JPH0722495A

JPH0722495A - ウェーハ姿勢合わせ装置

Info

Publication number: JPH0722495A
Application number: JP18445193A
Authority: JP
Inventors: Eiji Hosaka; 英二保坂; Hideki Kaihatsu; 秀樹開発; Hisashi Yoshida; 久志吉田; Kazuto Ikeda; 和人池田
Original assignee: Kokusai Electric Co Ltd
Current assignee: Kokusai Denki Electric Inc
Priority date: 1993-06-29
Filing date: 1993-06-29
Publication date: 1995-01-24

Abstract

(57)【要約】（修正有）【目的】半導体製造装置に於いて機構を簡略化し、製作
調整を容易にし、更にウェーハ姿勢合わせの完了確認を
行えるウェーハ姿勢合わせ装置を提供する。【構成】オリエンテーションローラ１９とサイドロッド
ローラ３０の中心間距離をウェーハのオリエンテーショ
ンフラット直線部長さ以下とし、或は少なくともオリエ
ンテーションローラの両端近傍に光センサを設け、該セ
ンサの光軸をウェーハのオリエンテーションフラット欠
切部に位置させ、オリエンテーションローラとサイドロ
ッドローラをウェーハに当接させた状態でオリエンテー
ションローラを回転させてウェーハを回転し、ウェーハ
のオリエンテーションフラット３２をサイドロッドロー
ラに当接させることでウェーハの回転を阻止して姿勢合
わせをし、或は光センサがウェーハのオリエンテーショ
ンフラット欠切部の有無を検知することで姿勢合わせの
完了を判断する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は半導体製造装置に於ける
ウェーハ姿勢合わせ装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】シリコンウェーハ表面に各種薄膜の生
成、エッチング等行って回路形成し、半導体素子を形成
する。前記ウェーハは単結晶シリコンで形成されている
為、ウェーハ自体に方向性がある。この為、ウェーハの
カッティング、ウェーハ上への回路形成は結晶の方位に
合わせる必要がある。ウェーハには結晶の方位性を知る
為の手段としてオリエンテーションフラットが設けられ
ている。

【０００３】オリエンテーションフラットは円板形状の
１箇所を切削し、短弦を形成したものである。ウェーハ
に各種処理がなされる場合は、前記オリエンテーション
フラットを利用して姿勢合わせが行われる。ウェーハの
姿勢合わせの必要性は、上記各種処理上の問題の外に、
処理後のウェーハの膜厚分布等から逆に反応炉内の状態
を知るデータが得られ、或はウェーハを周縁で支持する
場合に支持箇所がオリエンテーションフラットと一致し
ない様にする等の理由から生じる。

【０００４】従来のウェーハ姿勢合わせ装置について図
１５〜図１８により説明する。

【０００５】図１５は半導体製造装置の前方からの部分
斜視図であり、図中１はウェーハカセット挿脱窓であ
る。該ウェーハカセット挿脱窓１に臨接してカセット授
受装置２が設けられ、該カセット授受装置２にウェーハ
姿勢合わせ装置３が組込まれている。ウェーハ５の搬送
はウェーハカセットに装填された状態で行われる。

【０００６】前記カセット授受装置２は、ウェーハカセ
ット４を受載するカセットポートを２組有し、該カセッ
トポートは半導体製造装置前面と平行な水平軸を中心に
反転可能であり、カセット授受装置２の背面側に設けら
れた図示しないカセットローダにウェーハカセット４を
移載可能であり、更にカセットローダはカセットストッ
カに（いずれも図示せず）移載可能となっている。

【０００７】外部搬送装置によりウェーハカセット４を
前記カセット授受装置２のカセットポートに授載し、該
カセット授受装置２は前記ウェーハカセット４を固定保
持する。この状態で前記ウェーハ姿勢合わせ装置３によ
りウェーハカセット４内のウェーハの姿勢合わせが行わ
れる。

【０００８】図１６は従来のウェーハ姿勢合わせ装置３
を示す斜視図である。

【０００９】垂直基板６にスライダ７が垂直方向に摺動
自在に設けられ、前記垂直基板６に台座８が突設され、
該台座８に昇降シリンダ９が設らけ、該昇降シリンダ９
のロッド１０先端は前記スライダ７の下端に連結され
る。又、前記垂直基板６に垂直支持板１１を設け、該垂
直支持板１１に下位置検出センサ１２、上位置検出セン
サ１３を設け、前記スライダ７には検出片１４を設け
る。該検出片１４が前記下位置検出センサ１２又は上位
置検出センサ１３と協働することで前記スライダ７の上
昇下降が検出される様になっている。

【００１０】前記スライダ７の上端には水平方向（ウェ
ーハカセットに装填されたウェーハに対して垂直方向）
に延びる昇降プレート１５が固着され、該昇降プレート
１５の一端に軸受板１６、他端にギアボックス１７が設
けられ、該ギアボックス１７と前記軸受板１６に掛渡さ
れ２本のオリエンテーションローラ１８，１９が平行に
且回転自在に設けられる。該オリエンテーションローラ
１８，１９にはウェーハカセットに装填されるウェーハ
ピッチと同ピッチにウェーハ嵌合溝２０が刻設されてい
る。

【００１１】前記オリエンテーションローラ１８，１９
の前記ギアボックス１７側の軸端にギアプーリ２１，２
２が嵌着される。前記オリエンテーションローラ１８，
１９の下方にオリエンテーションモータ２３が設けら
れ、該オリエンテーションモータ２３の出力軸には駆動
ギアプーリ２４が嵌着され、該駆動ギアプーリ２４と前
記ギアプーリ２１，２２間にベルト２７が掛回される。
而して、前記オリエンテーションモータ２３の駆動によ
り前記ベルト２７を介して前記ギアプーリ２１，２２が
回転され、前記オリエンテーションローラ１８，１９が
回転される様になっている。前記オリエンテーションロ
ーラ１８，１９の側方にサイドプレート２８，２９（一
方は図示せず）が設けられ該サイドプレート２８，２９
には前記オリエンテーションローラ１８，１９と平行な
サイドロッドローラ３０，３１が回転自在に設けられ
る。

【００１２】上記したウェーハ姿勢合わせ装置３はウェ
ーハ５のオリエンテーションフラット３２（図１８参
照）を利用してウェーハの姿勢合わせを行う。

【００１３】図１７、図１８を参照してウェーハの姿勢
合わせ作動を説明する。

【００１４】図１７中のウェーハ５はウェーハカセット
に装填されたものであり、前記昇降シリンダ９の伸長で
前記スライダ７、昇降プレート１５を介して前記オリエ
ンテーションローラ１８，１９が上昇し、該オリエンテ
ーションローラ１８，１９が前記ウェーハ５に当接し、
更に該ウェーハ５は前記ウェーハ嵌合溝２０に嵌合す
る。この状態で、前記オリエンテーションモータ２３に
より前記駆動ギアプーリ２４を図中時計方向に回転さ
せ、更にベルト２７、前記ギアプーリ２１，２２を介し
て前記オリエンテーションローラ１８，１９を図中時計
方向に回転させる。該オリエンテーションローラ１８，
１９の回転により前記ウェーハ５が反時計方向に回転す
る。

【００１５】前記オリエンテーションローラ１８，１９
がウェーハ５の円弧に接している状態では前記サイドロ
ッドローラ３０，３１はウェーハ５の円弧に接していな
いが、ウェーハ５が回転し、前記オリエンテーションフ
ラット３２がオリエンテーションローラ１８，１９に接
するとオリエンテーションフラット３２は同時に前記サ
イドロッドローラ３０，３１にも接する。従って、更に
前記オリエンテーションローラ１８，１９が回転されて
も、前記サイドロッドローラ３０，３１がウェーハ５の
回転を阻止し、前記ウェーハ５は回転しない。即ち、ウ
ェーハ５はオリエンテーションフラット３２が下位置の
状態でウェーハ５の姿勢合わせがなされる。

【００１６】この作動が所要時間継続され、全てのウェ
ーハ５に対して行われ、ウェーハカセットに装填されて
いる全てのウェーハの姿勢合わせがなされる。全てのウ
ェーハについて姿勢合わせが完了すると、前記昇降シリ
ンダ９が短縮して前記スライダ７、昇降プレート１５が
降下して前記オリエンテーションローラ１８，１９はウ
ェーハ５から離反する。

【００１７】

【発明が解決しようとする課題】上記した従来のウェー
ハ姿勢合わせ装置は２本のオリエンテーションローラ、
２本のサイドロッドローラが必要であり、部品点数が多
く、従って組立て調整も面倒であった。又、ウェーハ姿
勢合わせ完了は所要時間経過したことで判定しており、
実際にウェーハ姿勢合わせの完了を確認してなく信頼性
は充分でなかった。或は、前記所要時間を充分に長く取
る必要がある為、能率的でなく、又ウェーハとオリエン
テーションローラとの摩擦によるパーティクルの発生も
考えられるという問題があった。

【００１８】本発明は斯かる実情に鑑み、機構を簡略化
し、製作調整を容易にし、更にウェーハ姿勢合わせの完
了確認を行える様にしたものである。

【００１９】

【課題を解決するための手段】本発明は、オリエンテー
ションモータに駆動されるオリエンテーションローラと
該オリエンテーションローラと平行に設けられたサイド
ロッドローラを具備し、前記オリエンテーションローラ
とサイドロッドローラをウェーハに当接可能とすると共
にオリエンテーションローラとサイドロッドローラの中
心間距離をウェーハのオリエンテーションフラット直線
部長さ以下としたことを特徴とするものであり、或はオ
リエンテーションモータに駆動されるオリエンテーショ
ンローラと該オリエンテーションローラと平行に設けら
れたサイドロッドローラを具備し、該サイドロッドロー
ラにウェーハのオリエンテーションフラットが当接する
ことでウェーハ姿勢合わせを行うウェーハ姿勢合わせ装
置に於いて、少なくともオリエンテーションローラの両
端近傍に光センサを設け、該センサの光軸をウェーハの
オリエンテーションフラット欠切部に位置させたことを
特徴とするものである。

【００２０】

【作用】オリエンテーションローラとサイドロッドロー
ラをウェーハに当接させた状態でオリエンテーションロ
ーラを回転させてウェーハを回転させ、ウェーハのオリ
エンテーションフラットがサイドロッドローラに当接す
るとウェーハは回転が阻止され、姿勢合わせがなされ、
或は光センサがウェーハのオリエンテーションフラット
欠切部の有無を検知することで姿勢合わせが完了したが
どうかが判断される。

【００２１】

【実施例】以下、図面を参照しつつ本発明の一実施例を
説明する。

【００２２】図１中、図１６中で示したものと同一のも
のには同符号を付してある。

【００２３】垂直基板６にスライダ７が垂直方向に摺動
自在に設けられ、前記垂直基板６に台座８が突設され、
該台座８に昇降シリンダ９が設らけ、該昇降シリンダ９
のロッド１０先端は前記スライダ７の下端に連結され
る。又、前記垂直基板６に垂直支持板１１を設け、該垂
直支持板１１に下位置検出センサ１２、上位置検出セン
サ１３を設け、前記スライダ７には検出片１４を設け
る。該検出片１４が前記下位置検出センサ１２又は上位
置検出センサ１３と協働することで前記スライダ７の上
昇下降が検出される様になっている。

【００２４】前記スライダ７の上端には水平方向に延び
る昇降プレート１５が固着され、該昇降プレート１５の
一端に軸受板１６、他端にギアボックス１７が設けら
れ、該ギアボックス１７と前記軸受板１６に掛渡されオ
リエンテーションローラ１９が回転自在に設けられる。
該オリエンテーションローラ１９にはウェーハカセット
に装填されるウェーハピッチと同ピッチにウェーハ嵌合
溝２０が刻設されている。

【００２５】前記オリエンテーションローラ１９の前記
ギアボックス１７側の軸端にギアプーリ２２が嵌着され
る。前記オリエンテーションローラ１９の下方にオリエ
ンテーションモータ２３が設けられ、該オリエンテーシ
ョンモータ２３の出力軸には駆動ギアプーリ２４が嵌着
され、該駆動ギアプーリ２４と前記ギアプーリ２２間に
ベルト２７が掛回される。而して、前記オリエンテーシ
ョンモータ２３の駆動により前記ベルト２７を介して前
記ギアプーリ２２が回転され、前記オリエンテーション
ローラ１９が回転される様になっている。前記オリエン
テーションローラ１９の側方にサイドプレート２８が設
けられ、該サイドプレート２８には前記オリエンテーシ
ョンローラ１９と平行なサイドロッドローラ３０が回転
自在に設けられる。

【００２６】前記サイドプレート２８の中央下端には連
結板３３が固着され、該連結板３３には前記昇降プレー
ト１５に設けられた垂直シリンダ３４が連結されてい
る。

【００２７】図２、図３により作動を説明する。

【００２８】前記垂直シリンダ３４を伸長させ、サイド
ロッドローラ３０を上昇させる。更に前記昇降シリンダ
９の伸長で前記スライダ７、昇降プレート１５を介して
前記オリエンテーションローラ１９、サイドロッドロー
ラ３０が上昇し、該オリエンテーションローラ１９、サ
イドロッドローラ３０が前記ウェーハ５に当接し、更に
該ウェーハ５は前記ウェーハ嵌合溝２０に嵌合する。こ
の状態で、前記オリエンテーションモータ２３により前
記駆動ギアプーリ２４を図中時計方向に回転させ、更に
ベルト２７、前記ギアプーリ２２を介して前記オリエン
テーションローラ１９を図中時計方向に回転させる。該
オリエンテーションローラ１９の時計方向の回転で前記
ウェーハ５は反時計方向に回転する。

【００２９】前記オリエンテーションローラ１９、サイ
ドロッドローラ３０がウェーハ５の円弧に接している状
態では支障なくウェーハ５は回転する。該ウェーハ５が
回転し、前記オリエンテーションフラット３２がオリエ
ンテーションローラ１９、サイドロッドローラ３０に接
すると、更に前記オリエンテーションローラ１９が回転
されても、前記サイドロッドローラ３０がウェーハ５の
回転を阻止し、前記ウェーハ５は回転しない。

【００３０】この作動が全てのウェーハ５に対して行わ
れウェーハカセットに装填されている全てのウェーハの
姿勢合わせがなされる。全てのウェーハについて姿勢合
わせが完了すると前記垂直シリンダ３４、昇降シリンダ
９が短縮して前記スライダ７、昇降プレート１５が降下
して前記オリエンテーションローラ１９、サイドロッド
ローラ３０はウェーハ５から離反する。

【００３１】而して、本実施例ではオリエンテーション
ローラ、サイドロッドローラの本数が少なくても従来と
同様のウェーハ姿勢合わせを行うことができ、機構の大
幅な簡略化ができる。

【００３２】図４により第２の実施例を説明する。

【００３３】該第２の実施例は図１で示した実施例と同
様、１本のオリエンテーションローラ、１本のサイドロ
ッドローラを有する機構となっており、第２の実施例は
更に前記サイドロッドローラ３０と前記オリエンテーシ
ョンローラ１９との間にウェーハ検出器３５を設けたも
のである。

【００３４】該ウェーハ検出器３５は櫛形形状をしてお
り、櫛歯間に形成されるウェーハ検出溝３６は前記オリ
エンテーションローラ１９のウェーハ嵌合溝２０と対応
し、ウェーハ５が前記櫛歯に接触することなく出入り可
能となっている。

【００３５】又、前記ウェーハ検出器３５は前記サイド
プレート２８に一体的に設けられ、前記昇降シリンダ３
４により前記ウェーハ検出器３５とサイドプレート２８
は一体に昇降する様になっている。該第２の実施例で
は、ウェーハ姿勢合わせ作動中にウェーハ枚数の検出、
ウェーハ姿勢合わせの完了検出を合わせて行うことがで
きる。

【００３６】以下、図５〜図１０により該第２の実施例
の作動を説明する。

【００３７】ウェーハカセット４が投入されると、ウェ
ーハカセット４が固定される（図５参照）。前記昇降シ
リンダ９が伸長すると共に前記垂直シリンダ３４が伸長
し、、オリエンテーションローラ１９、サイドロッドロ
ーラ３０がウェーハ５に接触する。又、前記ウェーハ検
出器３５のウェーハ検出溝３６にウェーハ５が挿入し、
各ウェーハ検出溝３６についてのウェーハ５の有無が検
出されると共にウェーハ５の数が演算される。この各溝
についてのウェーハ検出で予めウェーハのない溝が確認
され、ウェーハ搬送機のウェーハ把持時にウェーハの把
持ができなかった場合でも、受取りミスの処理が行われ
なくなり、受取りミスが原因で搬送機が停止することが
なく、総合的な処理時間の短縮が図れる。前記オリエン
テーションモータ２３を駆動し、前記オリエンテーショ
ンローラ１９を回転する。該オリエンテーションローラ
１９の時計方向の回転で前記ウェーハカセット４は反時
計方向に回転する（図６参照）。

【００３８】ウェーハ５が回転し、オリエンテーション
フラット３２が前記サイドロッドローラ３０に当接する
と、該サイドロッドローラ３０がウェーハ５の回転を阻
止し、ウェーハ５の姿勢合わせがなされる。この姿勢合
わせは、ウェーハ５に最大１回転させるに必要な回転量
を前記オリエンテーションローラ１９に与えればよく、
従って前記オリエンテーションモータ２３は予め設定し
た時間駆動される。

【００３９】所定時間経過後、前記オリエンテーション
モータ２３が停止すると、前記垂直シリンダ３４が短縮
し、前記サイドロッドローラ３０、ウェーハ検出器３５
が降下し、前記サイドロッドローラ３０がウェーハ５よ
り離反する。この状態では前記ウェーハ検出器３５の検
出点はウェーハ５のオリエンテーションフラット３２の
直線部で削除された部分に位置し、従って姿勢合わせが
なされていないウェーハ５は検出するが、姿勢合わせさ
れているウェーハ５については検出しない（図８参
照）。而して、前記ウェーハ検出器３５が１枚でもウェ
ーハ５の存在を検知すると、ウェーハ５の姿勢合わせが
不充分であったと判断される。

【００４０】前記ウェーハ検出器３５によりウェーハ５
の存在が確認されると、再びウェーハ姿勢合わせ作動が
開始の是非が確認され、開始可能であればウェーハ姿勢
合わせ作動が開始され、異常があれば全ての作動が停止
され、エラー処理がなされる。

【００４１】全てのウェーハ５が姿勢合わせされている
と前記ウェーハ検出器３５により検出されると、前記昇
降シリンダ９が短縮し、姿勢合わせ作業が完了する（図
９参照）。

【００４２】尚、後工程の為、ウェーハ５の姿勢調整も
することが可能である。即ち、図８のウェーハ５の姿勢
合わせ確認作業完了後、前記オリエンテーションモータ
２３を反時計方向に回転させ、ウェーハ５を時計方向に
所要角度回転させる。このウェーハ５の回転量はオリエ
ンテーションモータ２３の駆動時間で、又は該オリエン
テーションモータ２３にパルスモータを用いている場合
は駆動パルス数で制御する。

【００４３】次に、図１１〜図１４により該第３の実施
例の作動を説明する。

【００４４】該実施例では、図１６で示した従来例に対
して一方のサイドロッドローラ３１を省略し、ウェーハ
検出器３５を追加したものである。

【００４５】本実施例に於いても、前記オリエンテーシ
ョンモータ２３によりウェーハ５が回転され、前記サイ
ドロッドローラ３０がオリエンテーションフラット３２
に当接することでウェーハ５の回転を阻止して姿勢合わ
せが行われ、前記ウェーハ検出器３５によりウェーハ５
の枚数検出、更に前記垂直シリンダ３４によるウェーハ
検出器３５の降下で、ウェーハ５の姿勢合わせが完了し
たかどうかが検出される。

【００４６】尚、図１に示す実施例に於いて前記サイド
プレート２８の両端部に投光器、受光器を設け、該投光
器、受光器の光軸をサイドプレート２８降下時にウェー
ハのオリエンテーションフラット欠切部に位置する様に
して、ウェーハ姿勢合わせの完了を確認する様にしても
よい。尚、ウェーハ検出器３５の光センサは投光器、受
光器が一体となった反射型光センサであってもよい。

【００４７】

【発明の効果】以上述べた如く本発明によれば、下記の
優れた効果を発揮する。

【００４８】ウェーハに接触する部品が少なくな
り、パーティクルの発生を抑制できる。

【００４９】部品点数の減少で製作費の低減、組立
て調整の容易が図れ製作費が減少する。

【００５０】可動部の重量が軽くなり、機構部の負
担が減少し、メンテナンスサイクルを延ばすことが可能
である。

【００５１】ウェーハ枚数検出器を別途設ける必要
がなくなり、装置の簡略化を図れると共にウェーハ姿勢
合わせ作動時に合わせてウェーハ枚数も確認でき総合的
な処理時間の短縮を行える。

【００５２】ウェーハの姿勢合わせが完了したかど
うかが確認でき、ウェーハ姿勢合わせ作業の精度が向上
し、ウェーハ姿勢合わせ不備による事故の防止ができ
る。

【００５３】後工程に望ましいウェーハの姿勢に合
わせることが合わせて行え、工程数の削減をすることが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す斜視図である。

【図２】該実施例の作動説明図である。

【図３】該実施例の作動説明図である。

【図４】本発明の第２の実施例を示す斜視図である。

【図５】該第２の実施例の作動説明図である。

【図６】該第２の実施例の作動説明図である。

【図７】該第２の実施例の作動説明図である。

【図８】該第２の実施例の作動説明図である。

【図９】該第２の実施例の作動説明図である。

【図１０】該第２の実施例の作動手順を示すフローチャ
ートである。

【図１１】本発明の第３の実施例を示す斜視図である。

【図１２】該第３の実施例の作動説明図である。

【図１３】該第３の実施例の作動説明図である。

【図１４】該第３の実施例の作動説明図である。

【図１５】半導体製造装置とウェーハ姿勢合わせ装置と
の関係を示す斜視図である。

【図１６】従来のウェーハ姿勢合わせ装置を示す斜視図
である。

【図１７】該従来例の作動説明図である。

【図１８】該従来例の作動説明図である。

【符号の説明】

５ウェーハ９昇降シリンダ１９オリエンテーションローラ２０ウェーハ嵌合溝３０サイドロッドローラ３２オリエンテーションフラット３４垂直シリンダ３５ウェーハ検出器３６ウェーハ検出溝

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者池田和人東京都港区虎ノ門二丁目３番13号国際電気株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】オリエンテーションモータに駆動される
オリエンテーションローラと該オリエンテーションロー
ラと平行に設けられたサイドロッドローラを具備し、前
記オリエンテーションローラとサイドロッドローラをウ
ェーハに当接可能とすると共にオリエンテーションロー
ラとサイドロッドローラの中心間距離をウェーハのオリ
エンテーションフラット直線部長さ以下としたことを特
徴とするウェーハ姿勢合わせ装置。
【請求項２】オリエンテーションローラとサイドロッ
ドローラがウェーハカセットに装填された全てのウェー
ハに当接可能な長さとし、オリエンテーションローラに
ウェーハが嵌合するウェーハ嵌合溝を刻設した請求項１
のウェーハ姿勢合わせ装置。
【請求項３】オリエンテーションモータに駆動される
オリエンテーションローラと該オリエンテーションロー
ラと平行に設けられたサイドロッドローラを具備し、該
サイドロッドローラにウェーハのオリエンテーションフ
ラットが当接することでウェーハ姿勢合わせを行うウェ
ーハ姿勢合わせ装置に於いて、少なくともオリエンテー
ションローラの両端近傍に投光受光型センサを設け、該
センサの光軸をウェーハのオリエンテーションフラット
欠切部に位置させたことを特徴とするウェーハ姿勢合わ
せ装置。
【請求項４】オリエンテーションモータに駆動される
オリエンテーションローラと該オリエンテーションロー
ラと平行に設けられたサイドロッドローラを具備し、該
サイドロッドローラにウェーハのオリエンテーションフ
ラットが当接することでウェーハ姿勢合わせを行うウェ
ーハ姿勢合わせ装置に於いて、所要数のウェーハ検出溝
を有する櫛歯形状をし、各ウェーハ検出溝内に遊挿され
たウェーハを検出する光センサを設けたことを特徴とす
るウェーハ姿勢合わせ装置。
【請求項５】光センサをオリエンテーションローラに
対して昇降可能とし、下降時に光センサの光軸がウェー
ハのオリエンテーションフラット欠切部に位置する様構
成した請求項３又は請求項４のウェーハ姿勢合わせ装
置。
【請求項６】オリエンテーションモータに駆動される
オリエンテーションローラと該オリエンテーションロー
ラと平行にサイドロッドローラを昇降可能に設け、所要
数のウェーハ検出溝を有する櫛歯形状をし各ウェーハ検
出溝内に遊挿されたウェーハを検出する光センサを前記
サイドロッドローラと一体に昇降可能に設けると共に、
前記光センサを前記オリエンテーションローラとサイド
ロッドローラとの間に位置させ、前記オリエンテーショ
ンローラとサイドロッドローラをウェーハに当接可能と
すると共にオリエンテーションローラとサイドロッドロ
ーラの中心間距離をウェーハのオリエンテーションフラ
ット直線部長さ以下とし、前記光センサが下降時に光セ
ンサ光軸がウェーハのオリエンテーションフラット欠切
部に位置する様構成したことを特徴とするウェーハ姿勢
合わせ装置。