JPH07230680A - 洗浄装置のブラシ着脱機構 - Google Patents
洗浄装置のブラシ着脱機構Info
- Publication number
- JPH07230680A JPH07230680A JP6020207A JP2020794A JPH07230680A JP H07230680 A JPH07230680 A JP H07230680A JP 6020207 A JP6020207 A JP 6020207A JP 2020794 A JP2020794 A JP 2020794A JP H07230680 A JPH07230680 A JP H07230680A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- brush
- rotating shaft
- brush frame
- cleaning device
- frame
- Prior art date
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- Pending
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- Cleaning In General (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】消耗部品であるディスクブラシを比較的頻繁に
交換すべく、回転軸側とブラシ枠体側とを分割可能な着
脱式とたディスクブラシ式の洗浄装置において、被洗浄
物からの面圧がどのように変化してもブラシと回転軸と
の嵌合には影響がなく、しかもブラシ交換作業の容易な
この種装置のブラシ着脱機構の提供。 【構成】本発明を図１の具体例にもとづいて説明する
と、回転軸５側とブラシ枠体２側とを着脱自在とし、ブ
ラシ枠体２に取り付けたディスクブラシ１を被洗浄物に
当接させて擦り洗浄をおこなう洗浄装置において、別部
品とした回転軸５側とブラシ枠体２側との嵌合時、回転
軸５に取り付けた円筒体３がバネ４を介して持ち上げら
れて、ブラシ枠体２を回転軸５に引きつけながら保持
し、回転軸５にブラシ枠体２を当接させた状態で固定す
る。
交換すべく、回転軸側とブラシ枠体側とを分割可能な着
脱式とたディスクブラシ式の洗浄装置において、被洗浄
物からの面圧がどのように変化してもブラシと回転軸と
の嵌合には影響がなく、しかもブラシ交換作業の容易な
この種装置のブラシ着脱機構の提供。 【構成】本発明を図１の具体例にもとづいて説明する
と、回転軸５側とブラシ枠体２側とを着脱自在とし、ブ
ラシ枠体２に取り付けたディスクブラシ１を被洗浄物に
当接させて擦り洗浄をおこなう洗浄装置において、別部
品とした回転軸５側とブラシ枠体２側との嵌合時、回転
軸５に取り付けた円筒体３がバネ４を介して持ち上げら
れて、ブラシ枠体２を回転軸５に引きつけながら保持
し、回転軸５にブラシ枠体２を当接させた状態で固定す
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えばガラス基板，シ
リコン基板等を洗浄する洗浄装置に係り、さらに詳細に
は、ディスクブラシを用いてガラス基板等を擦り洗浄す
るこの種装置のブラシ着脱機構に関する。
リコン基板等を洗浄する洗浄装置に係り、さらに詳細に
は、ディスクブラシを用いてガラス基板等を擦り洗浄す
るこの種装置のブラシ着脱機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】ロールブラシ式の洗浄装置によってガラ
ス基板，シリコン基板等を洗浄する場合、従来より、ロ
ールブラシの形状に起因する特有の問題として、基板端
部の洗浄に問題のあることが指摘されており、これに代
わって前記したロールブラシ式洗浄装置の問題をなく
し、かつ擦り洗浄効果の大きなディスクブラシ式の洗浄
装置が使用されている。
ス基板，シリコン基板等を洗浄する場合、従来より、ロ
ールブラシの形状に起因する特有の問題として、基板端
部の洗浄に問題のあることが指摘されており、これに代
わって前記したロールブラシ式洗浄装置の問題をなく
し、かつ擦り洗浄効果の大きなディスクブラシ式の洗浄
装置が使用されている。
【０００３】ところで、洗浄ブラシは消耗部品であるた
め、交換頻度が高い。
め、交換頻度が高い。
【０００４】したがって、ディスクブラシ式の洗浄装置
においても駆動部側と被駆動部側、つまり回転軸側とブ
ラシ枠体側とを分割可能な着脱式とすることがおこなわ
れている。
においても駆動部側と被駆動部側、つまり回転軸側とブ
ラシ枠体側とを分割可能な着脱式とすることがおこなわ
れている。
【０００５】そして、従来にあっては、例えば実開平４
−９６８４４号公報に記載のように、回転軸とブラシと
の間に空隙を形成し、この空隙内にブラシ保持用のバネ
を設置し、被洗浄物からブラシが受ける反力をブラシ保
持用バネが直接受けるようにしている。
−９６８４４号公報に記載のように、回転軸とブラシと
の間に空隙を形成し、この空隙内にブラシ保持用のバネ
を設置し、被洗浄物からブラシが受ける反力をブラシ保
持用バネが直接受けるようにしている。
【０００６】なお、ブラシに関する従来技術は、前記以
外に、例えば特開平２−１６７１０６号，実開昭５５−
１００５３２号，同５５−１００５３３号，実開平４−
１２５４４７号公報等に記載されている。
外に、例えば特開平２−１６７１０６号，実開昭５５−
１００５３２号，同５５−１００５３３号，実開平４−
１２５４４７号公報等に記載されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前掲実開平４
−９６８４４号公報に代表される洗浄装置のブラシ着脱
機構にあっては、被洗浄物からブラシが受ける反力がバ
ネを圧縮させる向きに働くため、その反力が大きくなる
と、ブラシと回転軸との嵌合が離れる危険性がある。
−９６８４４号公報に代表される洗浄装置のブラシ着脱
機構にあっては、被洗浄物からブラシが受ける反力がバ
ネを圧縮させる向きに働くため、その反力が大きくなる
と、ブラシと回転軸との嵌合が離れる危険性がある。
【０００８】また、その危険を回避すべく、弾性力のよ
り大きなバネを用いると、回転軸に対するブラシの交換
作業に際し、バネを圧縮するための操作者の負担が大き
くなり、作業がしにくくなるという問題があった。
り大きなバネを用いると、回転軸に対するブラシの交換
作業に際し、バネを圧縮するための操作者の負担が大き
くなり、作業がしにくくなるという問題があった。
【０００９】本発明の目的は、消耗部品であるディスク
ブラシを比較的頻繁に交換すべく、回転軸側とブラシ枠
体側とを分割可能な着脱式とたディスクブラシ式の洗浄
装置において、被洗浄物からの面圧がどのように変化し
てもブラシと回転軸との嵌合には影響がなく、しかもブ
ラシ交換作業の容易なこの種装置のブラシ着脱機構を提
供することにある。
ブラシを比較的頻繁に交換すべく、回転軸側とブラシ枠
体側とを分割可能な着脱式とたディスクブラシ式の洗浄
装置において、被洗浄物からの面圧がどのように変化し
てもブラシと回転軸との嵌合には影響がなく、しかもブ
ラシ交換作業の容易なこの種装置のブラシ着脱機構を提
供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】前記目的は、回転軸側と
ブラシ枠体側とを着脱自在とし、ブラシ枠体に取り付け
たディスクブラシを被洗浄物に当接させて擦り洗浄をお
こなう洗浄装置において、別部品とした回転軸側とブラ
シ枠体側との嵌合時、回転軸に取り付けた筒状部材が弾
性体を介して持ち上げられて、ブラシ枠体を回転軸に引
きつけながら保持し、回転軸にブラシ枠体を当接させた
状態で固定する構成とすることによって達成される。
ブラシ枠体側とを着脱自在とし、ブラシ枠体に取り付け
たディスクブラシを被洗浄物に当接させて擦り洗浄をお
こなう洗浄装置において、別部品とした回転軸側とブラ
シ枠体側との嵌合時、回転軸に取り付けた筒状部材が弾
性体を介して持ち上げられて、ブラシ枠体を回転軸に引
きつけながら保持し、回転軸にブラシ枠体を当接させた
状態で固定する構成とすることによって達成される。
【００１１】これを換言すると、前記目的は、別部品と
した回転軸側とブラシ枠体側との嵌合部に、被洗浄物か
らの面圧の変化によってもディスクブラシが軸心方向に
上下動しないディスクブラシ上下動固定手段を備えるこ
とによって達成される。
した回転軸側とブラシ枠体側との嵌合部に、被洗浄物か
らの面圧の変化によってもディスクブラシが軸心方向に
上下動しないディスクブラシ上下動固定手段を備えるこ
とによって達成される。
【００１２】
【作用】以上の構成において、回転軸に取り付けた筒状
部材は、弾性体を介して持ち上げられてブラシ枠体を回
転軸に引きつけながら保持し、回転軸にブラシ枠体が当
接した状態で固定される。
部材は、弾性体を介して持ち上げられてブラシ枠体を回
転軸に引きつけながら保持し、回転軸にブラシ枠体が当
接した状態で固定される。
【００１３】
【実施例】以下、本発明を、図１〜図４の一実施例にも
とづいて説明する。
とづいて説明する。
【００１４】図１において、ベアリング１９により支持
された回転軸５は、図には記載されていない駆動機構に
よって得た回転力を、回転軸５に圧入されたトルク伝達
片６により、ブラシ枠体２に取り付けられた繊維あるい
はスポンジ等からなるディスクブラシ１に伝える。
された回転軸５は、図には記載されていない駆動機構に
よって得た回転力を、回転軸５に圧入されたトルク伝達
片６により、ブラシ枠体２に取り付けられた繊維あるい
はスポンジ等からなるディスクブラシ１に伝える。
【００１５】円筒体３がバネ４によって矢印７の向きに
押し上げられることにより、ブラシ１を備えたブラシ枠
体２は、回転軸５の下端面８に面で接して固定される。
押し上げられることにより、ブラシ１を備えたブラシ枠
体２は、回転軸５の下端面８に面で接して固定される。
【００１６】この状態でバネ４は、常に矢印７の向きに
弾性力を及ぼしており、ブラシ枠体２は回転軸５に安定
的に当接している。
弾性力を及ぼしており、ブラシ枠体２は回転軸５に安定
的に当接している。
【００１７】ブラシ１ならびにブラシ枠体２を取り外す
に際しては、図３において、バネ４に抗する矢印９の向
きに、回転軸５に設けたトルク伝達片６が、ブラシ枠体
２に設けたトルク伝達凹部１０から抜け出るまで引く。
に際しては、図３において、バネ４に抗する矢印９の向
きに、回転軸５に設けたトルク伝達片６が、ブラシ枠体
２に設けたトルク伝達凹部１０から抜け出るまで引く。
【００１８】その後ブラシ枠体２を回転させ、図４に示
すブラシ枠体凸部１１を、円筒体凹部１２に合わせて引
き抜けば、ブラシ１およびブラシ枠体２を回転軸５から
取り外すことができる。
すブラシ枠体凸部１１を、円筒体凹部１２に合わせて引
き抜けば、ブラシ１およびブラシ枠体２を回転軸５から
取り外すことができる。
【００１９】円筒体３は、ブラシ枠体２から解放される
と、バネ４の復元力によりスラストカラー１７に接する
まで持ち上げられる。その状態を図２に示す。
と、バネ４の復元力によりスラストカラー１７に接する
まで持ち上げられる。その状態を図２に示す。
【００２０】ブラシ１ならびにブラシ枠体２を回転軸５
に装着するときは、図２および図４に示すように、ブラ
シ枠体凸部１１を円筒体凹部１２に合わせ、バネ４を圧
縮させて、ブラシ枠体２の底部上面１８にトルク伝達片
６が当たるまで押し込む。
に装着するときは、図２および図４に示すように、ブラ
シ枠体凸部１１を円筒体凹部１２に合わせ、バネ４を圧
縮させて、ブラシ枠体２の底部上面１８にトルク伝達片
６が当たるまで押し込む。
【００２１】続いて、ブラシ枠体２を回転させ、ブラシ
枠体凸部１１と円筒体凸部１３とを係止て、ブラシ枠体
凸部１１を円筒体凸部１３のテーパ１４上を滑らせるこ
とにより、バネ４の抗力に逆らってブラシ枠体２を円筒
体３に引き寄せることができる。
枠体凸部１１と円筒体凸部１３とを係止て、ブラシ枠体
凸部１１を円筒体凸部１３のテーパ１４上を滑らせるこ
とにより、バネ４の抗力に逆らってブラシ枠体２を円筒
体３に引き寄せることができる。
【００２２】なお、図示実施例に示すように、円筒体凸
部１３にテーパ１４を形成し、ブラシ枠体凸部１１を前
記テーパ１４上を滑らせることにより、バネ４の抗力に
逆らっての円筒体３のブラシ枠体２への引寄せを、小さ
い力でスムーズにおこなわしめることができる。
部１３にテーパ１４を形成し、ブラシ枠体凸部１１を前
記テーパ１４上を滑らせることにより、バネ４の抗力に
逆らっての円筒体３のブラシ枠体２への引寄せを、小さ
い力でスムーズにおこなわしめることができる。
【００２３】そして、ブラシ枠体凸部１１と円筒体凸部
１３との係合後、トルク伝達片６をブラシ枠体のトルク
伝達凹部１０に挿入してブラシ枠体２と円筒体３との嵌
合が終了する。
１３との係合後、トルク伝達片６をブラシ枠体のトルク
伝達凹部１０に挿入してブラシ枠体２と円筒体３との嵌
合が終了する。
【００２４】なお、ブラシ枠体２を回転させ、ブラシ枠
体凸部１１を円筒体凸部１３のテーパ１４上を滑らせる
に際し、円筒体３が回転軸５上を回転しないように、回
転軸５には溝１５を設け、この溝１５に円筒体３からピ
ン１６を通すようにしている。
体凸部１１を円筒体凸部１３のテーパ１４上を滑らせる
に際し、円筒体３が回転軸５上を回転しないように、回
転軸５には溝１５を設け、この溝１５に円筒体３からピ
ン１６を通すようにしている。
【００２５】以上の構成によれば、消耗部品であるブラ
シ１を比較的頻繁に交換すべく、回転軸５側とブラシ枠
体２側とを分割可能な着脱式とした場合であっても、一
旦回転軸５側とブラシ枠体２側とを一体的に取り付けた
場合、回転軸５に取り付けた円筒体３は、バネ４を介し
て持ち上げられてブラシ枠体２を回転軸５に引きつけな
がら保持し、回転軸５にブラシ枠体２が当接した状態で
固定されるため、被洗浄物からの面圧がどのように変化
しても、ブラシ１と回転軸５との嵌合には何等影響はな
い。
シ１を比較的頻繁に交換すべく、回転軸５側とブラシ枠
体２側とを分割可能な着脱式とした場合であっても、一
旦回転軸５側とブラシ枠体２側とを一体的に取り付けた
場合、回転軸５に取り付けた円筒体３は、バネ４を介し
て持ち上げられてブラシ枠体２を回転軸５に引きつけな
がら保持し、回転軸５にブラシ枠体２が当接した状態で
固定されるため、被洗浄物からの面圧がどのように変化
しても、ブラシ１と回転軸５との嵌合には何等影響はな
い。
【００２６】なお、図示実施例において、ブラシ枠体２
は、その底部上面１８を介して回転軸５の下端面８と面
接触しているため、ブラシ部の軸心方向への安定性は非
常に良く、被洗浄物に対して横ブレせず、均一な洗浄効
果を得ることができる。
は、その底部上面１８を介して回転軸５の下端面８と面
接触しているため、ブラシ部の軸心方向への安定性は非
常に良く、被洗浄物に対して横ブレせず、均一な洗浄効
果を得ることができる。
【００２７】
【発明の効果】本発明によれば、消耗部品であるディス
クブラシを比較的頻繁に交換すべく、回転軸側とブラシ
枠体側とを分割可能な着脱式とし、ガラス基板等を洗浄
する場合に、ロールブラシ式の洗浄装置のように基板端
部の洗浄に問題がなく、しかも擦り洗浄効果の大きなデ
ィスクブラシ式の洗浄装置を用いた場合に、従来のよう
に、被洗浄物からブラシが受ける反力がバネを圧縮させ
る向きに働いてその反力が大きい場合の問題点、すなわ
ちブラシと回転軸との嵌合が離れるといった危険性をな
くして常に安定した回転力が得られ、しかもその危険性
を回避するのに弾性力のより大きなバネを用いる必要が
なく、すなわち回転軸に対するブラシの交換作業に際
し、バネを圧縮するための操作者の負担が大きくなり、
作業がしにくくなるような弾性力の大きなバネを使用す
ることなく、容易にブラシを交換することができる。
クブラシを比較的頻繁に交換すべく、回転軸側とブラシ
枠体側とを分割可能な着脱式とし、ガラス基板等を洗浄
する場合に、ロールブラシ式の洗浄装置のように基板端
部の洗浄に問題がなく、しかも擦り洗浄効果の大きなデ
ィスクブラシ式の洗浄装置を用いた場合に、従来のよう
に、被洗浄物からブラシが受ける反力がバネを圧縮させ
る向きに働いてその反力が大きい場合の問題点、すなわ
ちブラシと回転軸との嵌合が離れるといった危険性をな
くして常に安定した回転力が得られ、しかもその危険性
を回避するのに弾性力のより大きなバネを用いる必要が
なく、すなわち回転軸に対するブラシの交換作業に際
し、バネを圧縮するための操作者の負担が大きくなり、
作業がしにくくなるような弾性力の大きなバネを使用す
ることなく、容易にブラシを交換することができる。
【００２８】以上要するに、本発明によれば、被洗浄物
からの面圧がどのように変化してもブラシと回転軸との
嵌合には影響がなく、しかもブラシ交換作業の容易な洗
浄装置のブラシ着脱機構を得ることができる。
からの面圧がどのように変化してもブラシと回転軸との
嵌合には影響がなく、しかもブラシ交換作業の容易な洗
浄装置のブラシ着脱機構を得ることができる。
【図１】本発明に係る洗浄装置用ブラシ着脱機構の一実
施例を示す使用状態の縦断面図である。
施例を示す使用状態の縦断面図である。
【図２】図１に示すブラシ着脱機構のブラシ取外し完
了、およびブラシ装着開始時の縦断面図である。
了、およびブラシ装着開始時の縦断面図である。
【図３】同じく図１に示すブラシ着脱機構のブラシ取外
し時の縦断面図である。
し時の縦断面図である。
【図４】図１に示すブラシ着脱機構の分解斜視図であ
る。
る。
１…ディスクブラシ、２…ブラシ枠体、３…円筒体、４
…バネ、５…回転軸、６…トルク伝達片、７…バネ４の
円筒体３に与える弾性力、８…回転軸５の下端面、９…
バネ４に抗する力の向き、１０…トルク伝達凹部、１１
…ブラシ枠体２の凸部、１２…円筒体３の凹部、１３…
円筒体３の凸部、１４…テーパ、１５…溝、１６…ピ
ン、１７…スラストカラー、１８…ブラシ枠体２の底部
上面、１９…ベアリング。
…バネ、５…回転軸、６…トルク伝達片、７…バネ４の
円筒体３に与える弾性力、８…回転軸５の下端面、９…
バネ４に抗する力の向き、１０…トルク伝達凹部、１１
…ブラシ枠体２の凸部、１２…円筒体３の凹部、１３…
円筒体３の凸部、１４…テーパ、１５…溝、１６…ピ
ン、１７…スラストカラー、１８…ブラシ枠体２の底部
上面、１９…ベアリング。
Claims (6)
- 【請求項１】 回転軸側とブラシ枠体側とを着脱自在と
し、ブラシ枠体に取り付けたディスクブラシを被洗浄物
に当接させて擦り洗浄をおこなう洗浄装置において、 別部品とした回転軸側とブラシ枠体側との嵌合時、回転
軸に取り付けた筒状部材が弾性体を介して持ち上げられ
て、ブラシ枠体を回転軸に引きつけながら保持し、回転
軸にブラシ枠体を当接させた状態で固定するよう構成し
たことを特徴とする洗浄装置のブラシ着脱機構。 - 【請求項２】 回転軸側とブラシ枠体側とを着脱自在と
し、ブラシ枠体に取り付けたディスクブラシを被洗浄物
に当接させて擦り洗浄をおこなう洗浄装置において、 別部品とした回転軸側とブラシ枠体側との嵌合部に、被
洗浄物からの面圧の変化によってもディスクブラシが軸
心方向に上下動しないディスクブラシ上下動固定手段を
備えることを特徴とする洗浄装置のブラシ着脱機構。 - 【請求項３】 回転軸側とブラシ枠体側とを着脱自在と
し、ブラシ枠体に取り付けたディスクブラシを被洗浄物
に当接させて擦り洗浄をおこなう洗浄装置において、 回転軸の下端寄り外周に、当該回転軸と一体的に回転す
る筒状部材を設けるとともに、前記回転軸と筒状部材と
の間に弾性体を介装し、回転軸の下面には、回転軸側と
ブラシ枠体側との嵌合終了時にブラシ枠体の底面に設け
たトルク伝達凹部と係止するトルク伝達片を設け、他
方、下面にディスクブラシを取り付けたブラシ枠体の上
面には、回転軸側の筒状部材を軸心方向に抜き差し可能
とする穴部を設けるとともに、前記筒状部材にブラシ枠
体を嵌入してこのブラシ枠体を軸心方向と直交方向に回
転した場合に、前記筒状部材の周囲に間欠的に設けた円
筒体凸部と係止するブラシ枠体凸部を間欠的に設け、回
転軸側とブラシ枠体側との嵌合終了時に前記トルク伝達
凹部がトルク伝達片に係止して、回転軸の下端面とブラ
シ枠体の底部上面とを接触させ、ブラシ枠体を回転軸に
引き付ける向きに弾性体の弾性力が働くよう構成したこ
とを特徴とする洗浄装置のブラシ着脱機構。 - 【請求項４】 請求項３において、回転軸の下端面は、
ブラシ枠体の底部上面と面接触している洗浄装置のブラ
シ着脱機構。 - 【請求項５】 請求項３または請求項４において、回転
軸側の筒状部材外周に間欠的に設けた円筒体凸部の上面
に、前記筒状部材にブラシ枠体を嵌入してこのブラシ枠
体を軸心方向と直交方向に回転するに際し、嵌合開始方
向から嵌合終了方向に向けて肉厚が漸増するテーパを形
成した洗浄装置のブラシ着脱機構。 - 【請求項６】 請求項１〜請求項５のいずれか１項に記
載のブラシ着脱機構を備えた洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6020207A JPH07230680A (ja) | 1994-02-17 | 1994-02-17 | 洗浄装置のブラシ着脱機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6020207A JPH07230680A (ja) | 1994-02-17 | 1994-02-17 | 洗浄装置のブラシ着脱機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07230680A true JPH07230680A (ja) | 1995-08-29 |
Family
ID=12020727
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6020207A Pending JPH07230680A (ja) | 1994-02-17 | 1994-02-17 | 洗浄装置のブラシ着脱機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07230680A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0959719A4 (en) * | 1996-08-29 | 2006-01-11 | Lam Res Corp | DEVICE WITH BRUSH UNIT |
| CN106378320A (zh) * | 2016-11-09 | 2017-02-08 | 安徽千禧精密轴承制造有限公司 | 一种轴承内圈清洁装置 |
| CN106670149A (zh) * | 2016-12-23 | 2017-05-17 | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） | Cmp后清洗设备清洗刷驱动轴结构及使用方法 |
| CN106733792A (zh) * | 2016-12-12 | 2017-05-31 | 北京中电科电子装备有限公司 | 一种用于半导体磨削台的清洁装置 |
| CN116490293A (zh) * | 2020-11-03 | 2023-07-25 | 康宁公司 | 玻璃板清洁设备 |
-
1994
- 1994-02-17 JP JP6020207A patent/JPH07230680A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0959719A4 (en) * | 1996-08-29 | 2006-01-11 | Lam Res Corp | DEVICE WITH BRUSH UNIT |
| CN106378320A (zh) * | 2016-11-09 | 2017-02-08 | 安徽千禧精密轴承制造有限公司 | 一种轴承内圈清洁装置 |
| CN106733792A (zh) * | 2016-12-12 | 2017-05-31 | 北京中电科电子装备有限公司 | 一种用于半导体磨削台的清洁装置 |
| CN106670149A (zh) * | 2016-12-23 | 2017-05-17 | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） | Cmp后清洗设备清洗刷驱动轴结构及使用方法 |
| CN106670149B (zh) * | 2016-12-23 | 2019-05-17 | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） | Cmp后清洗设备清洗刷驱动轴结构及使用方法 |
| CN116490293A (zh) * | 2020-11-03 | 2023-07-25 | 康宁公司 | 玻璃板清洁设备 |
| JP2023548864A (ja) * | 2020-11-03 | 2023-11-21 | コーニング インコーポレイテッド | ガラスシート洗浄装置 |
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