JPH025172Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は高純度ガスの導通に適したフレキシブ
ルパイプに関するものである。

（従来例の構成とその問題点） 従来から、例えば、半導体製造プロセスにおけ
る拡散炉では、99.99999％以上の超高純度で且つ
0.1μｍ以上の大きさのパーテイクル（塵埃）が
2.8に５ケ以下という極めて清浄なガスが要求
されている。

拡散炉に至るまでの配管が固定配管であれば内
面が研磨されたステンレス等の金属管を採用すれ
ば前記要求を満足させることができるが、例えば
HClガスを流通させる配管においては金属管では
腐食する虞れがあつて採用できない。又、拡散炉
の炉芯管の端部に接続する配管としては着脱する
必要上、可撓性を有する管を配設しなければなら
ず、このため、現在においてはテフロンPFAチ
ユーブやテフゼルパイプ等のような若干の柔軟性
を有し且つ耐薬品性の高い材料からなるパイプを
採用している。

しかしながら、この種の合成樹脂製管は金属製
管に比べて３Å〜５Å以下の分子を通過させると
いう極めて大きな通気性があり、そのため、高純
度を必要とするガス中に外部から管壁を通して空
気成分や水分の混入を避けることができない。

このような空気成分等の混入は、例えば外径が
12.7mm、肉厚が1.0mmのテフロンPFA製パイプ中
を純度99.99999％のArガスを流通させると、お
よそ２ｍの長さを通過中に純度が99.9999％に下
がることが実験の結果確かめられている。

拡散炉においては、通常、窒素ガス中にアルシ
ン、ホスフイン、デイボラン等のドーパントガス
を混合して使用するが、このガス中に空気中の酸
素が混入すると製品であるシリコン表面に予期せ
ぬ酸化物が生じて均一な拡散層を有する製品を得
ることができなく、良質な製品の歩留りに悪影響
を及ぼすことになる。

又、フレキシブルパイプとして金属製ベローパ
イプを用いると通気性については問題を解決でき
るが、ベローパイプはその構造上、多数の湾曲し
た襞があり、従つて、パーテイクルが一度混入す
ると完全に除去することが不可能である。

（考案の目的） 本考案は上記問題点をなくするもので、外部か
らの酸素や水分の混入を確実に防止して高純度の
ガスの導通を可能にすると共に柔軟性と耐薬品
性、耐腐食性に優れたフレキシブルパイプを提供
するものである。

（考案の構成） 上記目的を達成するために本考案のフレキシブ
ルパイプは第１図に示すように、柔軟性と耐薬品
性を有する合成樹脂製内パイプ１に金属製のベロ
ーパイプ２を適宜隙間３を存して被嵌して二重パ
イプを形成し、両パイプ１，２の両端を互いにシ
ールすると共に両パイプ１，２間の前記隙間３に
不活性ガスを封入してなるものである。

シールとしては、一つ或いは第２図に示すよう
に二つのリング状パツキング４，５によつて行つ
てもよく、又、第３図に示すように接着剤によつ
て金属製ベローパイプ２の両端部内周面を内パイ
プ１の両端部外周面に密着させてもよい。

さらに、外パイプとして配設した金属製ベロー
パイプ２は、その湾曲襞部の凹弧状内周面を合成
樹脂製内パイプ１の外周面に接触又は近接させて
おいてもよい。

（実施例の説明） 本考案の実施例を図面について説明すると、１
はテフロンPFA樹脂パイプやテフゼルパイプ等
の柔軟性と耐薬品性に富んだパイプよりなる合成
樹脂製内パイプで、その外周面を略全長に亘つて
金属製のベローパイプ２で被覆して可撓性の二重
パイプに形成してある。

６は内パイプ１の両端部外周面に嵌着したテフ
ロン樹脂製またはSUS製の接続用短管で、その
内端部外周にＯリング４，５を夫々装着した周溝
７を形成してあり、これらのＯリング４，５を金
属製ベローパイプ２の両端内周面に密接させて該
ベローパイプ２の内周面と内パイプ１の外周面間
に形成した隙間３の両端をシールし、こうしてシ
ールされた両パイプ１，２間の隙間３にアルゴン
等の不活性ガスを封入してある。又、この短管６
の外端部に内パイプ１の端部に向かつて開口した
雌螺子部８を一体に設けてあり、この雌螺子部８
にテフロン樹脂製短管状コネクター９の内端部外
周に形成した雄螺子部１０を螺合させてある。

１１はコネクター９の内端部拡開内周面と内パ
イプ１の外周面間をシールしたＯリングで、第４
図においては短管６の雌螺子部８の内方に突設し
た突鐶部１２の端面はコネクター９の内端部拡開
傾斜面１３間で挟着されてあり、第５図において
は、短管６の雌螺子部８の内方において内パイプ
１に被嵌した鐶体１４の端面とコネクター９の内
端部拡開傾斜面１３間で挟着されてある。

このように構成したフレキシブルパイプは、例
えばその一端を拡散炉の石英管（図示せず）にコ
ネクター９を介して接続し、他端を固定配管（図
示せず）に同じく他端のコネクター９を介して接
続して該固定配管から内パイプ１を通じて拡散炉
内に窒素ガスとアルシン、ホスフイン等のドーパ
ントガスとの混合ガスを供給し、シリコン片の表
面に拡散層を形成するのに使用するものである。

（考案の効果） 以上のように本考案のフレキシブルパイプによ
れば、柔軟性と耐薬品性を有する合成樹脂製内パ
イプ１に金属製のベローパイプ２を被嵌して二重
パイプに形成しているので、柔軟性と屈曲性に富
んで固定配管等への接続配管が容易に行えるのは
勿論、両パイプ１，２間の隙間３に不活性ガスを
封入しているので、半導体製造機器における配管
として使用した場合、内パイプ１を通じて流通さ
せるガス中に外部から空気成分や水分等が浸入す
る虞れが全くなく、ガスを高純度に保持した状態
で拡散炉等に供給することができ、従つて、精度
の高い製品を製造できるものである。

又、内パイプ１は合成樹脂製であるから金属管
のように腐食する虞れがないと共に内面が平滑面
であるので、塵埃等が付着してもその除去が容易
となり、さらに、万一この内パイプからガスが漏
洩しても外管として設けた金属製ベローパイプ２
により外部に漏れるのを確実に防止でき、安全に
使用できるものである。

【図面の簡単な説明】

図面は本考案の実施例を示すもので、第１図乃
至第３図は３種の例を示す一部の簡略断面図、第
４図及び第５図はコネクターを装着した状態の要
部の断面図である。 １……合成樹脂製内パイプ、２……金属製ベロ
ーパイプ、３……隙間、４，５……シール部。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 柔軟性と耐薬品性を有する合成樹脂製内パイプ
   １に金属製のベローパイプ２を適宜隙間３を存し
   て被嵌して二重パイプを形成し、両パイプ１，２
   の両端間をシール４，５すると共に両パイプ１，
   ２間の前記隙間３に不活性ガスを封入してなるフ
   レキシブルパイプ。