JPH07218379A - 漏れ検査方法及びその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 漏れ量の測定時に被検査体の個体毎に発生す
る誤差要因をも補正する精度の高い漏れ検査方法及びそ
の装置の提供。 【構成】 空洞部を有する被検査体８１を，液体供給機
１３から液体８１を供給された検査用タンク１１内に入
れ，液中に埋没させ，上方に気体容積部１１１を形成す
る。第１測定は，被検査体８１の空洞部の内外に加圧装
置１７によって圧力差を与えた状態で，気体容積部を減
圧装置１５によって減圧し，気体容積部１１１内の圧力
変化を圧力測定器１９によって測定し，第２測定は，被
検査体８１の空洞部の内外に圧力差を与えない状態で同
様の測定を行い，測定装置４０は，第１測定値を第２測
定値で補正し，漏れ判定を行なう漏れ検査装置１と方
法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は，燃料噴射ノズル，燃料
噴射ポンプ等のように，その内部に空洞部を有する被検
査体の漏れ量を検査する漏れ検査方法及び漏れ検査装置
に関する。

【０００２】

【従来技術】空洞部を有する被検査体の空洞部から外部
への気体，液体等の漏れを検査する方法に，被検査体の
空洞部に一定の流体圧力を印加した後，被検査体を圧力
源から遮断，閉鎖し，空洞部内部の圧力変化を圧力計な
どで検出するものがある。

【０００３】あるいは，同様に一定の流体圧が印加され
た漏れの無い基準体（良品モデル）と被検査体との間の
差圧変化を検出し，被検査体の漏れ量を測定する方法が
ある。しかし，これらの方法は，被検査体の空洞部の容
積が大きい場合には，圧力変動が少ししか生ぜず，漏れ
量の検出精度が低くなるという問題があった。

【０００４】そこで，被検査体を密閉可能な検査用タン
クに入れ，さらにタンク内を液体で満たし，かつ液体の
上方には気体容積部を残存形成しておき，検査用タンク
を密閉状態にした後，被検査体の空洞部に一定流体圧を
印加すると共に上記気体容積部を減圧状態となし，その
後上記気体容積部の圧力変化を検出することにより，被
検査体の漏れ量を測定する方法が提案されている（特開
平５−２５６７２７号公報）。

【０００５】この第１の方法による検出精度（圧力変
化）は，上記気体容積部の大きさで決まるため，被検査
体の空洞部の容積には左右されず，検出精度を上げるこ
とができる。しかし，漏れ量を圧力変化あるいは基準体
との差圧変化によって測定する上記第１の方法では，周
囲温度と被検査体との温度差，一定の流体圧力を印加し
た時の断熱圧縮の影響，供給流体の温度等の様々な因子
の影響により測定値に誤差が生じる。

【０００６】これに対して従来から次のような工夫がな
されてきた。例えば，特開昭５８−５０４４５号公報に
示すように，良品として漏れなしと判定された所定数の
検出データの平均値を求め，その値を次の検出データに
対する補正値として補正する第２の方法がある。

【０００７】また，特開昭５９−１６６８３５号公報に
示すように，上記の補正方法に加え，参照する検出デー
タのない初回の測定に対しては予め設定された補正デー
タを用いて補正する第３の方法（上記第２の方法の改
善）がある。さらに特開昭５９−２０６７３７号公報に
示すように，被検査体の表面温度を測定し，基準体の温
度との温度差によって検出データを層別し，層別された
集合毎に平均値を求め，温度差に応じた上記平均値によ
って補正を行なう第４方法が提案されている。

【０００８】また，気密性を要する製品に対するもので
はないが，特開昭６１−８３４５７号公報に示すよう
に，航空機のナセルからの漏れに関して，ナセル内への
所定量の空気が注入されている状態と静穏状態との双方
でナセル内外の圧力を測定し，ナセルからの漏れ量を求
める第５の方法が提案されている。尤もこの方法は，密
閉空間の圧力を測定する方法でなく，また１５０ｍ³ ／
ｍｉｎ程度の極めて大きな漏れ量を測定するための方法
であり，対象分野が異なるものである（例えば燃料噴射
ノズルなどでは，０．０１ｃｍ³ ／ｍｉｎ程度の小さな
漏れ量を問題とする）。

【０００９】

【解決しようとする課題】しかしながら，上記従来の漏
れ検査方法（装置）には次のような問題がある。気体容
積部の圧力変化を検出する第１の方法（特開平５−２５
６７２７号公報）では，気体容積部に一定の容積変化を
与えて減圧状態とする。そして，この減圧操作時に，例
えば被検査体の空洞部に設けた気密部材（Ｏリングな
ど）等がわずかに動き，そのため気体容積部の圧力上昇
が生じ，漏れ量が多めに観測されるという問題がある。

【００１０】高い検出制度が要求される場合には，この
ようなわずかな誤差も問題になる。また，周囲温度と被
検査体との温度差，加圧時の断熱圧縮による温度変化，
検査のために供給される流体の温度差など様々な誤差因
子によっても同様に測定値の誤差を生ずる。

【００１１】そして，前記第２〜第４の方法による誤差
の補正方法は，必ずしも充分満足すべき補正効果が得ら
れないという問題がある。上記第２〜第４方法による補
正は，いずれもほぼ単一の指標に基づいて分類した同一
集合内における平均値を用いて補正を行なうものであ
る。即ち，ほぼ単一の指標に着目するものであると共に
統計的平均値を用いて補正するものであるから，個体毎
に発生する特有の条件の変化や，複合的な誤差因子によ
る誤差などは補正することができない。

【００１２】そして，補正の基準値となる統計的平均値
には偏りが生ずることがあり，偏りのある平均値を基に
補正を行なえば補正誤差を生ずることとなる。例えば，
良品とされた製品に製造ロットに起因する偏り等がある
場合，あるいは偶発的に限界値に近い良品に続いたよう
な場合には，その平均値は偏った値となり，適正な補正
値とはならない。本発明は，かかる従来の問題点に鑑み
て，測定時に被検査体の個体別に発生する個別の誤差因
子をも補正し，精度の高い測定を行なうことのできる漏
れ検査方法及びその装置を提供しようとするものであ
る。

【００１３】

【課題の解決手段】本願の第１方法発明は，内部に空洞
部を有する被検査体を密閉可能な検査用タンクにいれ，
検査用タンクを密閉状態にした後，被検査体の空洞部の
内と外との間に圧力差を与えた状態で被検査体の空洞部
の圧力変化を測定する第１測定と，被検査体の空洞部の
内と外との間に圧力差を与えない状態で被検査体の空洞
部の圧力変化を測定する第２測定とを実行し，第２測定
のデータにより第１測定のデータを補正し，被検査体の
漏れ状態を判定することを特徴とする被検査体の漏れ検
査方法にある。

【００１４】本発明において最も注目すべきことは，被
検査体を密閉可能な検査用タンクに入れ，検査用タンク
を密閉状態にした後，第１測定と第２測定とを行なうこ
と，そして第２測定のデータにより第１測定のデータを
補正し被検査体の漏れ状態を判定することである。

【００１５】上記において，第１測定とは，被検査体の
空洞部の内と外との間に圧力差を与えた状態で被検査体
の空洞部の圧力変化を測定することであり，第２測定と
は，被検査体の空洞部の内と外との間に圧力差を与えな
い状態で被検査体の空洞部の圧力変化を測定することで
ある。

【００１６】なお，空洞部における測定圧力には，絶対
圧，ゲージ圧の他に，基準体（良品モデル）を同様の検
査用タンクに収容した場合における基準体の空洞部との
間に生ずる差圧がある。また，上記被検査体としては，
例えばディーゼルエンジンに用いる燃料噴射ノズル，燃
料噴射ポンプなどがあり，空洞部の容積は大小様々なも
のが考えられる。

【００１７】なお，上記第１方法発明では，第１，第２
測定は，空洞部の圧力変化を測定したが，請求項４記載
のように，検査用タンク内部の圧力変化を測定する方法
もある（＝第２方法発明）。被検査体の漏れ状態に対応
して，検査用タンク内部の圧力も，空洞部内の圧力変化
と同様に，変化を示すからである。

【００１８】また，上記第２方法発明を更に発展させ具
体化したものとして，請求項７記載のように，検査用タ
ンクに液体を入れ，被検査体を液体中に埋没させると共
に，液体の上方に気体容積部を残存形成しておき，検査
用タンクを密閉状態にした後，被検査体の空洞部の内と
外との間に圧力差を与えた状態で気体容積部の圧力変化
を測定する第１測定と，被検査体の空洞部の内と外との
間に圧力差を与えない状態で気体容積部を減圧し，その
ときの気体容積部の圧力変化を測定する第２測定とを実
行し，第２測定データにより第１測定データを補正し，
被検査体の漏れ状態を判定する方法がある（第３方法発
明）。

【００１９】第３方法発明において，被検査体を埋没さ
せる液体としては，水の他に軽油，ブレーキ油，洗浄油
などがあり，被検査体に応じて適当なものを適宜用いる
ことができる。また，上記第３方法発明における気体容
積部は，液体中に被検査体を埋没させたときに，液体と
検査用タンクとの間に形成される気体部分である。

【００２０】そして，気体容積部における気体とは，空
気が一般的であるが，窒素ガス等を用いてもよい。第１
〜第３方法発明において，空洞部の内外に圧力差を与え
る方法は，空洞部に加圧流体などを導入し，空洞部内を
高圧としてもよく，逆に，空洞部内を減圧して低圧とし
てもよい。また，第３方法発明の場合には，空洞部側で
はなく検査用タンクの液体側を高圧にしてもよく，これ
に空洞部内を減圧する上記方法を併用してもよい。

【００２１】そして，空洞部内を高圧にする加圧流体
は，通常は加圧気体を用いるが，加圧液体を用いること
もできる。なお，第３方法発明の場合における上記加圧
流体は，被検査体から検査用タンク内の液中に漏出した
場合も，容易に分離，除去できるものであることが好ま
しい。加圧気体としては，空気，窒素ガス等がある。

【００２２】上記第１方法発明を実施するための装置の
１例として，内部に空洞部を有する被検査体を収容する
ことができる密閉可能な検査用タンクと，被検査体の空
洞部及び検査用タンク内に加圧流体を導入する加圧装置
と，被検査体の空洞部の圧力を測定する圧力測定器と，
該圧力測定器の圧力データを記憶，演算する判定装置と
を有する検査装置であって，上記判定装置は，被検査体
の空洞部に加圧流体を導入した状態で被検査体の空洞部
の圧力を測定した第１測定データを，被検査体の空洞部
及び検査用タンク内部に加圧流体を導入した状態で被検
査体の空洞部の圧力を測定した第２測定データによって
補正し，被検査体の漏れ状態を判定すること特徴とする
漏れ検査装置がある（第１装置発明）。

【００２３】上記第１装置発明は，被検査体の空洞部と
検査用タンク内に加圧流体を導入する加圧装置を有して
おり，被検査体の空洞部に加圧流体を導入して高圧と
し，空洞部の内外に差圧を与えて第１測定の条件を作
り，空洞部と検査用タンク内の双方に加圧流体を導入す
ることにより空洞部の内外に圧力差がないようにして第
２測定の条件を作る装置例である。

【００２４】また，上記第１方法発明を実施するための
他の装置例として，内部に空洞部を有する被検査体を収
容することができる密閉可能な検査用タンクと，被検査
体の空洞部及び検査用タンク内を減圧する減圧装置と，
被検査体の空洞部の圧力を測定する圧力測定器と，該圧
力測定器の圧力データを記憶，演算する判定装置とを有
する検査装置であって，上記判定装置は，被検査体の空
洞部を減圧した状態で被検査体の空洞部の圧力を測定し
た第１測定データを，被検査体の空洞部及び検査用タン
ク内部を減圧した状態で被検査体の空洞部の圧力を測定
した第２測定データによって補正し，被検査体の漏れ状
態を判定することを特徴とする漏れ検査装置がある（第
２装置発明）。

【００２５】上記第２装置発明は，被検査体の空洞部及
び検査用タンク内を減圧する減圧装置を有しており，空
洞部を減圧することにより空洞部の内外に差圧を与えて
第１測定条件を作り，空洞部と検査用タンク内の双方を
減圧することにより，空洞部の内外に圧力差がないよう
にして第２測定の条件を作る装置例である。

【００２６】また，上記第２方法発明を実施するための
装置の１例として，内部に空洞部を有する被検査体を収
容することができる密閉可能な検査用タンクと，被検査
体の空洞部内に加圧流体を導入する加圧装置と，被検査
体と検査用タンクの間に形成された検査用タンク内部の
圧力を測定する圧力測定器と，該圧力測定器の圧力デー
タを記憶，演算する判定装置とを有する検査装置であっ
て，上記判定装置は，被検査体の空洞部に加圧流体を導
入した状態で検査用タンク内部の圧力を測定した第１測
定データを，被検査体の空洞部に加圧流体を導入しない
状態で検査用タンク内部の圧力を測定した第２データに
よって補正し，被検査体の空洞部の漏れ状態を判定する
ことを特徴とする漏れ検査装置がある（第３装置発
明）。

【００２７】また，上記第２方法発明を実施するための
他の装置例として，内部に空洞部を有する被検査体を収
容することができる密閉可能な検査用タンクと，被検査
体の空洞部内を減圧する減圧装置と，被検査体と検査用
タンクの間に形成された検査用タンク内部の圧力を測定
する圧力測定器と，該圧力測定器の圧力データを記憶，
演算する判定装置とを有する検査装置であって，上記判
定装置は，被検査体の空洞部を減圧した状態で検査用タ
ンク内部の圧力を測定した第１測定データを，被検査体
の空洞部を減圧しない状態で検査用タンク内部の圧力を
測定した第２測定データによって補正し，被検査体の漏
れ状態を判定することを特徴とする漏れ検査装置がある
（第４装置発明）。

【００２８】上記第３装置発明は，前記第１装置発明と
同様に，空洞部を加圧することにより，第１，第２測定
を行なう装置例である。一方，上記第４装置発明は，前
記第２装置発明と同様に，空洞部を減圧することによ
り，第１，第２測定を行なう装置例である。

【００２９】また，上記第３方法発明を実施するための
装置の一例として，例えば，内部に空洞部を有する被検
査体を収容することのできる密閉可能な検査用タンク
と，該検査用タンク内に密閉弁を介して液体を導入する
液体供給機と，密閉された検査用タンクにおいて上記液
体よりも上方に形成された気体容積部を減圧する減圧装
置と，被検査体の空洞部内に加圧流体を導入する加圧装
置と，気体容積部の圧力を測定する圧力測定器と，該圧
力測定器の圧力測定データを記憶，演算する判定装置と
を有する漏れ検査装置であって，上記判定装置は，被検
査体を液体に埋没させて空洞部に加圧流体を導入し，気
体容積部を減圧して気体容積部の圧力を測定した第１測
定データを，被検査体の空洞部に加圧流体を導入しない
で，気体容積部を減圧して気体容積部の圧力を測定した
第２測定データによって補正し，被検査体の漏れ状態を
判定することを特徴とする漏れ検査装置がある。

【００３０】上記検査装置例は，空洞部に加圧流体を加
えて高圧とし，空洞部の内外に差圧を生じさせる装置例
である（第５装置発明）。そして上記第５装置発明の漏
れ検査装置の判定装置には，液体供給機と減圧装置と加
圧装置とを所定の手順に則って制御する制御部とアクチ
ュエータとを設けることが好ましい。上記のように構成
すれば，液体供給機と減圧装置と加圧装置を手順に制御
して，第１測定と第２測定とを連続的に実施し，人手を
介することなく判定結果を速やかに出すことができるか
らである。

【００３１】上記第１〜第５漏れ検査装置における加圧
装置や第５装置発明における液体供給機としてはポンプ
等があり，また減圧装置として，減圧部の容積を減少さ
せるピストンシリンダなどがある。

【００３２】

【作用及び効果】本発明の漏れ検査方法における第１測
定の作用について説明する。第１測定においては，被検
査体の空洞部の内外に圧力差を与えてあるから，被検査
体に漏れがある場合には，各圧力測定部における圧力が
時間と共に変化する。一方，漏れがない場合には，各圧
力測定部の圧力の変化は殆ど変化が生じない（後述する
誤差因子により微少の変化は生じうる）。そのため，上
記圧力変化量と各圧力測定部の容積などの諸元とから漏
れ量を算出することができる。

【００３３】そして，第３方法発明における気体容積部
の容積は，液体の量を変えることにより被検査体と無関
係に定めることができるから，検出しようとする漏れ量
の大小に合わせて，検知できる圧力変化を得ることがで
きるような，適当な容積にすることができる。そのた
め，空洞部の容積が大きい被検査体の場合にも，気体容
積部の容積を小さくして圧力変化を大きくし，精度良く
漏れを検知することができる。

【００３４】しかしながら，上記圧力測定部の圧力変化
には，被検査体からの漏れに起因するものの他に，前記
のように様々な誤差因子によるものが含まれている（前
記，減圧による気密部材等の浮動，被検査体と液体との
間の温度差による膨張，収縮など）。

【００３５】一方，第２測定は，空洞部の内外に圧力差
を与えないこと以外は，第１測定と測定条件等は全く同
じである。そして，空洞部の内外に圧力差がないから，
空洞部から漏れは生じない。その結果，被検査体の漏れ
による圧力測定部の圧力変化以外の諸々の誤差要因によ
る圧力変化がこの第２測定に含まれる。

【００３６】それ故，第１測定による圧力変化のデータ
から第２測定の圧力変化のデータを差し引くことによ
り，純粋に被検査体の漏れによる圧力変化のデータのみ
を得ることができる。即ち，第２測定のデータによる補
正によって，被検査体の漏れによる圧力変化データを精
度良く得ることができる。

【００３７】そして，第２測定による上記補正は，従来
の第２〜第４の補正方法のように統計的な平均値を用い
るものではなく，被検査体の個体別に発生する個別の誤
差要因を補正するものである。それ故，補正の誤りや偏
りが生ぜず，被検査体の漏れを正確に精度良く測定する
ことができる。

【００３８】また，上記各方法を実現するための該１〜
第５装置発明にかかる検査装置においても，同様の作用
効果を得ることができる。上記のように，本発明によれ
ば，測定時に被検査体の個体別に発生する個別誤差因子
をも補正し，精度の高い測定を行なうことのできる漏れ
検査方法及びその装置を提供することができる。

【００３９】

【実施例】

実施例１ 本発明の実施例にかかる漏れ検査方法及びその装置につ
き，図１〜図５を用いて説明する。まず本例の漏れ検査
装置は，図１に示すように，内部に空洞部を有する被検
査体８１を収容することのできる密閉可能な検査用タン
ク１１と，この検査用タンク１１内に密閉弁１３１を介
して液体８５を導入する液体供給機１３と，密閉された
検査用タンク１１の上方に上記液体８５よりも上方に形
成された気体容積部１１１を減圧する減圧装置１５と，
被検査体８１の空洞部内に加圧流体を導入する加圧装置
１７と，気体容積部の圧力を測定する圧力測定器１９
と，圧力測定器１９の圧力測定データを記憶，演算する
判定装置４０とを有する漏れ検査装置１である。

【００４０】判定装置４０は，詳細を後述するように，
被検査体８１を液体８５に埋没させて空洞部に加圧流体
を導入し，気体容積部１１１を減圧して気体容積部１１
１の圧力を測定した第１測定データＰ₁ （ｔ）を，被検
査体８１の空洞部に加圧流体を導入しないで気体容積部
１１１を減圧して気体容積部１１１の圧力を測定した第
２測定データＰ₂ （ｔ）によって補正し，被検査体８１
の漏れ状態を判定する。そして，判定装置４０は，液体
供給機１３と減圧装置１５と加圧装置１７とを所定の手
段に則って，制御する制御部４１とアクチュエータ４２
とを有する。

【００４１】以下それぞれについて詳説する。本例の検
査装置は，図１に示すごとく，空洞部を有する被検査体
８１を入れる密閉可能な検査用タンク１１と，該検査用
タンク１１内に絞り弁１３４，密閉弁１３１を介して液
体８５を導入する液体供給機１３と，検査用タンク１１
より上方に接続された第１パイプ３１内において上記液
体８５よりも上方に形成された第１気体容積部１１１を
減圧する減圧装置１５を有する。

【００４２】また，被検査体８１と同一形状の空洞部を
有し，漏れのないマスタ（基準体）８２を入れる密閉可
能なマスタ用タンク１２を有し，該マスタ用タンク１２
内にも第２密閉弁１３２を介して液体８５が導入され，
さらにマスタ用タンク１２より上方に接続された第２パ
イプ３２内においても該液体８５より上方に第２気体容
積部１２１が形成されている。

【００４３】また，第１，第２気体容積部１１１，１２
１の差圧変化を検出する圧力測定器１９と，被検査体８
１及びマスタ８２の空洞部内に加圧流体を導入する加圧
装置１７とを有する。上記液体８５は，液体タンク１３
３内に貯留されており，液体８５として洗浄油を用いて
いる。

【００４４】また液体供給器１３として，液体ポンプを
用いる。液体タンク１３３と検査用タンク１１及びマス
タ用タンク１２との間には液体導入パイプ３３が連結さ
れ，さらに液体導入パイプ３３の上流側には前記絞り弁
１３４が介設されている。

【００４５】一方，検査用タンク１１及びマスタ用タン
ク１２の上方に接続された前記第１，第２パイプ３１，
３２と液体タンク１３３との間には，パイプ３１，３２
内でオーバーフローした液体８５を液体タンク１３３に
戻すための戻りパイプ３１２，３２２がそれぞれ設けて
ある。上記液体導入パイプ３３及び戻りパイプ３１２，
３２２には，検査用タンク１１及びマスタ用タンク１２
内を密閉するためのエア駆動式の第１〜第４密閉弁１３
１，１３２，１３５，１３６がそれぞれ介設されてい
る。

【００４６】また，上記第１，第２パイプ３１，３２に
は上記気体容積部１１１，１２１を密閉するためのエア
駆動式の第５，第６密閉弁１１２，１２２がそれぞれ分
岐パイプ３１１，３２１を介して接続されている。そし
て，上記被検査体８１及びマスタ８２は，その空洞部
（図示略）と，加圧装置１７であるエアコンプレッサと
の間に，加圧流体導入パイプ３４が電磁式の第７密閉弁
１７２を介して接続されている。また，加圧流体導入パ
イプ３４には，加圧流体を解放するための電磁式の第８
密閉弁１７３が分岐パイプ３４１を介して接続されてい
る。

【００４７】一方，検査用タンク１１の上方に接続され
た第１パイプ３１内の第１気体容積部１１１は，減圧装
置１５及び圧力（差圧）測定器１９の一方の入力部が接
続されている。また，マスタ用タンク１２の上方に接続
された第２パイプ３２内の第２気体容積部１２１は，第
３シリンダ２１及び圧力（差圧）測定器１９の他方の入
力部が接続されている。

【００４８】そして減圧装置１５は，図２に示すよう
に，第１，第２シリンダ１５０，１６０を有する。第１
シリンダ１５０は，較正ピストン１５１を介して，減圧
室１５２と背面室１５３とを有する。減圧室１５２は接
続具１５４を介して上記第１パイプ３１に接続されてい
る。

【００４９】また，第２シリンダ１６０は，作動ピスト
ン１６１を介して第１室１６２と第２室１６３とを有す
る。そして較正ピストン１５１と作動ピストン１６１と
は，連結棒１５９により一体的に連結されている。第１
室１６２と第２室１６３はエアパイプ１６４，１６５と
電磁式の切換弁１６６を介して，作動用空気圧源１６７
に接続されている。

【００５０】図１に示す第３シリンダ２１は第１シリン
ダ１５０と同様の構成であるが，減圧動作するものでは
なく，これは圧力測定器１９に接続されている第２気体
容積部１２１の容積，形状を第１気体容積部１１１と全
く同一にするために設けられているものである。一方，
圧力測定器１９は，出力端子が判定装置４０に接続さ
れ，その出力信号は増幅器４３を介して記憶・演算装置
４４に接続されている。そして記憶・演算装置４４は表
示部４５に接続されている。

【００５１】また，制御部４１は電気信号により電磁式
の第７，第８密閉弁１７２，１７３，電磁式の切換弁１
６６，アクチュエータ４２及び記憶・演算装置４４を制
御する。制御弁であるアクチュエータ４２はエア駆動式
の第１〜第６密閉弁１３１，１３２，１３５，１３６，
１１２，１２２をエアにより制御する。

【００５２】次に上記漏れ検査装置１を用いた本例の検
査方法につき説明する。まず，加圧流体導入パイプ３４
を接続した被検査体８１及びマスタ８２を検査用タンク
１１及びマスタ用タンク１２にそれぞれ入れる。そして
検査用タンク１１の蓋及びマスタ用タンク１２の蓋を密
閉する。但し，マスタ８２については，予めマスタ用タ
ンク１２内に入れておけば，検査毎に入れ換える必要は
ない。

【００５３】次いで，被検査体８１及びマスタ８２の空
洞部内に，加圧流体導入パイプ３４を通じて，加圧装置
１７より加圧空気（例えば圧力４ＭＰａ）を導入する。
この加圧空気の導入は，電磁式の第７密閉弁１７２を上
記制御部４１により操作し，ポートを導通側に切換える
ことにより行なう。なお，上記加圧流体の導入は被検査
体８１を検査用タンク１１に入れる前から開始しても良
い。

【００５４】次に，検査用タンク１１及びマスタ用タン
ク１２を密閉した後に，エア駆動式の第１〜第４密閉弁
１３１，１３２，１３５，１３６を導通側ポートに切換
え，，液体供給機１３より液体８５である洗浄油を検査
用タンク１１及びマスタ用タンク１２内に導入する。そ
して，検査用タンク１１及びマスタ用タンク１２内を液
体８５で満たし，第１，第２パイプ３１，３２から液体
８５がオーバーフローした時点でエア駆動式の第１〜第
４密閉弁１３１，１３２，１３５，１３６を閉止する。

【００５５】この時，第１，第２パイプ３１，３２内で
液体８５の液面レベルは第１パイプ３１内においては分
岐パイプ３１１及び戻りパイプ３１２の間，第２パイプ
３２内においては分岐パイプ３２１及び戻りパイプ３２
２の間の適当な位置になるように，絞り弁１３４により
液体供給機１３から供給される量が調整される。

【００５６】次に，第１，第２パイプ３１，３２に分岐
パイプ３１１，３２１を介して接続されたエア駆動式の
第５，第６密閉弁１１２，１２２を閉止する。これによ
り，第１，第２パイプ３１，３２内に第１，第２気体容
積部１１１，１２１が形成される。上記エア駆動式の第
１〜第６密閉弁１３１，１３２，１３５，１３６，１１
２，１２２は，上記制御部４１からの信号によりアクチ
ュエータ４２の制御弁が作動することにより開閉され
る。

【００５７】エア駆動式の第５，第６密閉弁１１２，１
２２が閉止されると同時に，制御部４１からの信号によ
り，記憶・演算装置４４が作動し，圧力測定器１９の出
力が増幅器４３を介して所定期間（図３に示す測定期間
１）だけ記憶される。次に，減圧装置１５を作動させ，
第１気体容積部１１１を減圧状態にする。

【００５８】即ち，図２に示す切換弁１６６を，上記制
御部４１によりＢ位置へ切換え，第２シリンダ１６０の
第１室１６２側に作動加圧空気を圧入する。これによ
り，作動ピストン１６１が第２室１６３へ押される。そ
のため，連結棒１５９によって第１シリンダ１５０の較
正ピストン１５１が背面室１５３側へ後退する。

【００５９】この時，較正ピストン１５１が一定距離ａ
だけ後退することにより，減圧室１５２内に一定の容積
変化ΔＶが与えられる。即ち，第１気体容積部１１１に
一定の容積変化ΔＶ（容積増）が与えられる。その後，
この状態を維持して，上記所定期間１（図３）の間，第
１，第２気体容積部１１１，１２１の間の差圧変化Ｐ₁
（ｔ）が記憶・演算処理装置４４に記憶される。

【００６０】上記所定期間の終了後，エア駆動式の第
５，第６密閉弁１１２，１２２を開放する。それと同時
に電磁式の第７密閉弁１７２を閉止し，被検査体８１及
びマスタ８２の空洞部を加圧装置１７から切り離すと共
に，電磁式の第８密閉弁１７３を開放し，上記空洞部を
大気圧に開放する。

【００６１】その後，減圧装置１５を逆に作動させる。
即ち，切換弁１６６を上記制御部４１によりＡ方向へ作
動させて，第２シリンダ１６０の第２室１６３側に作動
加圧空気を圧入する。これにより，作動ピストン１６１
が第１室１６２側へ押出される。そのため，連結棒１５
９によって第１シリンダ１５０の較正ピストン１５１が
減圧室１５２側へ押出される。

【００６２】次に，上記空洞部を大気圧に開放した状態
で第１，第２気体容積部１１１，１２１の間の差圧変化
を記憶する。即ち，第１，第２パイプ３１，３２に分岐
パイプ３１１，３２１を介して接続されたエア駆動式の
第５，第６密閉弁１１２，１２２を閉止する。

【００６３】これにより，第１，第２パイプ３１，３２
内に第１，第２気体容積部１１１，１２１が形成され
る。そしてエア駆動式の第５，第６密閉弁１１２，１２
２が閉止されると同時に，制御部４１からの信号によ
り，記憶・演算装置４４が作動し，圧力測定器１９の圧
力が増幅器４３を介して所定期間（図３の測定期間２）
だけ記憶される。

【００６４】次に，減圧装置１５を作動させ，第１気体
容積部１１１を減圧状態にする。即ち，図２に示す切換
弁１６６を上記制御装置４１によりＢ位置へ作動させ
て，第２シリンダ１６０の第１室１６２側に作動加圧空
気を圧入する。これにより，作動ピストン１６１が第２
室１６３側へ押される。そのため，連結棒１５９によっ
て第１シリンダ１５０の較正ピストン１５１が背面室１
５３側へ後退する。

【００６５】この時，較正ピストン１５１が一定距離ａ
だけ後退することにより，減圧室１５２内に一定の容積
変化ΔＶが与えられる。即ち，第１気体容積部１１１に
一定の容積変化ΔＶ（容積増）が与えられる。その後，
この状態を維持して，上記所定期間２（図３）の間，第
１，第２気体容積部１１１，１２１の間の差圧変化が記
憶・演算処理装置４４に記憶される。

【００６６】次に，記憶・演算処理４４で記憶された上
記差圧情報から漏れ量を求める手順について図３から図
５を用いて説明する。図３には差圧変化の測定の一例が
示されている。図３の（ａ）は，差圧の変化波形５，６
を示し，（ｂ）は空洞部に印加した圧力の変化を示す。
そして，図３（ａ）の測定期間１の間は，上記空洞部の
圧力は所定の流体圧が印加された状態であり，測定期間
２の間は，上記空洞部内は大気圧に開放されている。

【００６７】即ち，測定期間１の間は，被検査体８１に
漏れがある場合はその漏れ量に応じた圧力変化が誤差を
含んだ形で記憶され，測定期間２の間は，漏れ以外の誤
差要因（例えば被検査体と周囲の温度差）による圧力変
化が記憶される。測定期間１の間の差圧変化の波形５と
測定期間２の間の差圧変化の波形６はそれぞれ５０，５
１，５２及び６０，６１，６２の３区間に分けられる。
５０，６０は第５，第６密閉弁１１２，１２２動作後の
安定時間，５１，６１は減圧動作時間，５２，６２は検
出時間である。

【００６８】そして図４に示すように，記憶・演算装置
４４ではまず測定期間１の波形５２から測定期間２の波
形６２の圧力上昇分が減算される。そして得られる波形
７の傾きを最小２乗法を用いて求める。求められた傾き
（変化率）をΔＰとする。次に，測定期間２の波形６よ
り減圧動作における一定容積変化ΔＶに対する第１気体
容積部１１１の圧力変化幅Ｐ₀ を求める。図５に示すご
とく減圧動作６１の前後における波形６０と６２の圧力
差が上記圧力変化幅Ｐ₀ である。

【００６９】そして，求めた傾きΔＰ，圧力変化幅Ｐ₀
及び減圧時の一定の容積変化ΔＶから次式により漏れ量
Ｖ_L を演算する。 Ｖ_L ＝（ΔＶ／Ｐ₀ ）×ΔＰ×６０・・・・・（１） Ｖ_L ；漏れ量（ｃｍ³ ／分） ΔＶ；減圧装置１５の容積変化（ｃｍ³ ） Ｐ₀ ；減圧装置１５の動作前後の圧力変化幅（ｍｍＨ₂
Ｏ） ΔＰ；検出期間の漏れによる圧力変化の傾き（ｍｍＨ₂
Ｏ／秒） 上式により求められた漏れ量Ｖ_L は，基準値と比較さ
れ，表示器４５に，その合否が表示される。

【００７０】なお，上記（１）の意味は，次の通りであ
る。単位量の圧力変化ΔＰ_u に対する容積の変化量ΔＶ
_u は（ΔＶ／Ｐ₀ ）であるから，圧力変化率ΔＰに対応
する容積変化，即ち漏れ量は，ΔＶ_u ×ΔＰである。そ
して，上記ΔＰは，単位時間（秒）当たりの圧力変化量
であるから，ΔＰ×ΔＶ_u は単位時間当たりの漏れ量を
表示するものである。（１）式はこれを分単位（６０
倍）にしたものである。

【００７１】上記から知られるように，本例は被検査体
８１内部の空洞部に所定の圧力を印加した状態，即ち漏
れの発生する状態で圧力変化Ｐ₁ （ｔ）を測定した後，
空洞部を大気圧に開放した状態，即ち漏れの生じない状
態で圧力変化Ｐ₂ （ｔ）を測定し，上記Ｐ₂ （ｔ）をＰ
₁ （ｔ）から減ずることにより，漏れ以外の誤差要因を
取り除いたものである。

【００７２】一方，上記圧力の変化率ΔＰの大きさは，
気体容積部１１１の容積のばらつきによって変化するか
ら，既知の一定容積変化ΔＶにより圧力変化幅Ｐ₀ を毎
回測定し，これで除することによってその影響がないよ
うにしている（前記のように，単位の圧力変化に対する
容積の変化量ΔＶ_u を毎回求め，それを掛けて漏れ量を
正しく求めるという言い方でもよい）。

【００７３】上記のように，本例の漏れ検査装置，漏れ
検査方法によれば，測定毎に被検査体８１の個体別に発
生する個別の誤差要因を，２回の測定を行なうことによ
って毎回補正し，精度の高い測定を行なうことのできる
漏れ検査方法及び漏れ検査装置を提供することができ
る。

【００７４】実施例２ 本例は，図６に示すように，実施例１において第１気体
容積部１１１の圧力測定をゲージ圧によって測定するよ
うにしたもう１つの実施例である。即ち，本例は，図６
に示すように，実施例１の図１からマスタ８２，マスタ
用タンク１２，第２，第４，第６密閉弁１３２，１３
６，１２２，第２パイプ３２，分岐パイプ３２１，戻り
パイプ３２２，及び第３シリンダ２１を取り除く。そし
て圧力測定器１９の一方を大気に開放し，第１気体容積
部１１１のゲージ圧を測定するようにしたものである。
その他については，実施例１と同様であり，ゲージ圧を
測定しても実施例１と同様の効果を得ることができる。

【００７５】なお，実施例１〜実施例２においては，図
３に示すように，第１測定を先に実施したが，第２測定
を先に実施し，その後，第１測定を実施してもよい。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例１の漏れ検査装置のシステム構成図。

【図２】図１の減圧装置周辺の拡大図。

【図３】実施例１の漏れ検査方法における測定のタイム
チャート。

【図４】実施例１の漏れ検査方法における第１，第２測
定における圧力変化と補正された圧力変化の説明図。

【図５】実施例１の漏れ検査方法における圧力変化幅Ｐ
₀ の説明図。

【図６】実施例２の漏れ検査装置のシステム構成図。

【符号の説明】

１・・・漏れ検査装置， １１・・・検査用タンク， １３・・・液体供給機， １５・・・減圧装置， １７．．．加圧装置， １９・・・圧力測定器， ４０．．．判定装置， ８１．．．被検査体， ８５．．．液体，

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 内部に空洞部を有する被検査体を密閉可
   能な検査用タンクにいれ，検査用タンクを密閉状態にし
   た後，被検査体の空洞部の内と外との間に圧力差を与え
   た状態で被検査体の空洞部の圧力変化を測定する第１測
   定と，被検査体の空洞部の内と外との間に圧力差を与え
   ない状態で被検査体の空洞部の圧力変化を測定する第２
   測定とを実行し，第２測定のデータにより第１測定のデ
   ータを補正し，被検査体の漏れ状態を判定することを特
   徴とする被検査体の漏れ検査方法。
2. 【請求項２】 内部に空洞部を有する被検査体を収容す
   ることができる密閉可能な検査用タンクと，被検査体の
   空洞部及び検査用タンク内に加圧流体を導入する加圧装
   置と，被検査体の空洞部の圧力を測定する圧力測定器
   と，該圧力測定器の圧力データを記憶，演算する判定装
   置とを有する検査装置であって，上記判定装置は，被検
   査体の空洞部に加圧流体を導入した状態で被検査体の空
   洞部の圧力を測定した第１測定データを，被検査体の空
   洞部及び検査用タンク内部に加圧流体を導入した状態で
   被検査体の空洞部の圧力を測定した第２測定データによ
   って補正し，被検査体の漏れ状態を判定すること特徴と
   する漏れ検査装置。
3. 【請求項３】 内部に空洞部を有する被検査体を収容す
   ることができる密閉可能な検査用タンクと，被検査体の
   空洞部及び検査用タンク内を減圧する減圧装置と，被検
   査体の空洞部の圧力を測定する圧力測定器と，該圧力測
   定器の圧力データを記憶，演算する判定装置とを有する
   検査装置であって，上記判定装置は，被検査体の空洞部
   を減圧した状態で被検査体の空洞部の圧力を測定した第
   １測定データを，被検査体の空洞部及び検査用タンク内
   部を減圧した状態で被検査体の空洞部の圧力を測定した
   第２測定データによって補正し，被検査体の漏れ状態を
   判定することを特徴とする漏れ検査装置。
4. 【請求項４】 内部に空洞部を有する被検査体を密閉可
   能な検査用タンクにいれ，検査用タンクを密閉状態にし
   た後，被検査体の空洞部の内と外との間に圧力差を与え
   た状態で検査用タンク内部の圧力変化を測定する第１測
   定と，被検査体の空洞部の内と外との間に圧力差を与え
   ない状態で検査用タンク内部の圧力変化を測定する第２
   測定とを実行し，第２測定のデータにより第１測定のデ
   ータを補正し，被検査体の漏れ状態を判定することを特
   徴とする被検査体の漏れ検査方法。
5. 【請求項５】 内部に空洞部を有する被検査体を収容す
   ることができる密閉可能な検査用タンクと，被検査体の
   空洞部内に加圧流体を導入する加圧装置と，被検査体と
   検査用タンクの間に形成された検査用タンク内部の圧力
   を測定する圧力測定器と，該圧力測定器の圧力データを
   記憶，演算する判定装置とを有する検査装置であって，
   上記判定装置は，被検査体の空洞部に加圧流体を導入し
   た状態で検査用タンク内部の圧力を測定した第１測定デ
   ータを，被検査体の空洞部に加圧流体を導入しない状態
   で検査用タンク内部の圧力を測定した第２データによっ
   て補正し，被検査体の空洞部の漏れ状態を判定すること
   を特徴とする漏れ検査装置。
6. 【請求項６】 内部に空洞部を有する被検査体を収容す
   ることができる密閉可能な検査用タンクと，被検査体の
   空洞部内を減圧する減圧装置と，被検査体と検査用タン
   クの間に形成された検査用タンク内部の圧力を測定する
   圧力測定器と，該圧力測定器の圧力データを記憶，演算
   する判定装置とを有する検査装置であって，上記判定装
   置は，被検査体の空洞部を減圧した状態で検査用タンク
   内部の圧力を測定した第１測定データを，被検査体の空
   洞部を減圧しない状態で検査用タンク内部の圧力を測定
   した第２測定データによって補正し，被検査体の漏れ状
   態を判定することを特徴とする漏れ検査装置。
7. 【請求項７】 内部に空洞部を有する被検査体を，液体
   を入れた密閉可能な検査用タンク内に入れ，液体中に埋
   没させると共に，液体の上方には気体容積部を残存形成
   しておき，検査用タンクを密閉状態にした後，被検査体
   の空洞部の内と外との間に圧力差を与えた状態で気体容
   積部を減圧し，そのときの気体容積部の圧力変化を測定
   する第１測定と，被検査体の空洞部の内と外との間に圧
   力差を与えない状態で気体容積部を減圧し，そのときの
   気体容積部の圧力変化を測定する第２測定を実行し，第
   ２測定のデータにより第１測定のデータを補正し，被検
   査体の漏れ状態を判定することを特徴とする被検査体の
   漏れ検査方法。
8. 【請求項８】 内部に空洞部を有する被検査体を収容す
   ることのできる密閉可能な検査用タンクと，該検査用タ
   ンク内に密閉弁を介して液体を導入する液体供給機と，
   密閉された検査用タンクにおいて上記液体よりも上方に
   形成された気体容積部を減圧する減圧装置と，被検査体
   の空洞部内に加圧流体を導入する加圧装置と，気体容積
   部の圧力を測定する圧力測定器と，該圧力測定器の圧力
   測定データを記憶，演算する判定装置とを有する漏れ検
   査装置であって，上記判定装置は，被検査体を液体に埋
   没させて空洞部に加圧流体を導入した状態で，気体容積
   部を減圧して気体容積部の圧力を測定した第１測定デー
   タを，被検査体の空洞部に加圧流体を導入しない状態
   で，気体容積部を減圧して気体容積部の圧力を測定した
   第２測定データによって補正し，被検査体の漏れ状態を
   判定することを特徴とする漏れ検査装置。
9. 【請求項９】 請求項８において，上記判定装置は，液
   体供給機と減圧装置と加圧装置とを所定の手順に則って
   制御する制御部とアクチュエータとを有することを特徴
   とする漏れ検査装置。