JPH07228991A - 銅電解用母板の自動研磨方法及び装置 - Google Patents

銅電解用母板の自動研磨方法及び装置

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JPH07228991A
JPH07228991A JP6021744A JP2174494A JPH07228991A JP H07228991 A JPH07228991 A JP H07228991A JP 6021744 A JP6021744 A JP 6021744A JP 2174494 A JP2174494 A JP 2174494A JP H07228991 A JPH07228991 A JP H07228991A
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brush roller
plate
mother
polishing
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謙蔵 高畠
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裕 片岡
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 自動種板剥ぎ取りラインから母板を取り外す
ことなく、母板両表面を自動的かつ迅速に研磨すること
ができ、作業性と安全性の向上を図ることができる方法
と装置を提供すること。 【構成】 銅電解用母板の搬入装置、該母板から種板を
剥ぎ取る剥取装置、種板を剥ぎ取った母板を搬出する搬
出装置を有する種板自動剥ぎ取りラインにおいて、種板
を剥ぎ取った後の母板1が所定位置に停止したとき、母
板の両表面に回転ブラシローラ26,26a,27,27aを接
触させ上下方向に移動させることにより該表面を同時に
研磨することを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、銅電解用母板の表面
を種板自動剥ぎ取りラインにおいて、母板両表面を同時
に研磨する方法及び装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来のこの種の研磨方法では、不良母板
を種板自動剥ぎ取りラインから作業者が手作業で取外し
て作業台まで運搬し、表面研磨作業をしていた。また研
磨作業においては片面の研磨が終了すればホイストで吊
り上げ、裏返して反対面を同じ作業により研磨するよう
にしていた。そして作業終了後、再びラインまで運搬し
て種板剥ぎ取りラインに装入していた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】前記のように従来の方
法では、不良母板を剥ぎ取りラインから1枚1枚手作業
で取外し、研磨していたため、作業性が著しく悪く、安
全性の面から好ましくなかった。
【0004】そこでこの発明は、前記のような従来の問
題点を解決し、自動種板剥ぎ取りラインから母板を取り
外すことなく、母板両表面を自動的かつ迅速に研磨する
ことができ、作業性と安全性の向上を図ることができる
方法と装置を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、請求項1の発明は、銅電解用母板の搬入装置、該母
板から種板を剥ぎ取る剥取装置、種板を剥ぎ取った母板
を搬出する搬出装置を有する種板自動剥ぎ取りラインに
おいて、種板を剥ぎ取った後の母板が所定位置に停止し
たとき、母板の両表面に回転ブラシローラを接触させ上
下方向に移動させることにより該表面を同時に研磨する
ことを特徴とする。請求項2の発明は、請求項1におい
て、母板が所定位置に停止したとき、それぞれ母板の両
表面と対応する位置に上下に2個対となって設けられた
回転ブラシローラの下方ブラシローラが母板の下部両表
面に、上方ブラシローラが母板の中間部両表面に接近し
てそれぞれ接触し、接触後に上方に移動しながら両ブラ
シローラで母板の両表面を研磨するとともに、下方ブラ
シローラが母板の中間部両表面に、上方ブラシローラが
母板の上部両表面にそれぞれ到達すると、両ブラシロー
ラが母板の両表面から離間して研磨を終了することを特
徴とする。
【0006】請求項3の発明は、銅電解用母板の搬入装
置、該母板から種板を剥ぎ取る剥取装置、種板を剥ぎ取
った母板を搬出する搬出装置を有する種板自動剥ぎ取り
ラインにおいて、剥取装置の母板搬送方向前方に種板を
剥ぎ取った後の母板の両表面を回転ブラシローラにより
研磨する研磨装置を設けている。請求項4の発明は、請
求項3において、研磨装置が、それぞれ母板の両表面と
対向する位置に上下に2個対となって設けられ、かつ母
板に対して接離可能となった回転ブラシローラと、これ
らブラシローラを接離させる作動部材と、ブラシローラ
を回転駆動する第1駆動部材と、ブラシローラを上下方
向に移動させる第2駆動部材と、母板が所定位置に停止
したとき、ブラシローラを下方ブラシローラが母板の下
部両表面に、上方ブラシローラが母板の中間部両表面に
接近してそれぞれ接触するように作動部材を制御し、接
触後ブラシローラが上方に移動するように第2駆動部材
を制御し、下方ブラシローラが母板の中間部両表面に、
上方ブラシローラが母板の上部両表面にそれぞれ到達し
たとき、ブラシローラが母板の両表面から離間するよう
に作動部材を制御する制御部材とを具えている。
【0007】この請求項4の発明の研磨装置には、母板
が所定位置に停止したとき、両ブラシローラによる研磨
の前に母板の両側部を規正するセンタリング装置を具え
ることが、母板のセンタリングによりその位置決めが確
実にでき、研磨作業を円滑に行なうことができる点から
好ましい。研磨装置の第2駆動部材はブラシローラごと
に設けるのが好ましい。また研磨装置の制御部材はブラ
シローラが母板の両表面に接触する前に回転するように
第1駆動部材を制御するのが好ましい。また研磨装置は
上方ブラシローラと下方ブラシローラが互いに対向する
方向に回転するのが好ましい。さらに研磨装置は所定位
置に停止した母板の下方位置に母板下端部の絶縁体部を
覆う保護カバー装置を設けるのが、母板の絶縁体部を効
果的に保護することができる点から好ましい。
【0008】請求項5の発明は、請求項4において、制
御部材が、ブラシローラが上方に移動するにしたがって
下方ブラシローラに対して上方ブラシローラの回転速度
が速くなるように第1駆動部材を制御するようになって
いる。請求項6の発明は、請求項4において、制御部材
が、ブラシローラが上方に移動するにしたがって上方に
移動する速度が遅くなるように第2駆動部材を制御する
ようになっている。
【0009】
【作用】前記のように種板自動剥ぎ取りラインで種板を
剥ぎ取られた後の母板が所定位置に停止したとき、母板
の両表面に回転ブラシローラを接触させ上下方向に移動
させることにより該表面を同時に研磨するため、母板両
表面の自動的かつ迅速な研磨が可能となり、従来のよう
に不良母板を剥ぎ取りラインから1枚1枚手作業で取外
し、研磨する必要がなくなる。
【0010】
【実施例】図1はこの発明の一実施例で用いられる銅電
解用母板(陰極板)を示し、この母板1の両表面には種
板(金属板)2が電着される。母板1は例えばSUS板
や圧延銅板図からなり、その下端部及び両側部には絶縁
体部3が設けられている。この母板1は上端部に設けた
クロスバー4を介して後記トロリーコンベアのフックに
係止されて懸吊されながら搬送される。図2は母板1の
両表面に電着された種板2を自動的に剥ぎ取るラインの
全体概略図を示している。この自動剥ぎ取りラインは無
端状につながった母板搬送路5上に母板1を吊り下げて
搬送するトロリーコンベア(図示せず)を母板搬送手段
として具えている。母板搬送路5にはトロリーコンベア
進行方向に沿って母板1の搬入装置6、母板1から種板
2が剥がれ易くするための口付装置(ハンマリング装
置)7及び口明け装置8、母板1から種板2を剥ぎ取る
剥取装置10、研磨装置11、剥離液塗布装置13、母板搬出
装置14が設置されている。12の位置では不良母板をライ
ン外に搬出したり、新母板を装入する。15は搬入装置6
に搬入前の母板1に付着した電解液を洗浄する洗浄装置
である。
【0011】そしてこのラインにおいて、種板電解槽で
1日電解して電着させられた母板数十枚(半槽分)はク
レーンによりまず、洗浄装置15の前部のチェーンコンベ
ア17に装入され、ここで温水を吹き掛けられ電解液が洗
浄される。洗浄された母板1はチェーンコンベア17によ
り搬入装置6まで運ばれ、1枚1枚トロリーコンベアに
載せられる。トロリーコンベアは後記の作業(工程)ご
とに一旦停止しながら進むように間歇移動運転される。
次に母板1はトロリーコンベアにより口付装置7に装入
され、図1に丸印で示すように種板2上部の左右位置を
ハンマリングされて種板2が母板1から剥がれやすくさ
れる。次に母板1はトロリーコンベアにより口明け装置
8に装入され、ハンマリングされて剥がれやすくなった
種板2上部を吸盤により吸引されて種板2が母板1から
上部のみ剥がされた状態にされる。次に母板1はトロリ
ーコンベアにより剥取装置10に装入され、剥がされた種
板2上部に差し込まれる剥ぎ取りアームの下降により種
板2が剥ぎ取られる。剥ぎ取られた種板2は表裏2枚一
緒にコンベアによりコンテナに運ばれる。
【0012】種板2が剥がされた母板1はトロリーコン
ベアによりさらに研磨装置11に装入され、その両表面が
研磨されることとなるが、この研磨については後にさら
に詳しく説明する。研磨された母板1のうち、不良母板
は12の位置に設けた装置によりライン外に搬出される。
そして代りの新母板がここからトロリーコンベアに載せ
られる。次に母板1はトロリーコンベアにより剥離液塗
布装置13に装入され、剥離液が塗布される。塗布はシャ
ワリングにより行なわれる。次に母板1はトロリーコン
ベアにより搬出装置14に装入され、ここでトロリーコン
ベアから1枚1枚搬出され、チェーンコンベア18上に一
定ピッチで並べられる。チェーンコンベア18上に並べら
れた母板は一定枚数になると、クレーンにより電解槽に
装入される。これで銅電解用母板から種板を自動的に剥
ぎ取る1サイクルが終了するようになっている。
【0013】図3は前記の種板自動剥ぎ取りラインに設
置された研磨装置11の正面図、図4は同平面図、図5は
同側面図をそれぞれ一部省略して示している。研磨装置
11は台盤21上に1対の架台22,22aを具え、両架台22,
22a間にはトリーコンベアで搬送される母板搬送路5を
形成するための隙間が形成されている。両架台22,22a
にはブラシローラフレーム25,25aが設置され、該フレ
ーム25,25aの相対向する側の上下部にはブラシローラ
26,26a,27,27aが回転可能に設けられている。この
ブラシローラはナイロンにアルミナを含浸させたもの等
からなっている。ブラシローラ26,26a,27,27aの背
部となるフレーム25,25a上には第1駆動部材としての
駆動モータ28,28a,29,29aが設置され、駆動モータ
28,28aが駆動ベルト31,31aにより上ブラシローラ2
6,26aを、駆動モータ29,29aが駆動ベルト32,32a
により下ブラシローラ27,27aをそれぞれ回転する。前
記のようなモータを設置したブラシローラフレーム25,
25aはそれぞれ架台22a22aに設けた昇降フレーム34,
34aの底部のガイドレール35,35aに沿って相対向する
方向へ進退可能に設置されており、36,36aはその進退
をさせる作動部材としてのシリンダである。
【0014】図3でSはブラシローラフレーム25,25a
の進退ストロークを示し、前進位置でブラシローラ26,
26a,27,27aは所定の位置(研磨位置)にきて停止す
る母板1の両表面に接触するようになっている。ブラシ
ローラフレーム25,25aを設置した昇降フレーム34,34
aは架台22,22a内に昇降可能に設置されている。昇降
フレーム34,34aは両側に縦向きボールねじ軸38,38
a,39,39aにねじ嵌合したねじ駒40,40a,41,41a
を有し、ボールねじ軸が回転することによりねじ駒を介
して昇降される。図5で42,43はスライドガイド、45,
47はショックダンパである。
【0015】ボールねじ軸38,39はその下端部に回転軸
51,52の一端部に設けたベベルギヤとギヤボックス53,
54内で螺合したベベルギヤを有している。回転軸51,52
の他端部に設けたベベルギヤは架台22の外側に直交する
向きに配設された回転軸56,57のそれぞれ一端部に設け
たベベルギヤにギヤボックス58,59内で螺合している。
回転軸56,57の互いに対向する他端部に設けたベベルギ
ヤは架台22に固定のブラケット60上に倒立して設置され
た正逆転可能の第2駆動部材としての駆動モータ61のモ
ータ軸62とギヤボックス63内で螺合している。一方、ボ
ールねじ軸38a,39aの下端部に設けたベベルギヤは回
転軸51,52と同軸に設けた回転軸65,66の一端部に設け
たベベルギヤにギヤボックス67,68内で螺合している。
回転軸65,66の他端部に設けたベベルギヤは前記ギヤボ
ックス53,54内でベベルギヤと螺合している。したがっ
て駆動モータ61を駆動すると、モータ軸62、回転軸56,
57、回転軸51,52及び回転軸65,66を介してボールねじ
軸38,38a,39,39aが回転され、該ねじ軸と螺合した
ねじ駒40,40a,41,41aにより昇降フレーム34,34a
が該ねじ軸に沿って昇降される。
【0016】図3に示すように研磨位置で停止した母板
1の下方位置には母板1の下端部に設けられている絶縁
体部3を覆って保護する保護カバー装置70が設置されて
いる。図6,7にさらに詳しく示すように台盤21上の前
後には前後1対の支持フレーム71が設けられ、該フレー
ム上には支持台72が設けられ、該支持台間には支持ピン
73が架設されている。支持ピン73の前後端部にはそれぞ
れリンク75,76が枢支されている。前後のリンク間には
それぞれプレート78,78aが取付けられ、このプレート
78,78aには板状のブレード79,79aが取付けられてい
る。リンク75,76のプレート78,78aが取付けられてい
ない方の端部にはロッド81,82の一端部が取付けられ、
該ロッドの他端部はフレーム71に設置されたシリンダ83
のロッド先端に取付けられている。尚、このシリンダ83
の作動機構は図7から明らかなように片側のリンク75,
76にのみ設けられる。したがって、シリンダ83を作動す
ると、ロッド81,82によりリンク75,76のプレート78が
接近する方向に回動され、これにより両ブレード79が図
6の開放した鎖線状態から閉鎖した実線状態になり、母
板1の絶縁体部3を両側から覆う。
【0017】また研磨位置で停止した母板1の上方位置
には母板1の両側部を規正するセンタリング装置86が設
置されている。すなわち、図8に詳しく示すように架台
22上のほぼ中央部に設けた支持台87にリンク88が支持軸
89を介して回動可能に取付けられ、このリンク88の両端
部にロッド90,91の一端部が枢支されている。このロッ
ド90,91の他端部は架台22の架台22a側の側面の前後端
部に設けた軸受92,93で回転自在に支持されたリンク9
4,95に枢支されている。リンク94,95の下端部には母
板1の上端部に設けたクロスバー4の両側端面を押える
押え部94a,95aが設けられている。リンク88の一方の
端部には架台22に設置したシリンダ96のロッド先端が取
付けられており、シリンダ96の作動によりリンク88、ロ
ッド90,91、及びリンク94,95を図8の鎖線状態から実
線状態にさせ、リンク94,95の押え部94a,95aでクロ
スバー4の両側端面を押えるようになっている。
【0018】次に実施例の作用を図9も参照して説明す
る。口付装置7及び口明け装置8により種板2の上辺部
が口明けされた母板1がトロリーコンベアにより間欠的
に搬送され研磨装置11の研磨位置に到達すると、まずセ
ンタリング装置86のシリンダ96が作動してリンク94,95
を回動して押え部94a,95aで母板1のクロスバー4の
両側端面を押さえ、母板1の両側部を規正してセンタリ
ングする。次に保護カバー装置70のシリンダ83が作動し
てブレード79,79aが閉じ、母板1の下端部の絶縁体部
3を覆って保護する(図9A)。これにより母板1は上
端部がセンタリング装置86で保持され、下端部が保護カ
バー装置70でしっかりと保持された形となる。尚、セン
タリング装置86と保護カバー装置70の作動順序は逆でも
よいし、あるいは同時でもよい。
【0019】次にモータ28,29,28a,29aが同時に駆
動され、これによりブラシローラ26,26a,27,27aが
図3に矢印で示すように互いに対向する方向に回転され
る。これと並行してシリンダ36,36aが作動され、これ
によりブラシローラフレーム25,25aをガイドレール3
5,35aに沿って前進させ、回転中のブラシローラ26,2
6a,27,27aを母板1の両表面に接近させて接触させ
研磨を開始する(図9B)。この際、下方ブラシローラ
27,27aが母板1の下部両表面に、上方ブラシローラ2
6,26aが母板1の中間部両表面にそれぞれ接触する。
【0020】ブラシローラ26,26a,27,27aの接触後
にモータ61が正転駆動され、これにより回転するボール
ねじ軸38,39により昇降フレーム34,34aが該ねじ軸に
沿って上昇される。この上昇によりブラシローラ26,26
a,27,27aはモータ28,29,28a,29a、シリンダ3
6,36aごとフレーム34,34aとともに持ち上げられ、
その上昇中に母板1の両表面を研磨することとなる(図
9C)。この研磨に際し、この実施例ではブラシローラ
26,26a,27,27aの回転速度と昇降速度につき、モー
タ28,29,28a,29a及びモータ61をつぎのようにイン
バータ制御している。すなわち、ブラシローラ26,26
a,27,27aが上方に移動するにしたがって、上方、下
方のブラシローラ26,26a,27,27aの回転速度が増
し、かつ下方ブラシローラ27,27aに対して上方ブラシ
ローラ26,26aの回転速度が速くなり、またブラシロー
ラ26,26a,27,27aが上方に移動するにしたがって上
方に移動する速度が遅くなるようになっている。そのた
め、研磨される母板1の両表面は下部が粗い面に、上部
がきめの細かい光沢面にされる。
【0021】そして下方ブラシローラ27,27aが母板1
の中間部両表面に、上方ブラシローラ26,26aが母板1
の上部両表面にそれぞれ到達すると、シリンダ36,36a
の作動が解放され、これによりブラシローラフレーム2
5,25aがガイドレール35,35aに沿って後退して母板
1の両表面から離間し、ブラシローラ26,26a,27,27
aによる母板1の両表面の研磨が終了する(図9D)。
ブラシローラフレーム25,25aの後退とともに、モータ
28,29,28a,29aの駆動が停止され、ブラシローラ2
6,26a,27,27aは回転が停止する。
【0022】またモータ61が逆転駆動され、ボールねじ
軸38,39により昇降フレーム34,34aが該ねじ軸に沿っ
て下降され、ブラシローラ26,26a,27,27aは元の待
機位置にもたらされる。しかる後、センタリング装置86
のシリンダ96の作動が解放され、押え部94a,95aによ
る母板1のセンタリングが解放されるとともに、保護カ
バー装置70のシリンダ83の作動が解放され、ブレード7
9,79aが開いて母板1の絶縁体部3の保護が解放され
る(図9E)。
【0023】前記によりセンタリング装置86によるセン
タリング及び保護カバー装置70による保護が解放された
母板1は、次にトロリーコンベアにより図2に示す12の
位置へ搬送されることとなる。これで1枚の母板1の両
表面に対する研磨の1サイクルが終了する。このように
従来のように自動種板剥ぎ取りラインから作業者が手作
業により母板1を取り外すことなく、研磨装置11で母板
両表面を自動的かつ迅速に研磨するものである。
【0024】前記作用においてブラシローラフレーム2
5,25aなどの各作動部材の位置決めは図示しない公知
の近接スイッチ等による検知とサーボユニット機構によ
り行なっている。また、これら機構を含んで公知の部材
により制御部材を構成し、各作動部材や駆動部材を制御
している。またブラシローラ26,26a,27,27aの回転
方向や回転速度、昇降速度は好ましい一例を示したにす
ぎず、この実施例に限定するものではないことは言うま
でもない。この発明は明細書に記載した事項の範囲内に
おいて図示した実施例以外の実施例、変形例を含むもの
である。
【0025】
【発明の効果】請求項1ないし請求項6の発明は前記の
ような構成からなるので、自動種板剥ぎ取りラインから
従来のように母板を手作業により取り外すことなく、母
板両表面を自動的かつ迅速に研磨することができ、作業
性と安全性を著しく高めることができる。また従来1枚
当たり1時間もかかっていた母板のラインからの搬出、
研磨の作業時間を10秒程度で行なうことが可能となり、
作業時間を大幅に短縮することができるとともに、従来
必要であった種板剥ぎ取りラインからの母板の取外し作
業、研磨作業台への移載作業、剥ぎ取りラインへの装入
作業が不要となるので、作業量が大幅に軽減するという
効果も期待できる。また従来電着不良母板のみを研磨し
ていたものを全母板研磨可能となるので、製品品質の改
善にもつながる。
【0026】また、従来は母板表面の粗さが上下均一で
あったので、表面が細かい場合、口明けは良好であった
が、剥取装置に入る前に母板から種板が落下し剥離装置
等を破損するトラブルが発生していた。逆に、母板表面
が粗い場合、種板は落下しないが口明けできずラインが
停止し作業性を著しく悪くしていた。しかしながら、請
求項5,6の発明により母板表面の上部を細かく、下部
を粗く研磨ができるようになったので、口明けが良好
で、種板落下のない母板が得られ、装置破損やライン停
止がなくなり、作業性、安全性の著しい向上が図れると
いう効果も期待することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施例で用いられる銅電解用母板
(陰極板)の正面図である。
【図2】母板に電着された種板を自動的に剥ぎ取るライ
ンの全体概略図である。
【図3】種板自動剥ぎ取りラインに設置された研磨装置
の一部省略の正面図である。
【図4】同上の研磨装置の一部省略の平面図である。
【図5】同上の研磨装置の一部省略の側面図である。
【図6】保護カバー装置の拡大正面図である。
【図7】保護カバー装置の拡大側面図である。
【図8】センタリング装置の拡大平面図である。
【図9】(A)ないし(E)は作用を説明するための作用図
である。
【符号の説明】
1 母板 2 種板 3 絶縁体部 4 クロスバー 5 搬送路 11 研磨装置 21 台盤 22,22a 架台 25,25a ブラシローラフレーム 26,26a,27,27a ブラシローラ 28,28a,29,29a 駆動モータ 34,34a 昇降フレーム 36,36a 作動シリンダ 38,38a,39,39a ボールねじ軸 61 駆動モータ 70 保護カバー装置 86 センタリング装置

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 銅電解用母板の搬入装置、該母板から種
    板を剥ぎ取る剥取装置、種板を剥ぎ取った母板を搬出す
    る搬出装置を有する種板自動剥ぎ取りラインにおいて、
    種板を剥ぎ取った後の母板が所定位置に停止したとき、
    母板の両表面に回転ブラシローラを接触させ上下方向に
    移動させることにより該表面を同時に研磨することを特
    徴とする銅電解用母板の自動研磨方法。
  2. 【請求項2】 母板が所定位置に停止したとき、それぞ
    れ母板の両表面と対応する位置に上下に2個対となって
    設けられた回転ブラシローラの下方ブラシローラが母板
    の下部両表面に、上方ブラシローラが母板の中間部両表
    面に接近してそれぞれ接触し、接触後に上方に移動しな
    がら両ブラシローラで母板の両表面を研磨するととも
    に、下方ブラシローラが母板の中間部両表面に、上方ブ
    ラシローラが母板の上部両表面にそれぞれ到達すると、
    両ブラシローラが母板の両表面から離間して研磨を終了
    する請求項1記載の銅電解用母板の自動研磨方法。
  3. 【請求項3】 銅電解用母板の搬入装置、該母板から種
    板を剥ぎ取る剥取装置、種板を剥ぎ取った母板を搬出す
    る搬出装置を有する種板自動剥ぎ取りラインにおいて、
    剥取装置の母板搬送方向前方に種板を剥ぎ取った後の母
    板の両表面を回転ブラシローラにより研磨する研磨装置
    を設けたことを特徴とする銅電解用母板の自動研磨装
    置。
  4. 【請求項4】 研磨装置が、それぞれ母板の両表面と対
    向する位置に上下に2個対となって設けられ、かつ母板
    に対して接離可能となった回転ブラシローラと、これら
    ブラシローラを接離させる作動部材と、前記ブラシロー
    ラを回転駆動する第1駆動部材と、前記ブラシローラを
    上下方向に移動させる第2駆動部材と、母板が所定位置
    に停止したとき、前記ブラシローラを下方ブラシローラ
    が母板の下部両表面に、上方ブラシローラが母板の中間
    部両表面に接近してそれぞれ接触するように作動部材を
    制御し、接触後前記ブラシローラが上方に移動するよう
    に第2駆動部材を制御し、下方ブラシローラが母板の中
    間部両表面に、上方ブラシローラが母板の上部両表面に
    それぞれ到達したとき、前記ブラシローラが母板の両表
    面から離間するように作動部材を制御する制御部材とを
    具えた請求項3記載の銅電解用母板の自動研磨装置。
  5. 【請求項5】 制御部材が、ブラシローラが上方に移動
    するにしたがって下方ブラシローラに対して上方ブラシ
    ローラの回転速度が速くなるように第1駆動部材を制御
    する請求項4記載の銅電解用母板の自動研磨装置。
  6. 【請求項6】 制御部材が、ブラシローラが上方に移動
    するにしたがって上方に移動する速度が遅くなるように
    第2駆動部材を制御する請求項4記載の銅電解用母板の
    自動研磨装置。
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