JPH07207450A - Manufacturing method of partially plated porous sheet made of fluororesin - Google Patents
Manufacturing method of partially plated porous sheet made of fluororesinInfo
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- JPH07207450A JPH07207450A JP221794A JP221794A JPH07207450A JP H07207450 A JPH07207450 A JP H07207450A JP 221794 A JP221794 A JP 221794A JP 221794 A JP221794 A JP 221794A JP H07207450 A JPH07207450 A JP H07207450A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 シートの厚み方向の導電性およびシートの面
方向の絶縁性の双方の特性に優れたフッ素樹脂製部分メ
ッキ多孔質シートの製法を提供する。
【構成】 フッ素樹脂製多孔質シートの小孔内に、親水
基を有する化合物を浸入させ、この状態で、導電性スポ
ットの配置パターンが形成されたマスクを介して上記シ
ートのシート面に紫外線を照射し、このシートに対して
メッキを施す。(57) [Summary] [Object] To provide a method for producing a fluororesin partially-plated porous sheet which is excellent in both the conductivity in the thickness direction of the sheet and the insulating property in the plane direction of the sheet. [Structure] A compound having a hydrophilic group is infiltrated into the small pores of a fluororesin porous sheet, and in this state, ultraviolet rays are applied to the sheet surface of the sheet through a mask on which an arrangement pattern of conductive spots is formed. Irradiate and plate this sheet.
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、フッ素樹脂製部分メ
ッキ多孔質シートの製法に関するものである。さらに詳
しくは、シートの厚み方向に導電性を示し、シートの面
方向には絶縁性を示すフッ素樹脂製部分メッキ多孔質シ
ートの製法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for producing a fluororesin partially plated porous sheet. More specifically, the present invention relates to a method for producing a fluororesin partially plated porous sheet that exhibits conductivity in the thickness direction of the sheet and insulation in the plane direction of the sheet.
【０００２】[0002]
【従来の技術】最近の電子工業分野での技術開発は目覚
ましく、新機能を有する製品が続々と発表されている。
これにともない、電子機器の部品素材においても各種機
能を有するものが開発されている。そのなかで、最近注
目を集めているものの一つとして、異方向導電性シート
があげられる。これは、シートの厚み方向に導電性を示
し、シートの面方向には絶縁性を示すシートである。こ
のシートは、図１に示すように、シート１のシート面所
定位置に、金属やカーボン等の導電性物質を、シートの
一面から他面まで連続的に埋設し、多数の導電性スポッ
ト２を形成したものである。2. Description of the Related Art Recent technological developments in the electronic industry field have been remarkable, and products having new functions have been announced one after another.
Along with this, various component materials of electronic devices having various functions have been developed. Among them, an anisotropic conductive sheet is one of the things that has recently been attracting attention. This is a sheet exhibiting conductivity in the thickness direction of the sheet and insulating properties in the plane direction of the sheet. As shown in FIG. 1, this sheet has a large number of conductive spots 2 formed by continuously embedding a conductive substance such as metal or carbon in a predetermined position on the sheet surface of the sheet 1 from one surface to the other surface of the sheet. It was formed.
【０００３】上記異方向導電性シートの性能を向上させ
るためには、一つの導電性スポット２の面積を小さく
し、かつ多数のスポットを形成する必要がある。すなわ
ち、シートの面方向の絶縁性を高めるためには、導電性
スポット２間の距離（絶縁距離）をできるだけ短くする
必要があり、このため、一つの導電性スポット２の面積
をできるだけ小さくする必要がある。また、シートの厚
み方向の導電性を高めるためには、シート面の単位面積
当たりのスポットをできるだけ多くし、高密度化を図る
必要がある。しかし、導電物質をシートに埋め込むとい
う従来の方法では、導電性スポットの高密度化等には限
界があった。また、導電性物質の埋設作業は、煩雑であ
るため、大面積のシートに対しては対応することができ
なかった。In order to improve the performance of the above-mentioned different direction conductive sheet, it is necessary to reduce the area of one conductive spot 2 and form a large number of spots. That is, in order to improve the insulating property in the surface direction of the sheet, it is necessary to make the distance (insulating distance) between the conductive spots 2 as short as possible, and therefore, it is necessary to make the area of one conductive spot 2 as small as possible. There is. Further, in order to enhance the conductivity in the thickness direction of the sheet, it is necessary to increase the density by increasing the number of spots per unit area of the sheet surface. However, the conventional method of embedding the conductive material in the sheet has a limit in increasing the density of the conductive spots. Further, since the work of burying the conductive material is complicated, it is not possible to cope with a large-area sheet.
【０００４】この問題を解決するために、シート面に分
布する多数の小孔を備えたシート（以下「多孔質シー
ト」という）を用い、このシートのシート面の所定位置
にメッキを施し、上記所定位置に位置する小孔にシート
の一面から他面まで延びるメッキ金属を形成するという
方法が提案されている（特開昭５５−１６１３０６号公
報）。この方法は、図２に示すように、多孔質シート１
ａのシート面所定位置の小孔１ｃ内にシートの一面から
他面にかけてメッキ金属を連続形成し、導電性スポット
２ａを設けるという方法である。この方法によれば、導
電性スポット２ａの面積を小さくし、かつ導電性スポッ
ト２ａ全体の高密度化を図ることが可能である。また、
一度の処理で全ての導電性スポット２ａを形成すること
が可能であるため、大面積のシートにも適用することが
可能である。In order to solve this problem, a sheet having a large number of small holes distributed on the sheet surface (hereinafter referred to as "porous sheet") is used, and a predetermined position on the sheet surface of this sheet is plated, A method has been proposed in which a plated metal extending from one surface to the other surface of a sheet is formed in a small hole located at a predetermined position (Japanese Patent Laid-Open No. 55-161306). This method, as shown in FIG.
This is a method in which a plated metal is continuously formed from one surface of the sheet to the other surface in the small hole 1c at a predetermined position on the sheet surface of a to provide the conductive spot 2a. According to this method, it is possible to reduce the area of the conductive spot 2a and increase the density of the entire conductive spot 2a. Also,
Since it is possible to form all the conductive spots 2a by one treatment, it is possible to apply to a large-area sheet.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】ところが、この方法
は、全種類の多孔質シートに適用できる技術ではないと
いう欠点を有する。特に、疎水性樹脂シートであるフッ
素樹脂製多孔質シートに対しての適用が困難である。す
なわち、フッ素樹脂製多孔質シートに上記メッキ法を適
用して、導電性スポットを形成しようとしても、金属メ
ッキが連続形成できなかったり、所定位置に対し正確に
メッキを施すことができないという問題がある。しかし
ながら、このフッ素樹脂製多孔質シートは、耐薬品性，
耐熱性等の特性に優れ、電子材料に最適のシートであ
る。このため、フッ素樹脂製多孔質シートに対し、上記
メッキ法を適用可能にする技術の開発が強く望まれてい
る。However, this method has a drawback that it is not a technique applicable to all kinds of porous sheets. In particular, it is difficult to apply it to a fluororesin porous sheet which is a hydrophobic resin sheet. That is, even if an attempt is made to form conductive spots by applying the above plating method to a fluororesin porous sheet, there is a problem that metal plating cannot be continuously formed or accurate plating cannot be performed at a predetermined position. is there. However, this fluororesin porous sheet has chemical resistance,
It has excellent properties such as heat resistance and is the most suitable sheet for electronic materials. Therefore, it is strongly desired to develop a technique that makes it possible to apply the above plating method to the fluororesin porous sheet.
【０００６】この発明は、このような事情に鑑みなされ
たもので、シートの厚み方向の導電性およびシートの面
方向の絶縁性の双方の特性に優れたフッ素樹脂製部分メ
ッキ多孔質シートを作製することが可能な、フッ素樹脂
製部分メッキ多孔質シートの製法の提供をその目的とす
る。The present invention has been made in view of the above circumstances, and produces a partially-plated fluororesin-made fluororesin sheet excellent in both conductivity in the thickness direction of the sheet and insulation in the plane direction of the sheet. It is an object of the present invention to provide a method for producing a fluororesin partially-plated porous sheet that can be used.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明は、シート面に分布する多数の小孔を備え
たフッ素樹脂製シートに対し、このシート面の所定位置
に部分メッキを施し、上記所定位置に位置する上記小孔
にシートの一面から他面まで延びるメッキ金属を形成す
るフッ素樹脂製部分メッキ多孔質シートの製法であっ
て、上記メッキに先立って、上記フッ素樹脂製シートを
前処理して親水基を有する化合物を上記小孔内に浸入さ
せ、この状態で、所定パターンが形成されたマスクを介
して上記フッ素樹脂製シートのシート面の所定位置に光
照射を行うという構成をとる。In order to achieve the above object, the present invention provides a fluororesin sheet having a large number of small holes distributed on the sheet surface with partial plating at predetermined positions on the sheet surface. A method for producing a fluororesin partially plated porous sheet, which comprises forming a plated metal extending from one surface to another surface of the sheet in the small hole located at the predetermined position, the fluororesin sheet being prior to the plating. Is pretreated to infiltrate the compound having a hydrophilic group into the small holes, and in this state, light irradiation is performed at a predetermined position on the sheet surface of the fluororesin sheet through a mask on which a predetermined pattern is formed. Take composition.
【０００８】[0008]
【作用】すなわち、本発明者等は、フッ素樹脂製多孔質
シートのシート面の所定位置に高精度部分メッキを行う
方法を中心として、一連の研究を行った。その過程で、
フッ素樹脂製多孔質シートを部分的に親水性処理してメ
ッキ性を向上させるという着想を得た。そこで、フッ素
樹脂製多孔質シートを前処理し、シート小孔内に親水基
を有する化合物を浸入させ、この状態で、導電性スポッ
トの配置パターンが形成されたマスクを介して、フッ素
樹脂製多孔質シートのシート面に光照射を行った。する
と、光照射を行った部分において、上記親水基がフッ素
樹脂に導入され、この部分が親水性となることを突き止
めた。そして、この部分的に親水性となったシートにメ
ッキを施すと、上記光照射のパターンに対応したシート
面の所定位置の小孔に、シートの一面から他面までメッ
キ金属が連続形成されることを見いだし、この発明に到
達した。この発明により、フッ素樹脂製多孔質シートに
おいて、一つの導電性スポットの面積を小さくし、かつ
導電性スポット全体の高密度化を図ることが可能とな
る。That is, the present inventors conducted a series of researches centering on a method of performing high precision partial plating at a predetermined position on the sheet surface of a fluororesin porous sheet. In the process,
The idea was to partially treat the fluororesin porous sheet with a hydrophilic property to improve the plating property. Therefore, the fluororesin porous sheet is pretreated to allow the compound having a hydrophilic group to penetrate into the small holes of the sheet, and in this state, the fluororesin porous sheet is passed through the mask on which the conductive spot arrangement pattern is formed. The sheet surface of the quality sheet was irradiated with light. Then, it was found that the above-mentioned hydrophilic group was introduced into the fluororesin at the portion irradiated with light, and this portion became hydrophilic. Then, when the partially hydrophilic sheet is plated, the plated metal is continuously formed from one surface of the sheet to the other surface in the small holes at predetermined positions of the sheet surface corresponding to the light irradiation pattern. I found out that and arrived at this invention. According to the present invention, it is possible to reduce the area of one conductive spot and increase the density of the entire conductive spot in the fluororesin porous sheet.
【０００９】つぎに、この発明を詳しく説明する。Next, the present invention will be described in detail.
【００１０】この発明のフッ素樹脂製部分メッキ多孔質
シートの製法は、（１）フッ素樹脂製多孔質シートを前
処理し、シート小孔内に親水基を有する化合物を浸入さ
せ、（２）この状態で、所定パターンが形成されたマス
クを介してシート面に光照射を行い、（３）このフッ素
樹脂製多孔質シートに対してメッキを行うという、３つ
の工程からなるものである。以下、これら（１）〜
（３）の工程を順に説明する。The method for producing the fluororesin partially plated porous sheet of the present invention comprises (1) pretreating the fluororesin porous sheet and infiltrating a compound having a hydrophilic group into the pores of the sheet; (2) In this state, the sheet surface is irradiated with light through a mask on which a predetermined pattern is formed, and (3) the fluororesin porous sheet is plated. Below, these (1) ~
The step (3) will be described in order.
【００１１】まず、上記（１）の工程は、フッ素樹脂製
多孔質シートに対し、親水基を有する化合物のシート小
孔内への浸入を促進させるための前処理を行った後、シ
ート小孔内に上記化合物を浸入させるという工程であ
る。First, in the step (1), the fluororesin porous sheet is subjected to a pretreatment for promoting the infiltration of the compound having a hydrophilic group into the sheet pores, and then the sheet pores. It is a step of infiltrating the above compound into the inside.
【００１２】上記フッ素樹脂製多孔質シートは、フッ素
樹脂製部分メッキ多孔質シートの基材シートである。こ
のシートは、前述のように疎水性であって、シート面に
多数の小孔を備えたシートである。このようなシートと
しては、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ），ポ
リフッ化ビニリデン（ＰＶｄＦ），テトラフルオロエチ
レン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体
（ＰＦＡ），テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロ
プロピレン共重合体（ＦＥＰ），テトラフルオロエチレ
ン−エチレン共重合体（ＥＴＦＥ），ポリクロロトリフ
ルオロエチレン（ＣＴＦＥ）等の素材からなる多孔質シ
ートがあげられる。これらの素材のシートは、焼結体で
も未焼結体でもよい。また、耐薬品性および耐熱性等の
観点からＰＴＦＥ製シートを使用することが好ましい。
そして、シート小孔の孔径としては、０．０１〜２０μ
ｍの範囲が好ましく、シートの厚みとしては、１０〜１
００μｍの範囲が好ましい。The fluororesin porous sheet is a base sheet of a fluororesin partially plated porous sheet. As described above, this sheet is hydrophobic and has a large number of small holes on the sheet surface. Examples of such a sheet include polytetrafluoroethylene (PTFE), polyvinylidene fluoride (PVdF), tetrafluoroethylene-perfluoroalkyl vinyl ether copolymer (PFA), tetrafluoroethylene-hexafluoropropylene copolymer (FEP). And a porous sheet made of a material such as tetrafluoroethylene-ethylene copolymer (ETFE) or polychlorotrifluoroethylene (CTFE). The sheets of these materials may be sintered or unsintered. In addition, it is preferable to use a PTFE sheet from the viewpoint of chemical resistance and heat resistance.
And as a hole diameter of the sheet small hole, 0.01 to 20 μm
The range of m is preferable, and the thickness of the sheet is 10 to 1
The range of 00 μm is preferable.
【００１３】上記のようなフッ素樹脂製多孔質シート
は、例えば、延伸法（特公昭５８−２５３３２号公報，
特公昭５１−１８９９１号公報，特公昭４２−１３５６
０号公報等）あるいは気泡剤を用いる方法（特公昭４２
−４９７４号公報等）により作製することができる。こ
のなかでも、延伸法により、シートの構造が、図３に示
すような構造をとるシートを用いることが好ましい。図
において、１ｄは棒状結節、１ｅは棒状結節１ｄを横連
結する小繊維を示す。すなわち、この構造は、シート
を、そのシート面において一軸方向に延伸し、かつそれ
と直交方向に延伸することにより、複数の棒状結節１ｄ
が所定間隔で林立し、上記隣接する棒状結節１ｄ相互が
複数の小繊維１ｅで横連結されるようになる。そして、
所定個数の棒状結節１ｄで囲まれた空間部が小孔に形成
される。このような構造をとることにより、小孔内周面
のメッキ性が向上するようになり、シート一面から他面
までのメッキ金属の連続形成が容易になる。The fluororesin porous sheet as described above can be formed, for example, by a stretching method (Japanese Patent Publication No. 58-25332,
Japanese Patent Publication No. 51-18991, Japanese Patent Publication No. 42-1356
No. 0, etc.) or a method using a foaming agent (Japanese Patent Publication No. S42)
-4974, etc.). Among these, it is preferable to use a sheet having a structure as shown in FIG. 3 by the stretching method. In the figure, 1d indicates a rod-shaped knot, and 1e indicates a fibril that laterally connects the rod-shaped knot 1d. That is, in this structure, a plurality of rod-shaped knots 1d are formed by stretching the sheet in the sheet surface in the uniaxial direction and in the direction orthogonal thereto.
Stands at predetermined intervals, and the adjacent rod-shaped knots 1d are laterally connected to each other by a plurality of small fibers 1e. And
A space portion surrounded by a predetermined number of rod-shaped knots 1d is formed as a small hole. By adopting such a structure, the plating property of the inner peripheral surface of the small hole is improved, and the continuous formation of the plated metal from one surface of the sheet to the other surface is facilitated.
【００１４】また、フッ素樹脂製多孔質シートの小孔内
に浸入させる親水基を有する化合物としては、水酸基，
カルボキシル基，アミノ基等の親水基を有するものがあ
げられる。そして、フッ素原子との結合エネルギーが５
３９ｋＪ／ｍｏｌ以上である原子の化合物が好ましい。
すなわち、このような原子は、フッ素原子と容易に結合
する性質を有し、光照射によって樹脂から遊離したフッ
素原子をトラップする作用を奏するからである。この作
用により、フッ素原子と親水基との置換が容易におこる
ようになる。このような原子としては、アルミニウム
（６７１ｋＪ／ｍｏｌ，電気陰性度：１．５）、ホウ素
（７４５ｋＪ／ｍｏｌ，電気陰性度２．０）、カルシウ
ム（５６０ｋＪ／ｍｏｌ，電気陰性度：１．０）、バリ
ウム（５８１ｋＪ／ｍｏｌ，電気陰性度：１．２）、リ
チウム（５８０ｋＪ／ｍｏｌ，電気陰性度：１．０）等
があげられる。また、このような原子は、上記のように
電気陰性度が炭素の電気陰性度（２．５）より低くいた
め、高い電気陰性度のフッ素原子が炭素原子に再結合す
るのを防止する効果も有する。このような原子と親水基
を有する化合物の具体例としては、水酸化アルミニウ
ム，ホウ酸，ホウ酸アンモニウム，水酸化リチウム，水
酸化カルシウム，水酸化バリウム，アルミニウムエトキ
シド等の化合物があげられる。このなかでも、水酸化ア
ルミニウム，ホウ酸，水酸化リチウムが好ましい。Further, as the compound having a hydrophilic group to be introduced into the small holes of the fluororesin porous sheet, a hydroxyl group,
Examples thereof include those having a hydrophilic group such as a carboxyl group and an amino group. And the binding energy with the fluorine atom is 5
Compounds with atoms of 39 kJ / mol or more are preferred.
That is, such an atom has a property of easily bonding to a fluorine atom and has a function of trapping a fluorine atom released from the resin by light irradiation. This action facilitates the replacement of the fluorine atom with the hydrophilic group. Such atoms include aluminum (671 kJ / mol, electronegativity: 1.5), boron (745 kJ / mol, electronegativity 2.0), calcium (560 kJ / mol, electronegativity: 1.0). , Barium (581 kJ / mol, electronegativity: 1.2), lithium (580 kJ / mol, electronegativity: 1.0), and the like. Further, since the electronegativity of such an atom is lower than the electronegativity of carbon (2.5) as described above, it also has an effect of preventing a fluorine atom having a high electronegativity from recombining with a carbon atom. Have. Specific examples of the compound having such an atom and a hydrophilic group include compounds such as aluminum hydroxide, boric acid, ammonium borate, lithium hydroxide, calcium hydroxide, barium hydroxide and aluminum ethoxide. Among these, aluminum hydroxide, boric acid, and lithium hydroxide are preferable.
【００１５】つぎに、上記フッ素樹脂製多孔質シートの
前処理について述べる。Next, pretreatment of the fluororesin porous sheet will be described.
【００１６】フッ素樹脂製多孔質シートは、前述のよう
に強い疎水性であるため、親水基を有する化合物のシー
ト小孔内への浸入を促進させるために、予め、上記シー
トに前処理を施す必要がある。この前処理としては、例
えば、プラズマ処理（Ｈ2 ，Ｏ2 ，Ａｒ，ＣＯ2 ，Ａｉ
ｒ，Ｈ2 Ｏ等）およびエキシマレーザー処理等の粗面化
処理、低圧水銀ランプあるいはエキシマランプの光照射
や電子線あるいは放射線照射等による改質処理があげら
れる。Since the fluororesin porous sheet is strongly hydrophobic as described above, in order to promote the infiltration of the compound having a hydrophilic group into the small pores of the sheet, the sheet is pretreated in advance. There is a need. As this pretreatment, for example, plasma treatment (H 2 , O 2 , Ar, CO 2 , Ai
r, H 2 O, etc.) and roughening treatment such as excimer laser treatment, and modification treatment by light irradiation of a low pressure mercury lamp or an excimer lamp, electron beam irradiation or radiation irradiation.
【００１７】上記前処理の後に、親水基を有する化合物
をシート小孔内に浸入させる操作が行われる。これは、
例えば、上記化合物の水溶液を調製し、この水溶液中に
シートを浸漬してシート小孔内に浸透させる方法や、シ
ートに水溶液を塗布して浸透させる方法があげられる。
この水溶液の濃度は、シートの厚みや種類等により適宜
決定されるが、一般には、０．３〜１０重量％、好まし
くは０．５〜５重量％の範囲である。そして、溶質の溶
解度をあげるために、水酸化ナトリウム，水酸化カリウ
ム等のアルカリ塩を同時に添加してもよい。After the above-mentioned pretreatment, an operation of infiltrating the compound having a hydrophilic group into the small pores of the sheet is performed. this is,
For example, a method of preparing an aqueous solution of the above compound and immersing the sheet in the aqueous solution so as to permeate the small pores of the sheet, or a method of applying the aqueous solution to the sheet and permeating the sheet.
The concentration of the aqueous solution is appropriately determined depending on the thickness and type of the sheet, but is generally 0.3 to 10% by weight, preferably 0.5 to 5% by weight. Then, in order to increase the solubility of the solute, alkali salts such as sodium hydroxide and potassium hydroxide may be added at the same time.
【００１８】つぎに、有機溶媒処理による浸入操作をす
ることにより、確実かつ充分にシート小孔内深部まで親
水基を有する化合物を浸入させることが可能となるが、
上記のプラズマ処理等を施せば、上記化合物をシート小
孔内に浸入させることがさらに容易となる。この有機溶
媒としては、水との相溶性が優れ、かつ表面張力が３０
ｄｙｎｅ／ｃｍ以下の有機溶媒を使用することが好まし
く、このようなものとしては、メタノール，エタノー
ル，アセトン，イソプロピルアルコール等があげられ
る。Next, by conducting an infiltration operation by treatment with an organic solvent, it becomes possible to surely and sufficiently infiltrate the compound having a hydrophilic group to the deep inside of the small pores of the sheet.
By performing the above-mentioned plasma treatment or the like, it becomes easier to infiltrate the above-mentioned compound into the sheet small holes. This organic solvent has excellent compatibility with water and has a surface tension of 30.
It is preferable to use an organic solvent of dyne / cm or less, and examples thereof include methanol, ethanol, acetone, isopropyl alcohol and the like.
【００１９】この有機溶媒処理による浸入操作は、例え
ば、以下の２つの方法があげられる。The infiltration operation by the treatment with the organic solvent includes, for example, the following two methods.
【００２０】第１の方法は、つぎのとおりである。すな
わち、まず、フッ素樹脂製多孔質シートを上記有機溶媒
中に浸漬して、有機溶媒がシート小孔内に浸透するよう
にする。そして、このシートを引き上げ、今度は水中に
浸漬する。このとき、水は蒸留水であることが好まし
い。この浸漬により、シート小孔内部が有機溶媒から水
へと置換される。ついで、このシートを引き上げ、今度
は上記化合物の水溶液に浸漬して、シート小孔内部を水
から上記化合物水溶液に置換する。The first method is as follows. That is, first, the fluororesin porous sheet is immersed in the organic solvent so that the organic solvent permeates into the sheet small holes. Then, the sheet is pulled up and this time immersed in water. At this time, the water is preferably distilled water. By this immersion, the inside of the sheet small holes is replaced with water from the organic solvent. Then, this sheet is pulled up and immersed in an aqueous solution of the above compound to replace the inside of the small holes of the sheet with water from the above aqueous solution of the compound.
【００２１】また、第２の方法は、つぎのとおりであ
る。すなわち、まず、上記有機溶媒に上記化合物を配合
した溶液を調製する。このときの濃度は、水溶液の場合
と同様である。そして、この溶液をフッ素樹脂製多孔質
シートに含浸させる。この含浸の方法は、塗布，スプレ
ー等による噴霧または浸漬等があげられる。The second method is as follows. That is, first, a solution in which the above compound is mixed with the above organic solvent is prepared. The concentration at this time is the same as in the case of the aqueous solution. Then, the fluororesin porous sheet is impregnated with this solution. Examples of the method of impregnation include coating, spraying or soaking, and dipping.
【００２２】以上の方法により、フッ素樹脂製多孔質シ
ートの小孔内深部まで確実かつ充分に親水基を有する化
合物を浸入させることができる。By the above method, the compound having a hydrophilic group can be surely and sufficiently infiltrated into the deep portion of the small holes of the fluororesin porous sheet.
【００２３】つぎに、（２）の工程である、フッ素樹脂
製多孔質シートに対しての光照射について説明する。Next, the light irradiation of the fluororesin porous sheet, which is the step (2), will be described.
【００２４】この光照射は、フッ素樹脂分子内のＣ−Ｆ
結合を切断する目的で行うものであって、親水基を有す
る化合物をフッ素樹脂製多孔質シートの小孔内に浸入さ
せた状態で、導電性スポットの配置パターンが形成され
たマスクを介して行われる。This light irradiation is applied to C--F in the fluororesin molecule.
The purpose is to break the bond, the compound having a hydrophilic group is infiltrated into the small holes of the fluororesin porous sheet, through a mask on which a conductive spot arrangement pattern is formed. Be seen.
【００２５】上記光照射は、短波長である紫外線照射が
好ましい。すなわち、１光子あるいは２光子のエネルギ
ーで、フッ素樹脂のＣ−Ｆ結合（結合エネルギー：５３
９ｋＪ／ｍｏｌ）を切断するのが望ましく、これに対応
する光の波長は、Ｅ＝ｈνの関係式（Ｅ：エネルギー，
ｈ：プランク定数，ν：光の波長）から導出されるよう
に、２７０ｎｍ以下の波長となる。しかし、光の波長が
短かすぎるとフッ素樹脂シート自身が、光を吸収してし
まうため、シートの厚み方向に光が充分に達しなくな
り、小孔内深部への光照射が充分でなくなる。このよう
な事情等を勘案すると、光の波長は、１５０〜２７０ｎ
ｍの範囲が好ましいものとなる。そして、このような短
波長の紫外線の光源としては、低圧水銀ランプ，高圧水
銀ランプ，イットリウム−アルミニウム−ガーネット
（ＹＡＧ）レーザー（４倍波），メタルハライドラン
プ，エキシマランプ等が用いられる。このなかでも、低
圧水銀ランプ（波長：１８５ｎｍ）やエキシマランプ
（波長：２２２ｎｍまたは１７２ｎｍ）を使用すること
が好ましい。そして、光照射の出力や照射時間等の条件
は、シートの種類や厚み等によって、適宜決定される
が、通常、出力１０〜１０００ｗで、照射時間は、２０
秒〜３０分の範囲である。The above-mentioned light irradiation is preferably ultraviolet irradiation having a short wavelength. That is, with the energy of one photon or two photons, the C—F bond of the fluororesin (bonding energy: 53
9 kJ / mol) is desirable, and the wavelength of light corresponding to this is the relational expression (E: energy,
The wavelength is 270 nm or less as derived from (h: Planck's constant, ν: wavelength of light). However, if the wavelength of light is too short, the fluororesin sheet itself absorbs the light, so that the light does not fully reach the thickness direction of the sheet, and the light irradiation to the deep portion inside the small hole becomes insufficient. Considering such circumstances, the wavelength of light is 150 to 270n.
The range of m becomes preferable. As a light source of such a short wavelength ultraviolet ray, a low-pressure mercury lamp, a high-pressure mercury lamp, a yttrium-aluminum-garnet (YAG) laser (fourth harmonic), a metal halide lamp, an excimer lamp or the like is used. Among these, it is preferable to use a low pressure mercury lamp (wavelength: 185 nm) or an excimer lamp (wavelength: 222 nm or 172 nm). The conditions such as the light irradiation output and the irradiation time are appropriately determined depending on the type and thickness of the sheet, but usually the output is 10 to 1000 w and the irradiation time is 20.
It is in the range of seconds to 30 minutes.
【００２６】そして、上記光照射は、導電性スポットの
配置パターンが形成されたマスクを介しておこなわれ
る。これにより、導電性スポットとなるべき部分のみに
光照射を行うことができ、フッ素樹脂製多孔質シートの
メッキ性を部分的に向上させることができるようにな
る。すなわち、上記光照射により、マスクのパターンに
対応するシートの所定部分においてフッ素樹脂のＣ−Ｆ
結合が切断され、上記化合物中の水酸基やカルボキシル
基等の親水基がフッ素樹脂中に導入されるようになる。
さらに詳しく述べると、上記短波長の光は、樹脂組織に
対する透過性を有するため、光照射を受けたシート面は
もちろん、小孔内周面やこの内周面から一定深さにかけ
ての樹脂組織部においても親水基は導入される。これに
より、フッ素樹脂製多孔質シートの所定部分、すなわち
シート面の所定位置や、これに対応する小孔内周面およ
びこの内周面から一定深さにかけての樹脂組織部の全て
が親水性となる。その結果、この所定部分のみにおいて
部分的にメッキ性が向上するようになる。なお、この光
照射等による親水性処理は、フッ素樹脂が元来備えてい
る耐薬品性や耐熱性等の特性を損なうものではない。Then, the light irradiation is performed through a mask on which an arrangement pattern of conductive spots is formed. As a result, the light irradiation can be performed only on the portion that should be the conductive spot, and the plating property of the fluororesin porous sheet can be partially improved. That is, due to the above-mentioned light irradiation, C-F of fluororesin is applied to a predetermined portion of the sheet corresponding to the mask pattern.
The bond is broken, and hydrophilic groups such as hydroxyl group and carboxyl group in the above compound are introduced into the fluororesin.
More specifically, since the light of the short wavelength has transparency to the resin tissue, the sheet surface that has been irradiated with light is, of course, the inner surface of the small hole and the resin tissue portion from this inner surface to a certain depth. Also in, a hydrophilic group is introduced. As a result, a predetermined portion of the fluororesin porous sheet, that is, a predetermined position on the sheet surface, a small hole inner peripheral surface corresponding to this, and all of the resin tissue portion from this inner peripheral surface to a certain depth are hydrophilic. Become. As a result, the plating property is partially improved only in this predetermined portion. The hydrophilic treatment by light irradiation or the like does not impair the characteristics such as chemical resistance and heat resistance that the fluororesin originally has.
【００２７】つぎに、（１）および（２）の工程を経
て、部分的にメッキ性が向上したフッ素樹脂製多孔質シ
ートに対して、（３）の工程であるメッキ処理が行われ
る。このメッキ処理は、従来からプリント配線基板の分
野で実施されている無電解メッキ等を応用することがで
きる。Next, through the steps (1) and (2), the fluororesin porous sheet having a partially improved plating property is subjected to a plating step (3). For this plating treatment, electroless plating or the like conventionally practiced in the field of printed wiring boards can be applied.
【００２８】上記無電解メッキに使用される金属の種類
としては、導電性の金属であれば、特に制限されるもの
ではなく、金，銀，銅，錫，クロム，ニッケル，コバル
ト等の金属や、銅−ニッケル，ニッケル−コバルト，錫
−ニッケル等の合金があげられる。The type of metal used for the electroless plating is not particularly limited as long as it is a conductive metal, and metals such as gold, silver, copper, tin, chromium, nickel, cobalt, etc. , Copper-nickel, nickel-cobalt, tin-nickel, and other alloys.
【００２９】そして、無電解メッキは、例えば、つぎの
ようにして行われる。すなわち、まず、上記金属の金属
塩溶液中に上記シートを浸漬し、シート小孔内周面を含
めたシート全表面に、金属塩溶液を接触させる。つい
で、酸化剤を用い、シート表面付近に金属酸化物を析出
させる。そして、還元剤を用い、この析出した金属酸化
物を還元してメッキ金属を形成する。この時、メッキ金
属は、親水性の部分に付着するため、光照射に対応する
部分のみにメッキ金属が析出形成するようになる。すな
わち、前述のように、光照射を受けたシート面、小孔内
周面やこの内周面から一定深さにかけての樹脂組織部に
おいてメッキ金属が析出形成する。このようにして、フ
ッ素樹脂製多孔質シートにおいて、シート面所定位置に
位置する小孔にシート一面から他面にかけて延びるメッ
キ金属を形成することができる。このメッキ金属の厚み
は、通常、１０〜２００μｍ、好ましくは１０〜１００
μｍである。Then, the electroless plating is performed, for example, as follows. That is, first, the sheet is immersed in the metal salt solution of the metal, and the metal salt solution is brought into contact with the entire surface of the sheet including the inner peripheral surface of the sheet small hole. Then, an oxidizer is used to deposit a metal oxide near the surface of the sheet. Then, using a reducing agent, the deposited metal oxide is reduced to form a plating metal. At this time, since the plating metal adheres to the hydrophilic portion, the plating metal is deposited and formed only on the portion corresponding to the light irradiation. That is, as described above, the plated metal is deposited and formed on the light-irradiated sheet surface, the inner peripheral surface of the small holes, and the resin texture portion from the inner peripheral surface to a certain depth. In this way, in the fluororesin porous sheet, it is possible to form the plated metal extending from one surface of the sheet to the other surface in the small hole located at the predetermined position on the sheet surface. The thickness of this plated metal is usually 10 to 200 μm, preferably 10 to 100 μm.
μm.
【００３０】このように、この発明では、フッ素樹脂製
多孔質シートの特定部分を親水性処理してメッキ性を部
分的に向上させることにより、フッ素樹脂製多孔質シー
トに対して精密部分メッキを行うことを可能にしてい
る。これが、この発明の最大の特徴である。As described above, according to the present invention, the specific portion of the fluororesin porous sheet is subjected to the hydrophilic treatment to partially improve the plating property, thereby performing the precise partial plating on the fluororesin porous sheet. It is possible to do. This is the greatest feature of this invention.
【００３１】この無電解メッキの具体例として銀メッキ
について説明する。Silver plating will be described as a specific example of the electroless plating.
【００３２】銀メッキは以下のようにして行うことがで
きる。すなわち、まず、フッ素樹脂製多孔質シートを１
０〜１５重量％硝酸銀水溶液に浸漬する。その後、１〜
５重量％カセイソーダ水溶液に浸漬し、シート小孔内に
浸透している硝酸銀を酸化し、酸化銀として沈漬する。
ついで、１〜５重量％ホルムアルデヒド水溶液中に浸漬
して、酸化銀を還元してシート小孔内等にメッキ銀を析
出形成させる。このようにして、シート面の所定位置に
シートの厚み方向にメッキ銀を連続形成することができ
る。Silver plating can be performed as follows. That is, first, the fluororesin porous sheet 1
Immerse in a 0-15 wt% silver nitrate aqueous solution. Then 1
It is immersed in a 5 wt% caustic soda aqueous solution to oxidize the silver nitrate that has penetrated into the small holes of the sheet, and to immerse it as silver oxide.
Then, it is immersed in a 1 to 5% by weight aqueous formaldehyde solution to reduce silver oxide and deposit and form plated silver in the small holes of the sheet. In this way, the plated silver can be continuously formed at a predetermined position on the sheet surface in the thickness direction of the sheet.
【００３３】なお、上記無電解メッキ処理の前に、シー
ト小孔内に親水基を有する化合物を充填させた状態で、
フッ素樹脂製多孔質シートに対して、エッチング処理等
の粗面化処理を行ってもよい。このエッチング処理は、
メッキ性の向上を目的として、一般に行われるものであ
る。そして、メッキ金属の厚みを増加させる目的で、上
記無電解メッキのあとに、電解メッキを行ってもよい。
しかし、上記無電解メッキ処理のみで、充分にシート面
の所定位置に導電性スポットを形成することが可能であ
るため、この発明では、上記エッチング処理や電解メッ
キ処理は省略することができる。Before the above electroless plating treatment, in the state where the small pores of the sheet are filled with a compound having a hydrophilic group,
Roughening treatment such as etching treatment may be performed on the fluororesin porous sheet. This etching process
It is generally performed for the purpose of improving the plating property. Then, for the purpose of increasing the thickness of the plated metal, electrolytic plating may be performed after the electroless plating.
However, since it is possible to form a conductive spot at a predetermined position on the sheet surface only by the electroless plating treatment, the etching treatment or the electroplating treatment can be omitted in the present invention.
【００３４】[0034]
【発明の効果】以上のように、この発明のフッ素樹脂製
部分メッキ多孔質シートの製法は、シート小孔内に親水
基を有する化合物を浸入させ、この状態で、所定パター
ンが形成されたマスクを介してシート面に光照射を行っ
た後、上記シートに対してメッキを施している。すなわ
ち、親水基を有する化合物存在下で、部分的に光照射を
行うことにより、この光照射に対応するシート部分が疎
水性から親水性へと改質される。この部分的に親水性と
なったフッ素樹脂製多孔質シートに対して、メッキを施
すと、親水性部分のみに選択的にメッキを施すことがで
きるようになる。この結果、それ自体は疎水性であるフ
ッ素樹脂製多孔質シートに対して、一つのスポットの面
積が小さく、かつ全体としてのスポット密度が高密度の
導電性スポットを形成することが可能となる。そして、
この発明の親水性処理およびメッキ処理は、通常の方法
を適用できるため、特別な設備および装置等を必要とせ
ず、かつ簡単に行うことができ、大面積のフッ素樹脂製
多孔質シートに対しても適用可能である。したがって、
この発明のフッ素樹脂製部分メッキ多孔質シートの製法
により、耐薬品性および耐熱性等の特性に優れ、シート
の面方向の絶縁性およびシートの厚み方向の導電性に優
れた大面積の異方向導電性シートの提供が可能となる。As described above, according to the method for producing a fluororesin partially plated porous sheet of the present invention, a compound having a hydrophilic group is infiltrated into the pores of the sheet, and in this state, a mask having a predetermined pattern is formed. After irradiating the sheet surface with light through the sheet, the sheet is plated. That is, by partially irradiating light in the presence of a compound having a hydrophilic group, the sheet portion corresponding to this light irradiation is modified from hydrophobic to hydrophilic. By plating this partially hydrophilic fluororesin porous sheet, only the hydrophilic part can be selectively plated. As a result, it is possible to form a conductive spot having a small spot area and a high overall spot density on the fluororesin porous sheet which is itself hydrophobic. And
The hydrophilic treatment and the plating treatment of the present invention can be performed easily without using special equipment and equipment because a usual method can be applied to a large area fluororesin porous sheet. Is also applicable. Therefore,
By the method for producing a fluororesin partially plated porous sheet of the present invention, excellent properties such as chemical resistance and heat resistance, insulation in the plane direction of the sheet and conductivity in the thickness direction of the sheet are excellent. It is possible to provide a conductive sheet.
【００３５】つぎに、実施例について説明する。Next, examples will be described.
【００３６】[0036]
【実施例】ＰＴＦＥ製多孔質シート（厚み６０μｍ，平
均孔径０．１μｍ）を、最初にメタノール中に浸漬し、
ついで、水中に浸漬し、そして、４．１重量％のホウ酸
水溶液に浸漬し、シート小孔内深部まで充分に、ホウ酸
水溶液を浸入させた。このシートに対し、出力６５０ｗ
の低圧水銀ランプ（オーク社製，ＶＵＶ−６５Ｂ−２２
−２１）を用い、波長１８５ｎｍおよび２５４ｎｍで回
路パターンが形成されたマスクを介して光照射を行っ
た。EXAMPLE A PTFE porous sheet (thickness 60 μm, average pore size 0.1 μm) was first immersed in methanol,
Then, it was dipped in water and then immersed in a 4.1 wt% boric acid aqueous solution to sufficiently infiltrate the boric acid aqueous solution to the deep inside of the sheet small holes. Output 650w for this sheet
Low-pressure mercury lamp (OUV, VUV-65B-22
-21) was used to perform light irradiation through a mask having a circuit pattern formed thereon at wavelengths of 185 nm and 254 nm.
【００３７】この部分的に光照射を行ったシートについ
て、光電子分光法（ＥＳＣＡ）分析をしてフッ素原子
（Ｆ）と炭素原子（Ｃ）との比（Ｆ／Ｃ）および酸素原
子（Ｏ）と炭素原子の比（Ｏ／Ｃ）について調べた。そ
の結果、光照射処理前は、Ｆ／Ｃ＝２．０，Ｏ／Ｃ＝
０．０１であったが、処理後は、Ｆ／Ｃ＝０．２８，Ｏ
／Ｃ＝０．１９となり、フッ素原子が減少し、酸素原子
が増加していることを確認した。また、波形解析を行っ
たところ、−ＣＦ2 −結合（２９２ｅＶ）の炭素原子数
を１００とすると、−Ｃ−Ｏ−結合（２８６ｅＶ）が８
０、−Ｃ＝Ｏ結合（２８８ｅＶ）が１６であり、親水基
が存在していることが確認された。This partially light-irradiated sheet was subjected to photoelectron spectroscopy (ESCA) analysis to find the ratio of fluorine atom (F) to carbon atom (C) (F / C) and oxygen atom (O). And the ratio of carbon atoms (O / C) were investigated. As a result, before the light irradiation process, F / C = 2.0, O / C =
It was 0.01, but after the treatment, F / C = 0.28, O
/C=0.19, and it was confirmed that fluorine atoms decreased and oxygen atoms increased. In addition, when a waveform analysis was performed, assuming that the number of carbon atoms of the —CF 2 — bond (292 eV) was 100, the number of —C—O— bonds (286 eV) was 8.
0, -C = O bond (288 eV) was 16, and it was confirmed that a hydrophilic group was present.
【００３８】つぎに、このシートに対して、常法によ
り、無電解銅メッキを施した。すなわち、まず、キャタ
リスト（奥野製薬社製，ＯＰＣ−80キャタリスト）を用
いキャタリスト処理を行った。そして、水洗した後、ア
クセレーター処理を行い、再度水洗することにより無電
解銅メッキを行った。その結果、マスクの回路に対応し
た導電性スポットがシートの厚み方向に均一に連続形成
されていた。このシートは、シートの面方向について高
い絶縁性を示し、シートの厚み方向には高い導電性を示
した。Next, this sheet was subjected to electroless copper plating by a conventional method. That is, first, the catalyst treatment was performed using a catalyst (OPC-80 catalyst manufactured by Okuno Chemical Industries Co., Ltd.). Then, after washing with water, an accelerator treatment was performed, and washing with water again was performed to perform electroless copper plating. As a result, conductive spots corresponding to the mask circuit were formed continuously in the thickness direction of the sheet. This sheet showed high insulation in the plane direction of the sheet and high conductivity in the thickness direction of the sheet.
【図１】シートに導電性スポットを形成した状態を示す
断面斜視図である。FIG. 1 is a cross-sectional perspective view showing a state in which a conductive spot is formed on a sheet.
【図２】多孔質シートにメッキ処理により導電性スポッ
トを形成した状態を示す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view showing a state in which conductive spots are formed on a porous sheet by plating.
【図３】多孔質シートの構造の一態様を示す模式図であ
る。FIG. 3 is a schematic view showing one aspect of a structure of a porous sheet.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０５Ｋ 3/40 Ｋ 7511−4Ｅ ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code Office reference number FI technical display location H05K 3/40 K 7511-4E
Claims (3)
フッ素樹脂製シートに対し、このシート面の所定位置に
部分メッキを施し、上記所定位置に位置する上記小孔に
シートの一面から他面まで延びるメッキ金属を形成する
フッ素樹脂製部分メッキ多孔質シートの製法であって、
上記メッキに先立って、上記フッ素樹脂製シートを前処
理して親水基を有する化合物を上記小孔内に浸入させ、
この状態で、所定パターンが形成されたマスクを介して
上記フッ素樹脂製シートのシート面の所定位置に光照射
を行うことを特徴とするフッ素樹脂製部分メッキ多孔質
シートの製法。1. A fluororesin sheet having a large number of small holes distributed on the sheet surface is partially plated at predetermined positions on the sheet surface, and the small holes located at the predetermined positions are formed from one surface of the sheet. A method for producing a fluororesin partially plated porous sheet for forming a plated metal extending to the other surface,
Prior to the plating, the fluororesin sheet is pretreated to infiltrate the compound having a hydrophilic group into the small holes,
In this state, light is irradiated to a predetermined position on the sheet surface of the fluororesin sheet through a mask having a predetermined pattern formed thereon, which is a method for producing a fluororesin partially plated porous sheet.
の結合エネルギーが５３９ｋＪ／ｍｏｌ以上の原子の化
合物である請求項１記載のフッ素樹脂製部分メッキ多孔
質シートの製法。2. The method for producing a fluororesin partially plated porous sheet according to claim 1, wherein the compound having a hydrophilic group is a compound having an atom having a binding energy with a fluorine atom of 539 kJ / mol or more.
用いる、シート面に分布する多数の小孔を備えたフッ素
樹脂製シートが、上記シートを、そのシート面において
一軸方向に延伸し、かつそれと直交方向に延伸すること
により、複数の棒状結節が所定間隔で林立し、上記隣接
する棒状結節相互が複数の小繊維で横連結され、所定個
数の棒状結節で囲まれた空間部が小孔に形成された構造
になっている請求項１または２記載のフッ素樹脂製部分
メッキ多孔質シートの製法。3. A fluororesin sheet having a large number of small holes distributed on the sheet surface, which is used for the fluororesin partially plated porous sheet, extends the sheet uniaxially on the sheet surface, and By stretching in the orthogonal direction, a plurality of rod-shaped nodules are forested at a predetermined interval, the adjacent rod-shaped nodules are laterally connected with each other by a plurality of small fibers, and the space surrounded by a predetermined number of rod-shaped nodules forms a small hole. The method for producing a partially plated porous sheet made of fluororesin according to claim 1 or 2, which has a formed structure.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP221794A JPH07207450A (en) | 1994-01-13 | 1994-01-13 | Manufacturing method of partially plated porous sheet made of fluororesin |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP221794A JPH07207450A (en) | 1994-01-13 | 1994-01-13 | Manufacturing method of partially plated porous sheet made of fluororesin |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07207450A true JPH07207450A (en) | 1995-08-08 |
Family
ID=11523199
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP221794A Pending JPH07207450A (en) | 1994-01-13 | 1994-01-13 | Manufacturing method of partially plated porous sheet made of fluororesin |
Country Status (1)
| Country | Link |
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