JPH07214438A - Ｘ・ｙステージ - Google Patents
Ｘ・ｙステージInfo
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- JPH07214438A JPH07214438A JP6010987A JP1098794A JPH07214438A JP H07214438 A JPH07214438 A JP H07214438A JP 6010987 A JP6010987 A JP 6010987A JP 1098794 A JP1098794 A JP 1098794A JP H07214438 A JPH07214438 A JP H07214438A
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- axis
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- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 3
- ZLHLYESIHSHXGM-UHFFFAOYSA-N 4,6-dimethyl-1h-imidazo[1,2-a]purin-9-one Chemical group N=1C(C)=CN(C2=O)C=1N(C)C1=C2NC=N1 ZLHLYESIHSHXGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 239000010687 lubricating oil Substances 0.000 description 1
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- Machine Tool Units (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 使用装置への設置スペースが従来より狭く、
しかも操作が容易なＸ・Ｙステージ。 【構成】 固定ベース１に対してＸ軸ベース２をＸ方向
に移動させるＸ軸ベース駆動ネジ軸６を回すＸ軸ベース
操作ツマミ１２と、Ｙ軸ベース３をＹ方向に移動させる
ためのＹ軸ベース駆動筒１０をＸ方向に移動させるＹ軸
ベース操作ツマミ１６とを同芯状態にＸ軸ベース２の一
側面に設け、そしてＹ軸ベース操作ツマミ１６の操作に
よるＹ軸ベース駆動筒１０のＸ方向移動によってＹ軸ベ
ース３をＹ方向に移動させるＸ・Ｙ移動方向変換手段が
内蔵してある。
しかも操作が容易なＸ・Ｙステージ。 【構成】 固定ベース１に対してＸ軸ベース２をＸ方向
に移動させるＸ軸ベース駆動ネジ軸６を回すＸ軸ベース
操作ツマミ１２と、Ｙ軸ベース３をＹ方向に移動させる
ためのＹ軸ベース駆動筒１０をＸ方向に移動させるＹ軸
ベース操作ツマミ１６とを同芯状態にＸ軸ベース２の一
側面に設け、そしてＹ軸ベース操作ツマミ１６の操作に
よるＹ軸ベース駆動筒１０のＸ方向移動によってＹ軸ベ
ース３をＹ方向に移動させるＸ・Ｙ移動方向変換手段が
内蔵してある。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、検査対象物、加工物等
（以下、ワークという）を載置または固定する台（以
下、ベースという）を９０度異なるＸ方向およびＹ方向
に移動し、ワークの位置決めをするＸ・Ｙステージに関
するものである。
（以下、ワークという）を載置または固定する台（以
下、ベースという）を９０度異なるＸ方向およびＹ方向
に移動し、ワークの位置決めをするＸ・Ｙステージに関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】顕微鏡等の観察装置、検査装置、あるい
は工作機器等（以下、使用装置という）において、ワー
クを所定平面上のＸ方向およびＹ方向に移動させ所定位
置に設定するために使用される従来のＸ・Ｙステージ
は、図５の斜視図に示すように、固定ベース１と、固定
ベース１に対してＸ方向に摺動して移動可能なＸ軸ベー
ス２と、不図示のワークを載置・取り付けてＸ軸ベース
２の移動方向と９０度異なるＹ方向に摺動して移動可能
なＹ軸ベース３とよりなっている。
は工作機器等（以下、使用装置という）において、ワー
クを所定平面上のＸ方向およびＹ方向に移動させ所定位
置に設定するために使用される従来のＸ・Ｙステージ
は、図５の斜視図に示すように、固定ベース１と、固定
ベース１に対してＸ方向に摺動して移動可能なＸ軸ベー
ス２と、不図示のワークを載置・取り付けてＸ軸ベース
２の移動方向と９０度異なるＹ方向に摺動して移動可能
なＹ軸ベース３とよりなっている。
【０００３】そして、固定ベース１の側面から突出させ
て設けたＸ軸ベース駆動軸４を回してＸ軸ベース２を固
定ベース１に対してＸ方向に移動させ、Ｘ軸ベース２の
側面から突出させて設けたＹ軸ベース駆動軸５を回して
Ｙ軸ベース３をＸ軸ベース２に対してＹ方向に移動させ
る構成となっていた。
て設けたＸ軸ベース駆動軸４を回してＸ軸ベース２を固
定ベース１に対してＸ方向に移動させ、Ｘ軸ベース２の
側面から突出させて設けたＹ軸ベース駆動軸５を回して
Ｙ軸ベース３をＸ軸ベース２に対してＹ方向に移動させ
る構成となっていた。
【０００４】なお、Ｘ軸ベース駆動軸４はＸ軸ベース２
の側面に、Ｙ軸ベース駆動軸５はＹ軸ベース３の側面に
設けた構成例もある。いずれの例もＸ軸ベース２はＸ軸
ベース駆動軸４に押されて移動し、不図示のスプリング
によって逆方向に移動する。またＹ軸ベース３はＸ軸ベ
ース駆動軸４と９０度異なる方向に突出したＹ軸ベース
駆動軸５に押されて移動し、不図示のスプリングによっ
て逆方向に移動する構成となっている。
の側面に、Ｙ軸ベース駆動軸５はＹ軸ベース３の側面に
設けた構成例もある。いずれの例もＸ軸ベース２はＸ軸
ベース駆動軸４に押されて移動し、不図示のスプリング
によって逆方向に移動する。またＹ軸ベース３はＸ軸ベ
ース駆動軸４と９０度異なる方向に突出したＹ軸ベース
駆動軸５に押されて移動し、不図示のスプリングによっ
て逆方向に移動する構成となっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のＸ・Ｙステージは、９０度異なる方向に突出したＸ
軸ベース駆動軸４とＹ軸ベース駆動軸５によってＹ軸ベ
ース３に載置・固定したワークを所定位置に移動させる
構成であるために、使用装置にＸ・Ｙステージを設置す
るスペースをＸ・Ｙ両方向に広く必要とする。またＸ軸
ベース駆動軸４およびＹ軸ベース駆動軸５を操作するた
めにもＸ・Ｙ両方向にスペースを広く必要とし、しかも
操作が面倒である、といった問題があった。
来のＸ・Ｙステージは、９０度異なる方向に突出したＸ
軸ベース駆動軸４とＹ軸ベース駆動軸５によってＹ軸ベ
ース３に載置・固定したワークを所定位置に移動させる
構成であるために、使用装置にＸ・Ｙステージを設置す
るスペースをＸ・Ｙ両方向に広く必要とする。またＸ軸
ベース駆動軸４およびＹ軸ベース駆動軸５を操作するた
めにもＸ・Ｙ両方向にスペースを広く必要とし、しかも
操作が面倒である、といった問題があった。
【０００６】本発明は、上記従来技術の問題点を解消す
るために成されたもので、使用装置へのＸ・Ｙステージ
設置に必要なスペースが従来より狭く、そしてＸ軸ベー
スおよびＹ軸ベースの移動操作をするために必要な操作
スペースも従来より狭くてよく、しかも操作が容易なＸ
・Ｙステージを提供することを目的とするものである。
るために成されたもので、使用装置へのＸ・Ｙステージ
設置に必要なスペースが従来より狭く、そしてＸ軸ベー
スおよびＹ軸ベースの移動操作をするために必要な操作
スペースも従来より狭くてよく、しかも操作が容易なＸ
・Ｙステージを提供することを目的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】このため、本発明に係る
Ｘ・Ｙステージは、固定ベースと、固定ベースに対して
Ｘ方向に移動可能なＸ軸ベースと、Ｘ軸ベースに対して
Ｙ方向に移動可能なＹ軸ベースとよりなるＸ・Ｙステー
ジであって、固定ベースに対してＸ軸ベースをＸ方向に
移動させるＸ軸ベース駆動手段のＸ軸ベース駆動軸をＸ
軸ベースに備え、Ｙ軸ベースをＹ方向に移動させるＹ軸
ベース駆動手段のＹ軸ベース駆動筒を前記Ｘ軸ベース駆
動軸に嵌挿し、Ｙ軸ベース駆動筒のＸ軸ベースに対する
Ｘ方向移動をＹ軸ベースのＹ方向移動に変換させるＸ・
Ｙ移動方向変換手段を備えたことを特徴とする構成によ
って、前記の目的を達成しようとするものである。
Ｘ・Ｙステージは、固定ベースと、固定ベースに対して
Ｘ方向に移動可能なＸ軸ベースと、Ｘ軸ベースに対して
Ｙ方向に移動可能なＹ軸ベースとよりなるＸ・Ｙステー
ジであって、固定ベースに対してＸ軸ベースをＸ方向に
移動させるＸ軸ベース駆動手段のＸ軸ベース駆動軸をＸ
軸ベースに備え、Ｙ軸ベースをＹ方向に移動させるＹ軸
ベース駆動手段のＹ軸ベース駆動筒を前記Ｘ軸ベース駆
動軸に嵌挿し、Ｙ軸ベース駆動筒のＸ軸ベースに対する
Ｘ方向移動をＹ軸ベースのＹ方向移動に変換させるＸ・
Ｙ移動方向変換手段を備えたことを特徴とする構成によ
って、前記の目的を達成しようとするものである。
【０００８】
【作用】以上の構成により、Ｘ軸ベースに備えたＸ軸ベ
ース駆動軸によってＸ軸ベースを固定ベースに対してＸ
方向に移動させることにより、Ｙ軸ベースは固定ベース
に対してＸ方向に移動する。
ース駆動軸によってＸ軸ベースを固定ベースに対してＸ
方向に移動させることにより、Ｙ軸ベースは固定ベース
に対してＸ方向に移動する。
【０００９】そして、Ｘ軸ベース駆動軸に嵌挿したＹ軸
ベース駆動筒をＸ軸ベースに対してＸ方向に移動させる
ことにより、Ｘ・Ｙ移動方向変換手段によってＹ軸ベー
スはＸ軸ベースに対してＹ方向、即ち固定ベースに対し
てＹ方向に移動する。
ベース駆動筒をＸ軸ベースに対してＸ方向に移動させる
ことにより、Ｘ・Ｙ移動方向変換手段によってＹ軸ベー
スはＸ軸ベースに対してＹ方向、即ち固定ベースに対し
てＹ方向に移動する。
【００１０】上記の動作・作用によって、Ｙ軸ベースに
載置・取り付けしたワークを固定ベースに対してＸ方向
・Ｙ方向に移動させることができ、使用装置に対する所
定位置にワークの移動、設定が可能となる。
載置・取り付けしたワークを固定ベースに対してＸ方向
・Ｙ方向に移動させることができ、使用装置に対する所
定位置にワークの移動、設定が可能となる。
【００１１】しかも、Ｘ軸ベース駆動軸にＹ軸ベース駆
動筒を嵌挿したことにより、操作に必要な操作部は一方
向・一か所にだけ突出した構成となるので、使用装置へ
のＸ・Ｙステージ設置に必要なスペースは従来より狭く
てよく、そしてＸ方向およびＹ方向に移動させる両操作
部は一か所に近接して形成することができ、Ｘ方向およ
びＹ方向への移動操作を容易に行うことができる。
動筒を嵌挿したことにより、操作に必要な操作部は一方
向・一か所にだけ突出した構成となるので、使用装置へ
のＸ・Ｙステージ設置に必要なスペースは従来より狭く
てよく、そしてＸ方向およびＹ方向に移動させる両操作
部は一か所に近接して形成することができ、Ｘ方向およ
びＹ方向への移動操作を容易に行うことができる。
【００１２】更に、請求項４の構成とすることにより、
Ｘ方向およびＹ方向への移動にバックラッシュ（バック
クリアランス）はなく、精密な移動制御、位置決定がで
きる。またスプリングによる逆方向駆動機構は不要であ
り、従来より重いワークを移動させることができる。
Ｘ方向およびＹ方向への移動にバックラッシュ（バック
クリアランス）はなく、精密な移動制御、位置決定がで
きる。またスプリングによる逆方向駆動機構は不要であ
り、従来より重いワークを移動させることができる。
【００１３】また、請求項５、７の構成のように、Ｘ方
向位置表示手段およびＹ方向位置表示手段は近接して設
けることができ、操作は一層容易であり、確実な位置設
定ができる。
向位置表示手段およびＹ方向位置表示手段は近接して設
けることができ、操作は一層容易であり、確実な位置設
定ができる。
【００１４】
【実施例】以下、本発明に係るＸ・Ｙステージを実施例
により説明する。
により説明する。
【００１５】図１は、一実施例の構成の概要を示す斜視
図である。なお前記従来例と同一または相当部分は同一
符号で示してある。
図である。なお前記従来例と同一または相当部分は同一
符号で示してある。
【００１６】本実施例は、使用装置に載置または固定す
る固定ベース１と、固定ベース１に対してＸ方向に摺動
して移動可能なＸ軸ベース２と、不図示のワークを載置
・取り付けてＸ軸ベース２の移動方向と９０度異なるＹ
方向に摺動して移動可能なＹ軸ベース３とよりなってい
る。
る固定ベース１と、固定ベース１に対してＸ方向に摺動
して移動可能なＸ軸ベース２と、不図示のワークを載置
・取り付けてＸ軸ベース２の移動方向と９０度異なるＹ
方向に摺動して移動可能なＹ軸ベース３とよりなってい
る。
【００１７】なお上記摺動して移動のための構成は、所
定のＸ方向、またはＹ方向に正しくガイドし円滑に移動
させるための段差部を設けた構成、筋状のガイドを設け
た構成、その他従来の各種構成を選択して利用でき、ま
た潤滑油の介在でスムーズに摺動・移動できる構成だけ
でなく、小形ローラー或は小形ボールを介在させた構成
によって、移動のための入力を軽減させることもでき
る。
定のＸ方向、またはＹ方向に正しくガイドし円滑に移動
させるための段差部を設けた構成、筋状のガイドを設け
た構成、その他従来の各種構成を選択して利用でき、ま
た潤滑油の介在でスムーズに摺動・移動できる構成だけ
でなく、小形ローラー或は小形ボールを介在させた構成
によって、移動のための入力を軽減させることもでき
る。
【００１８】そして、固定ベース１に対してＸ軸ベース
２をＸ方向に移動させるＸ軸ベース駆動手段のＸ軸ベー
ス駆動軸を回すためのＸ軸ベース操作ツマミ１２と、Ｙ
軸ベース３をＹ方向に移動させるＹ軸ベース駆動手段の
Ｙ軸ベース駆動筒１０をＸ方向に移動させるＹ軸ベース
操作ツマミ１６とが同芯状態でＸ軸ベース２の一側面に
設けてある。
２をＸ方向に移動させるＸ軸ベース駆動手段のＸ軸ベー
ス駆動軸を回すためのＸ軸ベース操作ツマミ１２と、Ｙ
軸ベース３をＹ方向に移動させるＹ軸ベース駆動手段の
Ｙ軸ベース駆動筒１０をＸ方向に移動させるＹ軸ベース
操作ツマミ１６とが同芯状態でＸ軸ベース２の一側面に
設けてある。
【００１９】なお、Ｙ軸ベース操作ツマミ１６の操作に
よるＹ軸ベース駆動筒１０のＸ方向移動によってＹ軸ベ
ース３をＹ方向に移動させるＸ・Ｙ移動方向変換手段が
内蔵してある。
よるＹ軸ベース駆動筒１０のＸ方向移動によってＹ軸ベ
ース３をＹ方向に移動させるＸ・Ｙ移動方向変換手段が
内蔵してある。
【００２０】図２は、上記実施例の動作を説明するため
に本実施例を模式的に示した断面図である。同図を参照
して構成と動作を説明する。
に本実施例を模式的に示した断面図である。同図を参照
して構成と動作を説明する。
【００２１】６はＸ軸ベース駆動ネジ軸であり、固定ベ
ース１に設けたＸ方向の雌ネジ７に螺合しており、回転
させることによりＸ軸ベース２をＸ方向（図の左右方
向）に移動させることができるようにＸ軸ベース駆動リ
ング８が形成してある。そして軸端部分には滑りキー構
造を形成するキー溝９が形成してある。なおＸ軸ベース
駆動ネジ軸６の先端部に雌ネジを設け固定ベース１に設
けた雄ネジに螺合させる構成の実施例も可能である。
ース１に設けたＸ方向の雌ネジ７に螺合しており、回転
させることによりＸ軸ベース２をＸ方向（図の左右方
向）に移動させることができるようにＸ軸ベース駆動リ
ング８が形成してある。そして軸端部分には滑りキー構
造を形成するキー溝９が形成してある。なおＸ軸ベース
駆動ネジ軸６の先端部に雌ネジを設け固定ベース１に設
けた雄ネジに螺合させる構成の実施例も可能である。
【００２２】１０はＹ軸ベース駆動筒であり、Ｘ軸ベー
ス駆動ネジ軸６に隙間を有して嵌挿してある。そして外
周面にＹ軸ベース駆動ネジ１１と、Ｘ軸ベース操作ツマ
ミ１２を螺合させる移動量検出ネジを有している。本実
施例ではＹ軸ベース駆動ネジ１１とＸ軸ベース操作ツマ
ミ１２を螺合させる移動量検出ネジとの間のＹ軸ベース
駆動筒外周面部分に後記の位置表示のための目盛りが刻
んである。
ス駆動ネジ軸６に隙間を有して嵌挿してある。そして外
周面にＹ軸ベース駆動ネジ１１と、Ｘ軸ベース操作ツマ
ミ１２を螺合させる移動量検出ネジを有している。本実
施例ではＹ軸ベース駆動ネジ１１とＸ軸ベース操作ツマ
ミ１２を螺合させる移動量検出ネジとの間のＹ軸ベース
駆動筒外周面部分に後記の位置表示のための目盛りが刻
んである。
【００２３】なお、Ｘ軸ベース操作ツマミ１２は、Ｘ軸
ベース駆動ネジ軸６の滑りキー構造を形成するキー溝９
に係合し、内側の移動量検出雌ネジ１３がＹ軸ベース駆
動筒１０の移動量検出ネジに螺合しているので、Ｘ軸ベ
ース駆動操作ツマミ１２を回すことによりＸ軸ベース駆
動ネジ軸６を回しＸ軸ベース２を固定ベース１に対して
Ｘ方向に移動させることができる。そして同時にＸ軸ベ
ース操作ツマミ１２はＹ軸ベース駆動筒１０との相対位
置が移動量検出雌ネジ１３の螺合によって移動するの
で、後記のＸ方向位置表示手段を構成できる。
ベース駆動ネジ軸６の滑りキー構造を形成するキー溝９
に係合し、内側の移動量検出雌ネジ１３がＹ軸ベース駆
動筒１０の移動量検出ネジに螺合しているので、Ｘ軸ベ
ース駆動操作ツマミ１２を回すことによりＸ軸ベース駆
動ネジ軸６を回しＸ軸ベース２を固定ベース１に対して
Ｘ方向に移動させることができる。そして同時にＸ軸ベ
ース操作ツマミ１２はＹ軸ベース駆動筒１０との相対位
置が移動量検出雌ネジ１３の螺合によって移動するの
で、後記のＸ方向位置表示手段を構成できる。
【００２４】１４はＹ軸ベース駆動筒１０から延長した
スライダー部であり、Ｘ軸ベース２に設けたスライダー
ガイド部１５によってＹ軸ベース駆動筒１０の回転を防
止してＸ方向への移動をガイドできる構造となってい
る。
スライダー部であり、Ｘ軸ベース２に設けたスライダー
ガイド部１５によってＹ軸ベース駆動筒１０の回転を防
止してＸ方向への移動をガイドできる構造となってい
る。
【００２５】１６はＹ軸ベース操作ツマミであり、Ｘ軸
ベース２に対してＸ方向に相対移動することなく回動で
きるようにＸ軸ベース２に取り付けられている。そして
Ｙ軸ベース駆動筒１０のＹ軸ベース駆動ネジ１１に螺合
している駆動用の雌ネジを備えており、Ｙ軸ベース操作
ツマミ１６を回すことにより、Ｙ軸ベース駆動筒１０を
Ｘ軸ベース２に対してＸ方向に相対移動させることがで
きる。
ベース２に対してＸ方向に相対移動することなく回動で
きるようにＸ軸ベース２に取り付けられている。そして
Ｙ軸ベース駆動筒１０のＹ軸ベース駆動ネジ１１に螺合
している駆動用の雌ネジを備えており、Ｙ軸ベース操作
ツマミ１６を回すことにより、Ｙ軸ベース駆動筒１０を
Ｘ軸ベース２に対してＸ方向に相対移動させることがで
きる。
【００２６】前記のＸ・Ｙ移動方向変換手段は、Ｙ軸ベ
ース３の下面から突出しＹ方向に対して斜め方向の摺動
面を有するＹ軸ベース駆動ブロック１７と、スライダー
部１４の上面から突出しＹ軸ベース駆動ブロック１７の
摺動面に当接するＹ軸ベース駆動ローラ１８とにより構
成してある。
ース３の下面から突出しＹ方向に対して斜め方向の摺動
面を有するＹ軸ベース駆動ブロック１７と、スライダー
部１４の上面から突出しＹ軸ベース駆動ブロック１７の
摺動面に当接するＹ軸ベース駆動ローラ１８とにより構
成してある。
【００２７】図３は、上記本実施例のＸ・Ｙ移動方向変
換手段の構造を模式的に示した要部平面図である。
換手段の構造を模式的に示した要部平面図である。
【００２８】図示のようにＹ軸ベース３に形成してある
Ｙ軸ベース駆動ブロック１７はＹ方向に対して斜め、即
ちＹ軸ベース駆動筒１０が移動するＸ方向に対しても斜
め方向に、本実施例ではＸ方向に対して２６度３４分の
傾斜としたことにより、Ｙ軸ベース駆動筒１０の移動寸
法の半分だけＹ軸ベース３をＹ方向に移動させる構成で
ある。またＹ軸ベース駆動ブロック１７はＹ軸ベース駆
動ローラ１８に当接摺動する面を両側面に有しており、
スライダー部１４の上面にはＹ軸ベース駆動ブロック１
７の両面に当接させるために２本のＹ軸ベース駆動ロー
ラ１８が突出させてある。なおＹ軸ベース駆動ローラ１
８は偏心調節軸に嵌挿してあり、２本のＹ軸ベース駆動
ローラ１８の間隔を調整してＹ軸ベース駆動ブロック１
７をバックラッシュがないように両面に同時当接できる
間隔調整機構を備えている。
Ｙ軸ベース駆動ブロック１７はＹ方向に対して斜め、即
ちＹ軸ベース駆動筒１０が移動するＸ方向に対しても斜
め方向に、本実施例ではＸ方向に対して２６度３４分の
傾斜としたことにより、Ｙ軸ベース駆動筒１０の移動寸
法の半分だけＹ軸ベース３をＹ方向に移動させる構成で
ある。またＹ軸ベース駆動ブロック１７はＹ軸ベース駆
動ローラ１８に当接摺動する面を両側面に有しており、
スライダー部１４の上面にはＹ軸ベース駆動ブロック１
７の両面に当接させるために２本のＹ軸ベース駆動ロー
ラ１８が突出させてある。なおＹ軸ベース駆動ローラ１
８は偏心調節軸に嵌挿してあり、２本のＹ軸ベース駆動
ローラ１８の間隔を調整してＹ軸ベース駆動ブロック１
７をバックラッシュがないように両面に同時当接できる
間隔調整機構を備えている。
【００２９】上記Ｘ・Ｙ移動方向変換手段の構成によ
り、精密な移動制御、位置決定ができる。またスプリン
グによる逆方向駆動機構は不要であり、従来より重いワ
ークを移動させることができる。
り、精密な移動制御、位置決定ができる。またスプリン
グによる逆方向駆動機構は不要であり、従来より重いワ
ークを移動させることができる。
【００３０】なお、上記のＹ軸ベース駆動ローラ１８を
Ｙ軸ベース３に、Ｙ軸ベース駆動ブロック１７はＹ軸ベ
ース駆動筒１０のスライダー部１４に設けてＸ・Ｙ移動
方向変換手段を構成することもできる。
Ｙ軸ベース３に、Ｙ軸ベース駆動ブロック１７はＹ軸ベ
ース駆動筒１０のスライダー部１４に設けてＸ・Ｙ移動
方向変換手段を構成することもできる。
【００３１】また他の実施例として、Ｙ軸ベース駆動筒
１０は１本としＹ軸ベース駆動ブロック１７の摺動面も
片面、そしてスプリングによりＹ軸ベース３を付勢して
当接摺動させる構成も可能である。
１０は１本としＹ軸ベース駆動ブロック１７の摺動面も
片面、そしてスプリングによりＹ軸ベース３を付勢して
当接摺動させる構成も可能である。
【００３２】図４は、Ｘ軸ベース２からＸ方向に突出し
たＹ軸ベース駆動筒１０部分に形成してあるＸ方向位置
表示目盛りおよびＹ方向位置表示目盛りを示す要部平面
図である。
たＹ軸ベース駆動筒１０部分に形成してあるＸ方向位置
表示目盛りおよびＹ方向位置表示目盛りを示す要部平面
図である。
【００３３】先に図２の模式的断面図を参照して説明し
たように、Ｘ軸ベース操作ツマミ１２は回すことにより
Ｘ軸ベース駆動ネジ軸６を回しＸ軸ベース２を固定ベー
ス１に対してＸ方向に移動させると同時に、Ｘ軸ベース
操作ツマミ１２とＹ軸ベース駆動筒１０との相対位置が
移動するので、図４に示すように、Ｙ軸ベース駆動筒１
０の外周面にＸ軸ベース操作ツマミ１２がＸ方向に相対
移動した寸法を示す目盛り２０と、Ｘ軸ベース操作ツマ
ミ１２の外周縁部にＹ軸ベース駆動筒１０に対する回転
角度を示す目盛２１とが形成してあり、マイクロメータ
と同様に両方の目盛りによってＹ軸ベース３のＸ方向位
置の精細な表示ができる構成となっている。
たように、Ｘ軸ベース操作ツマミ１２は回すことにより
Ｘ軸ベース駆動ネジ軸６を回しＸ軸ベース２を固定ベー
ス１に対してＸ方向に移動させると同時に、Ｘ軸ベース
操作ツマミ１２とＹ軸ベース駆動筒１０との相対位置が
移動するので、図４に示すように、Ｙ軸ベース駆動筒１
０の外周面にＸ軸ベース操作ツマミ１２がＸ方向に相対
移動した寸法を示す目盛り２０と、Ｘ軸ベース操作ツマ
ミ１２の外周縁部にＹ軸ベース駆動筒１０に対する回転
角度を示す目盛２１とが形成してあり、マイクロメータ
と同様に両方の目盛りによってＹ軸ベース３のＸ方向位
置の精細な表示ができる構成となっている。
【００３４】また、Ｙ軸ベース駆動筒１０の外周面にＹ
軸ベース操作ツマミ１６に対して相対移動した寸法を示
す目盛り２２と、Ｙ軸ベース操作ツマミ１６の外周縁部
にＹ軸ベース駆動筒１０に対する回転角度を示す目盛２
３とが形成してあり、マイクロメータと同様に両方の目
盛りによってＹ軸ベース３のＹ方向位置の精細な表示が
できる構成となっている。なお、上記各目盛りはゼロ基
準からのプラスマイナスを示す目盛りとし、ワーク位置
の原点からの座標表示を確認できるように形成すること
も可能である。
軸ベース操作ツマミ１６に対して相対移動した寸法を示
す目盛り２２と、Ｙ軸ベース操作ツマミ１６の外周縁部
にＹ軸ベース駆動筒１０に対する回転角度を示す目盛２
３とが形成してあり、マイクロメータと同様に両方の目
盛りによってＹ軸ベース３のＹ方向位置の精細な表示が
できる構成となっている。なお、上記各目盛りはゼロ基
準からのプラスマイナスを示す目盛りとし、ワーク位置
の原点からの座標表示を確認できるように形成すること
も可能である。
【００３５】上記実施例は、Ｙ軸ベース３を水平面上で
９０度異なるＸ方向およびＹ方向に移動させる構成の例
であるが、斜面、或は垂直面上で９０度異なるＸ方向お
よびＹ方向に移動させる構成も可能である。
９０度異なるＸ方向およびＹ方向に移動させる構成の例
であるが、斜面、或は垂直面上で９０度異なるＸ方向お
よびＹ方向に移動させる構成も可能である。
【００３６】以上説明の構成によって、Ｘ軸ベース２に
備えたＸ軸ベース駆動ネジ軸６によってＸ軸ベース２を
固定ベース１に対してＸ方向に移動させることにより、
Ｙ軸ベース３は固定ベース１に対してＸ方向に移動す
る。
備えたＸ軸ベース駆動ネジ軸６によってＸ軸ベース２を
固定ベース１に対してＸ方向に移動させることにより、
Ｙ軸ベース３は固定ベース１に対してＸ方向に移動す
る。
【００３７】そして、Ｘ軸ベース駆動ネジ軸６に嵌挿し
たＹ軸ベース駆動筒１０をＸ軸ベース２に対してＸ方向
に移動させることにより、Ｘ・Ｙ移動方向変換手段によ
ってＹ軸ベース３はＸ軸ベース２に対してＹ方向、即ち
固定ベース１に対してＹ方向に移動する。
たＹ軸ベース駆動筒１０をＸ軸ベース２に対してＸ方向
に移動させることにより、Ｘ・Ｙ移動方向変換手段によ
ってＹ軸ベース３はＸ軸ベース２に対してＹ方向、即ち
固定ベース１に対してＹ方向に移動する。
【００３８】上記の動作・作用によって、Ｙ軸ベース３
に載置・取り付けしたワークを固定ベース１に対してＸ
方向・Ｙ方向に移動させることができ、使用装置に対す
る所定位置にワークの移動、設定が可能となる。
に載置・取り付けしたワークを固定ベース１に対してＸ
方向・Ｙ方向に移動させることができ、使用装置に対す
る所定位置にワークの移動、設定が可能となる。
【００３９】しかも、Ｘ軸ベース駆動ネジ軸６にＹ軸ベ
ース駆動筒１０を嵌挿したことにより、操作に必要なＸ
軸ベース操作ツマミ１２とＹ軸ベース操作ツマミ１６は
一方向・一か所に一体的に突出した構成となっているの
で、Ｘ・Ｙステージ設置に必要な使用装置のスペースは
従来より狭くてよく、そしてワークをＸ方向およびＹ方
向に移動させる両操作は一方向一部分で実施でき、Ｘ方
向およびＹ方向への移動操作を容易に行うことができ
る。
ース駆動筒１０を嵌挿したことにより、操作に必要なＸ
軸ベース操作ツマミ１２とＹ軸ベース操作ツマミ１６は
一方向・一か所に一体的に突出した構成となっているの
で、Ｘ・Ｙステージ設置に必要な使用装置のスペースは
従来より狭くてよく、そしてワークをＸ方向およびＹ方
向に移動させる両操作は一方向一部分で実施でき、Ｘ方
向およびＹ方向への移動操作を容易に行うことができ
る。
【００４０】また、Ｙベース３のＸ方向位置の表示とＹ
方向位置の表示とがＸ軸ベース操作ツマミ１２とＹ軸ベ
ース操作ツマミ１６部分に形成してあり、操作に便利で
あり、正確な移動・位置設定ができる。
方向位置の表示とがＸ軸ベース操作ツマミ１２とＹ軸ベ
ース操作ツマミ１６部分に形成してあり、操作に便利で
あり、正確な移動・位置設定ができる。
【００４１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ワークを載置、あるいは固定するＹベースをＸ方向およ
びＹ方向へ正確に移動し位置決めすることができ、使用
装置に対してワークを所定位置に容易に移動、設定する
ことが可能である。
ワークを載置、あるいは固定するＹベースをＸ方向およ
びＹ方向へ正確に移動し位置決めすることができ、使用
装置に対してワークを所定位置に容易に移動、設定する
ことが可能である。
【００４２】しかも、操作に必要な操作部は一方向・一
か所にだけ突出した構成となっているので、使用装置へ
のＸ・Ｙステージ設置に必要なスペース、操作に必要な
スペースは従来より狭くてよく、そしてＸ方向およびＹ
方向に移動させる両操作部は一か所に近接して形成する
ことができ、移動操作を容易に行うことができる。
か所にだけ突出した構成となっているので、使用装置へ
のＸ・Ｙステージ設置に必要なスペース、操作に必要な
スペースは従来より狭くてよく、そしてＸ方向およびＹ
方向に移動させる両操作部は一か所に近接して形成する
ことができ、移動操作を容易に行うことができる。
【００４３】更に、Ｘ方向およびＹ方向への移動にバッ
クラッシュ（バッククリアランス）をなくし、精密な移
動制御、位置決定ができる。またスプリングによる逆方
向駆動機構を不要とし、従来より重いワークを移動させ
ることができる。
クラッシュ（バッククリアランス）をなくし、精密な移
動制御、位置決定ができる。またスプリングによる逆方
向駆動機構を不要とし、従来より重いワークを移動させ
ることができる。
【図１】 一実施例の斜視図である。
【図２】 一実施例の構造を模式的に示した断面図であ
る。
る。
【図３】 一実施例のＸ・Ｙ移動方向変換手段の構造を
模式的に示した要部平面図である。
模式的に示した要部平面図である。
【図４】 一実施例のＸ方向位置表示目盛りおよびＹ方
向位置表示目盛りを示す要部平面図である。
向位置表示目盛りを示す要部平面図である。
【図５】 従来のＸ・Ｙステージの斜視図である。
１ 固定ベース ２ Ｘ軸ベース ３ Ｙ軸ベース ６ Ｘ軸ベース駆動ネジ軸 ９ 滑りキー構造を形成するキー溝 １０ Ｙ軸ベース駆動筒 １１ Ｙ軸ベース駆動ネジ １２ Ｘ軸ベース操作ツマミ １３ 移動量検出雌ネジ １４ スライダー部 １５ スライダーガイド部 １６ Ｙ軸ベース操作ツマミ １７ Ｙ軸ベース駆動ブロック １８ Ｙ軸ベース駆動ローラ
Claims (7)
- 【請求項１】 固定ベースと、固定ベースに対してＸ方
向に移動可能なＸ軸ベースと、Ｘ軸ベースに対してＹ方
向に移動可能なＹ軸ベースとよりなるＸ・Ｙステージで
あって、 固定ベースに対してＸ軸ベースをＸ方向に移動させるＸ
軸ベース駆動手段のＸ軸ベース駆動軸をＸ軸ベースに備
え、Ｙ軸ベースをＹ方向に移動させるＹ軸ベース駆動手
段のＹ軸ベース駆動筒を前記Ｘ軸ベース駆動軸に嵌挿
し、Ｙ軸ベース駆動筒のＸ軸ベースに対するＸ方向移動
をＹ軸ベースのＹ方向移動に変換させるＸ・Ｙ移動方向
変換手段を備えたことを特徴とするＸ・Ｙステージ。 - 【請求項２】 固定ベースと、固定ベースに対してＸ方
向に移動可能なＸ軸ベースと、Ｘ軸ベースに対してＹ方
向に移動可能なＹ軸ベースとよりなるＸ・Ｙステージで
あって、 （ａ）固定ベースに設けたＸ方向のネジに螺合し回転さ
せることによりＸ軸ベースをＸ方向に摺動させるＸ軸ベ
ース駆動ネジ軸と、 （ｂ）外周面にＹ軸ベース駆動ネジを有し前記Ｘ軸ベー
ス駆動ネジ軸に隙間を有して嵌挿したＹ軸ベース駆動筒
と、 （ｃ）Ｙ軸ベース駆動筒から延長したスライダー部と、 （ｄ）Ｙ軸ベース駆動筒の回転を防止し前記スライダー
部のＸ方向移動をガイドするＸ軸ベースに設けたスライ
ダーガイド部と、 （ｅ）Ｙ軸ベース駆動筒のＹ軸ベース駆動ネジに螺合し
た駆動ネジを有しＸ軸ベースに対するＸ方向の相対移動
を防止して回動可能にＸ軸ベースに取付けたＹ軸ベース
操作部と、 （ｆ）Ｙ軸ベースと前記スライダー部の対向面部分に設
けたスライダー部のＸ方向移動をＹ軸ベースのＹ方向移
動に変換するＸ・Ｙ移動方向変換手段と、 （ｇ）Ｘ軸ベース駆動ネジ軸に取付けたＸ軸ベース操作
部と、を備えたことを特徴とするＸ・Ｙステージ。 - 【請求項３】 Ｘ・Ｙ移動方向変換手段は、Ｙ軸ベース
の下面から突出しＹ方向に対して斜め方向の摺動面を有
するＹ軸ベース駆動ブロックと、前記スライダー部の上
面から突出し前記Ｙ軸ベース駆動ブロックの摺動面に当
接するＹ軸ベース駆動ローラとよりなることを特徴とす
るＸ・Ｙステージ。 - 【請求項４】 Ｘ・Ｙ移動方向変換手段は、Ｙ軸ベース
の下面から突出しＹ方向に対して斜め方向の摺動面を両
側面に有するＹ軸ベース駆動ブロックと、前記スライダ
ー部の上面から突出し前記Ｙ軸ベース駆動ブロックの両
側面の摺動面に当接する間隔調整機構を有する複数のＹ
軸ベース駆動ローラとよりなることを特徴とするＸ・Ｙ
ステージ。 - 【請求項５】 請求項１ないし４のいずれかに記載の構
成に加えて、Ｙ軸ベース操作部とＹ軸ベース駆動筒との
相対位置の表示によってＹ軸ベースのＹ方向位置を示す
Ｙ方向位置表示手段を備えたことを特徴とするＸ・Ｙス
テージ。 - 【請求項６】 請求項１ないし５のいずれかに記載の構
成に加えて、Ｙ軸ベース駆動筒はＸ軸ベース操作部を螺
合させる移動量検出ネジを有し、Ｘ軸ベース操作部は滑
りキー構造によりＸ軸ベース駆動ネジ軸の回動駆動とＸ
軸ベース駆動ネジ軸とのＸ方向の相対移動とが可能にＸ
軸ベース駆動ネジ軸に取り付けられＹ軸ベース駆動筒の
前記移動量検出ネジに螺合していることを特徴とするＸ
・Ｙステージ。 - 【請求項７】 請求項６記載の構成に加えて、Ｘ軸ベー
ス操作部とＹ軸ベース駆動筒との相対位置の表示によっ
てＸ軸ベースのＸ方向位置を示すＸ方向位置表示手段を
備えたことを特徴とするＸ・Ｙステージ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6010987A JPH07214438A (ja) | 1994-02-02 | 1994-02-02 | Ｘ・ｙステージ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6010987A JPH07214438A (ja) | 1994-02-02 | 1994-02-02 | Ｘ・ｙステージ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07214438A true JPH07214438A (ja) | 1995-08-15 |
Family
ID=11765510
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6010987A Withdrawn JPH07214438A (ja) | 1994-02-02 | 1994-02-02 | Ｘ・ｙステージ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07214438A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101508487B1 (ko) * | 2014-11-28 | 2015-04-07 | 나이프코리아 주식회사 | 웨지 스테이지 |
| CN108493294A (zh) * | 2018-03-13 | 2018-09-04 | 中南大学 | 应用于光电子封装的冗余驱动平面运动平台 |
-
1994
- 1994-02-02 JP JP6010987A patent/JPH07214438A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101508487B1 (ko) * | 2014-11-28 | 2015-04-07 | 나이프코리아 주식회사 | 웨지 스테이지 |
| CN108493294A (zh) * | 2018-03-13 | 2018-09-04 | 中南大学 | 应用于光电子封装的冗余驱动平面运动平台 |
| CN108493294B (zh) * | 2018-03-13 | 2020-01-14 | 中南大学 | 应用于光电子封装的冗余驱动平面运动平台 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20010403 |