JPH07224301A - 機械的合金化粉末の製造方法および機械的合金化装置 - Google Patents
機械的合金化粉末の製造方法および機械的合金化装置Info
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- JPH07224301A JPH07224301A JP6017133A JP1713394A JPH07224301A JP H07224301 A JPH07224301 A JP H07224301A JP 6017133 A JP6017133 A JP 6017133A JP 1713394 A JP1713394 A JP 1713394A JP H07224301 A JPH07224301 A JP H07224301A
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- mechanical alloying
- powder
- container
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- Manufacture Of Metal Powder And Suspensions Thereof (AREA)
- Powder Metallurgy (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明の目的は、高品質の機械的合金化粉末
を工業的規模で効率良く製造することである。 【構成】 酸化物粒子と金属粉末または異種金属粉末を
機械的に混合、合金化して作る機械的合金化粉末の製造
方法において、機械的合金化過程の雰囲気温度を200℃
以下に保つことを特徴とする。前記雰囲気温度制御は、
液体窒素、液体ヘリウム蒸気または室温以下に冷却した
アルゴン等の不活性ガスを用いる。本発明の機械的合金
化装置は、粉末撹拌容器の上部または撹拌子に前記冷却
ガスを供給するための孔を有する。
を工業的規模で効率良く製造することである。 【構成】 酸化物粒子と金属粉末または異種金属粉末を
機械的に混合、合金化して作る機械的合金化粉末の製造
方法において、機械的合金化過程の雰囲気温度を200℃
以下に保つことを特徴とする。前記雰囲気温度制御は、
液体窒素、液体ヘリウム蒸気または室温以下に冷却した
アルゴン等の不活性ガスを用いる。本発明の機械的合金
化装置は、粉末撹拌容器の上部または撹拌子に前記冷却
ガスを供給するための孔を有する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は分散強化合金及びアモル
ファス合金及び金属間化合物等を製造する時に用いる機
械的合金化粉末の製造方法及び機械的合金化装置に関す
る。
ファス合金及び金属間化合物等を製造する時に用いる機
械的合金化粉末の製造方法及び機械的合金化装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】機械的合金化法は異種粉末材料を固体状
態のまま原子レベルまで均一、微細に分散、混合させる
ことが可能であり、近年、分散強化合金、アモルファス
合金及び金属間化合物といった新材料開発に応用されて
いる。例えば金属マトリクス中にナノ・メートル・サイ
ズのセラミック粒子を微細に分散させた分散強化合金は
耐熱材料や耐摩耗材料として既に実用化されている。ま
た、金属原子がショート・レンジで配列したアモルファ
ス合金は従来液体急冷法により製作していたため箔状の
リボン形状しか得られなかったが、この機械的合金化法
を用いることにより粒子形状のアモルファス合金が製造
可能となり、磁性材料、水素貯蔵材料等としての利用が
期待されている。さらに、異種金属原子が規則正しく配
列した金属間化合物は次世代の耐熱材料としても有効で
ある。
態のまま原子レベルまで均一、微細に分散、混合させる
ことが可能であり、近年、分散強化合金、アモルファス
合金及び金属間化合物といった新材料開発に応用されて
いる。例えば金属マトリクス中にナノ・メートル・サイ
ズのセラミック粒子を微細に分散させた分散強化合金は
耐熱材料や耐摩耗材料として既に実用化されている。ま
た、金属原子がショート・レンジで配列したアモルファ
ス合金は従来液体急冷法により製作していたため箔状の
リボン形状しか得られなかったが、この機械的合金化法
を用いることにより粒子形状のアモルファス合金が製造
可能となり、磁性材料、水素貯蔵材料等としての利用が
期待されている。さらに、異種金属原子が規則正しく配
列した金属間化合物は次世代の耐熱材料としても有効で
ある。
【0003】一般に、このような機械的合金化は図4に
示すような撹拌式ボールミルや振動式ボールミルといっ
た高エネルギータイプのボールミルによって行うが、そ
の原理は図3に示すように、容器内に直径10mm程度の金
属製またはセラミック製のボール8と粒径数ミクロンの
異なった種類の粉末状素材10,11を不活性ガス中に密閉
し、アーム5のついたアジテータとよばれる撹拌子2を
高速で回転させることによりボール8どうしを衝突さ
せ、ボール間に挟まれた異種粉末素材10,11が冷間接合
と粉砕を繰返すことにより均一・微細に混合した機械的
合金化粉末を得る。その後、用途によってはこの機械的
合金化粉末をホットプレートやHIP(熱間等方圧加圧
法)により加圧焼結したり、金属製カプセルの中に真空
封入し熱間押出し等の塑性加工を用いて焼結部材を製造
している。
示すような撹拌式ボールミルや振動式ボールミルといっ
た高エネルギータイプのボールミルによって行うが、そ
の原理は図3に示すように、容器内に直径10mm程度の金
属製またはセラミック製のボール8と粒径数ミクロンの
異なった種類の粉末状素材10,11を不活性ガス中に密閉
し、アーム5のついたアジテータとよばれる撹拌子2を
高速で回転させることによりボール8どうしを衝突さ
せ、ボール間に挟まれた異種粉末素材10,11が冷間接合
と粉砕を繰返すことにより均一・微細に混合した機械的
合金化粉末を得る。その後、用途によってはこの機械的
合金化粉末をホットプレートやHIP(熱間等方圧加圧
法)により加圧焼結したり、金属製カプセルの中に真空
封入し熱間押出し等の塑性加工を用いて焼結部材を製造
している。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
機械的合金化過程においては容器内に充填された数1000
個のボール8が毎秒数100 回転の高速で回転する撹拌子
2により長時間に渡り掻回されるため、ボール8と撹拌
子2及びボール8どうしの衝突、摩擦により発生する熱
により容器内の雰囲気温度は数 100℃の高温に上昇す
る。したがって、容器内部は通常Ar,N2 等の不活性
ガスでシールし粉末材料の酸化を避けると共に、容器片
面を水冷することにより容器内温度の上昇を抑制してい
る。これは容器内温度の上昇と共に金属粉末の延性が増
大し、ボール表面やアーム表面に凝着し異種粉末が単に
積層されたような組織の粉末しか得られず、本来の目的
である異種粉末が微細混合した機械的合金化粉末が得ら
れないだけでなく、銅、アルミニウム、ステンレス鋼の
ように軟化温度が低く軟らかい金属材料の場合には全て
の金属粉末がボール表面やアーム表面に凝着し機械的合
金化粉末として回収できない。従来、このような延性に
富んだ金属材料の場合には凝着抑制剤としてヘプタンや
アルコール等の有機溶剤を少量添加することが有効であ
ることが知られている。しかし、機械的合金化過程で粒
子内部に取込まれた有機溶剤はその後の乾燥工程で蒸
発、除去することができず、焼結過程で金属元素と反応
し炭化物を形成する。このような炭化物を形成しやすい
合金元素としてはCr、Mo、Ti、V、W等があり、
例えばステンレス鋼の場合ではCr炭化物の生成により
マトリクス中のCr濃度が著しく低下し、耐食性、耐S
CC性を著しく低下させる。同様にMo濃度の低下は粒
界脆化を引起こし、W等の固溶強化元素の欠乏は高温強
度を低下させると共に材料の靭性をも著しく阻害する。
したがって、このような合金元素を含む材料では有機溶
剤を添加するような方法で金属粉末の凝着を防止するこ
とはできない。一方、特公平1−48321 号公報において
は、容器内壁温度を80℃以下に制御する方法も提案され
ているが、実際、容器壁面温度を80℃以下制御してもボ
ールと撹拌子の衝突が起こる容器内部の温度はほとんど
制御できず、特に工業的規模の製造で用いるような径の
大きい容器を備えた機械的合金化装置の場合には、容器
壁面温度を制御しても著しい金属粉末の凝着が起こるこ
とが確認されている。本発明の目的は、高品質の機械的
合金化粉末を工業的規模で効率良く製造する方法及びそ
の装置を提供するものである。
機械的合金化過程においては容器内に充填された数1000
個のボール8が毎秒数100 回転の高速で回転する撹拌子
2により長時間に渡り掻回されるため、ボール8と撹拌
子2及びボール8どうしの衝突、摩擦により発生する熱
により容器内の雰囲気温度は数 100℃の高温に上昇す
る。したがって、容器内部は通常Ar,N2 等の不活性
ガスでシールし粉末材料の酸化を避けると共に、容器片
面を水冷することにより容器内温度の上昇を抑制してい
る。これは容器内温度の上昇と共に金属粉末の延性が増
大し、ボール表面やアーム表面に凝着し異種粉末が単に
積層されたような組織の粉末しか得られず、本来の目的
である異種粉末が微細混合した機械的合金化粉末が得ら
れないだけでなく、銅、アルミニウム、ステンレス鋼の
ように軟化温度が低く軟らかい金属材料の場合には全て
の金属粉末がボール表面やアーム表面に凝着し機械的合
金化粉末として回収できない。従来、このような延性に
富んだ金属材料の場合には凝着抑制剤としてヘプタンや
アルコール等の有機溶剤を少量添加することが有効であ
ることが知られている。しかし、機械的合金化過程で粒
子内部に取込まれた有機溶剤はその後の乾燥工程で蒸
発、除去することができず、焼結過程で金属元素と反応
し炭化物を形成する。このような炭化物を形成しやすい
合金元素としてはCr、Mo、Ti、V、W等があり、
例えばステンレス鋼の場合ではCr炭化物の生成により
マトリクス中のCr濃度が著しく低下し、耐食性、耐S
CC性を著しく低下させる。同様にMo濃度の低下は粒
界脆化を引起こし、W等の固溶強化元素の欠乏は高温強
度を低下させると共に材料の靭性をも著しく阻害する。
したがって、このような合金元素を含む材料では有機溶
剤を添加するような方法で金属粉末の凝着を防止するこ
とはできない。一方、特公平1−48321 号公報において
は、容器内壁温度を80℃以下に制御する方法も提案され
ているが、実際、容器壁面温度を80℃以下制御してもボ
ールと撹拌子の衝突が起こる容器内部の温度はほとんど
制御できず、特に工業的規模の製造で用いるような径の
大きい容器を備えた機械的合金化装置の場合には、容器
壁面温度を制御しても著しい金属粉末の凝着が起こるこ
とが確認されている。本発明の目的は、高品質の機械的
合金化粉末を工業的規模で効率良く製造する方法及びそ
の装置を提供するものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記問題点は機械的合金
化過程においてボールと撹拌子及びボールどうしの衝
突、摩擦により発生する熱により容器内の雰囲気温度が
著しく上昇し、その結果、金属粉末が軟化しボールと撹
拌子に凝着するために生じるものである。したがって、
容器内の雰囲気温度を適正に制御できれば機械的合金化
過程において金属粉末がボールや撹拌子に凝着せず、良
好な機械的合金化がおこり、異種材料が均一、微細に混
合された機械的合金化粉末が、初期の投入量に近い量で
回収可能になる。
化過程においてボールと撹拌子及びボールどうしの衝
突、摩擦により発生する熱により容器内の雰囲気温度が
著しく上昇し、その結果、金属粉末が軟化しボールと撹
拌子に凝着するために生じるものである。したがって、
容器内の雰囲気温度を適正に制御できれば機械的合金化
過程において金属粉末がボールや撹拌子に凝着せず、良
好な機械的合金化がおこり、異種材料が均一、微細に混
合された機械的合金化粉末が、初期の投入量に近い量で
回収可能になる。
【0006】発明者らは容器内の雰囲気温度を適正に制
御する方法を見出だすべく種々の実験を行った結果、工
業的規模で機械的合金化粉末を製造できるような大形容
器の場合、容器内温度を容器の壁面を冷却する方法では
ほとんで効果がなく、容器内部に直接冷却ガスを導入す
ることが有効であることが分かった。しかし、機械的合
金化過程での発熱量が著しく大きいため、通常の高圧ボ
ンベからAr等の不活性ガスを導入して冷却方法では、
毎分数10l以上のガス量が必要であり、このような多量
のガスを流した場合には容器内の金属粉末が飛散し、ガ
スと共に容器外に流出してしまうため実用的ではない。
したがって、液体窒素蒸気または冷却装置により室温以
下に冷却した不活性ガスを用いることが有効である。ま
た、このような冷却ガスの供給方法としては、容器内は
充填されたボールが高速で移動するため、容器内壁面に
冷却ガス導入口を設けることは導入口がボールとの衝突
により磨滅してしまうため不可能である。また、一般に
は容器内の雰囲気制御のため容器蓋上面にはガス導入孔
が設けられているが、実際、ボールと撹拌子及びボール
どうしが衝突する容器中央部を冷却することは困難であ
る。そこで、容器中央部を効果的に冷却するための冷却
孔を設ける位置としては周速度の最も小さい撹拌子のシ
ャフト及び同じく撹拌子のアーム部の裏側に小さな径の
冷却孔を多数設けることが効果的である。
御する方法を見出だすべく種々の実験を行った結果、工
業的規模で機械的合金化粉末を製造できるような大形容
器の場合、容器内温度を容器の壁面を冷却する方法では
ほとんで効果がなく、容器内部に直接冷却ガスを導入す
ることが有効であることが分かった。しかし、機械的合
金化過程での発熱量が著しく大きいため、通常の高圧ボ
ンベからAr等の不活性ガスを導入して冷却方法では、
毎分数10l以上のガス量が必要であり、このような多量
のガスを流した場合には容器内の金属粉末が飛散し、ガ
スと共に容器外に流出してしまうため実用的ではない。
したがって、液体窒素蒸気または冷却装置により室温以
下に冷却した不活性ガスを用いることが有効である。ま
た、このような冷却ガスの供給方法としては、容器内は
充填されたボールが高速で移動するため、容器内壁面に
冷却ガス導入口を設けることは導入口がボールとの衝突
により磨滅してしまうため不可能である。また、一般に
は容器内の雰囲気制御のため容器蓋上面にはガス導入孔
が設けられているが、実際、ボールと撹拌子及びボール
どうしが衝突する容器中央部を冷却することは困難であ
る。そこで、容器中央部を効果的に冷却するための冷却
孔を設ける位置としては周速度の最も小さい撹拌子のシ
ャフト及び同じく撹拌子のアーム部の裏側に小さな径の
冷却孔を多数設けることが効果的である。
【0007】
【作用】上記方法により、容器内に撹拌子のシャフト及
び同じく撹拌子のアーム部から液体窒素気のような低温
の冷却ガスを導入することにより容器内温度を一定の値
に保つことが可能となり、機械的合金化過程における金
属粉末のボールや撹拌子表面への凝着をほぼ完全に防止
することができる。その結果、粉末材料には常にボール
間で冷間接合と粉砕を繰返される良好な機械的合金化作
用を受けることが可能となり、異種元素が均一・微細に
混合された球状の機械的合金化粉末を初期の粉末投入量
に近い量で回収、製品化することができる。なお、容器
内の温度は金属粉末材料の軟化特性や組成、撹拌子の回
転数等によって異なるが、発明者の実験結果ではステン
レス鋼等の鉄系材料では 200℃以下、銅、アルミニウム
系材料では 100℃以下が好ましい。
び同じく撹拌子のアーム部から液体窒素気のような低温
の冷却ガスを導入することにより容器内温度を一定の値
に保つことが可能となり、機械的合金化過程における金
属粉末のボールや撹拌子表面への凝着をほぼ完全に防止
することができる。その結果、粉末材料には常にボール
間で冷間接合と粉砕を繰返される良好な機械的合金化作
用を受けることが可能となり、異種元素が均一・微細に
混合された球状の機械的合金化粉末を初期の粉末投入量
に近い量で回収、製品化することができる。なお、容器
内の温度は金属粉末材料の軟化特性や組成、撹拌子の回
転数等によって異なるが、発明者の実験結果ではステン
レス鋼等の鉄系材料では 200℃以下、銅、アルミニウム
系材料では 100℃以下が好ましい。
【0008】
【実施例】以下、本発明の実施例を図1乃至図3を参照
して説明する。図1は本発明に係わる機械的合金化装置
の構造を示すもので、本体に固定された二重構造の金属
製容器1とモータに連結された撹拌子2から構成されて
いる。金属製容器の上部には容器内の雰囲気を一定に保
つための蓋3が取付けられており、容器本体は水冷され
ている。一方、撹拌子2はシャフト4とアーム5から構
成され、その表面には図2に示すように多数の微細な冷
却孔6が設けられている。冷却用のArガスは冷却装置
により低温に冷却した後、蓋上部のガス導入孔7及びシ
ャフト4を経由して冷却孔6から容器内に導入される。
また、容器内には直径10mmの金属製ボール8が充填され
ており、機械的合金化を行うステンレス鋼粉末9とアル
ミナ粉末10を入れ不活性ガス雰囲気中に密閉されてい
る。
して説明する。図1は本発明に係わる機械的合金化装置
の構造を示すもので、本体に固定された二重構造の金属
製容器1とモータに連結された撹拌子2から構成されて
いる。金属製容器の上部には容器内の雰囲気を一定に保
つための蓋3が取付けられており、容器本体は水冷され
ている。一方、撹拌子2はシャフト4とアーム5から構
成され、その表面には図2に示すように多数の微細な冷
却孔6が設けられている。冷却用のArガスは冷却装置
により低温に冷却した後、蓋上部のガス導入孔7及びシ
ャフト4を経由して冷却孔6から容器内に導入される。
また、容器内には直径10mmの金属製ボール8が充填され
ており、機械的合金化を行うステンレス鋼粉末9とアル
ミナ粉末10を入れ不活性ガス雰囲気中に密閉されてい
る。
【0009】機械的合金化処理は撹拌子を毎分数 100回
転で数10時間回転させ、容器内の金属製ボールを撹拌す
ることによりボールどうしを衝突させる。その間、図3
に示すようにボールとボールの間で異種粉末素材を圧延
し、粉砕を繰り返すことにより直径数 100ミクロン程度
の機械的合金化粉末を製造する。得られた機械的合金化
粉末は金属製のカプセルに真空封入し、熱間押し出しに
より固化する。
転で数10時間回転させ、容器内の金属製ボールを撹拌す
ることによりボールどうしを衝突させる。その間、図3
に示すようにボールとボールの間で異種粉末素材を圧延
し、粉砕を繰り返すことにより直径数 100ミクロン程度
の機械的合金化粉末を製造する。得られた機械的合金化
粉末は金属製のカプセルに真空封入し、熱間押し出しに
より固化する。
【0010】以上のように容器1を水冷すると共に容器
上部のガス導入孔7及び撹拌子2のシャフト4、アーム
6から低温の冷却ガス11を導入することにより容器内温
度を一定の値に保つことが可能となり、機械的合金化過
程においてステンレス鋼粉末がボールや撹拌子表面に凝
着することを完全に防止することができる。その結果、
ステンレス鋼粉末は常にボール間で冷間接合と粉砕を繰
返されると同時にステンレス鋼粉末中にアルミナ粉末が
混入される。このような状態を繰り返すことにより、ス
テンレス鋼マトリクス中にサブミクロンのアルミナ粒子
が均一、微細に分散された機械的合金化粉末が得られ
る。
上部のガス導入孔7及び撹拌子2のシャフト4、アーム
6から低温の冷却ガス11を導入することにより容器内温
度を一定の値に保つことが可能となり、機械的合金化過
程においてステンレス鋼粉末がボールや撹拌子表面に凝
着することを完全に防止することができる。その結果、
ステンレス鋼粉末は常にボール間で冷間接合と粉砕を繰
返されると同時にステンレス鋼粉末中にアルミナ粉末が
混入される。このような状態を繰り返すことにより、ス
テンレス鋼マトリクス中にサブミクロンのアルミナ粒子
が均一、微細に分散された機械的合金化粉末が得られ
る。
【0011】表1には容器内温度を変えて機械的合金化
処理を行ったアルミナ粒子分散ステンレス鋼について、
機械的合金化処理後の製品回収量と得られた機械的合金
化粉末を熱間押し出しにより固化した焼結体の引張強さ
を示す。
処理を行ったアルミナ粒子分散ステンレス鋼について、
機械的合金化処理後の製品回収量と得られた機械的合金
化粉末を熱間押し出しにより固化した焼結体の引張強さ
を示す。
【0012】容器内壁のみ冷却する従来方法Iでは製品
回収量が約1kgと初期粉末投入量の10%程度の重量しか
回収できず、また、ステンレス鋼中のアルミナ粒子が偏
在しているため、引張強さも80kgf/mm2 と通常のステン
レス鋼の 1.3倍程度の強度しか有していない。また、凝
集防止材として少量のヘプタンを添加した従来方法II
では製品回収量が約9kgと初期粉末投入量の90%程度
が回収されているが、Cr炭化物の形成されたため引張
強さが60kgf/mm2 と通常のステンレス鋼とほぼ同じ強度
であった。一方、蓋上部のガス導入孔から低温の冷却ガ
スを導入することにより容器内の温度を 200℃程度に保
った実施例Iでは製品回収量が約6kgと初期粉末投入量
の60%が回収でき、かつ、引張強さも 110kgf/mm2 と通
常のステンレス鋼の 1.8倍程度の強度を有していた。さ
らに、撹拌子からも低温の冷却ガスを導入し容器内の温
度を 150℃以下にした実施例IIでは約9kgの製品が回収
でき、引張強さも 120kgf/mm2 と最も高い値を示した。
この試験片の組織を調査した結果、ステンレス鋼マトリ
クス中に粒径 0.1ミクロン以下の微細なアルミナ粒子が
均一に分散されており、また、Cr炭化物のような析出
物も観察されず良好な組織を呈していた。
回収量が約1kgと初期粉末投入量の10%程度の重量しか
回収できず、また、ステンレス鋼中のアルミナ粒子が偏
在しているため、引張強さも80kgf/mm2 と通常のステン
レス鋼の 1.3倍程度の強度しか有していない。また、凝
集防止材として少量のヘプタンを添加した従来方法II
では製品回収量が約9kgと初期粉末投入量の90%程度
が回収されているが、Cr炭化物の形成されたため引張
強さが60kgf/mm2 と通常のステンレス鋼とほぼ同じ強度
であった。一方、蓋上部のガス導入孔から低温の冷却ガ
スを導入することにより容器内の温度を 200℃程度に保
った実施例Iでは製品回収量が約6kgと初期粉末投入量
の60%が回収でき、かつ、引張強さも 110kgf/mm2 と通
常のステンレス鋼の 1.8倍程度の強度を有していた。さ
らに、撹拌子からも低温の冷却ガスを導入し容器内の温
度を 150℃以下にした実施例IIでは約9kgの製品が回収
でき、引張強さも 120kgf/mm2 と最も高い値を示した。
この試験片の組織を調査した結果、ステンレス鋼マトリ
クス中に粒径 0.1ミクロン以下の微細なアルミナ粒子が
均一に分散されており、また、Cr炭化物のような析出
物も観察されず良好な組織を呈していた。
【0013】
【表1】
【0014】
【発明の効果】以上の結果から、本発明により低温の冷
却ガスを容器内に均一に導入し、容器内温度を 200℃以
下に保つことで金属粉末がボールや撹拌子に凝着するこ
とを防止することにより、異種粉末材料を均一・微細に
分散させることが可能となり高強度の焼結部材が得られ
るだけでなく、合わせて製品の回収率も著しく向上させ
ることが可能である。
却ガスを容器内に均一に導入し、容器内温度を 200℃以
下に保つことで金属粉末がボールや撹拌子に凝着するこ
とを防止することにより、異種粉末材料を均一・微細に
分散させることが可能となり高強度の焼結部材が得られ
るだけでなく、合わせて製品の回収率も著しく向上させ
ることが可能である。
【図1】本発明に関わる機械的合金化装置の構造図
【図2】本発明に関わる機械的合金化装置の詳細構造図
【図3】機械的合金化の原理説明図
【図4】従来の撹拌式機械的合金化装置の構造図
1…容器 2…撹拌子 5…アーム 6…冷却孔 8…ボール
Claims (3)
- 【請求項1】 酸化物粒子と金属粉末または異種金属粉
末を機械的に混合、合金化して作る機械的合金化粉末の
製造方法において、機械的合金化過程の雰囲気温度を 2
00℃以下に保つことを特徴とする機械的合金化粉末の製
造方法。 - 【請求項2】 前記雰囲気温度を制御する方法として、
液体窒素、液体ヘリウム蒸気または室温以下に冷却した
アルゴン等の不活性ガスを用いることを特徴とする請求
項1に記載の機械的合金化粉末の製造方法。 - 【請求項3】 粉末撹拌容器の上部または撹拌子に前記
冷却ガスを供給するための孔を有することを特徴とする
機械的合金化装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6017133A JPH07224301A (ja) | 1994-02-14 | 1994-02-14 | 機械的合金化粉末の製造方法および機械的合金化装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6017133A JPH07224301A (ja) | 1994-02-14 | 1994-02-14 | 機械的合金化粉末の製造方法および機械的合金化装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07224301A true JPH07224301A (ja) | 1995-08-22 |
Family
ID=11935538
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6017133A Pending JPH07224301A (ja) | 1994-02-14 | 1994-02-14 | 機械的合金化粉末の製造方法および機械的合金化装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07224301A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007090157A (ja) * | 2005-09-27 | 2007-04-12 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 燃料電池用カソード電極触媒及びこれを用いた燃料電池 |
| JP2012072467A (ja) * | 2010-09-29 | 2012-04-12 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | Cu−Ga合金スパッタリングターゲット及びCu−Ga合金スパッタリングターゲットの製造方法 |
| JP2012072468A (ja) * | 2010-09-29 | 2012-04-12 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | Cu−Ga合金スパッタリングターゲット及びCu−Ga合金スパッタリングターゲットの製造方法 |
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| CN115401207A (zh) * | 2022-07-23 | 2022-11-29 | 杭州新川新材料有限公司 | 混合金属粉末的生产装置 |
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1994
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