JPH07221164A - 半導体ウェハのアライメント方法および半導体ペレットのピックアップ方法 - Google Patents
半導体ウェハのアライメント方法および半導体ペレットのピックアップ方法Info
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- JPH07221164A JPH07221164A JP1103494A JP1103494A JPH07221164A JP H07221164 A JPH07221164 A JP H07221164A JP 1103494 A JP1103494 A JP 1103494A JP 1103494 A JP1103494 A JP 1103494A JP H07221164 A JPH07221164 A JP H07221164A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】半導体ペレットマウント装置のＸＹステージ上
に曖昧な状態の傾き角度で取り付けられたスクライブ後
のウェハに対して、傾き角度を自動的に算出して傾きを
自動的に補正でき、ウェハのアライメント調整の効率化
を図り得る半導体ウェハのアライメント方法を提供す
る。 【構成】半導体ペレットマウント装置のＸＹステージ１
０上に取り付けられたウェハ１５の複数のペレットをテ
レビカメラ１７により撮影して得た画像信号に対して予
め用意された四角形の基準パターンを用いてペレット画
像１５ａを認識処理して画像メモリに格納するステップ
と、これにより得られたペレット画像に基づいてウェハ
の傾き角度を算出し、その結果に基づいてＸＹステージ
を駆動してウェハの傾きを補正するアライメント調整を
自動的に行うステップとを具備することを特徴とする。
に曖昧な状態の傾き角度で取り付けられたスクライブ後
のウェハに対して、傾き角度を自動的に算出して傾きを
自動的に補正でき、ウェハのアライメント調整の効率化
を図り得る半導体ウェハのアライメント方法を提供す
る。 【構成】半導体ペレットマウント装置のＸＹステージ１
０上に取り付けられたウェハ１５の複数のペレットをテ
レビカメラ１７により撮影して得た画像信号に対して予
め用意された四角形の基準パターンを用いてペレット画
像１５ａを認識処理して画像メモリに格納するステップ
と、これにより得られたペレット画像に基づいてウェハ
の傾き角度を算出し、その結果に基づいてＸＹステージ
を駆動してウェハの傾きを補正するアライメント調整を
自動的に行うステップとを具備することを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置のアセンブ
リ工程で半導体ペレットをマウントする際に、半導体ウ
ェハのアライメントを行うアライメント方法および半導
体ペレットのピックアップを行うピックアップ方法に関
する。
リ工程で半導体ペレットをマウントする際に、半導体ウ
ェハのアライメントを行うアライメント方法および半導
体ペレットのピックアップを行うピックアップ方法に関
する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、半導体装置のアセンブリ工程に
際して、素子形成後の半導体ウェハをシートに貼った状
態でスクライブして個々のペレットに分割し、シートを
引き伸ばした状態のウェハ（以下、スクライブ後のウェ
ハと記す）のアライメントを行った後、ペレットをピッ
クアップしてリードフレーム上などにマウントする。
際して、素子形成後の半導体ウェハをシートに貼った状
態でスクライブして個々のペレットに分割し、シートを
引き伸ばした状態のウェハ（以下、スクライブ後のウェ
ハと記す）のアライメントを行った後、ペレットをピッ
クアップしてリードフレーム上などにマウントする。
【０００３】この場合、スクライブ後のウェハの傾き角
度、各ペレットの位置は曖昧であり、ピックアップ時の
能率を向上させるために、ウェハの傾きを一定状態に調
整したり、ペレットの位置を検出する必要がある。
度、各ペレットの位置は曖昧であり、ピックアップ時の
能率を向上させるために、ウェハの傾きを一定状態に調
整したり、ペレットの位置を検出する必要がある。
【０００４】そこで、従来は、スクライブ後のウェハを
ペレットマウント装置のＸＹステージ上に取り付ける際
に、オペレータの手作業によりウェハの傾きを調整して
いるので、アライメント調整時間が長くなっている。
ペレットマウント装置のＸＹステージ上に取り付ける際
に、オペレータの手作業によりウェハの傾きを調整して
いるので、アライメント調整時間が長くなっている。
【０００５】また、ペレットマウント装置のＸＹステー
ジ上に取り付けられたウェハに対して一定方向にペレッ
ト毎に画像認識処理を行うことにより、ペレットの位置
を検出している。この場合、ウェハ周辺部でペレットの
検出ができなければ、ピックアップの方向反転、段変え
を行っているので、ＸＹステージの動きに無駄が多く、
稼働率の低下をまねいている。
ジ上に取り付けられたウェハに対して一定方向にペレッ
ト毎に画像認識処理を行うことにより、ペレットの位置
を検出している。この場合、ウェハ周辺部でペレットの
検出ができなければ、ピックアップの方向反転、段変え
を行っているので、ＸＹステージの動きに無駄が多く、
稼働率の低下をまねいている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記したように従来の
半導体ウェハのアライメント方法はオペレータの手作業
により実施しているので、調整時間が長くなるという問
題があった。また、従来の半導体ペレットのピックアッ
プ方法は、ペレットマウント装置のＸＹステージの動き
に無駄が多く、稼働率の低下をまねいているという問題
があった。
半導体ウェハのアライメント方法はオペレータの手作業
により実施しているので、調整時間が長くなるという問
題があった。また、従来の半導体ペレットのピックアッ
プ方法は、ペレットマウント装置のＸＹステージの動き
に無駄が多く、稼働率の低下をまねいているという問題
があった。
【０００７】本発明は上記の問題点を解決すべくなされ
たもので、半導体ペレットマウント装置のＸＹステージ
上に曖昧な状態の傾き角度で取り付けられたスクライブ
後のウェハに対して、傾き角度を自動的に算出して傾き
を自動的に補正でき、ウェハのアライメント調整の効率
化を図り得る半導体ウェハのアライメント方法を提供す
ることを目的とする。
たもので、半導体ペレットマウント装置のＸＹステージ
上に曖昧な状態の傾き角度で取り付けられたスクライブ
後のウェハに対して、傾き角度を自動的に算出して傾き
を自動的に補正でき、ウェハのアライメント調整の効率
化を図り得る半導体ウェハのアライメント方法を提供す
ることを目的とする。
【０００８】また、本発明は、半導体ペレットマウント
装置のＸＹステージ上に取り付けられたスクライブ後の
ウェハからペレットをピックアップする際に、ウェハ周
辺部でもピックアップ位置を確実に検出でき、ペレット
マウント装置のＸＹステージの動きの効率化、ひいては
ペレットマウントの能率の向上を図り得る半導体ペレッ
トのピックアップ方法を提供することを目的とする。
装置のＸＹステージ上に取り付けられたスクライブ後の
ウェハからペレットをピックアップする際に、ウェハ周
辺部でもピックアップ位置を確実に検出でき、ペレット
マウント装置のＸＹステージの動きの効率化、ひいては
ペレットマウントの能率の向上を図り得る半導体ペレッ
トのピックアップ方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の半導体ウェハの
アライメント方法は、半導体素子形成後にシートに貼ら
れた状態でスクライブされて個々のペレットに分割され
た状態の半導体ウェハを、前記シートを引き伸ばした状
態で半導体ペレットマウント装置のＸＹステージ上に取
り付ける第１ステップと、上記ＸＹステージ上の半導体
ウェハの複数のペレットをテレビジョンカメラにより撮
影して得たアナログ画像信号のレベルをある閾値を基準
として二値化処理して濃淡を表わすデジタル画像信号に
変換し、予め用意された四角形の基準パターンを用いて
ペレット画像を認識処理して画像メモリに格納する第２
ステップと、この第２ステップにより得られたペレット
画像に基づいて前記半導体ウェハの傾き角度を算出し、
この算出結果に基づいて前記ＸＹステージを駆動して上
記半導体ウェハの傾きを補正するアライメント調整を自
動的に行う第３のステップとを具備することを特徴とす
る。
アライメント方法は、半導体素子形成後にシートに貼ら
れた状態でスクライブされて個々のペレットに分割され
た状態の半導体ウェハを、前記シートを引き伸ばした状
態で半導体ペレットマウント装置のＸＹステージ上に取
り付ける第１ステップと、上記ＸＹステージ上の半導体
ウェハの複数のペレットをテレビジョンカメラにより撮
影して得たアナログ画像信号のレベルをある閾値を基準
として二値化処理して濃淡を表わすデジタル画像信号に
変換し、予め用意された四角形の基準パターンを用いて
ペレット画像を認識処理して画像メモリに格納する第２
ステップと、この第２ステップにより得られたペレット
画像に基づいて前記半導体ウェハの傾き角度を算出し、
この算出結果に基づいて前記ＸＹステージを駆動して上
記半導体ウェハの傾きを補正するアライメント調整を自
動的に行う第３のステップとを具備することを特徴とす
る。
【００１０】また、本発明の半導体ペレットのピックア
ップ方法は、半導体素子形成後にシートに貼られた状態
でスクライブされて個々のペレットに分割された状態の
半導体ウェハを、前記シートを引き伸ばした状態で半導
体ペレットマウント装置のＸＹステージ上に取り付ける
第１ステップと、上記ＸＹステージ上の半導体ウェハの
複数のペレットをテレビジョンカメラにより撮影して得
たアナログ画像信号のレベルをある閾値を基準として二
値化処理して濃淡を表わすデジタル画像信号に変換し、
予め用意された四角形の基準パターンを用いてペレット
画像を認識処理して画像メモリに格納する第２ステップ
と、この第２ステップにより得られたペレット画像に基
づいて前記半導体ウェハの傾き角度を算出し、この算出
結果に基づいて前記ＸＹステージを駆動して上記半導体
ウェハの傾きを補正するアライメント調整を自動的に行
う第３のステップと、前記基準画像の位置を移動させて
ウェハ外周の４点の座標値を検出し、この座標値に基づ
いて前記半導体ウェハの中心位置および半径を自動的に
算出する第４のステップと、この第４ステップの終了後
に前記ＸＹステージを移動させて半導体ペレットのピッ
クアップ開始位置を設定し、前記半導体ウェハの中心位
置、半径の算出結果および予め用意された複数の基準画
像を参照しながら半導体ペレットのピックアップ処理を
順次進めていく第５のステップとを具備することを特徴
とする。
ップ方法は、半導体素子形成後にシートに貼られた状態
でスクライブされて個々のペレットに分割された状態の
半導体ウェハを、前記シートを引き伸ばした状態で半導
体ペレットマウント装置のＸＹステージ上に取り付ける
第１ステップと、上記ＸＹステージ上の半導体ウェハの
複数のペレットをテレビジョンカメラにより撮影して得
たアナログ画像信号のレベルをある閾値を基準として二
値化処理して濃淡を表わすデジタル画像信号に変換し、
予め用意された四角形の基準パターンを用いてペレット
画像を認識処理して画像メモリに格納する第２ステップ
と、この第２ステップにより得られたペレット画像に基
づいて前記半導体ウェハの傾き角度を算出し、この算出
結果に基づいて前記ＸＹステージを駆動して上記半導体
ウェハの傾きを補正するアライメント調整を自動的に行
う第３のステップと、前記基準画像の位置を移動させて
ウェハ外周の４点の座標値を検出し、この座標値に基づ
いて前記半導体ウェハの中心位置および半径を自動的に
算出する第４のステップと、この第４ステップの終了後
に前記ＸＹステージを移動させて半導体ペレットのピッ
クアップ開始位置を設定し、前記半導体ウェハの中心位
置、半径の算出結果および予め用意された複数の基準画
像を参照しながら半導体ペレットのピックアップ処理を
順次進めていく第５のステップとを具備することを特徴
とする。
【００１１】
【作用】半導体ペレットマウント装置のＸＹステージ上
に曖昧な状態の傾き角度で取り付けられたスクライブ後
のウェハに対して、アライメント調整を自動化すること
ができる。
に曖昧な状態の傾き角度で取り付けられたスクライブ後
のウェハに対して、アライメント調整を自動化すること
ができる。
【００１２】これにより、アライメント調整の効率化を
図ることができ、ＸＹステージ上にウェハを順次自動的
にローディングする機構（複数ウェハの自動ローディン
グ機構）を有する半導体ペレットマウント装置の連続運
転が可能になる。
図ることができ、ＸＹステージ上にウェハを順次自動的
にローディングする機構（複数ウェハの自動ローディン
グ機構）を有する半導体ペレットマウント装置の連続運
転が可能になる。
【００１３】また、半導体ウェハの中心位置、半径の算
出結果を参照しながら半導体ペレットのピックアップ処
理を進めていくので、ウェハ周辺部でもピックアップ位
置を確実に検出でき、ペレットマウント装置のＸＹステ
ージの動きの効率化、ひいてはペレットマウントの能率
の向上を図ることができる。
出結果を参照しながら半導体ペレットのピックアップ処
理を進めていくので、ウェハ周辺部でもピックアップ位
置を確実に検出でき、ペレットマウント装置のＸＹステ
ージの動きの効率化、ひいてはペレットマウントの能率
の向上を図ることができる。
【００１４】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。図１は、半導体装置のアセンブリ工程に際
して、本発明の半導体ウェハのアライメント方法および
半導体ペレットのピックアップ方法を実施するために使
用されるペレットマウント装置の一例を概略的に示す斜
視図である。
に説明する。図１は、半導体装置のアセンブリ工程に際
して、本発明の半導体ウェハのアライメント方法および
半導体ペレットのピックアップ方法を実施するために使
用されるペレットマウント装置の一例を概略的に示す斜
視図である。
【００１５】このペレットマウント装置において、１０
はＸＹステージ、１１はＸＹステージを水平面内のＸ方
向に駆動するためのパルスモータ、１２はＸＹステージ
を水平面内のＹ方向に駆動するためのパルスモータ、１
３はＸＹステージを水平面内の回転方向θに駆動するた
めのパルスモータ、１４は上記各パルスモータを駆動す
るためのモータ駆動回路である。
はＸＹステージ、１１はＸＹステージを水平面内のＸ方
向に駆動するためのパルスモータ、１２はＸＹステージ
を水平面内のＹ方向に駆動するためのパルスモータ、１
３はＸＹステージを水平面内の回転方向θに駆動するた
めのパルスモータ、１４は上記各パルスモータを駆動す
るためのモータ駆動回路である。
【００１６】１５は素子形成後にシートに貼られた状態
でスクライブされて個々のペレットに分割された半導体
ウェハであり、上記シートを引き伸ばした状態で前記Ｘ
Ｙステージ上に取り付けられる。
でスクライブされて個々のペレットに分割された半導体
ウェハであり、上記シートを引き伸ばした状態で前記Ｘ
Ｙステージ上に取り付けられる。
【００１７】１６は上記ウェハ１５を斜め上方から照明
するための光源、１７は上記ウェハ１５の中心部上方に
設置され、ウェハの複数のペレットとその周辺部を撮像
するための工業用テレビジョンカメラ（例えば固体カメ
ラ；ＣＣＤカメラ）、１８は上記ＣＣＤカメラ１２を制
御するためのカメラ制御装置である。
するための光源、１７は上記ウェハ１５の中心部上方に
設置され、ウェハの複数のペレットとその周辺部を撮像
するための工業用テレビジョンカメラ（例えば固体カメ
ラ；ＣＣＤカメラ）、１８は上記ＣＣＤカメラ１２を制
御するためのカメラ制御装置である。
【００１８】１９は前記ＣＣＤカメラ１７により撮像し
て得られた画像のアナログ画像信号をデジタル信号に変
換して画像メモリに記憶し、この記憶データに対して処
理を行うための画像処理装置である。２０は上記画像処
理装置から供給される画像をモニタするための画像モニ
ター装置である。
て得られた画像のアナログ画像信号をデジタル信号に変
換して画像メモリに記憶し、この記憶データに対して処
理を行うための画像処理装置である。２０は上記画像処
理装置から供給される画像をモニタするための画像モニ
ター装置である。
【００１９】２１は前記ＸＹステージ１０上の半導体ウ
ェハのアライメントが行われた後に、ウェハのペレット
群を所定の順序でピックアップしてリードフレーム上な
どにマウントするためのペレットピックアップ装置であ
る。
ェハのアライメントが行われた後に、ウェハのペレット
群を所定の順序でピックアップしてリードフレーム上な
どにマウントするためのペレットピックアップ装置であ
る。
【００２０】前記画像処理装置１９は、コンピュータシ
ステムを含み、以下に述べるような処理手段を有する。 （１）モニタ画面上の基準位置を示す正方形の基準画像
を表示するためのデジタル画像信号を画像メモリに予め
記憶させておく手段。
ステムを含み、以下に述べるような処理手段を有する。 （１）モニタ画面上の基準位置を示す正方形の基準画像
を表示するためのデジタル画像信号を画像メモリに予め
記憶させておく手段。
【００２１】（２）前記半導体ウェハ１５をＣＣＤカメ
ラ１７により撮像して得られたアナログ画像信号を二値
化処理して濃淡を表わすデジタル信号に変換したペレッ
ト画像を前記画像メモリに記憶させる手段。
ラ１７により撮像して得られたアナログ画像信号を二値
化処理して濃淡を表わすデジタル信号に変換したペレッ
ト画像を前記画像メモリに記憶させる手段。
【００２２】（３）画像メモリに記憶された基準画像お
よびペレット画像をモニタ画面に表示させる手段。 （４）前記ペレット画像のデジタル画像信号を基準画像
のデジタル画像信号を基準としてデータ処理し、ウェハ
の傾き角度、外周位置、中心位置、半径の算出を行い、
その結果に基づいて前記モータ駆動回路１４を制御して
ＸＹステージ１０を水平面内で所定の位置に制御する手
段。
よびペレット画像をモニタ画面に表示させる手段。 （４）前記ペレット画像のデジタル画像信号を基準画像
のデジタル画像信号を基準としてデータ処理し、ウェハ
の傾き角度、外周位置、中心位置、半径の算出を行い、
その結果に基づいて前記モータ駆動回路１４を制御して
ＸＹステージ１０を水平面内で所定の位置に制御する手
段。
【００２３】図２は、本発明の半導体ウェハのアライメ
ント方法および半導体ペレットのピックアップ方法の第
１実施例における処理の流れを示すフローチャートであ
る。図３乃至図１５は、図２の処理の各段階におけるモ
ニタ画面上の表示画像あるいは処理内容を説明するため
に示す図である。
ント方法および半導体ペレットのピックアップ方法の第
１実施例における処理の流れを示すフローチャートであ
る。図３乃至図１５は、図２の処理の各段階におけるモ
ニタ画面上の表示画像あるいは処理内容を説明するため
に示す図である。
【００２４】次に、図１乃至図１５を参照しながら、半
導体ウェハのアライメント方法および半導体ペレットの
ピックアップ方法の一例について説明する。ステップＳ
１では、半導体素子形成後にシートに貼られた状態でス
クライブされて個々のペレットに分割された状態の半導
体ウェハ１５を、前記シートを引き伸ばした状態で半導
体ペレットマウント装置のＸＹステージ１０上に取り付
ける。この場合、ウェハの各ペレットは、Ｘ方向および
Ｙ方向へ曖昧な状態で配列されている。
導体ウェハのアライメント方法および半導体ペレットの
ピックアップ方法の一例について説明する。ステップＳ
１では、半導体素子形成後にシートに貼られた状態でス
クライブされて個々のペレットに分割された状態の半導
体ウェハ１５を、前記シートを引き伸ばした状態で半導
体ペレットマウント装置のＸＹステージ１０上に取り付
ける。この場合、ウェハの各ペレットは、Ｘ方向および
Ｙ方向へ曖昧な状態で配列されている。
【００２５】ステップＳ２では、ＸＹステージ１０上の
半導体ウェハ１５の複数のペレットを斜光照明の下でＣ
ＣＤカメラ１７により撮像して得られた画像のアナログ
信号のレベルをある閾値を基準として二値化処理して濃
淡を表わすデジタル信号に変換し、このデジタル信号か
らなるペレット画像を認識処理して画像メモリに格納す
る。
半導体ウェハ１５の複数のペレットを斜光照明の下でＣ
ＣＤカメラ１７により撮像して得られた画像のアナログ
信号のレベルをある閾値を基準として二値化処理して濃
淡を表わすデジタル信号に変換し、このデジタル信号か
らなるペレット画像を認識処理して画像メモリに格納す
る。
【００２６】この際、ペレット画像の認識処理方法とし
て、例えば本願出願人の出願に係る特願昭５６−２３８
６８号（特開昭５７−１３７９７８号）の「パターン検
出装置」に開示されているように、入力データと予め用
意された基準データとの相関係数を計算し、この計算出
力から基準データと最もパターンが一致する入力データ
を判定する。このパターン検出装置の詳細は後述する。
て、例えば本願出願人の出願に係る特願昭５６−２３８
６８号（特開昭５７−１３７９７８号）の「パターン検
出装置」に開示されているように、入力データと予め用
意された基準データとの相関係数を計算し、この計算出
力から基準データと最もパターンが一致する入力データ
を判定する。このパターン検出装置の詳細は後述する。
【００２７】ステップＳ３では、前記画像メモリに記憶
された基準画像およびペレット画像をモニタ画面に表示
させ、図３に示すように、モニタ画面の中心部で、ウェ
ハ中心部における上下左右に隣接する４個のペレット画
像１５ａの中心と基準画像Ｒの中心とが一致するように
基準画像Ｒの位置を調整する。この位置調整後における
基準画像Ｒの第１の角部のモニタ画面上における座標位
置をＸ0 ，Ｙ0 （単位はピクセル）で表わす。
された基準画像およびペレット画像をモニタ画面に表示
させ、図３に示すように、モニタ画面の中心部で、ウェ
ハ中心部における上下左右に隣接する４個のペレット画
像１５ａの中心と基準画像Ｒの中心とが一致するように
基準画像Ｒの位置を調整する。この位置調整後における
基準画像Ｒの第１の角部のモニタ画面上における座標位
置をＸ0 ，Ｙ0 （単位はピクセル）で表わす。
【００２８】ステップＳ４では、ＸＹステージ１０をペ
レット配列方向のうちのＸ方向へ１ペレットピッチ分
（予め記憶させておく）だけ移動させるように制御し、
１ペレットピッチ分だけ移動後の位置で、図４に示すよ
うに、上下左右に隣接する４個のペレット画像１５ａの
中心と基準画像Ｒの中心とが一致するように再び基準画
像Ｒの位置を調整する。この位置調整後におけるモニタ
画面上の基準画像Ｒの第１の角部の座標位置をＸ1 ，Ｙ
1 （単位はピクセル）で表わす。
レット配列方向のうちのＸ方向へ１ペレットピッチ分
（予め記憶させておく）だけ移動させるように制御し、
１ペレットピッチ分だけ移動後の位置で、図４に示すよ
うに、上下左右に隣接する４個のペレット画像１５ａの
中心と基準画像Ｒの中心とが一致するように再び基準画
像Ｒの位置を調整する。この位置調整後におけるモニタ
画面上の基準画像Ｒの第１の角部の座標位置をＸ1 ，Ｙ
1 （単位はピクセル）で表わす。
【００２９】ステップＳ５では、次に示すチェビシェフ
の近似式を用いて、図５に示すように、ペレット配列方
向のうちのＸ方向における１ペレット間の傾き角度θを
自動的に算出する（ウェハの位置の回転位置を自動的に
検出する）。
の近似式を用いて、図５に示すように、ペレット配列方
向のうちのＸ方向における１ペレット間の傾き角度θを
自動的に算出する（ウェハの位置の回転位置を自動的に
検出する）。
【００３０】 θ[rad] ＝arctan（ΔＸ／ΔＹ） arctan（Ｘ）＝Ｃ1 ・Ｘ＋Ｃ3 ・Ｘ3 ＋Ｃ5 ・Ｘ5 ＋Ｃ
7 ・Ｘ7 但し、−１＜Ｘ＜１ Ｃ1 ＝０．９９９２１５ Ｃ3 ＝−０．３２１１９８ Ｃ5 ＝０．１４６２７７ Ｃ7 ＝−０．０３８９９７ とする。
7 ・Ｘ7 但し、−１＜Ｘ＜１ Ｃ1 ＝０．９９９２１５ Ｃ3 ＝−０．３２１１９８ Ｃ5 ＝０．１４６２７７ Ｃ7 ＝−０．０３８９９７ とする。
【００３１】ステップＳ６では、ステップＳ５で求めた
傾き角度θに基づいてＸＹステージ１０を駆動し、θが
零となるようにウェハ１５の傾きを自動的に補正する。
ステップＳ７では、図６に示すように、ＸＹステージ１
０をペレット配列方向のうちのＸ方向へｎペレットピッ
チ分（予め記憶させておく）だけ移動させるように制御
し、基準画像Ｒの位置を認識処理し、この認識処理され
たモニタ画面上の基準画像Ｒの座標位置をＸ2 ，Ｙ2 で
表わす。
傾き角度θに基づいてＸＹステージ１０を駆動し、θが
零となるようにウェハ１５の傾きを自動的に補正する。
ステップＳ７では、図６に示すように、ＸＹステージ１
０をペレット配列方向のうちのＸ方向へｎペレットピッ
チ分（予め記憶させておく）だけ移動させるように制御
し、基準画像Ｒの位置を認識処理し、この認識処理され
たモニタ画面上の基準画像Ｒの座標位置をＸ2 ，Ｙ2 で
表わす。
【００３２】ステップＳ８では、前記座標位置Ｘ1 ，Ｙ
1 およびＸ2 ，Ｙ2 および移動した画素数（ピクセル
数）に基づいて、ウェハ１５の傾き角度θを自動的に算
出し、この算出結果に基づいてウェハ１５の傾きを自動
的に補正する。
1 およびＸ2 ，Ｙ2 および移動した画素数（ピクセル
数）に基づいて、ウェハ１５の傾き角度θを自動的に算
出し、この算出結果に基づいてウェハ１５の傾きを自動
的に補正する。
【００３３】このように２点間の傾き角度θの算出およ
び算出結果に基づく傾きの補正処理を、組合わせが異な
る複数組の２点に対して順次行うことにより、ウェハ１
０のアライメント調整を完了する。
び算出結果に基づく傾きの補正処理を、組合わせが異な
る複数組の２点に対して順次行うことにより、ウェハ１
０のアライメント調整を完了する。
【００３４】以後のステップでは、上記のように回転位
置が補正されたウェハのペレットに対して認識処理を行
う。この際、初期設定として、ウェハ中心部における上
下左右に隣接する４個のペレット画像１５ａの中心と基
準画像Ｒの中心とが一致するように基準画像Ｒの位置を
自動的に調整する。
置が補正されたウェハのペレットに対して認識処理を行
う。この際、初期設定として、ウェハ中心部における上
下左右に隣接する４個のペレット画像１５ａの中心と基
準画像Ｒの中心とが一致するように基準画像Ｒの位置を
自動的に調整する。
【００３５】ステップＳ９では、ウェハ１５の中心位
置、半径の算出を行う。この場合、ＣＣＤカメラ１２の
最初の位置と予め用意されたシート引き伸ばし前の状態
におけるウェハ直径の値を用い、図９中に矢印で示すよ
うな順序で基準画像の位置を移動させてウェハ外周の４
点Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４を検出していく。
置、半径の算出を行う。この場合、ＣＣＤカメラ１２の
最初の位置と予め用意されたシート引き伸ばし前の状態
におけるウェハ直径の値を用い、図９中に矢印で示すよ
うな順序で基準画像の位置を移動させてウェハ外周の４
点Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４を検出していく。
【００３６】この際、上記４点のうちのある点から次の
点へ基準画像の位置を移動させる時、予め設定されたウ
ェハ直径値を用いるので、基準画像Ｒの位置の移動先が
ウェハの内側か外側かは予測できない。
点へ基準画像の位置を移動させる時、予め設定されたウ
ェハ直径値を用いるので、基準画像Ｒの位置の移動先が
ウェハの内側か外側かは予測できない。
【００３７】そこで、図９に示すウェハ１５中の例えば
中心点Ｐ０から点Ｐ１へ基準画像の位置を移動させる場
合を例にとると、もし、点Ｐ１でのペレット画像の認識
処理が可能である場合には、ウェハの外側方向へ１ペレ
ットピッチ分だけ移動してペレット画像の認識処理を行
う動作を、認識処理が不可能になるまで繰り返す。そし
て、最後に認識処理が可能であった位置をウェハ外周端
部と判定し、その結果（座標）を記憶させる。この時の
ペレット画像１５ａの変化の流れは、例えば図７、図８
の順序で示される。
中心点Ｐ０から点Ｐ１へ基準画像の位置を移動させる場
合を例にとると、もし、点Ｐ１でのペレット画像の認識
処理が可能である場合には、ウェハの外側方向へ１ペレ
ットピッチ分だけ移動してペレット画像の認識処理を行
う動作を、認識処理が不可能になるまで繰り返す。そし
て、最後に認識処理が可能であった位置をウェハ外周端
部と判定し、その結果（座標）を記憶させる。この時の
ペレット画像１５ａの変化の流れは、例えば図７、図８
の順序で示される。
【００３８】これに対して、点Ｐ１でのペレット画像１
５ａの認識処理が不可能である場合には、ウェハ１５の
内側方向へ１ペレットピッチ分だけ移動してペレット画
像１５ａの認識処理を行う動作を認識処理が可能になる
まで繰り返す。そして、最後に認識処理が可能であった
位置をウェハ外周端部と判定し、その結果（座標）を記
憶させる。この時のペレット画像１５ａの変化の流れ
は、前記図７、図８の順序を逆転した順序で示される。
５ａの認識処理が不可能である場合には、ウェハ１５の
内側方向へ１ペレットピッチ分だけ移動してペレット画
像１５ａの認識処理を行う動作を認識処理が可能になる
まで繰り返す。そして、最後に認識処理が可能であった
位置をウェハ外周端部と判定し、その結果（座標）を記
憶させる。この時のペレット画像１５ａの変化の流れ
は、前記図７、図８の順序を逆転した順序で示される。
【００３９】このような要領で、前記４点Ｐ１、Ｐ２、
Ｐ３、Ｐ４を検出し、この４点中の３点の４通りの組合
わせ（Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３）、（Ｐ１、Ｐ２、Ｐ４）、
（Ｐ１、Ｐ３、Ｐ４）、（Ｐ３、Ｐ２、Ｐ４）につい
て、図１０中に示すようなウェハの中心座標（Ｘ0 ，Ｙ
0 ）および半径ｒを次式により算出する。
Ｐ３、Ｐ４を検出し、この４点中の３点の４通りの組合
わせ（Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３）、（Ｐ１、Ｐ２、Ｐ４）、
（Ｐ１、Ｐ３、Ｐ４）、（Ｐ３、Ｐ２、Ｐ４）につい
て、図１０中に示すようなウェハの中心座標（Ｘ0 ，Ｙ
0 ）および半径ｒを次式により算出する。
【００４０】 Ｙ0 ＝（Ｋ2 −Ｋ1 ）／（Ｎ2 −Ｎ1 ） Ｘ0 ＝Ｋ2 −Ｎ2 ・Ｙ0 ｒ＝｛（Ｘ3 −Ｘ0 ）2 ＋（Ｙ3 −Ｙ0 ）2 ｝1/2 但し、 Ｋ1 ＝｛（Ｘ2 −Ｘ1 ）（Ｘ2 ＋Ｘ1 ）＋（Ｙ2 −Ｙ
1 ）（Ｙ2 ＋Ｙ1 ）｝／２（Ｘ2 −Ｘ1 ） Ｋ2 ＝｛（Ｘ3 −Ｘ1 ）（Ｘ3 ＋Ｘ1 ）＋（Ｙ3 −Ｙ
1 ）（Ｙ3 ＋Ｙ1 ）｝／２（Ｘ3 −Ｘ1 ） Ｎ2 ＝（Ｙ3 −Ｙ1 ）／（Ｘ3 −Ｘ1 ） Ｎ1 ＝（Ｙ2 −Ｙ1 ）／（Ｘ2 −Ｘ1 ） 上式において、半径ｒは、その算出値が最大になった３
点の組合わせの座標値を採用して算出し、中心座標（Ｘ
0 ，Ｙ0 ）は上記半径ｒの算出に採用された３点の座標
値を採用して算出する。
1 ）（Ｙ2 ＋Ｙ1 ）｝／２（Ｘ2 −Ｘ1 ） Ｋ2 ＝｛（Ｘ3 −Ｘ1 ）（Ｘ3 ＋Ｘ1 ）＋（Ｙ3 −Ｙ
1 ）（Ｙ3 ＋Ｙ1 ）｝／２（Ｘ3 −Ｘ1 ） Ｎ2 ＝（Ｙ3 −Ｙ1 ）／（Ｘ3 −Ｘ1 ） Ｎ1 ＝（Ｙ2 −Ｙ1 ）／（Ｘ2 −Ｘ1 ） 上式において、半径ｒは、その算出値が最大になった３
点の組合わせの座標値を採用して算出し、中心座標（Ｘ
0 ，Ｙ0 ）は上記半径ｒの算出に採用された３点の座標
値を採用して算出する。
【００４１】次に、ステップＳ１０では、半導体ペレッ
トのピックアップを行う。このピックアップ処理の初期
設定として、図１１に示すように、ＸＹステージを前記
ウェハの中心位置、半径の算出処理直後の位置から斜め
方向（例えば−Ｘ方向、Ｙ方向）に半ペレットピッチ分
だけ移動させ、ピックアップ開始位置とする。
トのピックアップを行う。このピックアップ処理の初期
設定として、図１１に示すように、ＸＹステージを前記
ウェハの中心位置、半径の算出処理直後の位置から斜め
方向（例えば−Ｘ方向、Ｙ方向）に半ペレットピッチ分
だけ移動させ、ピックアップ開始位置とする。
【００４２】また、このピックアップ処理に際して、図
１２中に示すように、それぞれ四角形の５つの基準画像
Ａ〜Ｅを表示するために必要な基準画像データを画像メ
モリに予め記憶させておく。この場合、基準画像Ａは位
置検出、基準画像Ａ、Ｂ、Ｃはベベル検出、基準画像Ｅ
は不良マーク検出のために参照する。
１２中に示すように、それぞれ四角形の５つの基準画像
Ａ〜Ｅを表示するために必要な基準画像データを画像メ
モリに予め記憶させておく。この場合、基準画像Ａは位
置検出、基準画像Ａ、Ｂ、Ｃはベベル検出、基準画像Ｅ
は不良マーク検出のために参照する。
【００４３】また、ペレットのピックアップ処理を進め
ていく際、前記したように算出したウェハ１５の中心位
置、半径の情報を参照しながら、次のペレットのピック
アップ位置へ移動する時にウェハ半径を越えないように
制御し、例えば図１３中に矢印で示すような順序でピッ
クアップ処理を行う。この場合、ウェハ外周部でペレッ
ト配列内でのピックアップ進行方向を自動的にＵターン
させており、ペレット群に対するピックアップ終了を自
動的に判断させている。
ていく際、前記したように算出したウェハ１５の中心位
置、半径の情報を参照しながら、次のペレットのピック
アップ位置へ移動する時にウェハ半径を越えないように
制御し、例えば図１３中に矢印で示すような順序でピッ
クアップ処理を行う。この場合、ウェハ外周部でペレッ
ト配列内でのピックアップ進行方向を自動的にＵターン
させており、ペレット群に対するピックアップ終了を自
動的に判断させている。
【００４４】図１４は、上記「パターン検出装置」の一
例を示すブロック図である。このパターン検出装置は、
濃淡を有する二次元のパターン入力データ３０の一部分
を切出す第１の切出し回路３１と、この第１の切出し回
路によって切出された部分データＰ（Ｘ）と予め用意さ
れて部分基準データ格納回路３３に格納されている部分
基準データＲ（Ｘ）とから次式（１）に示すように相関
係数ｆ（Ｘ）を計算する第１の相関係数計算回路３２
と、この第１の相関係数計算回路の出力から前記部分基
準データと最もパターンが一致する入力データを判定す
る第１の判定回路３４とを具備することを特徴とする。
例を示すブロック図である。このパターン検出装置は、
濃淡を有する二次元のパターン入力データ３０の一部分
を切出す第１の切出し回路３１と、この第１の切出し回
路によって切出された部分データＰ（Ｘ）と予め用意さ
れて部分基準データ格納回路３３に格納されている部分
基準データＲ（Ｘ）とから次式（１）に示すように相関
係数ｆ（Ｘ）を計算する第１の相関係数計算回路３２
と、この第１の相関係数計算回路の出力から前記部分基
準データと最もパターンが一致する入力データを判定す
る第１の判定回路３４とを具備することを特徴とする。
【００４５】なお、図１４において、入力データ３０
は、Ｘ方向にＭ個、Ｙ方向にＮ個のデータを有し、この
入力データ３０の一部分、例えば点Ｐ（Ｘ，Ｙ）のデー
タＰ（Ｘ＋０，Ｙ＋０）から点Ｐ（Ｘ＋ｍ，Ｙ＋０）ま
でのｍ個のデータ、点Ｐ（Ｘ＋０，Ｙ＋１）から点Ｐ
（Ｘ＋ｍ，Ｙ＋１）までのｍ個のデータ、以下同様に、
点Ｐ（Ｘ＋０，Ｙ＋ｉ）から点Ｐ（Ｘ＋ｍ，Ｙ＋ｉ）
（但し、ｉ＝３，…ｎ）までのそれぞれｍ個のデータよ
りなるｍ×ｎ個のデータ群が、下記の式に示すような部
分データＰ（Ｘ）として切り出される。
は、Ｘ方向にＭ個、Ｙ方向にＮ個のデータを有し、この
入力データ３０の一部分、例えば点Ｐ（Ｘ，Ｙ）のデー
タＰ（Ｘ＋０，Ｙ＋０）から点Ｐ（Ｘ＋ｍ，Ｙ＋０）ま
でのｍ個のデータ、点Ｐ（Ｘ＋０，Ｙ＋１）から点Ｐ
（Ｘ＋ｍ，Ｙ＋１）までのｍ個のデータ、以下同様に、
点Ｐ（Ｘ＋０，Ｙ＋ｉ）から点Ｐ（Ｘ＋ｍ，Ｙ＋ｉ）
（但し、ｉ＝３，…ｎ）までのそれぞれｍ個のデータよ
りなるｍ×ｎ個のデータ群が、下記の式に示すような部
分データＰ（Ｘ）として切り出される。
【００４６】
【数１】
【００４７】但し、Ｋは積分範囲であり、ｆ（Ｘ）は＋
１〜０〜−１の範囲の値をとり、一致度（類似度）が最
大の時に＋１の値になる。図１５は、図１４のパターン
検出装置の変形例を示すブロック図である。
１〜０〜−１の範囲の値をとり、一致度（類似度）が最
大の時に＋１の値になる。図１５は、図１４のパターン
検出装置の変形例を示すブロック図である。
【００４８】このパターン検出装置は、図１４に示した
パターン検出装置と比べて、さらに、前記入力データ３
０の平均値を求め、この入力データを縮小するデータ縮
小回路４１と、このデータ縮小回路によって縮小された
データ４２の一部分を切出し、縮小部分データを出力す
る第２の切出し回路４３と、この第２の切出し回路によ
って切出された縮小部分データと予め用意されて縮小基
準データ格納回路４５に格納されている縮小基準データ
との相関係数を前式（１）によって計算する第２の相関
係数計算回路４４と、この第２の相関係数計算回路の計
算結果に応じて、前記第１の切出し回路３１の切出し位
置を制御する第２の判定回路４６とを具備することを特
徴とする。
パターン検出装置と比べて、さらに、前記入力データ３
０の平均値を求め、この入力データを縮小するデータ縮
小回路４１と、このデータ縮小回路によって縮小された
データ４２の一部分を切出し、縮小部分データを出力す
る第２の切出し回路４３と、この第２の切出し回路によ
って切出された縮小部分データと予め用意されて縮小基
準データ格納回路４５に格納されている縮小基準データ
との相関係数を前式（１）によって計算する第２の相関
係数計算回路４４と、この第２の相関係数計算回路の計
算結果に応じて、前記第１の切出し回路３１の切出し位
置を制御する第２の判定回路４６とを具備することを特
徴とする。
【００４９】
【発明の効果】上述したように本発明によれば、半導体
ペレットマウント装置のＸＹステージ上に曖昧な状態の
傾き角度で取り付けられたスクライブ後のウェハに対し
て、傾き角度を自動的に算出して傾きを自動的に補正で
き、ウェハのアライメント調整の効率化を図り得る半導
体ウェハのアライメント方法を提供することができる。
ペレットマウント装置のＸＹステージ上に曖昧な状態の
傾き角度で取り付けられたスクライブ後のウェハに対し
て、傾き角度を自動的に算出して傾きを自動的に補正で
き、ウェハのアライメント調整の効率化を図り得る半導
体ウェハのアライメント方法を提供することができる。
【００５０】また、本発明によれば、半導体ペレットマ
ウント装置のＸＹステージ上に取り付けられたスクライ
ブ後のウェハからペレットをピックアップする際に、ウ
ェハ周辺部でもピックアップ位置を確実に検出でき、ペ
レットマウント装置のＸＹステージの動きの効率化、ひ
いてはペレットマウントの能率の向上を図り得る半導体
ペレットのピックアップ方法を提供することができる。
ウント装置のＸＹステージ上に取り付けられたスクライ
ブ後のウェハからペレットをピックアップする際に、ウ
ェハ周辺部でもピックアップ位置を確実に検出でき、ペ
レットマウント装置のＸＹステージの動きの効率化、ひ
いてはペレットマウントの能率の向上を図り得る半導体
ペレットのピックアップ方法を提供することができる。
【図１】本発明の半導体ウェハのアライメント方法およ
び半導体ペレットのピックアップ方法を実施するために
使用されるペレットマウント装置の一例を概略的に示す
斜視図。
び半導体ペレットのピックアップ方法を実施するために
使用されるペレットマウント装置の一例を概略的に示す
斜視図。
【図２】本発明の半導体ウェハのアライメント方法およ
び半導体ペレットのピックアップ方法の第１実施例にお
ける処理の流れを示すフローチャート。
び半導体ペレットのピックアップ方法の第１実施例にお
ける処理の流れを示すフローチャート。
【図３】図２中のステップＳ３におけるモニタ画面上の
表示画像の一例を示す図。
表示画像の一例を示す図。
【図４】図２中のステップＳ４におけるモニタ画面上の
表示画像の一例を示す図。
表示画像の一例を示す図。
【図５】図２中のステップＳ５におけるウェハの傾きの
補正処理の内容を示す図。
補正処理の内容を示す図。
【図６】図２中のステップＳ７におけるモニタ画面上の
表示画像の一例を示す図。
表示画像の一例を示す図。
【図７】図２中のステップＳ９におけるウェハの中心位
置、半径を算出する際のモニタ画面上の表示画像の一例
を示す図。
置、半径を算出する際のモニタ画面上の表示画像の一例
を示す図。
【図８】図２中のステップＳ９におけるウェハの中心位
置、半径を算出する際のモニタ画面上の表示画像の他の
例を示す図。
置、半径を算出する際のモニタ画面上の表示画像の他の
例を示す図。
【図９】図２中のステップＳ９におけるウェハの中心位
置、半径を算出する際のウェハ外周の検出処理を説明す
るために示す図。
置、半径を算出する際のウェハ外周の検出処理を説明す
るために示す図。
【図１０】図２中のステップＳ９におけるウェハの中心
位置、半径の算出処理を説明するために示す図。
位置、半径の算出処理を説明するために示す図。
【図１１】図２中のステップＳ１０におけるペレットの
ピックアップ処理を行うためにピックアップ開始位置を
設定する際のモニタ画面上の表示画像の一例を示す図。
ピックアップ処理を行うためにピックアップ開始位置を
設定する際のモニタ画面上の表示画像の一例を示す図。
【図１２】図２中のステップＳ１０におけるペレットの
ピックアップ処理を行う際のモニタ画面上の表示画像の
一例を示す図。
ピックアップ処理を行う際のモニタ画面上の表示画像の
一例を示す図。
【図１３】図２中のステップＳ１０におけるペレットの
ピックアップ処理の順序の一例を示す図。
ピックアップ処理の順序の一例を示す図。
【図１４】図２中のステップＳ２におけるペレット画像
の認識処理を行うために使用されるパターン検出装置の
一例を示すブロック図。
の認識処理を行うために使用されるパターン検出装置の
一例を示すブロック図。
【図１５】図１４のパターン検出装置の他の例を示すブ
ロック図。
ロック図。
１０…ＸＹステージ、１４…モータ駆動回路、１５…半
導体ウェハ、１６…光源、１７…ＣＣＤカメラ、１８…
カメラ制御装置、１９…画像処理装置、２０…画像モニ
タ装置、２１…ペレットピックアップ装置。
導体ウェハ、１６…光源、１７…ＣＣＤカメラ、１８…
カメラ制御装置、１９…画像処理装置、２０…画像モニ
タ装置、２１…ペレットピックアップ装置。
Claims (5)
- 【請求項１】 半導体素子形成後にシートに貼られた状
態でスクライブされて個々のペレットに分割された状態
の半導体ウェハを、前記シートを引き伸ばした状態で半
導体ペレットマウント装置のＸＹステージ上に取り付け
る第１ステップと、 上記ＸＹステージ上の半導体ウェハの複数のペレットを
テレビジョンカメラにより撮影して得たアナログ画像信
号のレベルをある閾値を基準として二値化処理して濃淡
を表わすデジタル画像信号に変換し、予め用意された四
角形の基準パターンを用いてペレット画像を認識処理し
て画像メモリに格納する第２ステップと、 この第２ステップにより得られたペレット画像に基づい
て前記半導体ウェハの傾き角度を算出し、この算出結果
に基づいて前記ＸＹステージを駆動して上記半導体ウェ
ハの傾きを補正するアライメント調整を自動的に行う第
３のステップとを具備することを特徴とする半導体ウェ
ハのアライメント方法。 - 【請求項２】 請求項１記載の半導体ウェハのアライメ
ント方法において、 前記アライメント調整を行う際、半導体ウェハ上の２点
間の傾きの補正処理を、組合わせが異なる複数組の２点
に対して順次行うことを特徴とする半導体ウェハのアラ
イメント方法。 - 【請求項３】 請求項１記載の半導体ウェハのアライメ
ント方法において、 前記ペレット画像を認識処理する際、入力データと予め
用意された基準データとの相関係数を計算し、この計算
出力から基準データと最もパターンが一致する入力デー
タを判定することを特徴とする半導体ウェハのアライメ
ント方法。 - 【請求項４】 半導体素子形成後にシートに貼られた状
態でスクライブされて個々のペレットに分割された状態
の半導体ウェハを、前記シートを引き伸ばした状態で半
導体ペレットマウント装置のＸＹステージ上に取り付け
る第１ステップと、 上記ＸＹステージ上の半導体ウェハの複数のペレットを
テレビジョンカメラにより撮影して得たアナログ画像信
号のレベルをある閾値を基準として二値化処理して濃淡
を表わすデジタル画像信号に変換し、予め用意された四
角形の基準パターンを用いてペレット画像を認識処理し
て画像メモリに格納する第２ステップと、 この第２ステップにより得られたペレット画像に基づい
て前記半導体ウェハの傾き角度を算出し、この算出結果
に基づいて前記ＸＹステージを駆動して上記半導体ウェ
ハの傾きを補正するアライメント調整を自動的に行う第
３のステップと、 前記基準画像の位置を移動させてウェハ外周の４点の座
標値を検出し、この座標値に基づいて前記半導体ウェハ
の中心位置および半径を自動的に算出する第４のステッ
プと、 この第４ステップの終了後に前記ＸＹステージを移動さ
せて半導体ペレットのピックアップ開始位置を設定し、
前記半導体ウェハの中心位置、半径の算出結果および予
め用意された複数の基準画像を参照しながら半導体ペレ
ットのピックアップ処理を順次進めていく第５のステッ
プとを具備することを特徴とする半導体ペレットのピッ
クアップ方法。 - 【請求項５】 請求項４記載の半導体ペレットのピック
アップ方法において、 前記半導体ウェハの中心位置、半径の算出結果を使用し
て、上記半導体ウェハ外周部で半導体ペレット配列内で
のピックアップ進行方向を自動的にＵターンさせること
を特徴とする半導体ペレットのピックアップ方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01103494A JP3529820B2 (ja) | 1994-02-02 | 1994-02-02 | 半導体ペレットのピックアップ方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01103494A JP3529820B2 (ja) | 1994-02-02 | 1994-02-02 | 半導体ペレットのピックアップ方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07221164A true JPH07221164A (ja) | 1995-08-18 |
| JP3529820B2 JP3529820B2 (ja) | 2004-05-24 |
Family
ID=11766789
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP01103494A Expired - Fee Related JP3529820B2 (ja) | 1994-02-02 | 1994-02-02 | 半導体ペレットのピックアップ方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3529820B2 (ja) |
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-
1994
- 1994-02-02 JP JP01103494A patent/JP3529820B2/ja not_active Expired - Fee Related
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