JPH07224981A - 管継手構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】ガスの漏出をより完全に防止する管継手構造を
提供する。 【構成】一方の配管８に他方の配管を嵌合する嵌合部９
と、該嵌合部に続くリング保持部１１と、該リング保持
部に続くフランジ１２とを設け、前記他方の配管７にフ
ランジ１３を設け、前記一方の配管のリング保持部にＯ
リング１０を嵌設し、前記嵌合部を前記他方の配管に嵌
合すると共に前記両フランジ間にジョンイントクランプ
１４を掛渡し、継手部を流れるガスを先ず嵌合部により
シールし、更にフランジ間に設けられたＯリングにより
シールすることで、継手部からのガスの漏出を抑止す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は管継手構造、特に腐蝕性
ガス、高温ガスを対象流体とする流路に於ける管継手構
造に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造装置に於いて半導体デバイス
を製造する場合に、腐蝕性ガス、不活性ガスを使用して
いる。

【０００３】図４に於いて、半導体製造装置の１つであ
る拡散装置を略述する。

【０００４】立設された反応管１の周囲に同心状にヒー
タ２が設けられ、該ヒータ２により前記反応管１内部が
加熱される。前記反応管１の上部に反応ガス導入管３が
連通しており、前記ヒータ２の下部には排出管４が連通
している。

【０００５】前記反応ガス配管（図示せず）の先端に設
けられた導入ノズル５を前記反応ガス導入管３に嵌合さ
せ、又排気管（図示せず）の先端に設けられた排気ノズ
ル６を前記排出管４に嵌合させる。

【０００６】前記反応管１にはウェーハ（図示せず）を
水平姿勢で多段に保持したボート（図示せず）を装入
し、反応管１内に前記反応ガス導入管３より反応ガスを
導入し、前記排出管４より排気し、更に前記ヒータ２で
反応管１内を加熱し、前記ウェーハに不純物の拡散を行
う。

【０００７】前記排出管４と前記排気ノズル６との管継
手構造は図３に示すものがあった。

【０００８】前記排出管４にはテーパ状の擦合わせ部４
ａが形成され、前記排気ノズル６にはテーパ状の擦合わ
せ部６ａが形成され、該テーパ状の擦合わせ部６ａが前
記擦合わせ部４ａに契合する構造となっている。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】前記従来の管継手構造
では、石英ガラス、ステンレス鋼等の剛体同士の嵌合と
なるので微妙な嵌合不良により、該管継手構造よりガス
が漏出していた。漏出するガスが塩化水素ＨＣｌ等の腐
蝕性の強いガスであると、漏出ガスにより装置金属部を
腐蝕させるという問題があり、或は作業環境を汚染する
という問題があった。

【００１０】本発明は斯かる実情に鑑み、僅かなガスの
漏出も防止し得る管継手構造を提供しようとするもので
ある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明は、一方の配管に
他方の配管を嵌合する嵌合部と、該嵌合部に続くリング
保持部と、該リング保持部に続くフランジとを設け、前
記他方の配管にフランジを設け、前記一方の配管のリン
グ保持部にＯリングを嵌設し、前記嵌合部を前記他方の
配管に嵌合すると共に前記両フランジ間にジョンイント
クランプを掛渡したことを特徴とするものである。

【００１２】

【作用】継手部を流れるガスは先ず嵌合部によりシール
され、更にフランジ間に設けられたＯリングによりシー
ルされ、継手部からのガスの漏出が抑止される。

【００１３】

【実施例】以下、図面を参照しつつ本発明の一実施例を
説明する。

【００１４】反応管１に排出管７を連設し、図示しない
排気管に設けられた排気ノズル８を前記排出管７に嵌入
する。

【００１５】前記排出管７にはフランジ１３が設けら
れ、又前記排気ノズル８には前記排出管７に嵌合する嵌
合部９と、該嵌合部９より太径でＯリング１０が嵌設さ
れるリング保持部１１と、該リング保持部１１より更に
大径のフランジ部１２とが形成されている。

【００１６】前記リング保持部１１に耐蝕性のＯリング
１０を嵌設した状態で、嵌合部９を前記排出管７に嵌合
し、前記Ｏリング１０を前記フランジ１３とフランジ部
１２間で挾持し、更にフランジ部１２とフランジ１３間
に掛渡してジョンイントクランプ１４を設け、該ジョン
イントクランプ１４によりフランジ部１２とフランジ１
３とを締込み、前記Ｏリング１０を所要量撓ませた状態
でクランプする。

【００１７】該ジョンイントクランプ１４の一例として
は、１対のドーナッツ状のリング１５を螺子シャフト１
６で連結したもの等が挙げられる。而して、排出管７か
ら排気ノズル８に流れるガスは、先ず排出管７と嵌合部
９の嵌合によりシールされ、更に前記Ｏリング１０にシ
ールされ、排気ノズル８と排出管７との継ぎ目からガス
が漏出することがない。

【００１８】上記実施例に於いてフランジ部１２とフラ
ンジ１３間に挾設するＯリングを２重に設けてもよい。
又、Ｏリングを２重に設けた場合で、内側のＯリングを
硬度の高い耐蝕性、耐熱性に優れた材質とし、外側のＯ
リングを硬度の低いシール性に優れたものとして耐蝕
性、耐熱性に優れた管継手構造とすることができる。

【００１９】次に、図２により第２の実施例を説明す
る。

【００２０】該第２の実施例ではリング保持部１１、嵌
合部９を排出管７のフランジ１３側に形成し、排出管７
を排気ノズル８に嵌入する様にしたものであり、前記リ
ング保持部１１にＯリングを２重に設け、内側のＯリン
グ１０ａを硬度の高い耐蝕性、耐熱性に優れた材質と
し、外側のＯリング１０ｂを硬度の低いシール性に優れ
たものとし、耐蝕性、耐熱性を維持しつつシール性を向
上させる。又、前記フランジ部１２の外側に前記フラン
ジ１３に嵌合するフランジカバー１７を設ける。

【００２１】該２の実施例では、排出管７が排気ノズル
８に嵌合しているので、嵌合部９と排気ノズル８との嵌
合部の境界の始端がガスの流れの下流側に位置するの
で、前記境界にガスが混入しにくく、ガスの漏出が抑制
され、更に内側のＯリング１０ａである程度シールし、
更に外側のＯリング１０ｂで完全にシールするので継手
部でのガスの漏出をなくすことができる。又、前記フラ
ンジカバー１５のフランジ１３への嵌合により漏出はよ
り完全に抑止される。更に、嵌合部９の端面がガスの流
れの下流側にあり、ガスの流れを乱さないので、ガスの
流れが安定し、ウェーハの歩留まりが向上する。

【００２２】尚、Ｏリングは３以上であってもよいこと
は言う迄もなく、又、フランジカバー１５は第１の実施
例中フランジ１３、或はフランジ部１２に設けてもよ
い。更に、リング保持部１１を径を異ならせ２段、３段
に形成し、各段のリング保持部１１にＯリングを軸心方
向にもずらせて設ける様にしてもよい。更に、上記実施
例は排出管７に関して説明したが、反応ガス導入管３に
関して実施してもよいことは言う迄もなく、拡散装置以
外の配管系に実施可能であることも勿論である。

【００２３】

【発明の効果】以上述べた如く本発明によれば、ガスの
漏出がなく、腐蝕ガス等による装置のダメージがなくな
り、又漏出ガスによる汚染がなくなるのでメンテナンス
フリーとすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例を示す断面図である。

【図２】本発明の第２の実施例を示す断面図である。

【図３】従来例を示す断面図である。

【図４】縦型拡散炉の概略を示す図である。

【符号の説明】

７ 排出管 ８ 排気ノズル ９ 嵌合部 １０ Ｏリング １１ リング保持部 １２ フランジ部 １３ フランジ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一方の配管に他方の配管を嵌合する嵌合
   部と、該嵌合部に続くリング保持部と、該リング保持部
   に続くフランジとを設け、前記他方の配管にフランジを
   設け、前記一方の配管のリング保持部にＯリングを嵌設
   し、前記嵌合部を前記他方の配管に嵌合すると共に前記
   両フランジ間にジョンイントクランプを掛渡したことを
   特徴とする管継手構造。
2. 【請求項２】 Ｏリングを２重以上となるよう複数設け
   た請求項１の管継手構造。
3. 【請求項３】 嵌合部を上流側の配管に形成した請求項
   １の管継手構造。
4. 【請求項４】 いずれか一方のフランジに、いずれか他
   方のフランジに嵌合するフランジ部を設けた請求項１の
   管継手構造。