が所定の円
領域内で移動している場合でも、円領域の中心からの変
位を検出できる装置を提供することを目的とする。
広いデッドスペースが必要でなく、位置決めの範囲を変
更する場合も対応が容易で、位置決めの位置が所定の円
領域内で移動している場合でも、円領域の中心からの変
位を検出できる装置を提供することを目的とする。
本考案のXYテーブル位置検出装置は、該XYテーブルのX
軸移動テーブル上に重なったY軸移動テーブルに固定し
たアームの先端にワイヤの一端を接続し、該XYテーブル
の位置決めの位置が所定の円領域の中心のとき上記アー
ムの上記ワイヤの一端を接続した位置に上面中央の穴が
重なる位置にポールを該XYテーブルを設置したベース平
面上に固定し、上記ワイヤを上記ポールの上面中央の上
記穴を通して側面から引き出し上記ベース平面に平行に
展張し、展張した上記ワイヤの他端を上記ベース平面に
固定したフックにばねを介して連結した上記ベース平面
上で上記ポールを中心とする円の径方向にスライドする
スライダに接続し、該XYテーブルの位置決めの位置の上
記円領域の中心からの変位を上記スライダの直線上の変
位に移して、上記スライダの直線上の変位をフォトセン
サで検知し該XYテーブルの位置決めの位置が所定の円領
域内にあるか否かを検出する構成としたものである。
軸移動テーブル上に重なったY軸移動テーブルに固定し
たアームの先端にワイヤの一端を接続し、該XYテーブル
の位置決めの位置が所定の円領域の中心のとき上記アー
ムの上記ワイヤの一端を接続した位置に上面中央の穴が
重なる位置にポールを該XYテーブルを設置したベース平
面上に固定し、上記ワイヤを上記ポールの上面中央の上
記穴を通して側面から引き出し上記ベース平面に平行に
展張し、展張した上記ワイヤの他端を上記ベース平面に
固定したフックにばねを介して連結した上記ベース平面
上で上記ポールを中心とする円の径方向にスライドする
スライダに接続し、該XYテーブルの位置決めの位置の上
記円領域の中心からの変位を上記スライダの直線上の変
位に移して、上記スライダの直線上の変位をフォトセン
サで検知し該XYテーブルの位置決めの位置が所定の円領
域内にあるか否かを検出する構成としたものである。
第1図(a)、(b)、第2図(a)、(b)は本考案
の一実施例を示す説明図で、図(a)は側面図、図
(b)は平面図である。
の一実施例を示す説明図で、図(a)は側面図、図
(b)は平面図である。
図において1,1a,1bは第4図(a)、(b)の同一符号
と同一または相当するものを示し、2はY軸移動テーブ
ル1bに固定したアーム、3はワイヤ、4はポール、5は
ベース、6はベース5平面に固定したフック、7はば
ね、8はスライダ、9はフォトセンサである。
と同一または相当するものを示し、2はY軸移動テーブ
ル1bに固定したアーム、3はワイヤ、4はポール、5は
ベース、6はベース5平面に固定したフック、7はば
ね、8はスライダ、9はフォトセンサである。
ベース5平面上に設置したXYテーブル1のY軸移動テー
ブル1bに固定したアーム2の先端に一端を接続したワイ
ヤ3が、XYテーブル1の位置決めの位置が所定の円領域
の中心のときアーム2のワイヤ3の一端を接続した位置
に上面中央の穴が重なる位置にベース5平面上に固定し
たポール4の上面中央の穴を通って側面から出てベース
5平面に平行に展張し、他端がフック6にばね7を挾ん
で連結しポール4を中心とする円の径方向にスライドす
るスライダ8に接続する〔第1図(a)、(b)はこの
状態を示す〕。
ブル1bに固定したアーム2の先端に一端を接続したワイ
ヤ3が、XYテーブル1の位置決めの位置が所定の円領域
の中心のときアーム2のワイヤ3の一端を接続した位置
に上面中央の穴が重なる位置にベース5平面上に固定し
たポール4の上面中央の穴を通って側面から出てベース
5平面に平行に展張し、他端がフック6にばね7を挾ん
で連結しポール4を中心とする円の径方向にスライドす
るスライダ8に接続する〔第1図(a)、(b)はこの
状態を示す〕。
XYテーブレ1の位置決めの位置が移動すると、アーム2
が移動し、ワイヤ3が引っ張られ、スライダ8が移動す
る〔第2図(a)、(b)はこの状態を示す〕。
が移動し、ワイヤ3が引っ張られ、スライダ8が移動す
る〔第2図(a)、(b)はこの状態を示す〕。
第3図は第1図、第2図の実施例の動作を示す説明図
で、各符号は第1図、第2図の同一符号と同一のものを
示す。
で、各符号は第1図、第2図の同一符号と同一のものを
示す。
XYテーブル1の位置決めの位置の移動に応じて、アーム
2が移動し、XYテーブル1の位置決めの位置の所定の円
領域の中心から半径方向への変位に相当する距離(l1ま
たはl2)だけ、スライダ8がワイヤ3に引っ張られてば
ね7に抗して移動する。
2が移動し、XYテーブル1の位置決めの位置の所定の円
領域の中心から半径方向への変位に相当する距離(l1ま
たはl2)だけ、スライダ8がワイヤ3に引っ張られてば
ね7に抗して移動する。
スライダ8の変位をスライダ8の移動線上に取付けたフ
ォトセンサ9がとらえ、XYテーブル1の位置決めの位置
が所定の円領域内にあるか否かを検出する。
ォトセンサ9がとらえ、XYテーブル1の位置決めの位置
が所定の円領域内にあるか否かを検出する。
フォトセンサ9を直線上でスライドさせる構成とするこ
とにより、XYテーブルの位置決めの限定範囲の変更に容
易に対応することができ、フォトセンサ9を複数個取付
けることにより、XYテーブルの位置決めの位置が所定の
円領域内にある間もXYテーブルの位置決めの位置の上記
円領域の中心からの変位を検出することができる。
とにより、XYテーブルの位置決めの限定範囲の変更に容
易に対応することができ、フォトセンサ9を複数個取付
けることにより、XYテーブルの位置決めの位置が所定の
円領域内にある間もXYテーブルの位置決めの位置の上記
円領域の中心からの変位を検出することができる。
以上説明したように、本考案によれば、デッドスペース
が減少し、XYテーブルの位置決めの範囲を変更する場合
も、調整などに手間を要することがなく、また、XYテー
ブルの位置が所定の円領域内にある間も該位置の円領域
の中心からの変位を検出できるという利点がある。
が減少し、XYテーブルの位置決めの範囲を変更する場合
も、調整などに手間を要することがなく、また、XYテー
ブルの位置が所定の円領域内にある間も該位置の円領域
の中心からの変位を検出できるという利点がある。
第1図(a)、(b)、第2図(a)、(b)は本考案
の一実施例を示す説明図、第3図は第1図、第2図の実
施例の動作を示す説明図、第4図(a)、(b)は従来
のこの種のXYテーブル位置検出装置の一例を示す説明図
である。 1……XYテーブル、1a……X軸移動テーブル、1b……Y
軸移動テーブル、2……アーム、3……ワイヤ、4……
ポール、5……ベース、6……フック、7……ばね、8
……スライダ、9……フォトセンサ、 なお図中同一符号は同一または相当するものを示す。
の一実施例を示す説明図、第3図は第1図、第2図の実
施例の動作を示す説明図、第4図(a)、(b)は従来
のこの種のXYテーブル位置検出装置の一例を示す説明図
である。 1……XYテーブル、1a……X軸移動テーブル、1b……Y
軸移動テーブル、2……アーム、3……ワイヤ、4……
ポール、5……ベース、6……フック、7……ばね、8
……スライダ、9……フォトセンサ、 なお図中同一符号は同一または相当するものを示す。
Claims (1)
- 【請求項1】XYテーブルの位置決めの範囲を所定の円領
域内に限定する場合、該XYテーブルの位置決めの位置が
上記円領域内にあるか否かを検出するXYテーブル位置検
出装置において、該XYテーブルのX軸移動テーブル上に
重なったY軸移動テーブルに固定したアームの先端にワ
イヤの一端を接続し、該XYテーブルの位置決めの位置が
上記円領域の中心のとき上記アームの上記ワイヤの一端
を接続した位置に上面中央の穴が重なる位置にポールを
該XYテーブルを設置したベース平面上に固定し、上記ワ
イヤを上記ポールの上面中央の上記穴を通して側面から
引き出し上記ベース平面に平行に展張し、展張した上記
ワイヤの他端を上記ベース平面に固定したフックにばね
を介して連結した上記ベース平面上で上記ポールを中心
とする円の径方向にスライドするスライダに接続し、該
XYテーブルの位置決めの位置の上記円領域の中心からの
変位を上記スライダの直線上の変位に移して、上記スラ
イダの直線上の変位をフォトセンサで検知し該XYテーブ
ルの位置決めの位置が上記円領域内にあるか否かを検出
するXYテーブル位置検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12275488U JPH0720724Y2 (ja) | 1988-09-21 | 1988-09-21 | Xyテーブル位置検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12275488U JPH0720724Y2 (ja) | 1988-09-21 | 1988-09-21 | Xyテーブル位置検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0246209U JPH0246209U (ja) | 1990-03-29 |
| JPH0720724Y2 true JPH0720724Y2 (ja) | 1995-05-15 |
Family
ID=31370980
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12275488U Expired - Lifetime JPH0720724Y2 (ja) | 1988-09-21 | 1988-09-21 | Xyテーブル位置検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0720724Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-09-21 JP JP12275488U patent/JPH0720724Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0246209U (ja) | 1990-03-29 |
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