JPH0811068A - 直動回転ステージ装置 - Google Patents
直動回転ステージ装置Info
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- JPH0811068A JPH0811068A JP14760494A JP14760494A JPH0811068A JP H0811068 A JPH0811068 A JP H0811068A JP 14760494 A JP14760494 A JP 14760494A JP 14760494 A JP14760494 A JP 14760494A JP H0811068 A JPH0811068 A JP H0811068A
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- 239000010687 lubricating oil Substances 0.000 description 1
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- Workshop Equipment, Work Benches, Supports, Or Storage Means (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 正確、精密に回転ステージを回動させること
ができる直動回転ステージ装置。 【構成】 固定ベース１に螺合した駆動軸３は回転させ
ることによりＸ方向に移動し、駆動軸３の端部にスラス
トベアリングを介して直動部材７が接続してあり、直動
部材７は回転ステージ２が固定ベース１に対する基準位
置状態にあるとき回転ステージ２の回動軸に最も近くな
るように位置しており、この直動部材７に対向する回転
ステージ２の下面部分に設けた回動部材９に、平行な垂
直両面を有する受動板８を突出させて取付けてあり、直
動部材７に設けてある複数のローラ１０によって受動板
８の平行両面をＸ方向に向けて挟み当接し、駆動軸のＸ
方向移動により複数のローラ１０は受動板８を押圧して
回転ステージ２を回動させる。
ができる直動回転ステージ装置。 【構成】 固定ベース１に螺合した駆動軸３は回転させ
ることによりＸ方向に移動し、駆動軸３の端部にスラス
トベアリングを介して直動部材７が接続してあり、直動
部材７は回転ステージ２が固定ベース１に対する基準位
置状態にあるとき回転ステージ２の回動軸に最も近くな
るように位置しており、この直動部材７に対向する回転
ステージ２の下面部分に設けた回動部材９に、平行な垂
直両面を有する受動板８を突出させて取付けてあり、直
動部材７に設けてある複数のローラ１０によって受動板
８の平行両面をＸ方向に向けて挟み当接し、駆動軸のＸ
方向移動により複数のローラ１０は受動板８を押圧して
回転ステージ２を回動させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、検査対象物、加工物等
（以下、ワークという）を載置または固定する台（以
下、回転ステージという）を固定ベースに対して正・逆
方向に所定角度回転移動（以下、回動という）させる直
動回転ステージ装置に関するものである。
（以下、ワークという）を載置または固定する台（以
下、回転ステージという）を固定ベースに対して正・逆
方向に所定角度回転移動（以下、回動という）させる直
動回転ステージ装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】顕微鏡等の観察装置、検査装置、あるい
は工作機器等（以下、使用装置という）において、ワー
クを所定平面に対して回動させ所定位置に設定するため
に使用される従来の回転ステージ装置は、図６の斜視図
に示すように、固定ベース１と、固定ベース１に対して
回動可能な回転ステージ２とよりなっている。
は工作機器等（以下、使用装置という）において、ワー
クを所定平面に対して回動させ所定位置に設定するため
に使用される従来の回転ステージ装置は、図６の斜視図
に示すように、固定ベース１と、固定ベース１に対して
回動可能な回転ステージ２とよりなっている。
【０００３】そして、回転ステージ２の側面に受動突起
部２ｆを突出させて設け、固定ベース１に螺合させた駆
動把手５を回すことによって駆動軸３の先端部が前進し
て受動突起部２ｆを押圧し、受動突起部２ｆの逆面に当
接しているスプリング押圧軸３ｂを圧縮後退させて回転
ステージ２を正方向に所定の角度範囲内で回動させる。
また、駆動把手５を逆方向に回して先端部３ａを後退さ
せ、スプリング押圧軸３ｂによる受動突起部２ｆの逆面
押圧によって回転ステージ２を逆方向に所定の角度範囲
内で回動させる構成となっている。上記回動可能な角度
範囲は所定の中央位置から正逆方向に各５度程度であっ
た。
部２ｆを突出させて設け、固定ベース１に螺合させた駆
動把手５を回すことによって駆動軸３の先端部が前進し
て受動突起部２ｆを押圧し、受動突起部２ｆの逆面に当
接しているスプリング押圧軸３ｂを圧縮後退させて回転
ステージ２を正方向に所定の角度範囲内で回動させる。
また、駆動把手５を逆方向に回して先端部３ａを後退さ
せ、スプリング押圧軸３ｂによる受動突起部２ｆの逆面
押圧によって回転ステージ２を逆方向に所定の角度範囲
内で回動させる構成となっている。上記回動可能な角度
範囲は所定の中央位置から正逆方向に各５度程度であっ
た。
【０００４】なお、上記のスプリング押圧軸３ｂの代り
に、受動突起部２ｆの逆面側にも固定ベース１に螺合さ
せた駆動把手を設け、両方の駆動把手の回転によって回
転ステージ２を正・逆両方向に回動させる構成の回転ス
テージ装置もある。
に、受動突起部２ｆの逆面側にも固定ベース１に螺合さ
せた駆動把手を設け、両方の駆動把手の回転によって回
転ステージ２を正・逆両方向に回動させる構成の回転ス
テージ装置もある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の回転ステージ装置は、スプリング押圧軸３ｂによる
受動突起部２ｆの逆面への押圧力が充分な強さを有して
いないと回転ステージを確実・精密に移動させることが
困難である。しかし受動突起部２ｆへの逆面押圧力が強
いことは駆動把手による回動操作が重く困難となる。ま
た受動突起部２ｆの逆面押圧力を生かすために回転ステ
ージに載置するワーク重量への制約も生じている。
来の回転ステージ装置は、スプリング押圧軸３ｂによる
受動突起部２ｆの逆面への押圧力が充分な強さを有して
いないと回転ステージを確実・精密に移動させることが
困難である。しかし受動突起部２ｆへの逆面押圧力が強
いことは駆動把手による回動操作が重く困難となる。ま
た受動突起部２ｆの逆面押圧力を生かすために回転ステ
ージに載置するワーク重量への制約も生じている。
【０００６】一方、受動突起部２ｆの両面側に駆動把手
を設けた構成では、両手による手動操作が面倒であり、
結果として回転ステージを確実・精密に容易に移動させ
ることは困難であった。
を設けた構成では、両手による手動操作が面倒であり、
結果として回転ステージを確実・精密に容易に移動させ
ることは困難であった。
【０００７】本発明は、上記従来技術の問題点を解消す
るために成されたもので、駆動軸の操作が容易であり、
正確、精密に回転ステージを回動させることができる直
動回転ステージ装置を提供することを目的とするもので
ある。
るために成されたもので、駆動軸の操作が容易であり、
正確、精密に回転ステージを回動させることができる直
動回転ステージ装置を提供することを目的とするもので
ある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】このため、本発明に係る
直動回転ステージ装置は、回転ステージと、該回転ステ
ージを回動可能に保持する固定ベースと、この固定ベー
スに螺合しガイドされて回転ステージの回動面に平行か
つ回転ステージの軸心に交差しないＸ軸方向に移動する
駆動軸と、この駆動軸のＸ方向移動を回転ステージの回
動駆動に変換する回動手段と、前記駆動軸の把手部の回
動とＸ方向移動を示す回動表示目盛りとを備えた直動回
転ステージ装置であって、前記回動手段は、駆動軸の移
動に係合し固定ベースにガイドされて回転することなく
Ｘ方向に移動する直動部材と、回転ステージに設け回転
ステージの回動軸に平行な回動軸を有する回動部材と、
この回動部材に設け前記直動部材に向けて突出し平行両
面を有する受動板と、前記直動部材に設け受動板の平行
両面をＸ方向に向けて挟み当接する複数のローラとを備
えたことを特徴とする構成によって、前記の目的を達成
しようとするものである。
直動回転ステージ装置は、回転ステージと、該回転ステ
ージを回動可能に保持する固定ベースと、この固定ベー
スに螺合しガイドされて回転ステージの回動面に平行か
つ回転ステージの軸心に交差しないＸ軸方向に移動する
駆動軸と、この駆動軸のＸ方向移動を回転ステージの回
動駆動に変換する回動手段と、前記駆動軸の把手部の回
動とＸ方向移動を示す回動表示目盛りとを備えた直動回
転ステージ装置であって、前記回動手段は、駆動軸の移
動に係合し固定ベースにガイドされて回転することなく
Ｘ方向に移動する直動部材と、回転ステージに設け回転
ステージの回動軸に平行な回動軸を有する回動部材と、
この回動部材に設け前記直動部材に向けて突出し平行両
面を有する受動板と、前記直動部材に設け受動板の平行
両面をＸ方向に向けて挟み当接する複数のローラとを備
えたことを特徴とする構成によって、前記の目的を達成
しようとするものである。
【０００９】或は、前記回動手段は、駆動軸の移動に係
合し固定ベースにガイドされて回転することなくＸ方向
に移動する直動部材と、回転ステージに設け回転ステー
ジの回動軸に平行な回動軸を有する回動部材と、前記直
動部材に設けた回転ステージ方向に向けて突出しＸ方向
に向いた平行両面を有する駆動板と、前記回動部材に設
け前記駆動板の平行両面を挟み当接する複数のローラと
を備えたことを特徴とする構成、或は、駆動軸の移動に
係合し固定ベースにガイドされて回転することなくＸ方
向に移動する直動部材と、この直動部材に設けた回転ス
テージの回動軸に平行な軸心を有する回動部材と、この
回動部材に設け回転ステージに向けて突出し平行両面を
有する駆動板と、回転ステージに設け駆動板の平行両面
を回動方向に向けて挟み当接する複数のローラとを備え
たことを特徴とする構成、或は、駆動軸の移動に係合し
固定ベースにガイドされて回転することなくＸ方向に移
動する直動部材と、この直動部材に設けた回転ステージ
の回動軸に平行な軸心を有する回動部材と、回動方向に
向いた平行両面を有し前記回動部材方向に突出させて回
転ステージに設けた受動板と、この受動板の平行両面を
挟み当接する複数のローラを前記回動部材に備えたこと
を特徴とする構成、によって前記の目的を達成しようと
するものである。
合し固定ベースにガイドされて回転することなくＸ方向
に移動する直動部材と、回転ステージに設け回転ステー
ジの回動軸に平行な回動軸を有する回動部材と、前記直
動部材に設けた回転ステージ方向に向けて突出しＸ方向
に向いた平行両面を有する駆動板と、前記回動部材に設
け前記駆動板の平行両面を挟み当接する複数のローラと
を備えたことを特徴とする構成、或は、駆動軸の移動に
係合し固定ベースにガイドされて回転することなくＸ方
向に移動する直動部材と、この直動部材に設けた回転ス
テージの回動軸に平行な軸心を有する回動部材と、この
回動部材に設け回転ステージに向けて突出し平行両面を
有する駆動板と、回転ステージに設け駆動板の平行両面
を回動方向に向けて挟み当接する複数のローラとを備え
たことを特徴とする構成、或は、駆動軸の移動に係合し
固定ベースにガイドされて回転することなくＸ方向に移
動する直動部材と、この直動部材に設けた回転ステージ
の回動軸に平行な軸心を有する回動部材と、回動方向に
向いた平行両面を有し前記回動部材方向に突出させて回
転ステージに設けた受動板と、この受動板の平行両面を
挟み当接する複数のローラを前記回動部材に備えたこと
を特徴とする構成、によって前記の目的を達成しようと
するものである。
【００１０】
【作用】以上の構成により、固定ベースに備えた駆動軸
を回転させることによって駆動軸をＸ方向に移動させる
ことができ、回動手段により、回転ステージは固定ベー
スに対して回動する。
を回転させることによって駆動軸をＸ方向に移動させる
ことができ、回動手段により、回転ステージは固定ベー
スに対して回動する。
【００１１】そして、回動手段は、駆動軸の移動に係合
し固定ベースにガイドされて回転することなくＸ方向に
移動する直動部材と、回転ステージに設けた回動部材か
ら駆動板に向けて突出し平行両面を有する受動板と、直
動部材に設け受動板の平行面をＸ方向に向けて当接する
複数のローラとを備えた構成であり、駆動軸により直動
部材をＸ方向へ直線移動させると、複数のローラによる
挟みにより受動板の平行両面がＸ方向に常に向くように
回動部材が回動し、駆動軸のＸ方向への直線移動は受動
板を押圧して回動部材を回転ステージの円周方向へ移動
させる、即ち回転ステージを円滑に回動させることがで
きる。
し固定ベースにガイドされて回転することなくＸ方向に
移動する直動部材と、回転ステージに設けた回動部材か
ら駆動板に向けて突出し平行両面を有する受動板と、直
動部材に設け受動板の平行面をＸ方向に向けて当接する
複数のローラとを備えた構成であり、駆動軸により直動
部材をＸ方向へ直線移動させると、複数のローラによる
挟みにより受動板の平行両面がＸ方向に常に向くように
回動部材が回動し、駆動軸のＸ方向への直線移動は受動
板を押圧して回動部材を回転ステージの円周方向へ移動
させる、即ち回転ステージを円滑に回動させることがで
きる。
【００１２】なお、回動部材は回転ステージに設ける代
わりに直動部材に設けた構成、また、平行両面を有する
板は回転ステージ側に設けて受動板を構成する代りに直
動部材側に設けて駆動板を構成し回転ステージ側に設け
た複数のローラに挟ませた構成の組み合わせによって
も、駆動軸をＸ方向へ直線移動させることにより、上記
と同様に平行両面と複数のローラとの当接状態はガタツ
クことなく正常な当接状態を維持して、回転ステージを
確実・精細に回動移動させることができる。
わりに直動部材に設けた構成、また、平行両面を有する
板は回転ステージ側に設けて受動板を構成する代りに直
動部材側に設けて駆動板を構成し回転ステージ側に設け
た複数のローラに挟ませた構成の組み合わせによって
も、駆動軸をＸ方向へ直線移動させることにより、上記
と同様に平行両面と複数のローラとの当接状態はガタツ
クことなく正常な当接状態を維持して、回転ステージを
確実・精細に回動移動させることができる。
【００１３】なお、従来装置のスプリング押圧軸による
受動突起部の逆面押圧のような、駆動軸の移動を妨げる
構成はなく、駆動軸による操作は容易であり、また回転
ステージの回動角度範囲の拡張も可能である。
受動突起部の逆面押圧のような、駆動軸の移動を妨げる
構成はなく、駆動軸による操作は容易であり、また回転
ステージの回動角度範囲の拡張も可能である。
【００１４】そして、駆動軸の把手部の回動とＸ方向の
移動を示す回動表示目盛りから回転ステージの回動角度
を正確に読み取りでき、ワークを確実・精細に所定角度
の回動をさせることができる。
移動を示す回動表示目盛りから回転ステージの回動角度
を正確に読み取りでき、ワークを確実・精細に所定角度
の回動をさせることができる。
【００１５】
【実施例】以下、本発明に係る直動回転ステージ装置を
実施例により説明する。
実施例により説明する。
【００１６】図１は、一実施例の構成の概要を示す斜視
図であり、前記従来例と同一または相当部分は同一符号
で示してある。図２は実施例の水平断面図であり、図３
は垂直断面図である。
図であり、前記従来例と同一または相当部分は同一符号
で示してある。図２は実施例の水平断面図であり、図３
は垂直断面図である。
【００１７】１は実施例を使用装置に載置または固定す
る固定ベース、２は不図示のワークを載置・取り付けす
る回転ステージであり、回転ステージ２は固定ベース１
に係合ガイドされて正・逆両方向に円滑に回動可能な構
成となっている。
る固定ベース、２は不図示のワークを載置・取り付けす
る回転ステージであり、回転ステージ２は固定ベース１
に係合ガイドされて正・逆両方向に円滑に回動可能な構
成となっている。
【００１８】そして図に示すように、固定ベース１に
は、壁面の開口部に駆動軸取付け部材１ａを取付け一体
化してあり、その端部開口には駆動軸３を保持するガイ
ド筒１ｂが装着固定されている。ガイド筒１ｂの内面に
は雌ネジ部１ｃが形成されている。
は、壁面の開口部に駆動軸取付け部材１ａを取付け一体
化してあり、その端部開口には駆動軸３を保持するガイ
ド筒１ｂが装着固定されている。ガイド筒１ｂの内面に
は雌ネジ部１ｃが形成されている。
【００１９】ガイド筒１ｂに挿入し雌ネジ部１ｃに螺合
させた駆動軸３は、回転ステージ２の回転面に平行方向
（図示例では水平方向）、そして回転ステージ２の回動
軸心と円周内壁との中間部に向かう方向（以下、Ｘ方向
という）であるように構成してあり、駆動軸３の外側端
部に取付けた把手部５を回すことによって駆動軸３をＸ
方向に移動させる構成となっている。
させた駆動軸３は、回転ステージ２の回転面に平行方向
（図示例では水平方向）、そして回転ステージ２の回動
軸心と円周内壁との中間部に向かう方向（以下、Ｘ方向
という）であるように構成してあり、駆動軸３の外側端
部に取付けた把手部５を回すことによって駆動軸３をＸ
方向に移動させる構成となっている。
【００２０】そして、固定ベース１のガイド筒１ｂの外
周面と同外周面に接する駆動軸３の把手部５の端面部分
には、駆動軸３の把手部５の回動とＸ方向移動を示すマ
イクロメータ状の回動表示目盛６ａ，６ｂが刻まれてい
る。なお螺合の高精度化のために雌ネジ部１ｃにスリッ
トを設け外周面部を締める等の補助機構を付加すること
も可能である。
周面と同外周面に接する駆動軸３の把手部５の端面部分
には、駆動軸３の把手部５の回動とＸ方向移動を示すマ
イクロメータ状の回動表示目盛６ａ，６ｂが刻まれてい
る。なお螺合の高精度化のために雌ネジ部１ｃにスリッ
トを設け外周面部を締める等の補助機構を付加すること
も可能である。
【００２１】駆動軸３の他方の端部にはスラストベアリ
ングを介して直動部材７が取付けてある。直動部材７は
固定ベース１にガイドされて回転することなく駆動軸３
のＸ方向移動によってＸ方向に円滑に移動できるガイド
機構を介して固定ベース１の内部に配設されている。
ングを介して直動部材７が取付けてある。直動部材７は
固定ベース１にガイドされて回転することなく駆動軸３
のＸ方向移動によってＸ方向に円滑に移動できるガイド
機構を介して固定ベース１の内部に配設されている。
【００２２】回転ステージ２が固定ベースに対する基準
位置状態にあるとき、直動部材７は回転ステージ２の回
動軸に最も近くなるように位置しており、この直動部材
７に対向する回転ステージ２の下面部分に、平行な垂直
両面を有する受動板８を回動可能に突出させて取付けて
ある。
位置状態にあるとき、直動部材７は回転ステージ２の回
動軸に最も近くなるように位置しており、この直動部材
７に対向する回転ステージ２の下面部分に、平行な垂直
両面を有する受動板８を回動可能に突出させて取付けて
ある。
【００２３】即ち、受動板８は、表面が矩形状で平滑で
あり両側表面が平行に形成され、矩形状の上端部に設け
た円柱軸８ａを駆動軸３の軸線の上方部分の回転ステー
ジの下面にベアリング等の回動部材９を介して垂直に取
付けてある。
あり両側表面が平行に形成され、矩形状の上端部に設け
た円柱軸８ａを駆動軸３の軸線の上方部分の回転ステー
ジの下面にベアリング等の回動部材９を介して垂直に取
付けてある。
【００２４】そして、受動板８の平行両面を挟み当接す
る複数のローラ１０が、受動板８の平行両面がＸ方向に
向くようにを直動部材７に設けてある。本実施例では平
行両面を挟み当接する複数のローラ１０は、平行両面の
各表面に各２本のローラ１０を当接させ、即ち平行両面
を矩形状に挟み当接して平行両面をＸ方向に向けて駆動
する４本のローラ１０で構成してある。
る複数のローラ１０が、受動板８の平行両面がＸ方向に
向くようにを直動部材７に設けてある。本実施例では平
行両面を挟み当接する複数のローラ１０は、平行両面の
各表面に各２本のローラ１０を当接させ、即ち平行両面
を矩形状に挟み当接して平行両面をＸ方向に向けて駆動
する４本のローラ１０で構成してある。
【００２５】そして受動板８の平行両面の片側に当接す
る２本のローラ１０または両面側の計４本のローラ１０
は、偏心した軸端部が直動部材７の装着穴に挿入固定さ
れており、受動板８の平行両面を挟むローラ１０の間隔
が調整可能な偏心調節軸構成となっているので、受動板
８をギャップ無しに適切に挟み当接・保持して駆動する
ことができる構成となっている。
る２本のローラ１０または両面側の計４本のローラ１０
は、偏心した軸端部が直動部材７の装着穴に挿入固定さ
れており、受動板８の平行両面を挟むローラ１０の間隔
が調整可能な偏心調節軸構成となっているので、受動板
８をギャップ無しに適切に挟み当接・保持して駆動する
ことができる構成となっている。
【００２６】回転ステージ２の回動をスムーズにガイド
する構成、また直動部材７のＸ方向移動をスムーズにガ
イドする構成、そして受動板８の根本部分に装着した回
動部材９により受動板８の自転回動をスムーズにガイド
する具体的構成等は、移動・回動をガタつくことなく円
滑にガイドするための段差部を設けた構成、筋状のガイ
ド溝を設けた構成、その他従来の各種構成を選択して利
用できる。また潤滑油の介在でスムーズに摺動して移動
・回動できる構成だけでなく、実施例の図に示す例のよ
うに小形ボール或は小形ローラーを介在させた構成によ
って、移動のための入力を軽減させて間隙ガタつきを防
止することもできる。
する構成、また直動部材７のＸ方向移動をスムーズにガ
イドする構成、そして受動板８の根本部分に装着した回
動部材９により受動板８の自転回動をスムーズにガイド
する具体的構成等は、移動・回動をガタつくことなく円
滑にガイドするための段差部を設けた構成、筋状のガイ
ド溝を設けた構成、その他従来の各種構成を選択して利
用できる。また潤滑油の介在でスムーズに摺動して移動
・回動できる構成だけでなく、実施例の図に示す例のよ
うに小形ボール或は小形ローラーを介在させた構成によ
って、移動のための入力を軽減させて間隙ガタつきを防
止することもできる。
【００２７】図４は、上記実施例の駆動軸３の把手部５
を回転させることによって駆動軸３をＸ方向に移動させ
て、回転ステージ２を回動させる構成の要点を模式的に
示した説明図である。
を回転させることによって駆動軸３をＸ方向に移動させ
て、回転ステージ２を回動させる構成の要点を模式的に
示した説明図である。
【００２８】即ち、回転ステージ２の回動部材９に取付
けた受動板８の平行両面を、駆動軸３の移動に係合し回
転することなくＸ方向に移動する直動部材７に設けた複
数のローラ１０で挟み当接させてある構成によって、駆
動軸３のＸ方向移動により、受動板８の平行両面はＸ方
向を向いたままで回転ステージ２を円滑・精密に回動さ
せることができる。
けた受動板８の平行両面を、駆動軸３の移動に係合し回
転することなくＸ方向に移動する直動部材７に設けた複
数のローラ１０で挟み当接させてある構成によって、駆
動軸３のＸ方向移動により、受動板８の平行両面はＸ方
向を向いたままで回転ステージ２を円滑・精密に回動さ
せることができる。
【００２９】なお複数のローラ１０を受動板８の両面に
当接させた構成により、スプリングによる逆方向駆動機
構は不要であり、従来装置よりもワークを容易・確実に
移動させることができる。また前記の駆動軸３の把手部
５の回動とＸ方向移動を示すマイクロメータ状の回動表
示目盛６ａ，６ｂによって回転ステージ２の回動角度を
正確に読み取ることができる。
当接させた構成により、スプリングによる逆方向駆動機
構は不要であり、従来装置よりもワークを容易・確実に
移動させることができる。また前記の駆動軸３の把手部
５の回動とＸ方向移動を示すマイクロメータ状の回動表
示目盛６ａ，６ｂによって回転ステージ２の回動角度を
正確に読み取ることができる。
【００３０】（他の実施例）前記実施例では、駆動軸３
をＸ方向に移動させて回転ステージ２を回動させる構成
の要点は図４に示したように、回動部材９は回転ステー
ジに設けてあり回転ステージの回動軸に平行な回動軸を
有し、受動板８は回動部材９に設けてあり直動部材７に
向けて突出し平行両面を有し、複数のローラ１０は直動
部材７に設けてあり受動板８の平行両面をＸ方向に向け
て挟み当接する構成となっている。他の実施例では、こ
の部分の構成が異なっているので図５の模式説明図を参
照して説明する。
をＸ方向に移動させて回転ステージ２を回動させる構成
の要点は図４に示したように、回動部材９は回転ステー
ジに設けてあり回転ステージの回動軸に平行な回動軸を
有し、受動板８は回動部材９に設けてあり直動部材７に
向けて突出し平行両面を有し、複数のローラ１０は直動
部材７に設けてあり受動板８の平行両面をＸ方向に向け
て挟み当接する構成となっている。他の実施例では、こ
の部分の構成が異なっているので図５の模式説明図を参
照して説明する。
【００３１】図５の（Ａ）に示す実施例では、回動部材
９は回転ステージに設けてあり回転ステージ２の回動軸
に平行な回動軸を有し、駆動板１１を直動部材７に設け
回転ステージ２の方向に向けて突出しＸ方向に向いた平
行両面を有している。複数のローラ１０は回転ステージ
２の回動部材９に設け駆動板１１の平行両面を挟み当接
する構成となっている。
９は回転ステージに設けてあり回転ステージ２の回動軸
に平行な回動軸を有し、駆動板１１を直動部材７に設け
回転ステージ２の方向に向けて突出しＸ方向に向いた平
行両面を有している。複数のローラ１０は回転ステージ
２の回動部材９に設け駆動板１１の平行両面を挟み当接
する構成となっている。
【００３２】図５の（Ｂ）に示す実施例では、回動部材
９ａは直動部材７に設け回転ステージ２の回動軸に平行
な回動軸を有し、駆動板１１を直動部材７の回動部材９
ａに設け回転ステージ２に向けて突出し平行両面を有し
ている。複数のローラ１０は回転ステージ２に設け駆動
板１１の平行両面を回動方向に向けて挟み当接する構成
となっている。
９ａは直動部材７に設け回転ステージ２の回動軸に平行
な回動軸を有し、駆動板１１を直動部材７の回動部材９
ａに設け回転ステージ２に向けて突出し平行両面を有し
ている。複数のローラ１０は回転ステージ２に設け駆動
板１１の平行両面を回動方向に向けて挟み当接する構成
となっている。
【００３３】図５の（Ｃ）に示す実施例では、回動部材
９ａは直動部材７に設け回転ステージ２の回動軸に平行
な回動軸を有し、受動板８は回転ステージ２に設け回動
方向に向いた平行両面を有し回動部材９ａ方向に突出し
ている。複数のローラ１０は回動部材９ａに備え受動板
８の平行両面を挟み当接する構成となっている。
９ａは直動部材７に設け回転ステージ２の回動軸に平行
な回動軸を有し、受動板８は回転ステージ２に設け回動
方向に向いた平行両面を有し回動部材９ａ方向に突出し
ている。複数のローラ１０は回動部材９ａに備え受動板
８の平行両面を挟み当接する構成となっている。
【００３４】上記の各構成により、複数のローラ１０
は、駆動板１１または受動板８に適切に当接し、駆動軸
３のＸ方向移動により回転ステージを前記実施例と同様
に確実・精密に容易に回動させる効果を発揮することが
できる。
は、駆動板１１または受動板８に適切に当接し、駆動軸
３のＸ方向移動により回転ステージを前記実施例と同様
に確実・精密に容易に回動させる効果を発揮することが
できる。
【００３５】また、前記実施例は、前記受動板８または
駆動板１１の平行両面を挟み当接する複数のローラ１０
は、平行両面を矩形状に挟む４本のローラで構成してあ
るが、受動板８または駆動板１１の平行両面に当接する
複数のローラ１０は、平行両面の片面に当接する２本の
ローラ１０と、そしてこの２本のローラ１０の中間部分
の他面に当接する１本のローラ１０とによって三角形状
に配設し、平行両面を挟み当接する構成とすることによ
り、前記実施例と同様の効果を発揮することができる。
駆動板１１の平行両面を挟み当接する複数のローラ１０
は、平行両面を矩形状に挟む４本のローラで構成してあ
るが、受動板８または駆動板１１の平行両面に当接する
複数のローラ１０は、平行両面の片面に当接する２本の
ローラ１０と、そしてこの２本のローラ１０の中間部分
の他面に当接する１本のローラ１０とによって三角形状
に配設し、平行両面を挟み当接する構成とすることによ
り、前記実施例と同様の効果を発揮することができる。
【００３６】なお、前記実施例の説明では、固定ベース
１の底面は水平な平面、回転ステージ２の上面は水平な
平面、そしてＸ方向は水平方向の例を説明したが、駆動
軸３が移動するＸ方向は、回転ステージ２の回動面に平
行であり、回転ステージ２の回動軸心に交差しない方向
であればよい。
１の底面は水平な平面、回転ステージ２の上面は水平な
平面、そしてＸ方向は水平方向の例を説明したが、駆動
軸３が移動するＸ方向は、回転ステージ２の回動面に平
行であり、回転ステージ２の回動軸心に交差しない方向
であればよい。
【００３７】即ち、固定ベース１は水平底面を備えた形
状に限ることなく、設置条件等に対応させた形状とし、
そして回転ステージ２の回動軸は垂直方向に限らずワー
クの位置設定・回動移動に必要な方向に回動できるガイ
ド機構を固定ベース１に設けた構成の他の実施例によ
り、種々の操作の要求に対応した実施例を提供すること
ができる。
状に限ることなく、設置条件等に対応させた形状とし、
そして回転ステージ２の回動軸は垂直方向に限らずワー
クの位置設定・回動移動に必要な方向に回動できるガイ
ド機構を固定ベース１に設けた構成の他の実施例によ
り、種々の操作の要求に対応した実施例を提供すること
ができる。
【００３８】更に、回転ステージ２には、ワークを吸着
して容易・簡便に固定し、取外しできるように、負圧機
構に接続する吸気穴を回転ステージ２の表面に設けた構
成とすることもできる。
して容易・簡便に固定し、取外しできるように、負圧機
構に接続する吸気穴を回転ステージ２の表面に設けた構
成とすることもできる。
【００３９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
固定ベースに備えた駆動軸を回転させることによって駆
動軸をＸ方向に移動させ、回転ステージは固定ベースに
対して回動させることができる。
固定ベースに備えた駆動軸を回転させることによって駆
動軸をＸ方向に移動させ、回転ステージは固定ベースに
対して回動させることができる。
【００４０】そして、駆動軸の移動に係合し固定ベース
にガイドされて回転することなくＸ方向に移動する直動
部材と、平行両面を有する受動板または駆動板、受動板
または駆動板の平行両面を挟み当接する複数のローラ、
受動板または駆動板または複数のローラの設置状態を回
動させる回動部材との組合わせ構成の回動手段によっ
て、駆動軸をＸ方向へ直線移動させることにより、上記
と同様に平行両面と複数のローラとの当接状態はガタツ
クことなく正常な当接状態を維持して、回転ステージを
確実・精細に回動移動させることができる。
にガイドされて回転することなくＸ方向に移動する直動
部材と、平行両面を有する受動板または駆動板、受動板
または駆動板の平行両面を挟み当接する複数のローラ、
受動板または駆動板または複数のローラの設置状態を回
動させる回動部材との組合わせ構成の回動手段によっ
て、駆動軸をＸ方向へ直線移動させることにより、上記
と同様に平行両面と複数のローラとの当接状態はガタツ
クことなく正常な当接状態を維持して、回転ステージを
確実・精細に回動移動させることができる。
【００４１】なお、従来装置のスプリング押圧軸による
受動突起部の逆面押圧のような、駆動軸の移動を妨げる
構成はなく、駆動軸による操作は容易であり、また回転
ステージの回動角度範囲の拡張も可能である。
受動突起部の逆面押圧のような、駆動軸の移動を妨げる
構成はなく、駆動軸による操作は容易であり、また回転
ステージの回動角度範囲の拡張も可能である。
【００４２】そして、駆動軸の把手部の回動とＸ方向の
移動を示す回動表示目盛りから回転ステージの回動角度
を正確に読み取りでき、ワークを確実・精細に所定角度
の回動をさせることができる。
移動を示す回動表示目盛りから回転ステージの回動角度
を正確に読み取りでき、ワークを確実・精細に所定角度
の回動をさせることができる。
【図１】 一実施例の斜視図である。
【図２】 一実施例の水平断面図である。
【図３】 一実施例の垂直断面図である。
【図４】 一実施例の構成の要点を模式的に示した説明
図である。
図である。
【図５】 他の実施例の構成の要点を模式的に示した説
明図である。
明図である。
【図６】 従来の回転ステージ装置の斜視図である。
１ 固定ベース １ａ 駆動軸取付け部材 １ｂ ガイド筒 ２ 回転ステージ ３ 駆動軸 ５ 駆動軸の把手部 ６ａ，６ｂ 回動表示目盛り ７ 直動部材 ８ 受動板 ９，９ａ 回動部材 １０ ローラ １１ 駆動板
Claims (6)
- 【請求項１】 回転ステージと、該回転ステージを回動
可能に保持する固定ベースと、この固定ベースに螺合し
ガイドされて回転ステージの回動面に平行かつ回転ステ
ージの軸心に交差しないＸ軸方向に移動する駆動軸と、
この駆動軸のＸ方向移動を回転ステージの回動駆動に変
換する回動手段と、前記駆動軸の把手部の回動とＸ方向
移動を示す回動表示目盛りとを備えた直動回転ステージ
装置であって、 前記回動手段は、駆動軸の移動に係合し固定ベースにガ
イドされて回転することなくＸ方向に移動する直動部材
と、回転ステージに設け回転ステージの回動軸に平行な
回動軸を有する回動部材と、この回動部材に設け前記直
動部材に向けて突出し平行両面を有する受動板と、前記
直動部材に設け受動板の平行両面をＸ方向に向けて挟み
当接する複数のローラとを備えたことを特徴とする直動
回転ステージ装置。 - 【請求項２】 回転ステージと、該回転ステージを回動
可能に保持する固定ベースと、この固定ベースに螺合し
ガイドされて回転ステージの回動面に平行かつ回転ステ
ージの軸心に交差しないＸ軸方向に移動する駆動軸と、
この駆動軸のＸ方向移動を回転ステージの回動駆動に変
換する回動手段と、前記駆動軸の把手部の回動とＸ方向
移動を示す回動表示目盛りとを備えた直動回転ステージ
装置であって、 前記回動手段は、駆動軸の移動に係合し固定ベースにガ
イドされて回転することなくＸ方向に移動する直動部材
と、回転ステージに設け回転ステージの回動軸に平行な
回動軸を有する回動部材と、前記直動部材に設けた回転
ステージ方向に向けて突出しＸ方向に向いた平行両面を
有する駆動板と、前記回動部材に設け前記駆動板の平行
両面を挟み当接する複数のローラとを備えたことを特徴
とする直動回転ステージ装置。 - 【請求項３】 回転ステージと、該回転ステージを回動
可能に保持する固定ベースと、この固定ベースに螺合し
ガイドされて回転ステージの回動面に平行かつ回転ステ
ージの軸心に交差しないＸ軸方向に移動する駆動軸と、
この駆動軸のＸ方向移動を回転ステージの回動駆動に変
換する回動手段と、前記駆動軸の把手部の回動とＸ方向
移動を示す回動表示目盛りとを備えた直動回転ステージ
装置であって、 前記回動手段は、駆動軸の移動に係合し固定ベースにガ
イドされて回転することなくＸ方向に移動する直動部材
と、この直動部材に設けた回転ステージの回動軸に平行
な軸心を有する回動部材と、この回動部材に設け回転ス
テージに向けて突出し平行両面を有する駆動板と、回転
ステージに設け駆動板の平行両面を回動方向に向けて挟
み当接する複数のローラとを備えたことを特徴とする直
動回転ステージ装置。 - 【請求項４】 回転ステージと、該回転ステージを回動
可能に保持する固定ベースと、この固定ベースに螺合し
ガイドされて回転ステージの回動面に平行かつ回転ステ
ージの軸心に交差しないＸ軸方向に移動する駆動軸と、
この駆動軸のＸ方向移動を回転ステージの回動駆動に変
換する回動手段と、前記駆動軸の把手部の回動とＸ方向
移動を示す回動表示目盛りとを備えた直動回転ステージ
装置であって、 前記回動手段は、駆動軸の移動に係合し固定ベースにガ
イドされて回転することなくＸ方向に移動する直動部材
と、この直動部材に設けた回転ステージの回動軸に平行
な軸心を有する回動部材と、回動方向に向いた平行両面
を有し前記回動部材方向に突出させて回転ステージに設
けた受動板と、この受動板の平行両面を挟み当接する複
数のローラを前記回動部材に備えたことを特徴とする直
動回転ステージ装置。 - 【請求項５】 前記受動板または駆動板の平行両面を挟
み当接する複数のローラは、平行両面を矩形状に挟む４
本のローラであることを特徴とする請求項１ないし４の
いずれかに記載の直動回転ステージ装置。 - 【請求項６】 前記受動板または駆動板の平行両面に当
接する複数のローラは、平行両面の片面に当接する２本
のローラと、そしてこの２本のローラの中間部分の他面
に当接する１本のローラであることを特徴とする請求項
１ないし４のいずれかに記載の直動回転ステージ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14760494A JPH0811068A (ja) | 1994-06-29 | 1994-06-29 | 直動回転ステージ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14760494A JPH0811068A (ja) | 1994-06-29 | 1994-06-29 | 直動回転ステージ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0811068A true JPH0811068A (ja) | 1996-01-16 |
Family
ID=15434091
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14760494A Withdrawn JPH0811068A (ja) | 1994-06-29 | 1994-06-29 | 直動回転ステージ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0811068A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004151216A (ja) * | 2002-10-29 | 2004-05-27 | Ootsuka Kogaku:Kk | 光学装置用検査台 |
| DE102007047184A1 (de) | 2007-10-02 | 2009-04-09 | Carl Zeiss Microimaging Gmbh | Kreuzdrehtisch, insbesondere für Mikroskope |
| JP2017187772A (ja) * | 2016-03-31 | 2017-10-12 | キヤノン株式会社 | アダプタ、顕微鏡調節方法、顕微鏡システム及びプログラム |
| CN109382781A (zh) * | 2017-08-04 | 2019-02-26 | 中车大同电力机车有限公司 | 牵引座拆装旋转支撑装置 |
| US11493116B2 (en) * | 2019-03-15 | 2022-11-08 | Biblios Co., Ltd. | Micro head and stage mechanism using the same |
| KR20250062727A (ko) * | 2023-10-31 | 2025-05-08 | 한국 천문 연구원 | 광학용 미러 스테이지 |
-
1994
- 1994-06-29 JP JP14760494A patent/JPH0811068A/ja not_active Withdrawn
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004151216A (ja) * | 2002-10-29 | 2004-05-27 | Ootsuka Kogaku:Kk | 光学装置用検査台 |
| DE102007047184A1 (de) | 2007-10-02 | 2009-04-09 | Carl Zeiss Microimaging Gmbh | Kreuzdrehtisch, insbesondere für Mikroskope |
| JP2017187772A (ja) * | 2016-03-31 | 2017-10-12 | キヤノン株式会社 | アダプタ、顕微鏡調節方法、顕微鏡システム及びプログラム |
| US11525994B2 (en) | 2016-03-31 | 2022-12-13 | Canon Kabushiki Kaisha | Adapter, microscope adjustment method, microscope system, and storage medium |
| CN109382781A (zh) * | 2017-08-04 | 2019-02-26 | 中车大同电力机车有限公司 | 牵引座拆装旋转支撑装置 |
| US11493116B2 (en) * | 2019-03-15 | 2022-11-08 | Biblios Co., Ltd. | Micro head and stage mechanism using the same |
| KR20250062727A (ko) * | 2023-10-31 | 2025-05-08 | 한국 천문 연구원 | 광학용 미러 스테이지 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20010904 |