JPH07211494A - 小型電子銃 - Google Patents

小型電子銃

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JPH07211494A
JPH07211494A JP6001606A JP160694A JPH07211494A JP H07211494 A JPH07211494 A JP H07211494A JP 6001606 A JP6001606 A JP 6001606A JP 160694 A JP160694 A JP 160694A JP H07211494 A JPH07211494 A JP H07211494A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electron gun
anode electrode
yoke
vacuum chamber
magnet
Prior art date
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Pending
Application number
JP6001606A
Other languages
English (en)
Inventor
Akiyoshi Yamamoto
顕義 山本
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IHI Corp
Original Assignee
Ishikawajima Harima Heavy Industries Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Ishikawajima Harima Heavy Industries Co Ltd filed Critical Ishikawajima Harima Heavy Industries Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 小型化できる小型電子銃を提供する。 【構成】 真空チャンバ1内にカソード電極2とアノー
ド電極3を設け、そのアノード電極3を通る電子を収束
する電子銃において、アノード電極3の出射側の真空チ
ヤンバ1内に、軟鉄で形成したヨーク18を設けると共
にそのヨーク18内に希土類−Coなどからなる永久磁
石19を収容した収束用磁石20を設けたことを特徴と
している。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、産業用リニアックやX
線装置に使用する小型電子銃に関するものである。
【0002】
【従来の技術】産業用リニアックシステムや非破壊検査
に用いられるX線装置に使用する電子銃は、カソード電
極とアノード電極、収束用電磁石などが真空チャンバに
収容され、カソード電極からアノード電極に放出された
電子を収束用電磁石で収束して電子ビームとし、これを
高周波加速器で所定のエネルギまで加速して使用するも
のである。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところで、この電子銃
は、できるだけ小型のものが望ましいが、収束用電磁石
を取り付けるとどうしても大型化しやすい問題がある。
【0004】そこで、本発明の目的は、上記課題を解決
し、できるただけ小型化できる小型電子銃を提供するも
のである。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、真空チャンバ内にカソード電極とアノード
電極を設け、そのアノード電極を通る電子を収束する電
子銃において、アノード電極の出射側の真空チャンバ内
に、軟鉄で形成したヨークを設けると共にそのヨーク内
に永久磁石を収容した収束用磁石を設けたものであり、
またヨークに収容する永久磁石として希土類−Coから
なるものである。
【0006】
【作用】上記構成によれば、収束用磁石として従来のよ
うに電磁石を用いずに希土類−Coなどからなる永久磁
石を用いることでコンパクトにできると共に取替え自在
とすることで収束度を調整できる。
【0007】
【実施例】以下、本発明の一実施例を添付図面に基づい
て詳述する。
【0008】図1において、1はカソード電極2とアノ
ード電極3を収容する碍石4などで形成される真空チャ
ンバで、その排気管5が真空ポンプ(図示せず)に接続
される。
【0009】カソード電極2は、筒状のウェネル電極6
の先端に収容され、そのカソード端子8,9がウェネル
電極6に設けた絶縁体7より支持される。ウェネル電極
6は碍石4を保持するフランジ10と一体に形成され、
カソード電極2と同電位に保持されて、その電気力線の
作用でカソード電極から放出される電子を収束するよう
になっている。
【0010】アノード電極3は、カソード電極2と対向
するよう碍石4の他端に支持される。真空チャンバ1の
アノード電極3の出射側の排気室1aには、電子ビーム
の出射口11が形成され、その出射口11に接続管12
を介して高周波加速器13が接続される。この高周波加
速器13は導波管14,15から高周波が導入され、出
射口16から電子ビーム17を、例えば20keVに加
速して出射するようになっている。
【0011】さてアノード電極3の出射側の排気室1a
には、軟鉄で中空円環状に形成されたヨーク18とその
ヨーク18内に収容される希土類−Coなどの強力な永
久磁石19からなる収束用磁石20が取替え自在に設け
られる。
【0012】以上において、排気管10より真空チャン
バ1内が10-7,10-8torrにされる。カソード電極2
からアノード電極3へ放出された電子は収束用磁石20
の永久磁石19の磁力により収束され、出射口11から
加速器13に供給され、そこで所望のエネルギまで加速
され、ビーム17となって出射口16から出射される。
【0013】収束用磁石20の永久磁石19の磁力は、
一定であるがカソード−アノード間にかかる電位は一定
であり、予め磁石の材質,形状を変えて中心磁場を選択
すれば、以後は調整の必要がない。
【0014】
【発明の効果】以上要するに本発明によれば、収束用磁
石として従来のように電磁石を用いずに永久磁石を用い
ることでコンパクトにできると共に取替え自在とするこ
とで収束度を調整できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示す断面図である。
【符号の説明】
1 真空チャンバ 2 カソード電極 3 アノード電極 18 ヨーク 19 永久磁石 20 収束用磁石

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 真空チャンバ内にカソード電極とアノー
    ド電極を設け、そのアノード電極を通る電子を収束する
    電子銃において、アノード電極の出射側の真空チャンバ
    内に、軟鉄で形成したヨークを設けると共にそのヨーク
    内に永久磁石を収容した収束用磁石を設けたことを特徴
    とする小型電子銃。
  2. 【請求項2】 ヨーク内に収容する永久磁石が、希土類
    −Coからなる請求項1記載の小型電子銃。
JP6001606A 1994-01-12 1994-01-12 小型電子銃 Pending JPH07211494A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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