JPH0722040Y2 - 電子線マイクロアナライザー - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 本考案は、電子線信号検出器に関し、特に、電子線マイ
クロアナライザの反射電子検出器及び二次電子検出器等
の電子線信号検出器に関する。

（ロ）従来の技術 電子線マイクロアナライザは、元素分析、結合状態分
析、内部特性・結晶解析、走査電子顕微鏡としての表面
観察等の分析に使用されている。

電子マイクロアナライザの電子線信号検出器は、試料と
共に暗箱内に配置されており、試料の配置や状態を外部
からも容易に分かるように、該暗箱には、室内灯が設け
られると共に、覗き窓が設けられている。

このような室内灯の点灯は、電子線信号検出器を劣化さ
せるので、室内灯を点灯させた時には、電子線信号検出
器が作動しないように、室内灯の点灯と同時に電子線信
号検出器のスイッチが切れるようになっている。

（ハ）考案が解決しようとする問題点 しかし、このような従来の電子線マイクロアナライザに
おいては、その動作時に、例えば、光学顕微鏡イルミネ
ータから光が侵入したり、或は、誤って、覗き窓等の光
の遮蔽の不備から暗箱内に散乱光が侵入した場合などに
は、バックグランドノイズが増加し、また、その光が交
流電源からの場合は、その周波数に対応する縞状のノイ
ズを生じさせることになって、分析により得られる像を
悪化させると共に、電子線信号検出器の劣化を生じて問
題である。

本考案は、このような従来の電子線マイクロアナライザ
における暗箱内への光の侵入による電子線信号検出器の
劣化及び分析により得られる画像の悪化等の問題点を解
消することを目的としている。

（ニ）問題点を解決するための手段 本考案は、電子線信号検出器が設けられている暗箱内
で、室内灯が点灯されたり、光の侵入があっても、電子
線信号検出器の劣化及び検出値に影響を及ぼすノイズを
生じることにならない電子線マイクロアナライザを提供
することを目的としている。

即ち、本考案は、暗箱内に設けられている試料部に対し
電子線を照射する電子線照射部と、暗箱内に設けられ前
記試料部から生じる電子を検出する電子線信号検出器を
備えた電子線マイクロアナライザーにおいて、電子線信
号検出器の電子線信号検出素子を囲んで光検出素子が設
けられており、光検出素子の出力側は、電子線信号検出
器の作動電源側スイッチを開閉制御可能に中央処理装置
に接続していることを特徴とする電子線マイクロアナラ
イザーにある。

本考案において、電子線信号検出器が設けられている暗
箱内に光の侵入があったことを検出して、電子線信号検
出器の電源を切るために、電子線信号検出素子の周囲に
は、光検出素子が設けられる。このような光検出素子
は、光を検出して電気信号に変換できるものであり、こ
のような光検出素子としては、光起電力効果を有する光
センサ、例えば、ホドダイオード、ホトトランジスタ、
ホトサイリスタ及び光センサ等がある。しかし、光検出
素子は、電子線信号検出素子の光に対する感度と略同等
以上の感度を有するものとするのが好ましい。

光検出素子は、例えば、電子線信号検出素子面の周囲に
環状に並んで又は該検出素子面より突き出て設けるな
ど、電子線信号検出素子と同時に又は同様に光を受ける
ことができる位置に設けられるのが好ましい。

（ホ）作用 本考案は、電子線信号検出素子を有する電子線信号検出
器において、電子線信号検出素子の周囲に光検出素子を
設けたので、暗箱内の室内灯を点灯したり、或は、光学
顕微鏡のイルミネータからの光の侵入、或は分析中の光
の遮蔽不備などにより、電子線信号検出素子が散乱光に
さらされるのを検出して電子線信号検出器の電源スイッ
チを切ることができる。

（ヘ）実施例 以下、添付図面を参照して、本考案の実施の態様の例を
説明するが、本考案は、以下の説明及び例示によって何
等制限されるものではない。

第１図は、本考案の電子線マイクロアナライザについて
の一実施例を示す概略の説明図であり、電子線信号検出
器を中心に示す図である。

本例の電子線マイクロアナライザ１は、試料照射部２の
試料部３に対して、電子線照射部４が設けられている。
本例において、電子線照射部４の下部には、半導体反射
電子検出器５が形成されており、半導体反射電子検出器
５の電子線照射口６を囲んで環状の光検出素子７が設け
られている。

試料部３の照射面８の斜め上方には、二次電子検出器９
が設けられており、この二次電子検出器９のシンチレー
タ10を囲んで環状の光検出素子11が設けられている。

半導体反射電子検出器５の出力端12は、信号線13を介し
て中央処理装置（CPU）14に入力側15に接続しており、
光検出素子７の出力端16は増幅器17の入力側18に信号線
19を介して接続している。増幅器17の出力側20は、スナ
ップスイッチ21の一方の端子22に接続している。スナッ
プスイッチ21の接触片23が接続する出力側端子24は、中
央処理装置14の入力側25に接続している。

二次電子検出器９の信号出力側26は、中央処理装置14の
入力側27に信号線28を介して接続している。他方、作動
側回路29及び中央処理装置14の作動側回路30は、高圧側
電源用のオンオフスイッチ31に接続している。また、二
次電子検出器９の光検出素子11の出力端32は増幅器33の
入力側34に信号線35を介して接続している。増幅器33の
出力側36は、スナップスイッチ21のもう一方の端子37に
接続している。例えば、光検出素子11が、室内灯の点灯
による光を検出したところで、その信号は増幅器33で増
幅されて、中央処理装置14に送られる。中央処理装置14
は、この信号を受けて高圧側電源用のオンオフスイッチ
31をオフにし、二次電子検出器９の作動を停止する。

スナップスイッチ21の接触片23は、反射電子検出器５に
より分析を行うときは、端子22に接触し、他方、二次電
子検出器９により分析を行うときは、端子37に接触す
る。スナップスイッチ21の接触片23は、分析しない時に
は、何れの端子にも接触しない中立の位置（第１図に示
されている位置）に置かれる。

本例は、以上のように構成されているので、従来の電子
線マイクロアナライザと同様に、反射電子検出器５によ
り反射電子線の信号検出を行い、また、二次電子検出器
９により二次電子線の信号検出を行うことができる。

また、暗箱の室内等が点灯されたとき、或は光の遮蔽が
十分でなく光が漏洩するとき、半導体反射電子検出器５
及び／又は二次電子検出器９は、光に曝されるので、夫
々の検出器に設けられている光検出素子７及び11は、点
灯された光及び漏洩する光を検出して、光を検出した旨
の信号を中央処理装置14に送る。中央処理装置14はこの
検出信号を受けて、各検出器５、９の電源をきり、夫々
の検出器の作動を停止する。したがって、検出信号にノ
イズが現れ、反射電子及び二次電子の測定値が正確でな
くなるが、本例においては、ノイズとして現れる光を検
出して、検出器の作動を停止するので、本例において、
測定により得られる値はノイズの影響の少ないものとな
る。

本例においては、半導体反射電子検出器と二次電子検出
器を暗箱内に設けているが、もとより何れか一方の検出
器を配置した構成とすることもできる。

（ト）考案の効果 本考案は、電子線信号検出素子を有する電子線信号検出
器において、電子線信号検出素子の周囲に光検出素子を
設けたので、従来の電子線マイクロアナライザに比し
て、室内灯の点灯及び光の漏洩等による光から、電子線
信号検出器の保護を行うことができると共に、室内灯の
点灯及び光の漏洩等による電子線信号検出器の検出に現
れるノイズを少なくして分析精度の向上を計ることがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案の電子線マイクロアナライザについて
の一実施例を示す概略の説明図であり、電子号検出器を
中心に示す図である。 図中の符号については、１は電子線マイクロアナライ
ザ、２は試料照射部、３は試料部、４は電子線照射部、
５は半導体反射電子検出器、６は電子線照射口、７は光
検出素子、８は照射面、９は二次電子検出器、10はシン
チレータ、11は光検出素子、12は出力端、13は信号線、
14は中央処理装置（CPU）、15は入力側、16は出力端、1
7は増幅器、18は入力側、19は信号線、20は出力側、21
はスナップスイッチ、22は端子、23は接触片、24は出力
側端子、25は入力側、26は信号出力側、27は入力側、28
は信号線、29は作動側回路、30は作動側回路、31は高圧
側電源、32は出力端、33は増幅器、34は入力側、35は信
号線、36は出力側、37は端子である。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】暗箱内に設けられている試料部に対し電子
   線を照射する電子線照射部と、暗箱内に設けられ前記試
   料部から生じる電子を検出する電子線信号検出器を備え
   た電子線マイクロアナライザーにおいて、電子線信号検
   出器の電子線信号検出素子を囲んで光検出素子が設けら
   れており、光検出素子の出力側は、電子線信号検出器の
   作動電源側スイッチを開閉制御可能に中央処理装置に接
   続していることを特徴とする電子線マイクロアナライザ
   ー。