JPH07217655A - 静圧気体軸受スピンドル - Google Patents

静圧気体軸受スピンドル

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JPH07217655A
JPH07217655A JP6011500A JP1150094A JPH07217655A JP H07217655 A JPH07217655 A JP H07217655A JP 6011500 A JP6011500 A JP 6011500A JP 1150094 A JP1150094 A JP 1150094A JP H07217655 A JPH07217655 A JP H07217655A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 主軸を支持する圧縮気体中の粉塵がテーブル
上に載置されたワーク表面に付着するのを防止すること
ができる静圧気体軸受スピンドルを提供する。 【構成】 ハウジング１のスリーブ取付孔２にチャック
用スリーブ５と軸受スリーブ３とを上下に取付け、その
両スリーブ３、５間に形成された排気空間１９をハウジ
ング１に設けた排気路２１を介して外部に連通させる。
主軸６の上端にワークを支持するテーブル７を取付け
る。チャック用スリーブ５にはテーブル７に形成された
ワーク吸着用の吸引凹部２６に連通する吸引路２２を設
ける。主軸６と軸受スリーブ３間のラジアル軸受すきま
１０に供給された圧縮気体を排気空間１９および排気路
２１から外部に排出させる。チャック用スリーブ５と主
軸６間の隙間に圧縮気体が流れ込んだ場合に、その圧縮
気体をチャック用スリーブ５に形成された吸引路２２に
吸引してハウジング１上に圧縮気体が流出するのを防止
する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、光ディスクや磁気デ
ィスクの検査等に用いられる静圧気体軸受スピンドルに
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】静圧気体軸受スピンドルとして、図２に
示したものが従来から知られている。この静圧気体軸受
スピンドルは、ハウジング３０に形成されたスリーブ取
付孔３１の上下に２つの軸受スリーブ３２、３３を取付
け、その軸受スリーブ３２、３３間にチャック用スリー
ブ３４を取付け、各スリーブ３２、３３、３４の内側に
主軸３５を挿通し、その主軸３５と軸受スリーブ３２、
３３との間にラジアル軸受すきま３６を設け、軸受スリ
ーブ３２、３３のそれぞれにそのラジアル軸受すきま３
６に圧縮気体を噴射するノズル３７を形成している。
【０００３】また、主軸３５の上端にテーブル３８を取
付け、主軸３５の下端には下側軸受スリーブ３３の下端
のフランジ３３ａと対向するスラスト板３９を設け、そ
のスラスト板３９の下面に対向して軸受板４０を設け、
その軸受板４０および軸受スリーブ３３のフランジ３３
ａのそれぞれに上記スラスト板３９との間に形成された
スラスト軸受すきま４１に圧縮気体を噴射するノズル４
２を設けている。
【０００４】さらに、チャック用スリーブ３４に前記テ
ーブル３８に設けられたディスク吸着用の吸引凹部３８
ａと連通する吸引路４３を設けている。
【０００５】上記の構成から成る静圧気体軸受スピンド
ルにおいては、テーブル３８上に光ディスクや磁気ディ
スク等のワークを載置して吸着支持し、ノズル３７、４
２のそれぞれからラジアル軸受すきま３６およびスラス
ト軸受すきま４１に圧縮気体を噴射し、各軸受すきま３
６、４１に形成される気体膜により主軸３５を支持する
状態で主軸３５を高速回転させてワークの検査を行なう
ようにしている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来の
静圧気体軸受スピンドルにおいては、２つの軸受スリー
ブ３２、３３とチャック用スリーブ３４との間に環状の
排気空間４４を設け、ハウジング３０には上記各排気空
間４４と連通する排気路４５を形成し、ラジアル軸受す
きま３６およびスラスト軸受すきま４１に供給された圧
縮気体を上記排気路４５から外部に排出させるようにし
ている。
【０００７】しかしながら、上部の軸受スリーブ３２と
主軸３５との間に形成されたラジアル軸受すきま３６は
テーブル３８の下面とハウジング３０の上面間に連通し
ているため、ラジアル軸受すきま３６に供給された圧縮
気体はハウジング３０上に流出する。その流出を抑える
ため、ハウジング３０の上面にカバー４６を取付けてい
るが、圧縮気体の外部流出を確実に防止することはでき
ない。
【０００８】このため、圧縮気体に粉塵が含まれている
と、ハウジング３０上に流出する圧縮気体中の粉塵がテ
ーブル３８に支持されたワークの表面に付着することが
あり、ワークを精度よく検査することができない問題が
ある。
【０００９】この発明の課題は、軸受すきまに供給され
た圧縮気体がハウジング上に流出するのを防止して、圧
縮気体中に含まれる粉塵がテーブルで支持されたディス
ク等のワークに付着するのを防止することができる静圧
気体軸受スピンドルを提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、この発明においては、ハウジングに形成されたス
リーブ取付孔の上端部に吸引路を有するチャック用スリ
ーブを取付け、そのチャック用スリーブの下端面とその
下方に設けられた軸受スリーブの上端面間に環状の排気
空間を形成し、ハウジングには上記排気空間に連通する
排気路を設けた構成としている。
【００１１】
【作用】上記のように、スリーブ取付孔の上端部にチャ
ック用スリーブを設け、そのチャック用スリーブの下方
の排気空間に排気路を連通させたことにより、軸受スリ
ーブと主軸間の軸受すきまに供給された圧縮気体は、排
気空間および排気路から外部に排出される。このため、
上記圧縮気体はチャック用スリーブと主軸間に形成され
た隙間に流れ込むことはない。仮に上記隙間に圧縮気体
が流入しても、チャック用スリーブの吸引路に吸引さ
れ、ハウジング上に流出することはない。
【００１２】
【実施例】以下、この発明の実施例を図１に基づいて説
明する。
【００１３】図示のように、ハウジング１に形成された
スリーブ取付孔２には軸受スリーブ３が取付けられ、そ
の軸受スリーブ３の下端にフランジ４が設けられてい
る。
【００１４】また、スリーブ取付孔２には、軸受スリー
ブ３の上方にチャック用スリーブ５が取付けられ、その
チャック用スリーブ５と軸受スリーブ３の内側に主軸６
が挿通されている。
【００１５】主軸６の上端にはテーブル７が取付けられ
ている。また、主軸６には軸受スリーブ３のフランジ４
と対向するスラスト板８が設けられ、そのスラスト板８
の下方に環状の軸受板９が設けられている。
【００１６】軸受スリーブ３には、その軸受スリーブ３
と主軸６との間に形成されたラジアル軸受すきま１０に
連通するノズル１１が設けられている。また、軸受スリ
ーブ３のフランジ４と軸受板９にはスラスト板８との間
に形成されたスラスト軸受すきま１２に連通するノズル
１３が設けられ、これらの各ノズル１１、１３とハウジ
ング１に形成された供給口１４とは給気路１５で連通し
ている。
【００１７】前記スラスト板８の下面には小径軸１６が
設けられ、その小径軸１６にモータロータ１７が取付け
られている。一方、ハウジング１にはモータステータ１
８が取付けられ、そのモータステータ１８に対する通電
によって主軸６が回転される。
【００１８】なお、主軸６の駆動はこれに限定されず、
例えば、小径軸にタービン羽根を取付け、そのタービン
羽根の周囲に設けたノズルからタービン羽根に圧縮気体
を噴射して主軸を回転させるようにしてもよい。
【００１９】前記チャック用スリーブ５の下端面と軸受
スリーブ３の上端面間には環状の排気空間１９が設けら
れ、その排気空間１９と前記スラスト軸受すきま１２と
は軸受スリーブ３に形成した軸方向の通路２０で連通し
ている。また、排気空間１９はハウジング１に形成され
た排気路２１を介して外部と連通している。
【００２０】チャック用スリーブ５には、環状溝の底面
に複数の半径方向の孔を形成した吸引路２２が形成さ
れ、その吸引路２２とハウジング１の下端に形成された
吸引口２３とは通路２４を介して連通している。また、
吸引路２２は、主軸６に形成された通路２５を介してテ
ーブル７に設けられたワーク吸着用の吸引凹部２６と連
通している。
【００２１】上記の構成から静圧気体軸受スピンドルに
おいては、吸引口２３に吸引力を付与し、その吸引力を
チャック用スリーブ５の吸引路２２および主軸６の通路
２５を介してテーブル７の吸引凹部２６に作用させ、テ
ーブル７上に載置された光ディスクあるいは磁気ディス
ク等のワークを吸着する。
【００２２】また、供給口１４に圧縮気体を供給し、そ
の圧縮気体をノズル１１、１３のそれぞれからラジアル
軸受すきま１０およびスラスト軸受すきま１２に噴射
し、各軸受すきま１０、１２に形成される気体膜により
主軸６を支持する状態でその主軸６を高速回転させてワ
ークの検査を行なう。
【００２３】上記のようなワークの検査時、軸受スリー
ブ３のノズル１１から噴射された圧縮気体は上下方向に
流れ、上方向に流れる圧縮気体は排気空間１９に流入す
る。一方、下方向に流れる圧縮気体、およびノズル１
１、１３からスラスト軸受すきま１２に噴射された圧縮
気体は通路２０から排気空間１９に流入する。この排気
空間１９に流入した圧縮気体は、排気路２１に流れて外
部に排出され、チャック用スリーブ５と主軸６との間に
形成された隙間に流れ込むことはない。
【００２４】仮に、上記隙間に圧縮気体が流れ込んで
も、チャック用スリーブ５の吸引路２２には吸引力が付
与されているため、圧縮気体は吸引路２２に吸引され
る。このため、圧縮気体はハウジング１の上方に漏洩す
ることはなく、圧縮気体に含まれる粉塵がテーブル７上
のワーク表面に付着することはない。したがって、ワー
クを精度よく検査することができる。
【００２５】
【発明の効果】以上のように、この発明に係る静圧気体
軸受スピンドルにおいては、ハウジングに形成されたス
リーブ取付孔の上端部にチャック用スリーブを取付け、
そのチャック用スリーブとその下方に取付けられた軸受
スリーブとの間にハウジングに形成された排気路を介し
て外部に連通する排気空間を設けたので、ラジアル軸受
すきまおよびスラスト軸受すきまのそれぞれに噴射され
た圧縮気体は排気空間および排気路から外部に排出され
ると共に、チャック用スリーブと主軸との間に圧縮気体
が流れたとしても、その圧縮気体はチャック用スリーブ
の吸引路に吸引される。
【００２６】このため、圧縮気体はハウジング上に流出
せず、圧縮気体に含まれる粉塵がテーブル上のワーク表
面に付着するのを確実に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明に係る静圧気体軸受スピンドルの一実
施例を示す縦断正面図
【図２】従来の静圧気体軸受スピンドルを示す縦断正面
図
【符号の説明】
１ ハウジング ２ スリーブ取付孔 ３ 軸受スリーブ ４ フランジ ５ チャック用スリーブ ６ 主軸 ７ テーブル ８ スラスト板 ９ 軸受板 １０ ラジアル軸受すきま １１ ノズル １２ スラスト軸受すきま １３ ノズル １９ 排気空間 ２１ 排気路 ２２ 吸引路 ２６ 吸引凹部

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ハウジングの上面で開口するスリーブ取
    付孔に軸受スリーブとチャック用スリーブとを取付け、
    その両スリーブの内側に挿通された主軸の上端にテーブ
    ルを取付け、主軸の下部にはスラスト板を設け、そのス
    ラスト板の下面に対向して設けた軸受板と上記軸受スリ
    ーブの下端に設けられたフランジのそれぞれに、上記ス
    ラスト板との間に形成されたスラスト軸受すきまに圧縮
    気体を噴射するノズルを形成し、かつ軸受スリーブには
    主軸との間に形成されたラジアル軸受すきまに圧縮気体
    を噴射するノズルを設け、前記チャック用スリーブには
    前記テーブルに形成されたワーク吸着用の吸引凹部と連
    通する吸引路を設けた静圧気体軸受スピンドルにおい
    て、前記チャック用スリーブをスリーブ取付孔の上端部
    に設け、そのチャック用スリーブとその下方に設けられ
    た前記軸受スリーブとの間に環状の排気空間を形成し、
    ハウジングには上記排気空間に連通する排気路を設けた
    ことを特徴とする静圧気体軸受スピンドル。
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