JPH07209394A - 光磁界センサ - Google Patents
光磁界センサInfo
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- JPH07209394A JPH07209394A JP6003064A JP306494A JPH07209394A JP H07209394 A JPH07209394 A JP H07209394A JP 6003064 A JP6003064 A JP 6003064A JP 306494 A JP306494 A JP 306494A JP H07209394 A JPH07209394 A JP H07209394A
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- Japan
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- optical
- magnetic field
- field sensor
- light
- magneto
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- Pending
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- Measuring Magnetic Variables (AREA)
- Measuring Instrument Details And Bridges, And Automatic Balancing Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 磁界に対して高い直線性を提供すること。
【構成】 少なくとも、光の進行方向に沿って、偏光子
4と、フェリ磁性ガーネット結晶である磁気光学素子5
と、検光子6を用いた光磁界センサにおいて、出射側光
ファイバ9で高次の回折光まで受光することを可能とし
た光学系を構成したものであり、磁気光学素子5の一端
と第1の光ファイバ1の間と、磁気光学素子5の一端で
あって第2の光ファイバ9の間に設置した光伝送路3、
7がライトガイドであることを特徴とする光磁界センサ
である。 【効果】 この光磁界センサは、0 Oeから200 Oeの磁界
範囲で直線性が±1.0%以下であり、従来よりも高い磁
界測定精度を実現する。
4と、フェリ磁性ガーネット結晶である磁気光学素子5
と、検光子6を用いた光磁界センサにおいて、出射側光
ファイバ9で高次の回折光まで受光することを可能とし
た光学系を構成したものであり、磁気光学素子5の一端
と第1の光ファイバ1の間と、磁気光学素子5の一端で
あって第2の光ファイバ9の間に設置した光伝送路3、
7がライトガイドであることを特徴とする光磁界センサ
である。 【効果】 この光磁界センサは、0 Oeから200 Oeの磁界
範囲で直線性が±1.0%以下であり、従来よりも高い磁
界測定精度を実現する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ファラデー効果を有す
る磁気光学素子を用いて磁界を検出し、その磁界強度を
測定する光磁界センサに関するものである。
る磁気光学素子を用いて磁界を検出し、その磁界強度を
測定する光磁界センサに関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、特に電力分野において、電線の周
りに発生する磁界強度を光を用いて測定する方法とし
て、ファラデー効果を有する磁気光学素子と光ファイバ
を組み合わせた電流測定装置が提案され、実用化されつ
つある。電流が流れている導体の周りの磁界強度を測定
して電流を検知する方法は、光を媒体とするために絶縁
性が良好であり、電磁誘導ノイズを受けないなどの特徴
を持ち、送配電設備への適用が考えられている。
りに発生する磁界強度を光を用いて測定する方法とし
て、ファラデー効果を有する磁気光学素子と光ファイバ
を組み合わせた電流測定装置が提案され、実用化されつ
つある。電流が流れている導体の周りの磁界強度を測定
して電流を検知する方法は、光を媒体とするために絶縁
性が良好であり、電磁誘導ノイズを受けないなどの特徴
を持ち、送配電設備への適用が考えられている。
【0003】図11にファラデー効果を用いた磁界の測
定方法の原理図を示す。図11において、磁界H中に磁
気光学素子5が配置されている。この磁気光学素子5に
偏光子4で直線偏光とされた光を通過させる。ファラデ
ー効果により偏光面は磁界強度Hに比例して回転を受け
る。図11はファラデー回転が負符号を示す場合を示し
ている。回転を受けた直線偏光は、偏光子4と透過偏光
方向を45度に異ならしめた検光子6を通過し、回転角θ
の大きさが光量変化に変換される。この磁気光学変換部
を構成するために、一般に図10のように構成される光
磁界センサが使用される(National Technical Report
Vol.38 No.2 P.127 (1992) 参照)。
定方法の原理図を示す。図11において、磁界H中に磁
気光学素子5が配置されている。この磁気光学素子5に
偏光子4で直線偏光とされた光を通過させる。ファラデ
ー効果により偏光面は磁界強度Hに比例して回転を受け
る。図11はファラデー回転が負符号を示す場合を示し
ている。回転を受けた直線偏光は、偏光子4と透過偏光
方向を45度に異ならしめた検光子6を通過し、回転角θ
の大きさが光量変化に変換される。この磁気光学変換部
を構成するために、一般に図10のように構成される光
磁界センサが使用される(National Technical Report
Vol.38 No.2 P.127 (1992) 参照)。
【0004】図10のように構成された光磁界センサで
は、光ファイバ1、9にコア径80μmのマルチモードフ
ァイバを使用し、レンズ2、8には0.25ピッチの自己集
束型ロッドレンズを用いている。また、偏光子4、検光
子6としては、偏光ビームスプリッタを使用し、光路を
90度曲げるために全反射ミラー28を用いている。偏光ビ
ームスプリッタと全反射ミラーは、一辺5mmの立方体で
ある。また、磁気光学素子5には、希土類鉄ガーネット
結晶を使用している。
は、光ファイバ1、9にコア径80μmのマルチモードフ
ァイバを使用し、レンズ2、8には0.25ピッチの自己集
束型ロッドレンズを用いている。また、偏光子4、検光
子6としては、偏光ビームスプリッタを使用し、光路を
90度曲げるために全反射ミラー28を用いている。偏光ビ
ームスプリッタと全反射ミラーは、一辺5mmの立方体で
ある。また、磁気光学素子5には、希土類鉄ガーネット
結晶を使用している。
【0005】しかしながら、光磁界センサに用いられる
磁気光学素子にフェリ磁性体である希土類鉄ガーネット
結晶を使用した場合、希土類鉄ガーネット結晶に特有の
多磁区構造によって、結晶を透過した光は回折される。
フェリ磁性ガーネット結晶の磁区構造がメイズ磁区の場
合は、回折光は図8ように観測され、中心から0次光2
3、1次光24、2次光25、・・・と定義される。図10
に示すように構成された光磁界センサでは、出射側レン
ズ8での回折光の観測条件がほぼ0次光観測であるため
に、その出力は(数1)で示される(日本応用磁気学会
誌 Vol.14, No.4P.642 (1990) 参照)。
磁気光学素子にフェリ磁性体である希土類鉄ガーネット
結晶を使用した場合、希土類鉄ガーネット結晶に特有の
多磁区構造によって、結晶を透過した光は回折される。
フェリ磁性ガーネット結晶の磁区構造がメイズ磁区の場
合は、回折光は図8ように観測され、中心から0次光2
3、1次光24、2次光25、・・・と定義される。図10
に示すように構成された光磁界センサでは、出射側レン
ズ8での回折光の観測条件がほぼ0次光観測であるため
に、その出力は(数1)で示される(日本応用磁気学会
誌 Vol.14, No.4P.642 (1990) 参照)。
【0006】
【数1】
【0007】ここで、θFは材料が磁気的に飽和したと
きのファラデー回転角であり、θF=F・Lと表され
る。また、Fは材料固有のファラデー回転係数で、Lは
光路長(素子長)である。Mは、磁界が印加されたとき
の材料の磁化であり、MSは、材料が磁気的に飽和した
ときの磁化(飽和磁化)である。
きのファラデー回転角であり、θF=F・Lと表され
る。また、Fは材料固有のファラデー回転係数で、Lは
光路長(素子長)である。Mは、磁界が印加されたとき
の材料の磁化であり、MSは、材料が磁気的に飽和した
ときの磁化(飽和磁化)である。
【0008】上述の様な光磁界センサに用いられている
磁気光学素子として、一般式(化1)で示され、Xの値
がX=1.3、かつYの値がY=0.1、かつZの値がZ=0.1、かつW
の値がW=0.6である希土類鉄ガーネット結晶が開示され
ている(電子情報通信学会技術研究報告 OQE92-105 (19
92) 参照)。この従来の技術においては、YをBiやG
dで置換することにより温度特性の良い磁気光学素子を
実現している。この従来例で用いられている結晶の化学
式を(化1)に示す。
磁気光学素子として、一般式(化1)で示され、Xの値
がX=1.3、かつYの値がY=0.1、かつZの値がZ=0.1、かつW
の値がW=0.6である希土類鉄ガーネット結晶が開示され
ている(電子情報通信学会技術研究報告 OQE92-105 (19
92) 参照)。この従来の技術においては、YをBiやG
dで置換することにより温度特性の良い磁気光学素子を
実現している。この従来例で用いられている結晶の化学
式を(化1)に示す。
【0009】
【化1】
【0010】しかしながら、この磁気光学素子を用いて
光磁界センサを構成した場合には、図9に示すように、
5.0 Oe〜200 Oeの範囲で±2.0%以下の磁界測定の直線性
誤差が示されており、光磁界センサの直線性に問題があ
る。
光磁界センサを構成した場合には、図9に示すように、
5.0 Oe〜200 Oeの範囲で±2.0%以下の磁界測定の直線性
誤差が示されており、光磁界センサの直線性に問題があ
る。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】従来の技術で述べたよ
うに、光磁界センサに用いられる磁気光学素子に希土類
鉄ガーネット結晶を使用した場合、フェリ磁性体である
ガーネット結晶に光を透過すると、ガーネット結晶の多
磁区構造によって、光の回折が生じ、出射側の光ファイ
バに結晶を透過した回折光が完全に集光しないために、
磁界強度に対する直線性が悪くなるという問題点があっ
た。
うに、光磁界センサに用いられる磁気光学素子に希土類
鉄ガーネット結晶を使用した場合、フェリ磁性体である
ガーネット結晶に光を透過すると、ガーネット結晶の多
磁区構造によって、光の回折が生じ、出射側の光ファイ
バに結晶を透過した回折光が完全に集光しないために、
磁界強度に対する直線性が悪くなるという問題点があっ
た。
【0012】本発明はかかる点を鑑みてなされたもので
あり、磁界に対する直線性の高い光磁界センサを提供す
ることを目的としている。
あり、磁界に対する直線性の高い光磁界センサを提供す
ることを目的としている。
【0013】
【課題を解決するための手段】本発明は上記問題点を解
決するため、出射側光ファイバで従来より高次の回折光
まで受光するために光学系を構成したものであり、少な
くとも光の進行方向に沿って、偏光子と、磁気光学素子
と、前記偏光子に対して透過偏光方向を互いに異ならし
めた検光子を配置して被測定磁界を出力光強度として検
知する光磁界センサにおいて、前記磁気光学素子の一端
と第1の光ファイバの間と、前記磁気光学素子の一端で
あって前記第1の光ファイバに対向する面と第2の光フ
ァイバの間に設置した光伝送路がライトガイドであるこ
とを特徴とする光磁界センサ等を提供するものである。
決するため、出射側光ファイバで従来より高次の回折光
まで受光するために光学系を構成したものであり、少な
くとも光の進行方向に沿って、偏光子と、磁気光学素子
と、前記偏光子に対して透過偏光方向を互いに異ならし
めた検光子を配置して被測定磁界を出力光強度として検
知する光磁界センサにおいて、前記磁気光学素子の一端
と第1の光ファイバの間と、前記磁気光学素子の一端で
あって前記第1の光ファイバに対向する面と第2の光フ
ァイバの間に設置した光伝送路がライトガイドであるこ
とを特徴とする光磁界センサ等を提供するものである。
【0014】
【作用】本発明は、より広い磁界範囲で直線性が高い光
磁界センサを提供するものであり、その作用を以下に説
明する。
磁界センサを提供するものであり、その作用を以下に説
明する。
【0015】(数1)を展開すると、(数2)のように
表される。
表される。
【0016】
【数2】
【0017】ここで、M=χHであり、χは磁化率であ
る。さらに、式2に印加磁界が交流磁界であることを考
慮し、H=H0sinωtを代入し変形すると、出力の交流
成分V0acは、(数3)のように表される。
る。さらに、式2に印加磁界が交流磁界であることを考
慮し、H=H0sinωtを代入し変形すると、出力の交流
成分V0acは、(数3)のように表される。
【0018】
【数3】
【0019】と表される。(数3)より、出力を表す式
にsin2ωtの項が含まれ、その係数には磁界強度の2乗
項H0 2がかかることがわかる。したがって、交流磁界に
対しては、sinωtの基本波に対する第2高調波の存在が
磁界に対する直線性の歪みの原因になっている。よっ
て、印加磁界の強度H0が大きくなるほど第2高調波の
振幅がH0の2乗に比例して大きくなり、出力の線形性
が悪化することになる。
にsin2ωtの項が含まれ、その係数には磁界強度の2乗
項H0 2がかかることがわかる。したがって、交流磁界に
対しては、sinωtの基本波に対する第2高調波の存在が
磁界に対する直線性の歪みの原因になっている。よっ
て、印加磁界の強度H0が大きくなるほど第2高調波の
振幅がH0の2乗に比例して大きくなり、出力の線形性
が悪化することになる。
【0020】一方、高次の回折光まですべて受光するよ
うに全次数観測を行った場合は、センサからの出力は次
式のように表される。
うに全次数観測を行った場合は、センサからの出力は次
式のように表される。
【0021】
【数4】
【0022】(数4)からわかる様に全次数観測を行っ
た場合は、出力の実効値が印加磁界に単純に比例すると
考えられ、第2高調波の存在による出力の非線形性は生
じないと考えられる。
た場合は、出力の実効値が印加磁界に単純に比例すると
考えられ、第2高調波の存在による出力の非線形性は生
じないと考えられる。
【0023】本発明は、このような観点からフェリ磁性
体である希土類鉄ガーネット結晶で回折した光を高次光
まで受光するように光磁界センサの光学系を構成し、磁
界に対する直線性を改良することを可能とする。
体である希土類鉄ガーネット結晶で回折した光を高次光
まで受光するように光磁界センサの光学系を構成し、磁
界に対する直線性を改良することを可能とする。
【0024】
【実施例】以下本発明の実施例について図面を参照しな
がら説明する。
がら説明する。
【0025】(実施例1)図1は、本発明の第1の実施
例を示した図である。図1において、入射側光ファイバ
1と出射側光ファイバ9には光ファイバのコア径が200
μmのマルチモードファイバを使用している。入射側レ
ンズ2と出射側レンズ8は、使用する波長に応じて0.25
ピッチの自己集束型ロッドレンズである。偏光子4と検
光子6は、磁気光学素子5である希土類鉄ガーネット結
晶の対向する両面に、互いの透過偏光方向を45度傾けて
配置されている。
例を示した図である。図1において、入射側光ファイバ
1と出射側光ファイバ9には光ファイバのコア径が200
μmのマルチモードファイバを使用している。入射側レ
ンズ2と出射側レンズ8は、使用する波長に応じて0.25
ピッチの自己集束型ロッドレンズである。偏光子4と検
光子6は、磁気光学素子5である希土類鉄ガーネット結
晶の対向する両面に、互いの透過偏光方向を45度傾けて
配置されている。
【0026】第1の実施例が、従来例の図10の光磁界
センサの光学系構成と大きく異なる点は、入射側レンズ
2と磁気光学素子5、磁気光学素子5と出射側レンズ8
の間に、図1に示されるような、光軸方向が90度折れ曲
がったライトガイドを使用した点である。ライトガイド
は、図4のような断面を有し、光ファイバを複数本束ね
て配列したものであり、一般には、バンドル型光ファイ
バやイメージファイバとも称されるものである。ここ
で、12は光ファイバのコアで、13はクラッド、14はセカ
ンドクラッドである。本実施例には、外径2mmのライト
ガイドを使用した。
センサの光学系構成と大きく異なる点は、入射側レンズ
2と磁気光学素子5、磁気光学素子5と出射側レンズ8
の間に、図1に示されるような、光軸方向が90度折れ曲
がったライトガイドを使用した点である。ライトガイド
は、図4のような断面を有し、光ファイバを複数本束ね
て配列したものであり、一般には、バンドル型光ファイ
バやイメージファイバとも称されるものである。ここ
で、12は光ファイバのコアで、13はクラッド、14はセカ
ンドクラッドである。本実施例には、外径2mmのライト
ガイドを使用した。
【0027】光源から入射された光は、光ファイバ1を
通過して、入射側レンズ2で平行光とされ、入射側ライ
トガイド3を伝搬方向を90度曲げられて伝送し、偏光子
4で直線偏光となり、磁気光学素子5に入射される。こ
のとき、磁気光学素子6に入射される光のビーム径は約
1mmである。磁気光学素子5に入射した光は、図8に示
すように多磁区構造を有する磁気光学素子5で回折を受
け、検光子6で偏光子4に対して45度成分のみを検光さ
れ、出射側ライトガイド7に入射する。ライトガイドで
伝搬方向を90度曲げられた光は、出射側レンズ8で集光
し、光ファイバ9で伝搬される。希土類鉄ガーネット結
晶には、(BiGdLaY)3(FeGa)5O12結晶を用いたので、波長
0.8μmに対しては回折光1次あたりの回折角θは約3
度である。
通過して、入射側レンズ2で平行光とされ、入射側ライ
トガイド3を伝搬方向を90度曲げられて伝送し、偏光子
4で直線偏光となり、磁気光学素子5に入射される。こ
のとき、磁気光学素子6に入射される光のビーム径は約
1mmである。磁気光学素子5に入射した光は、図8に示
すように多磁区構造を有する磁気光学素子5で回折を受
け、検光子6で偏光子4に対して45度成分のみを検光さ
れ、出射側ライトガイド7に入射する。ライトガイドで
伝搬方向を90度曲げられた光は、出射側レンズ8で集光
し、光ファイバ9で伝搬される。希土類鉄ガーネット結
晶には、(BiGdLaY)3(FeGa)5O12結晶を用いたので、波長
0.8μmに対しては回折光1次あたりの回折角θは約3
度である。
【0028】したがって、ライトガイドの開口数が大き
いほど、高次数の回折光を受光できることになる。しか
しながら、伝送路用光ファイバ1、9と開口数が一致し
ていなければ、開口数による損失が生じて、センサの光
挿入損失が増大するので、光ファイバとライトガイドの
開口数は0.35から0.40が適切な値であった。また、同じ
値であるほどセンサの光挿入損失が低減された。その結
果、センサの光挿入損失値は−14dBであり、問題のない
値であった。
いほど、高次数の回折光を受光できることになる。しか
しながら、伝送路用光ファイバ1、9と開口数が一致し
ていなければ、開口数による損失が生じて、センサの光
挿入損失が増大するので、光ファイバとライトガイドの
開口数は0.35から0.40が適切な値であった。また、同じ
値であるほどセンサの光挿入損失が低減された。その結
果、センサの光挿入損失値は−14dBであり、問題のない
値であった。
【0029】次に、上記の光磁界センサの磁界に対する
直線性誤差を評価するために構成した電流測定装置の実
施例を図6に示す。光磁界センサ18は、測定磁界下や図
6に示すようなコア21のギャップ中に配置される。ここ
で、1、9は光伝送路を形成する光ファイバである。17
は光信号発生手段であり、波長0.8μm帯のLEDまた
は1.3μm帯、1.5μm帯のLDを用いる。19は光磁界セ
ンサ18を透過した後の光を検知し電気信号に変換する検
知手段であり、Ge−PD、Si PIN−PD等を用
いるが、本実施例では0.8μm帯のLEDを用いたの
で、Si PIN−PDを用いた。20は信号処理用電気
回路である。22は、測定対象とする電線である。
直線性誤差を評価するために構成した電流測定装置の実
施例を図6に示す。光磁界センサ18は、測定磁界下や図
6に示すようなコア21のギャップ中に配置される。ここ
で、1、9は光伝送路を形成する光ファイバである。17
は光信号発生手段であり、波長0.8μm帯のLEDまた
は1.3μm帯、1.5μm帯のLDを用いる。19は光磁界セ
ンサ18を透過した後の光を検知し電気信号に変換する検
知手段であり、Ge−PD、Si PIN−PD等を用
いるが、本実施例では0.8μm帯のLEDを用いたの
で、Si PIN−PDを用いた。20は信号処理用電気
回路である。22は、測定対象とする電線である。
【0030】上述のように構成した電流測定装置に図1
に示す光磁界センサを用いて、5.0Oeから200 Oeの磁界
範囲で直線性誤差を測定した結果を図7に示している。
交流磁界の周波数は、60Hzである。また、図7からの読
み取りデータを表1にまとめている。
に示す光磁界センサを用いて、5.0Oeから200 Oeの磁界
範囲で直線性誤差を測定した結果を図7に示している。
交流磁界の周波数は、60Hzである。また、図7からの読
み取りデータを表1にまとめている。
【0031】従来例の測定データである図9と比較する
と、直線性が改善されていることがわかる。したがっ
て、図1に示すように光磁界センサを構成することによ
り、回折光をより高次まで受光し、出力に含まれる第2
高調波の信号強度を減少することができ、光磁界センサ
の磁界に対する直線性を大きく改善することが可能とな
った。
と、直線性が改善されていることがわかる。したがっ
て、図1に示すように光磁界センサを構成することによ
り、回折光をより高次まで受光し、出力に含まれる第2
高調波の信号強度を減少することができ、光磁界センサ
の磁界に対する直線性を大きく改善することが可能とな
った。
【0032】なお、図1に示すような光磁界センサのラ
イトガイドは、光伝送路としての機能を有し、コア径が
大きく、光挿入損失が小さければ、先端が90度に曲げら
れた一本の光ファイバで形成されていることも可能であ
る。その場合のライトガイドの断面図を図5に示してい
る。図5のようなライトガイドを使用した場合にも、光
磁界センサの直線性が改善されることを確認した。
イトガイドは、光伝送路としての機能を有し、コア径が
大きく、光挿入損失が小さければ、先端が90度に曲げら
れた一本の光ファイバで形成されていることも可能であ
る。その場合のライトガイドの断面図を図5に示してい
る。図5のようなライトガイドを使用した場合にも、光
磁界センサの直線性が改善されることを確認した。
【0033】(実施例2)第2図は、本発明の第2の実
施例を示した図である。第2の実施例が、第1の実施例
と異なる点は、光学部品を入射光の伝搬する順に見た場
合に、偏光子4を入射側ライトガイド3の前に配置し、
検光子6を出射側ライトガイド7の後に配置した点であ
る。すなわち、図2において、光源から入射された光
は、光ファイバ1を通過して、入射レンズ2で平行とさ
れ、偏光子4を透過した後、入射側ライトガイド3を伝
搬方向を90度曲げられて伝送する。次に、磁気光学素子
5に入射した光は、図8に示すように多磁区構造を有す
る磁気光学素子5で回折を受け、再び出射側ライトガイ
ド7に入射する。ライトガイド内で伝搬方向を90度曲げ
られた光は、その後検光子6で偏光子4に対して45度成
分のみを検光され、出射側レンズ8で集光され、出射側
光ファイバ9に集光する。希土類鉄ガーネット結晶に
は、同じく(BiGdLaY)3(FeGa)5O12結晶を用いた。構成し
た光磁界センサの光挿入損失値は、−14dBであり、問題
のない値であった。
施例を示した図である。第2の実施例が、第1の実施例
と異なる点は、光学部品を入射光の伝搬する順に見た場
合に、偏光子4を入射側ライトガイド3の前に配置し、
検光子6を出射側ライトガイド7の後に配置した点であ
る。すなわち、図2において、光源から入射された光
は、光ファイバ1を通過して、入射レンズ2で平行とさ
れ、偏光子4を透過した後、入射側ライトガイド3を伝
搬方向を90度曲げられて伝送する。次に、磁気光学素子
5に入射した光は、図8に示すように多磁区構造を有す
る磁気光学素子5で回折を受け、再び出射側ライトガイ
ド7に入射する。ライトガイド内で伝搬方向を90度曲げ
られた光は、その後検光子6で偏光子4に対して45度成
分のみを検光され、出射側レンズ8で集光され、出射側
光ファイバ9に集光する。希土類鉄ガーネット結晶に
は、同じく(BiGdLaY)3(FeGa)5O12結晶を用いた。構成し
た光磁界センサの光挿入損失値は、−14dBであり、問題
のない値であった。
【0034】次に、上記の光磁界センサの磁界に対する
直線性誤差を評価するために、実施例1と同様に図6の
ように電流測定装置を構成した。0 Oeから200 Oeの磁界
範囲で直線性誤差を測定した結果からの読み取りデータ
を表1にまとめている。交流磁界の周波数は、60Hzであ
る。また、従来例の測定データと比較すると、直線性が
改善されていることがわかる。したがって、図2に示す
ように光磁界センサを構成することにより、回折光をよ
り高次まで受光し、出力に含まれる第2高調波の信号強
度を減少することができ、光磁界センサの磁界に対する
直線性を大きく改善することが可能となった。
直線性誤差を評価するために、実施例1と同様に図6の
ように電流測定装置を構成した。0 Oeから200 Oeの磁界
範囲で直線性誤差を測定した結果からの読み取りデータ
を表1にまとめている。交流磁界の周波数は、60Hzであ
る。また、従来例の測定データと比較すると、直線性が
改善されていることがわかる。したがって、図2に示す
ように光磁界センサを構成することにより、回折光をよ
り高次まで受光し、出力に含まれる第2高調波の信号強
度を減少することができ、光磁界センサの磁界に対する
直線性を大きく改善することが可能となった。
【0035】(実施例3)図3は、本発明の第3の実施
例を示した図である。第3の実施例が、第1や第2の実
施例と異なる点は、レンズを使用せずに、入出射光ファ
イバ1、9に先端を90度曲げられた屈曲光ファイバを使
用した点である。90度屈曲加工を施した光ファイバ10、
11は、光挿入損失も小さく、コア径も200μmと大きい
ので、光磁界センサ全体の光挿入損失も−15dBであり、
問題のない値となっている。
例を示した図である。第3の実施例が、第1や第2の実
施例と異なる点は、レンズを使用せずに、入出射光ファ
イバ1、9に先端を90度曲げられた屈曲光ファイバを使
用した点である。90度屈曲加工を施した光ファイバ10、
11は、光挿入損失も小さく、コア径も200μmと大きい
ので、光磁界センサ全体の光挿入損失も−15dBであり、
問題のない値となっている。
【0036】図3において、光源から入射された光は、
入射側屈曲光ファイバ10で伝搬方向を90度曲げられて伝
送し、偏光子4を透過した後、磁気光学素子5に入射す
る。入射した光は、磁気光学素子5で回折を受け、検光
子6で偏光子4に対して45度成分のみを検光され、再び
出射側屈曲光ファイバ11に入射する。屈曲光ファイバの
開口数は 0.4であるので、磁気光学素子5での回折光
を高次数まで受光するのに十分であった。また、屈曲光
ファイバを使用することにより、光磁界センサの幅が約
5mmと小型化することが可能となり、部品点数も減少さ
せることができた。
入射側屈曲光ファイバ10で伝搬方向を90度曲げられて伝
送し、偏光子4を透過した後、磁気光学素子5に入射す
る。入射した光は、磁気光学素子5で回折を受け、検光
子6で偏光子4に対して45度成分のみを検光され、再び
出射側屈曲光ファイバ11に入射する。屈曲光ファイバの
開口数は 0.4であるので、磁気光学素子5での回折光
を高次数まで受光するのに十分であった。また、屈曲光
ファイバを使用することにより、光磁界センサの幅が約
5mmと小型化することが可能となり、部品点数も減少さ
せることができた。
【0037】次に、上記の光磁界センサの磁界に対する
直線性誤差を評価するために、図6のように電流測定装
置を構成した。0 Oeから200 Oeの磁界範囲で直線性誤差
を測定した結果からの読み取りデータを表1にまとめて
いる。交流磁界の周波数は、60Hzである。従来例の測定
データと比較すると、直線性が改善されていることがわ
かる。したがって、図3に示すように光磁界センサを構
成することにより、回折光をより高次まで受光し、出力
に含まれる第2高調波の信号強度を減少することがで
き、光磁界センサの磁界に対する直線性を大きく改善す
ることが可能となった。
直線性誤差を評価するために、図6のように電流測定装
置を構成した。0 Oeから200 Oeの磁界範囲で直線性誤差
を測定した結果からの読み取りデータを表1にまとめて
いる。交流磁界の周波数は、60Hzである。従来例の測定
データと比較すると、直線性が改善されていることがわ
かる。したがって、図3に示すように光磁界センサを構
成することにより、回折光をより高次まで受光し、出力
に含まれる第2高調波の信号強度を減少することがで
き、光磁界センサの磁界に対する直線性を大きく改善す
ることが可能となった。
【0038】
【表1】
【0039】したがって、本発明の光磁界センサを図6
のように構成し、電流測定装置として使用する場合に
は、定格電流値Iに対して0.025I〜Iの電流測定範囲
で±1%以下の比誤差を有する光CTを構成することが
可能となる。さらに、本実施例の第1と第2の光磁界セ
ンサは幅10mm程度であり、本実施例の第3の光磁界セン
サは幅約5mmと従来の光磁界センサよりも形状を小型化
することが可能であるので、電流測定装置にギャップ付
きコアを使用する場合は、コアギャップを小さくするこ
とができ、電流測定装置の感度を大きく向上することが
可能となった。
のように構成し、電流測定装置として使用する場合に
は、定格電流値Iに対して0.025I〜Iの電流測定範囲
で±1%以下の比誤差を有する光CTを構成することが
可能となる。さらに、本実施例の第1と第2の光磁界セ
ンサは幅10mm程度であり、本実施例の第3の光磁界セン
サは幅約5mmと従来の光磁界センサよりも形状を小型化
することが可能であるので、電流測定装置にギャップ付
きコアを使用する場合は、コアギャップを小さくするこ
とができ、電流測定装置の感度を大きく向上することが
可能となった。
【0040】なお、本実施例では偏光子4及び検光子6
をガラス製偏光板としたが、偏光ビームスプリッタや積
層型偏光子薄膜を用いることも可能である。また、自己
集束型ロッドレンズを、平行光を得ることの出来るレン
ズで置換することも可能である。さらには、90度曲げら
れたライトガイドではなく、直線型ライトガイドを使用
して、直線性誤差の小さい直線型光磁界センサを構成す
ることも可能であった。
をガラス製偏光板としたが、偏光ビームスプリッタや積
層型偏光子薄膜を用いることも可能である。また、自己
集束型ロッドレンズを、平行光を得ることの出来るレン
ズで置換することも可能である。さらには、90度曲げら
れたライトガイドではなく、直線型ライトガイドを使用
して、直線性誤差の小さい直線型光磁界センサを構成す
ることも可能であった。
【0041】また、この直線性の改善は0.8μm帯の光
源だけでなく、希土類鉄ガーネット結晶を透過する1.3
μm帯や1.5μm帯の他の波長についても認められた。
また、周波数60Hzだけでなく、直流磁界から数百kHz程
度まで直線性よく磁界を測定することを確認した。
源だけでなく、希土類鉄ガーネット結晶を透過する1.3
μm帯や1.5μm帯の他の波長についても認められた。
また、周波数60Hzだけでなく、直流磁界から数百kHz程
度まで直線性よく磁界を測定することを確認した。
【0042】本実施例の磁気光学素子には、光磁界セン
サの温度特性も考慮するために(化1)で表す希土類鉄
ガーネット結晶を使用した例について示しているが、本
実施例の光学系の構成はフェリ磁性体であるガーネット
結晶を磁気光学素子に使用した光磁界センサや他の磁気
光学素子材料すべてに適応可能である。
サの温度特性も考慮するために(化1)で表す希土類鉄
ガーネット結晶を使用した例について示しているが、本
実施例の光学系の構成はフェリ磁性体であるガーネット
結晶を磁気光学素子に使用した光磁界センサや他の磁気
光学素子材料すべてに適応可能である。
【0043】
【発明の効果】以上述べてきたことから明かな様に、本
発明よれば、従来よりも磁界に対する直線性の高い光磁
界センサを提供することが可能となり、その工業的価値
は大なるものである。
発明よれば、従来よりも磁界に対する直線性の高い光磁
界センサを提供することが可能となり、その工業的価値
は大なるものである。
【図1】本発明による第1の実施例の光磁界センサの構
成図
成図
【図2】本発明による第2の実施例の光磁界センサの構
成図
成図
【図3】本発明による第3の実施例の光磁界センサの構
成図
成図
【図4】本発明で使用した第1のライトガイドの断面図
【図5】本発明で使用した第2のライトガイドの断面図
【図6】本発明による光磁界センサを用いた電流測定装
置の実施例の概略図
置の実施例の概略図
【図7】本発明による第1の実施例の光磁界センサを用
いた電流測定装置の出力の直線性誤差を示す図
いた電流測定装置の出力の直線性誤差を示す図
【図8】フェリ磁性ガーネット結晶による光の回折現象
を説明した模式図
を説明した模式図
【図9】従来の光磁界センサを用いた電流測定装置の出
力の直線性誤差を示す図
力の直線性誤差を示す図
【図10】従来の光磁界センサの構成図
【図11】ファラデー効果を用いた磁界の測定原理を示
す図
す図
a 入射光 b 出射光 1、9 光ファイバ 2、8 レンズ 3、7 ライトガイド 4 偏光子 5 磁気光学素子 6 検光子 10、11 屈曲光ファイバ 12、15 コア 13、16 クラッド 14 セカンドクラッド 17 光源 18 光磁界センサ 19 光検出部 20 信号処理用電気回路 21 コア 22 電線 23 0次光 24 1次光 25 2次光 26 3次光 27 スクリーン 28 全反射ミラー 29 フェルール 30 ホルダー
Claims (3)
- 【請求項1】少なくとも光の進行方向に沿って、偏光子
と、磁気光学素子と、前記偏光子に対して透過偏光方向
を互いに異ならしめた検光子を配置して被測定磁界を出
力光強度として検知する光磁界センサにおいて、前記磁
気光学素子の一端と第1の光ファイバの間と、前記磁気
光学素子の一端であって前記第1の光ファイバに対向す
る面と第2の光ファイバの間にライトガイドを配置した
ことを特徴とする光磁界センサ。 - 【請求項2】少なくとも光の進行方向に沿って、偏光子
と、磁気光学素子と、前記偏光子に対して透過偏光方向
を互いに異ならしめた検光子を配置して被測定磁界を出
力光強度として検知する光磁界センサにおいて、第1の
光伝送路と前記第1の光伝送路に対向する面に設置した
第2の光伝送路が屈曲光ファイバであることを特徴とす
る光磁界センサ。 - 【請求項3】磁気光学素子がフェリ磁性ガーネット結晶
であることを特徴とする請求項1または2記載の光磁界
センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6003064A JPH07209394A (ja) | 1994-01-17 | 1994-01-17 | 光磁界センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6003064A JPH07209394A (ja) | 1994-01-17 | 1994-01-17 | 光磁界センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07209394A true JPH07209394A (ja) | 1995-08-11 |
Family
ID=11546906
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6003064A Pending JPH07209394A (ja) | 1994-01-17 | 1994-01-17 | 光磁界センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07209394A (ja) |
-
1994
- 1994-01-17 JP JP6003064A patent/JPH07209394A/ja active Pending
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